DE724019T1 - Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet - Google Patents
Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitetInfo
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Claims (13)
1. Dichtungsanordnung {3), die am Eingang und/oder Ausgang
eines Wärmebehandlungsofens zur Wärmebehandlung eines kontinuierlich
zugeführten metallischen Bandes (S) angeordnet ist, unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen
Gases (12) als Ofengas und eine elastische rotierende Walze (6) einschließend, die in Eingriff mit einer auf der Oberfläche
einer Dichtungsplatte (4) befestigten elastischen Polsterausbildung (5) und dem metallischen Band (S) kommt, um die
Innenseite des Ofens gegen die Außenluft abzudichten, dadurch gekennzeichnet, daß: elastische Elemente (9) in durchgehenden
Löchern (2b) vorgesehen sind, die durch eine Seitenplatte (2a) einer Ofenwand (2) in Positionen geformt sind, die den beiden
seitlichen Rändern des elastischen Polsters (5) entsprechen und daß das elastische Element bewegende Mechanismen (10) vorgesehen
sind, um die elastischen Elemente (9) mit den Seiten des elastischen Polsters (5) in Eingriff zu bringen.
2. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach Anspruch 1, wobei die elastischen Elemente (9) je gebildet sind aus einem beliebigen von Silikonkautschuk, Fluorkautschuk,
Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk,
Ethylen-Propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk,
Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertem Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk,
chlorsulfoniertem Polyethylen und Filz.
0724 &ugr;
3. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach Anspruch 1 oder 2, wobei die elastischen Elemente (9) je aus einem beliebigen der folgenden gebildet sind: hochmolekulare
Additionspolymere, hochmolekulare Copolymere oder hochmolekulares Polykondensate umfassend eines der beliebigen aus Silikonkautschuk,
Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-Propylenkautschuk,
Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk,
Butadienkautschuk, chloriniertes Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertes Polyethylen,
wobei dieses Polymer Kohlenstoff- oder Metallpulver enthält, um diesem einen gegebenen Bereich eines spezifischen elektrischen
Widerstandswertes zu verleihen und welches in eine feine Zellform schwammartigen Materials mit einem gegebenen Härtebereich
geschäumt ist.
4. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach Anspruch 1 oder 2, wobei die elastischen Elemente (9) je gebildet sind aus einem Verbundmaterial, das umfaßt: zwei oder
mehr hochmolekulare Additionspolymere, hochmolekulares Copolymer oder hochmolekulares Polykondensat, umfassend irgend einen aus:
Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk,
Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk,
Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertes Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertes Polyethylen,
wobei dieses Verbundmaterial Kohlenstoff- und Metallpulver enthält, um diesem einen gegebenen Bereich eines spezifischen
elektrischen Widerstandswertes zu verleihen und in eine feinzellige Form eines schwammartigen Materials mit einem
gegebenen Härtebereich geschäumt ist.
5. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die elastischen Elemente
0 724 &uacgr;&iacgr;9
(9) einen spezifischen elektrischen Widerstandswert von 1 bis 107
&OHgr;·cm haben.
6. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die elastischen Elemente (9) eine Härte von 10° bis 50°, gemessen nach JIS S6050,haben.
7. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei wenigstens zwei eng gesetzte Schlupfscheiben (7), die in einer axialen Richtung der
Seite eines Walzenkörpers (6c) angeordnet sind, wobei wenigstens eine der elastischen Scheiben (8) in Eingriff mit der Seitenplatte
(2a) der Ofenwandung (2) kommt, über einer Walzenwelle (6a) zwischen der Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) angebracht
sind, auf welchen die elastische rotierende Walze (6) und ein Walzenkörper (6c) der elastischen rotierenden Walze (6)
gelagert ist, wobei die Schlupfscheibe und diese elastische
Scheibe in Oberflächenkontakt miteinander stehen und der Kontaktflächen der Teile, die vom Walzenkörper (6c) zur Seitenplatte
(2a) der Ofenwandung (2) vorhanden sind, wobei die Kontaktfläche der Schlupf scheiben (7) und (7) über den niedrigsten
Koeffizienten dynamischer Reibung verfügt.
8. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung
eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 7, wobei die Schlupfscheibe (7) aus einer Formbahn
Fluorkohlenstoffharzes oder einer Formbahn gemacht ist, die als
Hauptkomponente Fluorkarbonharz enthält, dem ein Füllstoff zugegeben ist, der irgend eines aus Glasfaser, Graphit, Glasfaser
plus Molybdändisulphid, Glasfaser plus Graphit, Bronze und Kohlenstoff-Faser
oder eine Formbahn aus Metall enthält, in der dieses Fluorkohlenstoffharz oder dieses Fluorkohlenstoffharz mit
dem Füllstoff überzogen wird, gesprüht wird, gebrannt wird oder die Materialien in einer Bahnform gegen eine Seite oder gegen
beide Seiten oder die Gesamtfläche hiervon, einschließlich der
4
inneren und äußeren Seitenflächen, geklebt wird.
inneren und äußeren Seitenflächen, geklebt wird.
9. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach Anspruch 8, wobei der Harzteil der Oberfläche der Schlupfscheibe
(7) einen spezifischen elektrischen Widerstandswert von 1 bis 107 &OHgr;-cm hat.
10. Dichtungsanordnung für Warmebehandlungsöfen unter Verwendung
eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei wenigstens zwei eng
angeordnete oder gesetzte Schlupfscheiben (7) in einer axialen Richtung der Seite eines Walzenkörpers (6c) angeordnet ist, eine
Schlupfscheibe, die benachbart dem Walzenkörper (6c) positioniert ist, eine Schlupf scheibe (7f) aus einem metallischen Blech
mit einer metallischen Oberlfäche oder eine Schlupfscheibe (7d,
7e, 7c, 7b) ist, bei der Materialien, die nur Fluorkohlenstoffharz
enthalten oder Fluorkohlenstoffharz als Hauptkomponente,
Fluorkohlenstoffharz mit Zusatz eines Füllstoffs enthalten, der eines aus Glasfaser, Graphit, Glasfaser plus Molybdändisulphid,
Glasfaser plus Graphit, Bronze und Kohlenstoff-Faser enthält, als überzug aufgebracht, gesprüht, gebrannt werden oder das
Material in einer Form einer Bahn vorliegt, die gegen eine Seite oder beide Seiten eines metallischen Blechs (7c) oder die Gesamtfläche
hiervon oder die Gesamtfläche hiervon einschließlich der inneren und äußeren und Seitenflächen hiervon, geklebt wird.
11. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung
eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei die elastische Scheibe (8) aus Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk,
Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-Propylenkautschuk,
Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertem Polyethylen,
Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertem
Polyethylen gemacht ist.
0724 C
12. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach einem der Ansprüche 7 bis 11, wobei die elastische mit der Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) in Eingriff kommende
Scheibe (8) einen expandierenden Mechanismus einschließt, der axial durch den Druck eines zu injizierenden Fluids betätigt wird.
Scheibe (8) einen expandierenden Mechanismus einschließt, der axial durch den Druck eines zu injizierenden Fluids betätigt wird.
13. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases,
nach einem der Ansprüche 7 bis 12, wobei die elastische Scheibe (8) einen elektrischen spezifischen Widerstandswert von 1 bis 107
&OHgr;-cm hat.
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| US6858264B2 (en) * | 2002-04-24 | 2005-02-22 | Micron Technology, Inc. | Chemical vapor deposition methods |
| US6814813B2 (en) | 2002-04-24 | 2004-11-09 | Micron Technology, Inc. | Chemical vapor deposition apparatus |
| US6838114B2 (en) | 2002-05-24 | 2005-01-04 | Micron Technology, Inc. | Methods for controlling gas pulsing in processes for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US6821347B2 (en) | 2002-07-08 | 2004-11-23 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and method for depositing materials onto microelectronic workpieces |
| US6955725B2 (en) | 2002-08-15 | 2005-10-18 | Micron Technology, Inc. | Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US6926775B2 (en) | 2003-02-11 | 2005-08-09 | Micron Technology, Inc. | Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US7335396B2 (en) | 2003-04-24 | 2008-02-26 | Micron Technology, Inc. | Methods for controlling mass flow rates and pressures in passageways coupled to reaction chambers and systems for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US7344755B2 (en) | 2003-08-21 | 2008-03-18 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for processing microfeature workpieces; methods for conditioning ALD reaction chambers |
| US7235138B2 (en) | 2003-08-21 | 2007-06-26 | Micron Technology, Inc. | Microfeature workpiece processing apparatus and methods for batch deposition of materials on microfeature workpieces |
| US7422635B2 (en) | 2003-08-28 | 2008-09-09 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for processing microfeature workpieces, e.g., for depositing materials on microfeature workpieces |
| US7056806B2 (en) | 2003-09-17 | 2006-06-06 | Micron Technology, Inc. | Microfeature workpiece processing apparatus and methods for controlling deposition of materials on microfeature workpieces |
| US7282239B2 (en) | 2003-09-18 | 2007-10-16 | Micron Technology, Inc. | Systems and methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US7323231B2 (en) | 2003-10-09 | 2008-01-29 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and methods for plasma vapor deposition processes |
| US7581511B2 (en) | 2003-10-10 | 2009-09-01 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and methods for manufacturing microfeatures on workpieces using plasma vapor processes |
| US7647886B2 (en) | 2003-10-15 | 2010-01-19 | Micron Technology, Inc. | Systems for depositing material onto workpieces in reaction chambers and methods for removing byproducts from reaction chambers |
| US7258892B2 (en) | 2003-12-10 | 2007-08-21 | Micron Technology, Inc. | Methods and systems for controlling temperature during microfeature workpiece processing, e.g., CVD deposition |
| US7906393B2 (en) | 2004-01-28 | 2011-03-15 | Micron Technology, Inc. | Methods for forming small-scale capacitor structures |
| US7584942B2 (en) * | 2004-03-31 | 2009-09-08 | Micron Technology, Inc. | Ampoules for producing a reaction gas and systems for depositing materials onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US8133554B2 (en) | 2004-05-06 | 2012-03-13 | Micron Technology, Inc. | Methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers and systems for depositing materials onto microfeature workpieces |
| US7699932B2 (en) | 2004-06-02 | 2010-04-20 | Micron Technology, Inc. | Reactors, systems and methods for depositing thin films onto microfeature workpieces |
| GB2462810B (en) * | 2008-08-18 | 2010-07-21 | Rolls Royce Plc | Sealing means |
| CN104673989B (zh) * | 2014-11-26 | 2017-03-15 | 武汉钢铁(集团)公司 | 一种连续退火炉均热段气封装置及方法 |
| US11486030B2 (en) | 2018-05-23 | 2022-11-01 | Molecule Works Inc. | Process and apparatus for continuous production of porous structures |
| CN111396558B (zh) * | 2020-03-23 | 2022-06-24 | 共享智能装备有限公司 | 密封调节机构 |
| CN111981858B (zh) * | 2020-08-28 | 2022-01-28 | 费县沂州水泥有限公司 | 一种竖式水泥熟料气动颗粒分级冷却机及冷却方法 |
| CN113755682B (zh) * | 2021-09-15 | 2022-10-21 | 江苏甬金金属科技有限公司 | 一种光亮退火炉入口密封装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2148093A (en) * | 1934-10-11 | 1939-02-21 | Harley T Wheeler | Rotary packing |
| US2367174A (en) * | 1942-08-10 | 1945-01-09 | Henry A Roemer | Seal for gas pickling furnace muffles |
| US3306594A (en) * | 1965-02-24 | 1967-02-28 | Crompton & Knowles Corp | Closed heat treating chamber having a seal roll oscillating mechanism |
| US3291468A (en) * | 1965-05-05 | 1966-12-13 | Electric Furnace Co | Furnace seal means |
| JPS4725762Y1 (de) * | 1969-09-10 | 1972-08-10 | ||
| US4168823A (en) * | 1977-06-27 | 1979-09-25 | Olin Corporation | Seals for the inlet and outlet of a continuous strip furnace |
| DE9112225U1 (de) * | 1991-10-01 | 1991-12-05 | Otto Junker GmbH, 52152 Simmerath | Schleusenvorrichtung für das Ein- und/oder Ausführen von bandförmigem Material in/aus dampf- oder gasgefüllte(n) Behälter(n) |
| JPH0730412B2 (ja) * | 1992-03-12 | 1995-04-05 | 中外炉工業株式会社 | 竪型焼鈍炉の炉内張力制御装置 |
-
1995
- 1995-06-23 AT AT96112617T patent/ATE205550T1/de active
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