DE724019T1 - Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet - Google Patents

Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet

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DE724019T1
DE724019T1 DE0724019T DE95922745T DE724019T1 DE 724019 T1 DE724019 T1 DE 724019T1 DE 0724019 T DE0724019 T DE 0724019T DE 95922745 T DE95922745 T DE 95922745T DE 724019 T1 DE724019 T1 DE 724019T1
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0724 G 19 95 922 745.5 (O 724 019) NISSHIN STEEL CO., LTD. N*1709DE - lw/ge Dichtungsvorrichtung eines Warmebehandlungsofens, der Wasserstoffgas enthaltendes Ofenatmosphärengas benutzt PATENTANS PRÜCHE
1. Dichtungsanordnung {3), die am Eingang und/oder Ausgang eines Wärmebehandlungsofens zur Wärmebehandlung eines kontinuierlich zugeführten metallischen Bandes (S) angeordnet ist, unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases (12) als Ofengas und eine elastische rotierende Walze (6) einschließend, die in Eingriff mit einer auf der Oberfläche einer Dichtungsplatte (4) befestigten elastischen Polsterausbildung (5) und dem metallischen Band (S) kommt, um die Innenseite des Ofens gegen die Außenluft abzudichten, dadurch gekennzeichnet, daß: elastische Elemente (9) in durchgehenden Löchern (2b) vorgesehen sind, die durch eine Seitenplatte (2a) einer Ofenwand (2) in Positionen geformt sind, die den beiden seitlichen Rändern des elastischen Polsters (5) entsprechen und daß das elastische Element bewegende Mechanismen (10) vorgesehen sind, um die elastischen Elemente (9) mit den Seiten des elastischen Polsters (5) in Eingriff zu bringen.
2. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 1, wobei die elastischen Elemente (9) je gebildet sind aus einem beliebigen von Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-Propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertem Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk, chlorsulfoniertem Polyethylen und Filz.
0724 &ugr;
3. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 1 oder 2, wobei die elastischen Elemente (9) je aus einem beliebigen der folgenden gebildet sind: hochmolekulare Additionspolymere, hochmolekulare Copolymere oder hochmolekulares Polykondensate umfassend eines der beliebigen aus Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-Propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertes Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertes Polyethylen, wobei dieses Polymer Kohlenstoff- oder Metallpulver enthält, um diesem einen gegebenen Bereich eines spezifischen elektrischen Widerstandswertes zu verleihen und welches in eine feine Zellform schwammartigen Materials mit einem gegebenen Härtebereich geschäumt ist.
4. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 1 oder 2, wobei die elastischen Elemente (9) je gebildet sind aus einem Verbundmaterial, das umfaßt: zwei oder mehr hochmolekulare Additionspolymere, hochmolekulares Copolymer oder hochmolekulares Polykondensat, umfassend irgend einen aus: Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertes Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertes Polyethylen, wobei dieses Verbundmaterial Kohlenstoff- und Metallpulver enthält, um diesem einen gegebenen Bereich eines spezifischen elektrischen Widerstandswertes zu verleihen und in eine feinzellige Form eines schwammartigen Materials mit einem gegebenen Härtebereich geschäumt ist.
5. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die elastischen Elemente
0 724 &uacgr;&iacgr;9
(9) einen spezifischen elektrischen Widerstandswert von 1 bis 107 &OHgr;·cm haben.
6. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die elastischen Elemente (9) eine Härte von 10° bis 50°, gemessen nach JIS S6050,haben.
7. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei wenigstens zwei eng gesetzte Schlupfscheiben (7), die in einer axialen Richtung der Seite eines Walzenkörpers (6c) angeordnet sind, wobei wenigstens eine der elastischen Scheiben (8) in Eingriff mit der Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) kommt, über einer Walzenwelle (6a) zwischen der Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) angebracht sind, auf welchen die elastische rotierende Walze (6) und ein Walzenkörper (6c) der elastischen rotierenden Walze (6) gelagert ist, wobei die Schlupfscheibe und diese elastische Scheibe in Oberflächenkontakt miteinander stehen und der Kontaktflächen der Teile, die vom Walzenkörper (6c) zur Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) vorhanden sind, wobei die Kontaktfläche der Schlupf scheiben (7) und (7) über den niedrigsten Koeffizienten dynamischer Reibung verfügt.
8. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 7, wobei die Schlupfscheibe (7) aus einer Formbahn Fluorkohlenstoffharzes oder einer Formbahn gemacht ist, die als Hauptkomponente Fluorkarbonharz enthält, dem ein Füllstoff zugegeben ist, der irgend eines aus Glasfaser, Graphit, Glasfaser plus Molybdändisulphid, Glasfaser plus Graphit, Bronze und Kohlenstoff-Faser oder eine Formbahn aus Metall enthält, in der dieses Fluorkohlenstoffharz oder dieses Fluorkohlenstoffharz mit dem Füllstoff überzogen wird, gesprüht wird, gebrannt wird oder die Materialien in einer Bahnform gegen eine Seite oder gegen beide Seiten oder die Gesamtfläche hiervon, einschließlich der
4
inneren und äußeren Seitenflächen, geklebt wird.
9. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 8, wobei der Harzteil der Oberfläche der Schlupfscheibe (7) einen spezifischen elektrischen Widerstandswert von 1 bis 107 &OHgr;-cm hat.
10. Dichtungsanordnung für Warmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei wenigstens zwei eng angeordnete oder gesetzte Schlupfscheiben (7) in einer axialen Richtung der Seite eines Walzenkörpers (6c) angeordnet ist, eine Schlupfscheibe, die benachbart dem Walzenkörper (6c) positioniert ist, eine Schlupf scheibe (7f) aus einem metallischen Blech mit einer metallischen Oberlfäche oder eine Schlupfscheibe (7d, 7e, 7c, 7b) ist, bei der Materialien, die nur Fluorkohlenstoffharz enthalten oder Fluorkohlenstoffharz als Hauptkomponente, Fluorkohlenstoffharz mit Zusatz eines Füllstoffs enthalten, der eines aus Glasfaser, Graphit, Glasfaser plus Molybdändisulphid, Glasfaser plus Graphit, Bronze und Kohlenstoff-Faser enthält, als überzug aufgebracht, gesprüht, gebrannt werden oder das Material in einer Form einer Bahn vorliegt, die gegen eine Seite oder beide Seiten eines metallischen Blechs (7c) oder die Gesamtfläche hiervon oder die Gesamtfläche hiervon einschließlich der inneren und äußeren und Seitenflächen hiervon, geklebt wird.
11. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei die elastische Scheibe (8) aus Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-Propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertem Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertem Polyethylen gemacht ist.
0724 C
12. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 11, wobei die elastische mit der Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) in Eingriff kommende
Scheibe (8) einen expandierenden Mechanismus einschließt, der axial durch den Druck eines zu injizierenden Fluids betätigt wird.
13. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 12, wobei die elastische Scheibe (8) einen elektrischen spezifischen Widerstandswert von 1 bis 107 &OHgr;-cm hat.
DE0724019T 1994-06-24 1995-06-23 Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet Pending DE724019T1 (de)

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Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2837367B2 (ja) * 1995-02-16 1998-12-16 日新製鋼株式会社 連続熱処理炉、連続真空蒸着設備等の区画出入口のシール装置
JP3769479B2 (ja) 2000-08-07 2006-04-26 新日鐵住金ステンレス株式会社 プレス成形性に優れた燃料タンク用フェライト系ステンレス鋼板
US6406031B1 (en) * 2000-09-29 2002-06-18 Heidelberger Druckmaschinen Ag Shaft seal
US6800172B2 (en) * 2002-02-22 2004-10-05 Micron Technology, Inc. Interfacial structure for semiconductor substrate processing chambers and substrate transfer chambers and for semiconductor substrate processing chambers and accessory attachments, and semiconductor substrate processor
US6858264B2 (en) * 2002-04-24 2005-02-22 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition methods
US6814813B2 (en) 2002-04-24 2004-11-09 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition apparatus
US6838114B2 (en) 2002-05-24 2005-01-04 Micron Technology, Inc. Methods for controlling gas pulsing in processes for depositing materials onto micro-device workpieces
US6821347B2 (en) 2002-07-08 2004-11-23 Micron Technology, Inc. Apparatus and method for depositing materials onto microelectronic workpieces
US6955725B2 (en) 2002-08-15 2005-10-18 Micron Technology, Inc. Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces
US6926775B2 (en) 2003-02-11 2005-08-09 Micron Technology, Inc. Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces
US7335396B2 (en) 2003-04-24 2008-02-26 Micron Technology, Inc. Methods for controlling mass flow rates and pressures in passageways coupled to reaction chambers and systems for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers
US7344755B2 (en) 2003-08-21 2008-03-18 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for processing microfeature workpieces; methods for conditioning ALD reaction chambers
US7235138B2 (en) 2003-08-21 2007-06-26 Micron Technology, Inc. Microfeature workpiece processing apparatus and methods for batch deposition of materials on microfeature workpieces
US7422635B2 (en) 2003-08-28 2008-09-09 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for processing microfeature workpieces, e.g., for depositing materials on microfeature workpieces
US7056806B2 (en) 2003-09-17 2006-06-06 Micron Technology, Inc. Microfeature workpiece processing apparatus and methods for controlling deposition of materials on microfeature workpieces
US7282239B2 (en) 2003-09-18 2007-10-16 Micron Technology, Inc. Systems and methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers
US7323231B2 (en) 2003-10-09 2008-01-29 Micron Technology, Inc. Apparatus and methods for plasma vapor deposition processes
US7581511B2 (en) 2003-10-10 2009-09-01 Micron Technology, Inc. Apparatus and methods for manufacturing microfeatures on workpieces using plasma vapor processes
US7647886B2 (en) 2003-10-15 2010-01-19 Micron Technology, Inc. Systems for depositing material onto workpieces in reaction chambers and methods for removing byproducts from reaction chambers
US7258892B2 (en) 2003-12-10 2007-08-21 Micron Technology, Inc. Methods and systems for controlling temperature during microfeature workpiece processing, e.g., CVD deposition
US7906393B2 (en) 2004-01-28 2011-03-15 Micron Technology, Inc. Methods for forming small-scale capacitor structures
US7584942B2 (en) * 2004-03-31 2009-09-08 Micron Technology, Inc. Ampoules for producing a reaction gas and systems for depositing materials onto microfeature workpieces in reaction chambers
US8133554B2 (en) 2004-05-06 2012-03-13 Micron Technology, Inc. Methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers and systems for depositing materials onto microfeature workpieces
US7699932B2 (en) 2004-06-02 2010-04-20 Micron Technology, Inc. Reactors, systems and methods for depositing thin films onto microfeature workpieces
GB2462810B (en) * 2008-08-18 2010-07-21 Rolls Royce Plc Sealing means
CN104673989B (zh) * 2014-11-26 2017-03-15 武汉钢铁(集团)公司 一种连续退火炉均热段气封装置及方法
US11486030B2 (en) 2018-05-23 2022-11-01 Molecule Works Inc. Process and apparatus for continuous production of porous structures
CN111396558B (zh) * 2020-03-23 2022-06-24 共享智能装备有限公司 密封调节机构
CN111981858B (zh) * 2020-08-28 2022-01-28 费县沂州水泥有限公司 一种竖式水泥熟料气动颗粒分级冷却机及冷却方法
CN113755682B (zh) * 2021-09-15 2022-10-21 江苏甬金金属科技有限公司 一种光亮退火炉入口密封装置
CN117964219A (zh) * 2024-01-18 2024-05-03 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 一种方便夹持辊拆装的玻璃成型装置和玻璃成型炉

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2148093A (en) * 1934-10-11 1939-02-21 Harley T Wheeler Rotary packing
US2367174A (en) * 1942-08-10 1945-01-09 Henry A Roemer Seal for gas pickling furnace muffles
US3306594A (en) * 1965-02-24 1967-02-28 Crompton & Knowles Corp Closed heat treating chamber having a seal roll oscillating mechanism
US3291468A (en) * 1965-05-05 1966-12-13 Electric Furnace Co Furnace seal means
JPS4725762Y1 (de) * 1969-09-10 1972-08-10
US4168823A (en) * 1977-06-27 1979-09-25 Olin Corporation Seals for the inlet and outlet of a continuous strip furnace
DE9112225U1 (de) * 1991-10-01 1991-12-05 Otto Junker GmbH, 52152 Simmerath Schleusenvorrichtung für das Ein- und/oder Ausführen von bandförmigem Material in/aus dampf- oder gasgefüllte(n) Behälter(n)
JPH0730412B2 (ja) * 1992-03-12 1995-04-05 中外炉工業株式会社 竪型焼鈍炉の炉内張力制御装置

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