DE816039T1 - Verfahren zum Herstellen von Pressformen, insbesondere für optische Platten, und Pressform nach diesem Verfahren - Google Patents
Verfahren zum Herstellen von Pressformen, insbesondere für optische Platten, und Pressform nach diesem VerfahrenInfo
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Classifications
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- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
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Claims (7)
1. Verfahren zur Herstellung einer Preßmatrize, insbesondere für optische
Speicherplatten,
dadurch gekennzeichnet, daß es folgende Schritte umfaßt:
- Überzug eines Substrats (11) mit einer Schicht aus einem lichtempfindlichen
Kunstharz (2),
- Speicherung der zu vervielfältigenden Informationen in Form eines latenten
Bildes auf der Schicht aus lichtempfindlichem Kunstharz (2) durch Bestrahlung bestimmter Bereiche der genannten Schicht,
- Entfernung der bestrahlten Bereiche (3) aus der Schicht aus lichtempfindlichem Kunstharz (2),
- Bildung von Mikroerhebungen (71) ausschließlich in den Bereichen (3), in
denen das lichtempfindliche Kunstharz (2) entfernt wurde, und
- Entfernung der verbliebenen Bereiche, in denen sich lichtempfindliches
Kunstharz (2) befunden hat.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Substrat (1') ein
Material aus der Gruppe gewählt wird, die Nickel, Chrom, die Nickel-Legierungen,
die Chrom-Legierungen, Titannitrid, Tantal, Molybdän und die Legierungen dieser Stoffe umfaßt.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Mikroerhebungen (7') aus dem gleichen Material bestehen wie das Substrat (1·).
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Mikroerhebungen (71) durch einen elektrolytisch erzeugten Überzug gebildet
werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Mikroerhebungen (71) durch einen chemisch erzeugten Überzug gebildet
werden.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Mikroerhebungen (7') nacheinander durch einen elektrolytisch und einen chemisch erzeugten Überzug gebildet werden.
7. Preßmatrize, die mit dem Verfahren nach einem der vorhergehenden
Ansprüche hergestellt wird.
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