DE840102T1 - Interferenzspektrometer - Google Patents

Interferenzspektrometer

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DE840102T1
DE840102T1 DE0840102T DE98100312T DE840102T1 DE 840102 T1 DE840102 T1 DE 840102T1 DE 0840102 T DE0840102 T DE 0840102T DE 98100312 T DE98100312 T DE 98100312T DE 840102 T1 DE840102 T1 DE 840102T1
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DE
Germany
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movable mirror
light
detecting
spectrometer according
interference spectrometer
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Application number
DE0840102T
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English (en)
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DE19800312A1 (de
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Mikuriya Kenta
Tanaami Takeo
Nanko Tomoaki
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/45—Interferometric spectrometry
    • G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
    • G01J3/4535—Devices with moving mirror

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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Claims (7)

DE/EP O 640 102 T1 98 100 312.2 Yokogawa Electric Corporation Patentansprüche 5
1. Interferenz-Spektrometer, das eine Interferenz herbeiführt, indem ein Abgabelicht von einer Lichtquelle (11) in zwei optische Wege geteilt und eine Länge jedes optischen Weges geändert wird, mit:
einem bewegbaren Spiegel (3b) zum Ändern der optischen Weglänge;
ferner gekennzeichnet durch:
eine Positionsdetektiereinrichtung (50), um eine absolute Verschiebung des bewegbaren Spiegels (3b) analog zu detektieren,und
eine Antriebssteuereinrichtung (51), um die Position des bewegbaren Spiegels (3b) auf der Basis einer Ausgabe der Positionsdetektiereinrichtung (50) zu steuern.
2. Interferenz-Spektrometer nach Anspruch 1, ferner gekennzeichnet durch parallele Federn (10) zum Halten des bewegbaren Spiegels (3b).
3. Interferenz-Spektrometer nach Anspruch 2, wobei die Positionsdetektiereinrichtung (50) eine Lichtquelle (11) zum Einstrahlen von Licht auf die parallelen Federn (10) und einen Photodetektor (12) zum Detektieren eines reflektierten Lichts von den parallelen Federn (10) aufweist und die absolute Position des bewegbaren Spiegels (3b) auf der Basis des reflektierten Lichts detektiert.
4. Interferenz-Spektrometer nach den Ansprüchen 1 und 2, wobei die Positionsdetektiereinrichtung (50) eine am bewegbaren Spiegel (3b) angebrachte Platte (22), eine Lichtquelle (lla) zum Einstrahlen von Licht auf die Platte (22) und einen Photodetektor (12a) zum Detektieren von Licht aufweist, das durchgelassen wurde, ohne durch die Platte (22) blokkiert zu werden, und die absolute Position des bewegbaren
Spiegels (3b) auf der Basis des durchgelassenen Lichts detektiert.
5. Interferenz-Spektrometer nach Anspruch 4, wobei eine Apertur an der am bewegbaren Spiegel (3b) angebrachten Platte (22) geschaffen ist und die absolute Position des bewegbaren Spiegels (3b) auf der Basis des Lichts detektiert wird, das durch die Apertur durchgeht.
6. Interferenz-Spektrometer nach Anspruch 2, wobei die Positionsdetektiereinrichtung (50) an den parallelen Federn (10) vorgesehene Dehnungsmeßstreifen (23a-23d) aufweist und die absolute Position des bewegbaren Spiegels (3b) durch Detektieren von Dehnungen am bewegbaren Spiegel (3b) detektiert.
7. Interferenz-Spektrometer nach Anspruch 6, wobei die Positionsdetektiereinrichtung (50) eine aus den an den parallelen Federn (10) vorgesehenen Dehnungsmeßstreifen (23a-0 23d) bestehende Brücke aufweist und eine Verschiebung nur in der Bewegungsrichtung des bewegbaren Spiegels (3b) detektiert, indem eine Ausgabe aufgehoben wird, wenn eine Torsionsschwingung an den parallelen Federn (10) erzeugt wird.
DE0840102T 1994-01-19 1994-12-15 Interferenzspektrometer Pending DE840102T1 (de)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6004116A JPH07209085A (ja) 1994-01-19 1994-01-19 フーリエ分光器

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DE840102T1 true DE840102T1 (de) 1998-09-24

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DE69431679D1 (de) 2002-12-12
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EP0664443B1 (de) 1999-03-03
EP0840102A3 (de) 1998-05-13
DE69431679T2 (de) 2003-07-17
DE69416813T2 (de) 1999-10-07
EP0840102B1 (de) 2002-11-06
EP0664443A1 (de) 1995-07-26
DE69416813D1 (de) 1999-04-08
US5592292A (en) 1997-01-07
JPH07209085A (ja) 1995-08-11

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