DE724019T1 - Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet - Google Patents

Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet

Info

Publication number
DE724019T1
DE724019T1 DE0724019T DE95922745T DE724019T1 DE 724019 T1 DE724019 T1 DE 724019T1 DE 0724019 T DE0724019 T DE 0724019T DE 95922745 T DE95922745 T DE 95922745T DE 724019 T1 DE724019 T1 DE 724019T1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rubber
elastic
heat treatment
containing hydrogen
hydrogen gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE0724019T
Other languages
English (en)
Inventor
Teruhisa Nakamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Nisshin Co Ltd
Original Assignee
Nisshin Steel Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP25977994A external-priority patent/JP2777873B2/ja
Priority claimed from JP6284560A external-priority patent/JP2834677B2/ja
Application filed by Nisshin Steel Co Ltd filed Critical Nisshin Steel Co Ltd
Publication of DE724019T1 publication Critical patent/DE724019T1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/52Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
    • C21D9/54Furnaces for treating strips or wire
    • C21D9/56Continuous furnaces for strip or wire
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0073Seals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/52Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
    • C21D9/54Furnaces for treating strips or wire
    • C21D9/56Continuous furnaces for strip or wire
    • C21D9/562Details
    • C21D9/565Sealing arrangements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/28Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity for treating continuous lengths of work
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/30Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
    • F27B9/39Arrangements of devices for discharging
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B9/00Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
    • F27B9/04Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity adapted for treating the charge in vacuum or special atmosphere
    • F27B9/045Furnaces with controlled atmosphere
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D1/18Door frames; Doors, lids or removable covers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D1/18Door frames; Doors, lids or removable covers
    • F27D1/1858Doors
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D3/00Charging; Discharging; Manipulation of charge
    • F27D2003/0034Means for moving, conveying, transporting the charge in the furnace or in the charging facilities
    • F27D2003/0053Means for moving, conveying, transporting the charge in the furnace or in the charging facilities comprising a device for charging with the doors closed
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D3/00Charging; Discharging; Manipulation of charge
    • F27D2003/0034Means for moving, conveying, transporting the charge in the furnace or in the charging facilities
    • F27D2003/0067Means for moving, conveying, transporting the charge in the furnace or in the charging facilities comprising conveyors where the translation is communicated by friction from at least one rotating element, e.g. two opposed rotations combined
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F27D99/0073Seals
    • F27D2099/0078Means to minimize the leakage of the furnace atmosphere during charging or discharging
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D3/00Charging; Discharging; Manipulation of charge
    • F27D3/02Skids or tracks for heavy objects
    • F27D3/026Skids or tracks for heavy objects transport or conveyor rolls for furnaces; roller rails

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
  • Food Preservation Except Freezing, Refrigeration, And Drying (AREA)

Claims (13)

0724 G 19 95 922 745.5 (O 724 019) NISSHIN STEEL CO., LTD. N*1709DE - lw/ge Dichtungsvorrichtung eines Warmebehandlungsofens, der Wasserstoffgas enthaltendes Ofenatmosphärengas benutzt PATENTANS PRÜCHE
1. Dichtungsanordnung {3), die am Eingang und/oder Ausgang eines Wärmebehandlungsofens zur Wärmebehandlung eines kontinuierlich zugeführten metallischen Bandes (S) angeordnet ist, unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases (12) als Ofengas und eine elastische rotierende Walze (6) einschließend, die in Eingriff mit einer auf der Oberfläche einer Dichtungsplatte (4) befestigten elastischen Polsterausbildung (5) und dem metallischen Band (S) kommt, um die Innenseite des Ofens gegen die Außenluft abzudichten, dadurch gekennzeichnet, daß: elastische Elemente (9) in durchgehenden Löchern (2b) vorgesehen sind, die durch eine Seitenplatte (2a) einer Ofenwand (2) in Positionen geformt sind, die den beiden seitlichen Rändern des elastischen Polsters (5) entsprechen und daß das elastische Element bewegende Mechanismen (10) vorgesehen sind, um die elastischen Elemente (9) mit den Seiten des elastischen Polsters (5) in Eingriff zu bringen.
2. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 1, wobei die elastischen Elemente (9) je gebildet sind aus einem beliebigen von Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-Propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertem Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk, chlorsulfoniertem Polyethylen und Filz.
0724 &ugr;
3. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 1 oder 2, wobei die elastischen Elemente (9) je aus einem beliebigen der folgenden gebildet sind: hochmolekulare Additionspolymere, hochmolekulare Copolymere oder hochmolekulares Polykondensate umfassend eines der beliebigen aus Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-Propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertes Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertes Polyethylen, wobei dieses Polymer Kohlenstoff- oder Metallpulver enthält, um diesem einen gegebenen Bereich eines spezifischen elektrischen Widerstandswertes zu verleihen und welches in eine feine Zellform schwammartigen Materials mit einem gegebenen Härtebereich geschäumt ist.
4. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 1 oder 2, wobei die elastischen Elemente (9) je gebildet sind aus einem Verbundmaterial, das umfaßt: zwei oder mehr hochmolekulare Additionspolymere, hochmolekulares Copolymer oder hochmolekulares Polykondensat, umfassend irgend einen aus: Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertes Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertes Polyethylen, wobei dieses Verbundmaterial Kohlenstoff- und Metallpulver enthält, um diesem einen gegebenen Bereich eines spezifischen elektrischen Widerstandswertes zu verleihen und in eine feinzellige Form eines schwammartigen Materials mit einem gegebenen Härtebereich geschäumt ist.
5. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die elastischen Elemente
0 724 &uacgr;&iacgr;9
(9) einen spezifischen elektrischen Widerstandswert von 1 bis 107 &OHgr;·cm haben.
6. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die elastischen Elemente (9) eine Härte von 10° bis 50°, gemessen nach JIS S6050,haben.
7. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei wenigstens zwei eng gesetzte Schlupfscheiben (7), die in einer axialen Richtung der Seite eines Walzenkörpers (6c) angeordnet sind, wobei wenigstens eine der elastischen Scheiben (8) in Eingriff mit der Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) kommt, über einer Walzenwelle (6a) zwischen der Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) angebracht sind, auf welchen die elastische rotierende Walze (6) und ein Walzenkörper (6c) der elastischen rotierenden Walze (6) gelagert ist, wobei die Schlupfscheibe und diese elastische Scheibe in Oberflächenkontakt miteinander stehen und der Kontaktflächen der Teile, die vom Walzenkörper (6c) zur Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) vorhanden sind, wobei die Kontaktfläche der Schlupf scheiben (7) und (7) über den niedrigsten Koeffizienten dynamischer Reibung verfügt.
8. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 7, wobei die Schlupfscheibe (7) aus einer Formbahn Fluorkohlenstoffharzes oder einer Formbahn gemacht ist, die als Hauptkomponente Fluorkarbonharz enthält, dem ein Füllstoff zugegeben ist, der irgend eines aus Glasfaser, Graphit, Glasfaser plus Molybdändisulphid, Glasfaser plus Graphit, Bronze und Kohlenstoff-Faser oder eine Formbahn aus Metall enthält, in der dieses Fluorkohlenstoffharz oder dieses Fluorkohlenstoffharz mit dem Füllstoff überzogen wird, gesprüht wird, gebrannt wird oder die Materialien in einer Bahnform gegen eine Seite oder gegen beide Seiten oder die Gesamtfläche hiervon, einschließlich der
4
inneren und äußeren Seitenflächen, geklebt wird.
9. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach Anspruch 8, wobei der Harzteil der Oberfläche der Schlupfscheibe (7) einen spezifischen elektrischen Widerstandswert von 1 bis 107 &OHgr;-cm hat.
10. Dichtungsanordnung für Warmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei wenigstens zwei eng angeordnete oder gesetzte Schlupfscheiben (7) in einer axialen Richtung der Seite eines Walzenkörpers (6c) angeordnet ist, eine Schlupfscheibe, die benachbart dem Walzenkörper (6c) positioniert ist, eine Schlupf scheibe (7f) aus einem metallischen Blech mit einer metallischen Oberlfäche oder eine Schlupfscheibe (7d, 7e, 7c, 7b) ist, bei der Materialien, die nur Fluorkohlenstoffharz enthalten oder Fluorkohlenstoffharz als Hauptkomponente, Fluorkohlenstoffharz mit Zusatz eines Füllstoffs enthalten, der eines aus Glasfaser, Graphit, Glasfaser plus Molybdändisulphid, Glasfaser plus Graphit, Bronze und Kohlenstoff-Faser enthält, als überzug aufgebracht, gesprüht, gebrannt werden oder das Material in einer Form einer Bahn vorliegt, die gegen eine Seite oder beide Seiten eines metallischen Blechs (7c) oder die Gesamtfläche hiervon oder die Gesamtfläche hiervon einschließlich der inneren und äußeren und Seitenflächen hiervon, geklebt wird.
11. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei die elastische Scheibe (8) aus Silikonkautschuk, Fluorkautschuk, Chloroprenkautschuk, Nitril-Butadienkautschuk, Styrol-Butadienkautschuk, Ethylen-Propylenkautschuk, Urethankautschuk, Hydrinkautschuk, Butylkautschuk, Isoprenkautschuk, Butadienkautschuk, chloriniertem Polyethylen, Acrylkautschuk, Polysulfidkautschuk und chlorsulfoniertem Polyethylen gemacht ist.
0724 C
12. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 11, wobei die elastische mit der Seitenplatte (2a) der Ofenwandung (2) in Eingriff kommende
Scheibe (8) einen expandierenden Mechanismus einschließt, der axial durch den Druck eines zu injizierenden Fluids betätigt wird.
13. Dichtungsanordnung für Wärmebehandlungsöfen unter Verwendung eines Wasserstoffgas enthaltenden atmosphärischen Gases, nach einem der Ansprüche 7 bis 12, wobei die elastische Scheibe (8) einen elektrischen spezifischen Widerstandswert von 1 bis 107 &OHgr;-cm hat.
DE0724019T 1994-06-24 1995-06-23 Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet Pending DE724019T1 (de)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16490394 1994-06-24
JP16863994 1994-06-29
JP25977994A JP2777873B2 (ja) 1994-06-29 1994-09-30 水素ガスを含む炉内雰囲気ガスを使用する熱処理炉のシール装置
JP6284560A JP2834677B2 (ja) 1994-06-24 1994-10-26 水素ガスを含む雰囲気ガスを使用する熱処理炉の区画出入口のシール装置
PCT/JP1995/001256 WO1996000307A1 (en) 1994-06-24 1995-06-23 Seal apparatus of heat-treatment furnace using furnace atmosphere gas containing hydrogen gas

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE724019T1 true DE724019T1 (de) 1997-01-30

Family

ID=27473958

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69520203T Expired - Lifetime DE69520203T2 (de) 1994-06-24 1995-06-23 Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet
DE69522667T Expired - Lifetime DE69522667T2 (de) 1994-06-24 1995-06-23 Dichtungsvorrichtung eines Wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender Atmosphäre arbeitet
DE0724019T Pending DE724019T1 (de) 1994-06-24 1995-06-23 Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet

Family Applications Before (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69520203T Expired - Lifetime DE69520203T2 (de) 1994-06-24 1995-06-23 Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet
DE69522667T Expired - Lifetime DE69522667T2 (de) 1994-06-24 1995-06-23 Dichtungsvorrichtung eines Wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender Atmosphäre arbeitet

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5693288A (de)
EP (2) EP0743371B1 (de)
KR (1) KR100191291B1 (de)
CN (2) CN1043477C (de)
AT (2) ATE205550T1 (de)
DE (3) DE69520203T2 (de)
ES (2) ES2163559T3 (de)
TW (2) TW403789B (de)
WO (1) WO1996000307A1 (de)

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2837367B2 (ja) * 1995-02-16 1998-12-16 日新製鋼株式会社 連続熱処理炉、連続真空蒸着設備等の区画出入口のシール装置
JP3769479B2 (ja) 2000-08-07 2006-04-26 新日鐵住金ステンレス株式会社 プレス成形性に優れた燃料タンク用フェライト系ステンレス鋼板
US6406031B1 (en) * 2000-09-29 2002-06-18 Heidelberger Druckmaschinen Ag Shaft seal
US6800172B2 (en) 2002-02-22 2004-10-05 Micron Technology, Inc. Interfacial structure for semiconductor substrate processing chambers and substrate transfer chambers and for semiconductor substrate processing chambers and accessory attachments, and semiconductor substrate processor
US6858264B2 (en) * 2002-04-24 2005-02-22 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition methods
US6814813B2 (en) 2002-04-24 2004-11-09 Micron Technology, Inc. Chemical vapor deposition apparatus
US6838114B2 (en) 2002-05-24 2005-01-04 Micron Technology, Inc. Methods for controlling gas pulsing in processes for depositing materials onto micro-device workpieces
US6821347B2 (en) 2002-07-08 2004-11-23 Micron Technology, Inc. Apparatus and method for depositing materials onto microelectronic workpieces
US6955725B2 (en) 2002-08-15 2005-10-18 Micron Technology, Inc. Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces
US6926775B2 (en) 2003-02-11 2005-08-09 Micron Technology, Inc. Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces
US7335396B2 (en) 2003-04-24 2008-02-26 Micron Technology, Inc. Methods for controlling mass flow rates and pressures in passageways coupled to reaction chambers and systems for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers
US7344755B2 (en) 2003-08-21 2008-03-18 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for processing microfeature workpieces; methods for conditioning ALD reaction chambers
US7235138B2 (en) 2003-08-21 2007-06-26 Micron Technology, Inc. Microfeature workpiece processing apparatus and methods for batch deposition of materials on microfeature workpieces
US7422635B2 (en) 2003-08-28 2008-09-09 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for processing microfeature workpieces, e.g., for depositing materials on microfeature workpieces
US7056806B2 (en) 2003-09-17 2006-06-06 Micron Technology, Inc. Microfeature workpiece processing apparatus and methods for controlling deposition of materials on microfeature workpieces
US7282239B2 (en) 2003-09-18 2007-10-16 Micron Technology, Inc. Systems and methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers
US7323231B2 (en) 2003-10-09 2008-01-29 Micron Technology, Inc. Apparatus and methods for plasma vapor deposition processes
US7581511B2 (en) 2003-10-10 2009-09-01 Micron Technology, Inc. Apparatus and methods for manufacturing microfeatures on workpieces using plasma vapor processes
US7647886B2 (en) 2003-10-15 2010-01-19 Micron Technology, Inc. Systems for depositing material onto workpieces in reaction chambers and methods for removing byproducts from reaction chambers
US7258892B2 (en) 2003-12-10 2007-08-21 Micron Technology, Inc. Methods and systems for controlling temperature during microfeature workpiece processing, e.g., CVD deposition
US7906393B2 (en) 2004-01-28 2011-03-15 Micron Technology, Inc. Methods for forming small-scale capacitor structures
US7584942B2 (en) * 2004-03-31 2009-09-08 Micron Technology, Inc. Ampoules for producing a reaction gas and systems for depositing materials onto microfeature workpieces in reaction chambers
US8133554B2 (en) 2004-05-06 2012-03-13 Micron Technology, Inc. Methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers and systems for depositing materials onto microfeature workpieces
US7699932B2 (en) 2004-06-02 2010-04-20 Micron Technology, Inc. Reactors, systems and methods for depositing thin films onto microfeature workpieces
GB2462810B (en) * 2008-08-18 2010-07-21 Rolls Royce Plc Sealing means
CN104673989B (zh) * 2014-11-26 2017-03-15 武汉钢铁(集团)公司 一种连续退火炉均热段气封装置及方法
US11486030B2 (en) 2018-05-23 2022-11-01 Molecule Works Inc. Process and apparatus for continuous production of porous structures
CN111396558B (zh) * 2020-03-23 2022-06-24 共享智能装备有限公司 密封调节机构
CN111981858B (zh) * 2020-08-28 2022-01-28 费县沂州水泥有限公司 一种竖式水泥熟料气动颗粒分级冷却机及冷却方法
CN113755682B (zh) * 2021-09-15 2022-10-21 江苏甬金金属科技有限公司 一种光亮退火炉入口密封装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2148093A (en) * 1934-10-11 1939-02-21 Harley T Wheeler Rotary packing
US2367174A (en) * 1942-08-10 1945-01-09 Henry A Roemer Seal for gas pickling furnace muffles
US3306594A (en) * 1965-02-24 1967-02-28 Crompton & Knowles Corp Closed heat treating chamber having a seal roll oscillating mechanism
US3291468A (en) * 1965-05-05 1966-12-13 Electric Furnace Co Furnace seal means
JPS4725762Y1 (de) * 1969-09-10 1972-08-10
US4168823A (en) * 1977-06-27 1979-09-25 Olin Corporation Seals for the inlet and outlet of a continuous strip furnace
DE9112225U1 (de) * 1991-10-01 1991-12-05 Otto Junker GmbH, 52152 Simmerath Schleusenvorrichtung für das Ein- und/oder Ausführen von bandförmigem Material in/aus dampf- oder gasgefüllte(n) Behälter(n)
JPH0730412B2 (ja) * 1992-03-12 1995-04-05 中外炉工業株式会社 竪型焼鈍炉の炉内張力制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE69522667D1 (de) 2001-10-18
KR100191291B1 (ko) 1999-06-15
EP0743371B1 (de) 2001-09-12
EP0724019A4 (de) 1999-10-06
ATE205550T1 (de) 2001-09-15
WO1996000307A1 (en) 1996-01-04
CN1155585A (zh) 1997-07-30
EP0743371A2 (de) 1996-11-20
ATE199406T1 (de) 2001-03-15
CN1043477C (zh) 1999-05-26
TW307797B (de) 1997-06-11
CN1129959A (zh) 1996-08-28
TW403789B (en) 2000-09-01
EP0724019A1 (de) 1996-07-31
ES2091172T1 (es) 1996-11-01
US5693288A (en) 1997-12-02
DE69520203T2 (de) 2001-07-19
EP0743371A3 (de) 1999-10-06
ES2091172T3 (es) 2001-05-01
DE69522667T2 (de) 2002-06-20
DE69520203D1 (de) 2001-04-05
ES2163559T3 (es) 2002-02-01
EP0724019B1 (de) 2001-02-28
CN1054643C (zh) 2000-07-19
KR960704076A (ko) 1996-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE724019T1 (de) Dichtungsvorrichtung eines wärmebehandlungsofens der unter wasserstoffenthaltender atmosphäre arbeitet
DE60106570T2 (de) Rollneigungsfreies, faserverstärktes verbundmaterial mit unterschiedlichen seiten; methode zu ihrer herstellung und verschiedene anwendungen
DE69519671T2 (de) Dichtungsvorrichtung für den auslass-/einlassbereich eines ofens zur kontinuierlicgen wärmebehandlung einer kontonuierlichen vakuumverdampfungseinrichtung u.dgl.
EP0022285A1 (de) Trockengeschmiertes Gleitlager, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung
US3291468A (en) Furnace seal means
US4659410A (en) Method of making a silk-screened gasket of enhanced sealing characteristics
EP0184767B1 (de) Doppelbandpresse für eine kontinuierlich vorlaufende Werkstoffbahn
DE69533471T2 (de) Dichtungsvorrichtung für ein- und auslass einer vorrichtung die unter geschutzter atmosphäre arbeitet
DE2131509A1 (de) Dichtlager fuer die Verwendung bei hohen Temperaturen,insbesondere fuer die Verwendung an Waermetauschern von Gasturbinen
DE69523865T2 (de) Dichtungseinheit für auslass/einlass für wärmebehandlungsofen mit einer kontrollierten atmosphäre
CN1043476C (zh) 含氢气体的热处理炉出入口区域的密封方法及装置
DE4342300A1 (de) Korrosionsbeständiges Bauteil
DE7432636U (de) Elastische Ofentürabdichtung
JPS56131861A (en) Mechanical seal
JP2777873B2 (ja) 水素ガスを含む炉内雰囲気ガスを使用する熱処理炉のシール装置
US3511682A (en) Production of sintered polytetrafluoroethylene films on elastomers
AT151825B (de) Vorrichtung zum Abdichten des unteren Randes von Türen.
JPH0988952A (ja) スライド機構用ガイドローラ
DD155199A1 (de) Schieber mit ebener dichtflaeche
DE2932578C2 (de) Gaseinblasventil für Suspensionen
DE847603C (de) Abdichtung von Kuehlraumtueren
Sone et al. Ion-Softnitriding of 0. 15% Carbon Steel in N sub 2--H sub 2--CH sub 4 Gas Mixtures
DE19742811A1 (de) Leitfähig beschichtete Elastomer-Dichtungen
JPS5439472A (en) Sliding material
DE102018107874A1 (de) Reibungsreduzierte, beschichtete Dichtung für ein Wälzlager