DE716058C - Vorrichtung zum Einschleusen von Objekten in Korpuskularstrahlgefaesse, insbesondere Elektronenmikroskope, unter Verwendung einer Schleusenkammer - Google Patents

Vorrichtung zum Einschleusen von Objekten in Korpuskularstrahlgefaesse, insbesondere Elektronenmikroskope, unter Verwendung einer Schleusenkammer

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DE716058C
DE716058C DEL99314D DEL0099314D DE716058C DE 716058 C DE716058 C DE 716058C DE L99314 D DEL99314 D DE L99314D DE L0099314 D DEL0099314 D DE L0099314D DE 716058 C DE716058 C DE 716058C
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Germany
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lock chamber
fork
corpuscular
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lever
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Expired
Application number
DEL99314D
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German (de)
English (en)
Inventor
Dr-Ing Ernst Bruecke
Erich Goelz
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AEG AG
Original Assignee
AEG AG
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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DEL99314D 1939-10-26 1939-10-26 Vorrichtung zum Einschleusen von Objekten in Korpuskularstrahlgefaesse, insbesondere Elektronenmikroskope, unter Verwendung einer Schleusenkammer Expired DE716058C (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE898502C (de) * 1950-10-14 1953-11-30 Siemens Ag Objektschleuse fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope
DE1084398B (de) * 1958-07-01 1960-06-30 Zeiss Carl Fa Verfahren und Vorrichtung zum Schweissen und Loeten mit Ladungstraegerstrahlen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE898502C (de) * 1950-10-14 1953-11-30 Siemens Ag Objektschleuse fuer Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope
DE1084398B (de) * 1958-07-01 1960-06-30 Zeiss Carl Fa Verfahren und Vorrichtung zum Schweissen und Loeten mit Ladungstraegerstrahlen

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