DE69927814T2 - Elektronenröhre - Google Patents

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04Electron multipliers
    • H01J43/06Electrode arrangements

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Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Elektronenröhre, die mit einer Photokathode zum Emittieren von Elektronen in Reaktion auf auftreffendes Licht durch die photoelektrische Umwandlung und einem elektronenvervielfachenden Teil zum Vervielfachen des emittierten Elektronenflusses durch die Emission von Sekundärelektronen ausgestattet ist.
  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • Eine Photoelektronenvervielfacher-Röhre, die eine Elektronenröhre ist, findet in Gebieten wie der nuklearen Hochenergiephysik und der Nuklearmedizin für verschiedene Messungen Anwendung.
  • US-Patentschrift 3868536 und US-Patentschrift 4489251 offenbaren Elektronenröhren, die als Elektronenvervielfacher eine Mikrokanalplatte umfassen.
  • 1(a) und 1(b) zeigen ein Beispiel für eine herkömmliche Photoelektronenvervielfacher-Röhre, einschließlich einer Draufsicht beziehungsweise einer Querschnittsansicht. Diese Photoelektronenvervielfacher-Röhre umfasst eine kreisförmige Frontplatte 11 zum Aufnehmen von auftreffendem Licht; eine Photokathode 20, die auf der inneren Fläche der Frontplatte 11 ausgebildet ist und auf Nullpotential gehalten wird; und einen elektronenvervielfachenden Teil 24, der mehrere Stufen von Dynoden 24a24n umfasst. Von der ersten Stufe bis zur m-ten sind die Dynodenstufen 24a24m in fortlaufenden Stufen angeordnet. Eine Anode 26 ist unterhalb der m-ten Dynodenstufe 24m positioniert. Die letzte Dynodenstufe 24n ist unmittelbar unterhalb der Anode 26 angebracht. Die erste Dynodenstufe 24a weist im Verhältnis zu der Photokathode 20 ein positives Potential auf. Die Elektronen, die von der Photokathode 20 emittiert werden, treffen auf die erste Dynodenstufe 24a auf. Die Dynoden 24a24m sind mit mehreren elektronenvervielfachenden Öffnungen ausgebildet, die in einem Matrixmuster angeordnet sind. Eine Fokussierelektrode 21 ist mit einem elektronenfokussierenden Teil 21a ausgebildet, der zwischen der Photokathode 20 und dem elektronenvervielfachenden Teil 24 angebracht ist, und wird auf dem gleichen Potential gehalten wie die Photokathode 20. Entsprechend werden die Photoelektronen, die von der Photokathode 20 emittiert werden, durch den elektronenfokussierenden Teil 21a zum Konvergieren gebracht und anschließend auf einen vorgegebenen Bereich der ersten Dynodenstufe 24a emittiert.
  • Bei diesem Typ einer herkömmlichen Photoelektronenvervielfacher-Röhre verschlechtert sich die Empfindlichkeit der Photokathode jedoch nach einer langen Gebrauchszeit. Infolgedessen sinkt die Ausgangsleistung der Photoelektronenvervielfacher-Röhre in Reaktion auf auftreffendes Licht ab. Diese Art von Problem ist insbesondere in Photoelektronenvervielfacher-Röhren weit verbreitet, die eine Halbleiter-Photokathode verwenden, wie etwa Gallium-Arsenid (GaAs).
  • US-Patentschrift 993361 offenbart einen Elektronenvervielfacher, der eine Sperrelektrode umfasst, um die Wanderung von positiven Ionen von den Dynoden des Vervielfachers zu einer Photokathode zu verringern. Die Elektronenröhren aus US-Patentschrift 3868536 und US-Patentschrift 4489251 umfassen eine Ionen-Bündelelektrode und eine Ionenfallen-Elektrode, um die Wanderung von positiven Ionen von der MKP (MCP = Micro Channel Plate) Mikrokanalplatte zu der Photokathode zu verringern.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • Unter Berücksichtigung des zuvor Ausgeführten ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Elektronenröhre bereitzustellen, die eine Photokathode und einen elektronenvervielfachenden Teil umfasst und in der Lage ist, die Verschlechterung der Photokathode zu verhindern, um eine stabile Ausgangsleistung über eine lange Gebrauchszeit hinweg aufrechtzuerhalten.
  • Um diese Aufgabe zu erfüllen, untersuchten die Erfinder die Ursachen der Verschlechterung in der Photokathode. Sie entdeckten, dass positive Ionen durch den Zusammenstoß von Elektronen mit einer Cäsium (Cs)-Wolke entstanden, die sich um den Elektronen-Auftreffbereich bildete, der der Photokathode am nächsten gelegen war. Die positiven Elektronen wurden aufgrund des elektrischen Felds, das an der Stelle ihrer Entstehung vorhanden war, zu der Photokathode hin beschleunigt, was zu einer Ionenrückkopplung und zum Zusammenstoß mit der Photokathode führte. Die Erfinder entdeckten, dass dieser Zusammenstoß die Verschlechterung der Photokathode bewirkte.
  • Es sollte beachtet werden, dass das Potential von Elektroden eher durch die negative oder positive Potentialdifferenz zwischen den Elektroden bestimmt wird als durch den absoluten Potentialwert. Mit anderen Worten, wenn die Elektrode A ein positives Potential im Verhältnis zu Elektrode B aufweist, ist das Potential der Elektrode A höher als das der Elektrode B.
  • Eine erfindungsgemäße Elektronenröhre umfasst eine Photokathode, die Elektronen in Reaktion auf auftreffendes Licht durch photoelektrische Umwandlung emittiert; einen elektronenvervielfachenden Teil, der mehrere Stufen gestapelter Dynoden umfasst und die von der Photokathode emittierten Elektronen vervielfacht, wobei der elektronenvervielfachende Teil einen Elektronen-Auftreffbereich umfasst, der in nächster Nähe der Photokathode positioniert ist, in dem die Elektronen, die von der Photokathode emittiert werden, auf den elektronenvervielfachenden Teil auftreffen; eine Ionen-Bündelelektrode, die zwischen der Photokathode und dem elektronenvervielfachenden Teil zum Bündeln der positiven Ionen vorgesehen ist, die in dem elektronenvervielfachenden Teil erzeugt werden; eine Foskussierelektrode, die zwischen der Photokathode und der Ionen-Bündelelektrode zum Fokussieren der Elektronen vorgesehen ist, die von der Photokathode und einer Ionenfallen-Elektrode emittiert werden, die zwischen der Ionen-Bündelelektrode und dem Elektronen-Auftreffbereich zum Auffangen der positiven Ionen vorgesehen ist, die durch die Ionen-Bündelelektrode gebündelt werden, wobei die Fokussierelektrode, die Ionen-Bündelelektrode, die Ionenfallen-Elektrode und jede der mehreren Stufen gestapelter Dynoden in dem elektronenvervielfachenden Teil mit mehreren Öffnungen ausgebildet sind, wobei entsprechende Öffnungen in der Fokussierelektrode, der Ionen-Bündelelektrode, der Ionenfallen-Elektrode und jeder der mehreren Stufen gestapelter Dynoden aufeinander ausgerichtet sind, das Potential der Ionen-Bündelelektrode höher eingestellt ist als das Potential des Elektronen-Auftreffbereichs und das Potential der Ionenfallen-Elektrode gleich oder höher eingestellt ist als das Potential der Photokathode und niedriger eingestellt als das Potential des Elektronen-Auftreffbereichs.
  • Bei diesem Typ Elektronenröhre wird äußeres Licht, das auf die Photokathode auftrifft, in Photoelektronen umgewandelt, die zu der Ionen-Bündelelektrode hin beschleunigt werden, die im Verhältnis zu der Photokathode ein positives Potential aufweist. Nachdem die Photoelektronen Öffnungen durchlaufen haben, die in der Ionen-Bündelelektrode und der Ionenfallen-Elektrode ausgebildet sind, treffen die Photoelektronen im Elektronen-Auftreffbereich des elektronenvervielfachenden Teils auf. Zu diesem Zeitpunkt werden positive Ionen nahe beim Elektronen-Auftreffbereich erzeugt.
  • Durch die Elektrodenanordnung der vorliegenden Erfindung werden die erzeugten positiven Ionen zu der Photokathode hin beschleunigt. Da die Ionen-Bündelelektrode jedoch ein positives Potential im Verhältnis zu dem Elektronen-Auftreffbereich aufweist, können die positiven Ionen nicht durch die Öffnungen in der Ionen-Bündelelektrode gelangen und die Photokathode erreichen. Schließlich werden die positiven Ionen von der Ionenfallen-Elektrode aufgefangen, deren Potential niedriger eingestellt ist als das Potential der Ionen-Bündelelektrode und des Elektroden-Auffangbereichs, oder durch den Elektronen-Auftreffbereich selbst, wodurch die Verschlechterung der Photokathode verhindert wird.
  • Das Potential der Ionen-Bündelelektrode ist höher eingestellt, innerhalb eines Bereichs, in dem Photoelektronen, die von der Photokathode zu dem elektronenvervielfachenden Teil konvergieren, nicht verloren gehen, als das des Elektronen-Auftreffbereichs, in dem positive Ionen erzeugt werden. Entsprechend können die dabei verursachte Ionenrückkopplung und die Verschlechterung der Photokathode wirkungsvoll verhindert werden, ohne dass die Effizienz beim Auffangen der Photoelektronen verringert wird.
  • Die vorliegende Erfindung ist insbesondere effektiv bei Elektronenröhren, die eine Photokathode umfassen, die aus photoelektrischem Halbleiter-Umwandlungsmaterial gebildet ist, wie Gallium-Arsenid. Die durch Ionenrückkopplung verursachte Verschlechterung der Photokathode tritt jedoch im Allgemeinen in Elektronenröhren auf, die andere Typen von Photokathoden verwenden und beeinträchtigt die Lebensdauer solcher Photokathoden. Entsprechend sind die Elektrodenanordnung und die Potentialeinstellungen von jeder der Elektroden der vorliegenden Erfindung auch effektiv für Elektronenröhren, die Photokathoden verwenden, die aus anderen Materialien als aus Halbleitermaterialien gebildet sind.
  • Die Ionen-Bündelelektrode und die Ionenfallen-Elektrode können mit einer Reihe von mehreren Schlitzen ausgebildet sein, um es den Photoelektronen zu ermöglichen, hindurch zu gelangen. Alternativ können die Ionen-Bündelelektrode und die Ionenfallen-Elektrode mit mehreren Öffnungen ausgebildet sein, die in einem Matrixmuster angeordnet sind, um es den Photoelektronen zu ermöglichen, hindurch zu gelangen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1(a) ist eine Draufsicht einer herkömmlichen Photoelektronenvervielfacher-Röhre;
  • 1(b) ist eine Querschnittsansicht der herkömmlichen Photoelektronenvervielfacher-Röhre;
  • 2 ist eine Querschnittsansicht, die die Anordnung einer Photoelektronenvervielfacher-Röhre gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 3 ist eine perspektivische Teilansicht, die eine Öffnungsanordnung einer Fokussierelektrode, einer Ionen-Bündelelektrode und einer Ionenfallen-Elektrode in der Photoelektronenvervielfacher-Röhre von 2 zeigt;
  • 4 ist eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel für ein Potential jeder Elektrode und eine errechnete Bahn von positiven Ionen zwischen den Elektroden in der Photoelektronenvervielfacher-Röhre von 2 zeigt;
  • 5 ist ein Schaubild, das Änderungen über die Zeit in der relativen Ausgangsleistung der erfindungsgemäßen Photoelektronenvervielfacher-Röhre und gemäß einer herkömmlichen Vorrichtung zeigt;
  • 6 ist eine perspektivische Ansicht, die eine weitere Anordnung einer Fokussierelektrode, einer Ionen-Bündelelektrode und einer Ionenfallen-Elektrode der Photoelektronenvervielfacher-Röhre zeigt; und
  • 7 ist eine perspektivische Teilansicht, die eine Anordnung einer Mikrokanalplatte zeigt, die nicht Teil der beanspruchten Erfindung ist.
  • BEVORZUGTE AUSFÜHRUNGSFORM DER ERFINDUNG
  • Eine Photoelektronenvervielfacher-Röhre gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben, wobei Teile und Komponenten, die der zuvor beschriebenen herkömmlichen Vorrichtung ähneln, durch dieselben Bezugsziffern bezeichnet werden, um eine doppelte Beschreibung zu vermeiden. Die dimensionellen Proportionen in den Zeichnungen sind möglicherweise nicht immer an die Beschreibung angepasst.
  • 2 ist eine Querschnittsansicht, die die Photoelektronenvervielfacher-Röhre gemäß der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Diese Photoelektronenvervielfacher-Röhre umfasst ein Vakuumgefäß 10 und einen elektronenvervielfachenden Teil 24, der mehrere Dynoden 24a24n umfasst, die in dem Vakuumgefäß 10 angeordnet sind. Das Vakuumgefäß 10 umfasst eine kreisförmige Frontplatte 11 zum Aufnehmen von auftreffendem Licht, eine walzenförmige metallische Seitenröhre 12, die am Rand der Frontplatte 11 positioniert ist und einen kreisförmigen Schaft 13, der ein Unterteil bildet.
  • Eine Halbleiter-Photokatode 20, die aus GaAs gebildet ist, ist auf der untersten inneren Fläche der Frontplatte 11 ausgebildet und wird auf Nullpotential gehalten. Die Frontplatte 11 und die metallische Seitenröhre 12 sind unter Verwendung eines Kaltsiegelungsverfahrens durch eine Indium-Versiegelung 14 zusammengefügt, um thermische Schäden an der GaAs-Photokathode 20 während des Zusammenbaus zu vermeiden. Die Indium-Versiegelung 14 wird von einem Rückhaltering 14a gehalten, der darum herum angebracht ist.
  • Der elektronenvervielfachende Teil 24 umfasst Metallkanal-Dynoden, die in sieben Stufen gestapelt sind. Die Metallkanal-Dynoden weisen eine sekundärelektronenemittierende Fläche auf, die auf einem vorgegebenen Bereich einer quadratischen planen Metallfläche vorgegeben ist. Die Dynoden 24a24m sind mit mehreren elektronenvervielfachenden Öffnungen ausgebildet, die schlitzförmig sind. Eine Anode 26 und die letzte Dynodenstufe 24n sind in dieser Reihenfolge unter den gestapelten Dynoden 24a24m angeordnet. Die letzte Dynode 24n ist eine quadratische Metallplatte mit darin ausgebildeten Schlitzen. Die Schlitze, die in der letzten Dynode 24n ausgebildet sind, sind unmittelbar unterhalb der Gitter der Anodenelektrode 26 positioniert. Elektronenvervielfachende Flächen, die zwischen den Schlitzen in der letzten Dynodenstufe 24n ausgebildet sind, sind unmittelbar unterhalb der Schlitzabschnitte positioniert, die in der Anode 26 ausgebildet sind. Durch das Positionieren der letzten Dynode 24n unterhalb der Anodenelektrode 26 ist die Anodenelektrode 26 in der Lage, Sekundärelektronen zu erfassen, die von der letzten Dynode 24n weg reflektiert werden.
  • Eine Fokussierelektrode 21, die einen elektronenfokussierenden Teil 21a aufweist, der mit mehreren schlitzförmigen Öffnungen ausgebildet ist, ist zwischen der Photokathode 20 und der ersten Dynodenstufe 24a angebracht. Die Fokussierelektrode 21 wird auf dem gleichen Potential gehalten wie die Photokathode 20. Entsprechend werden die Photoelektronen, die von der Photokathode 20 emittiert werden, durch die Wirkung des elektronenfokussierenden Teils 21a zum Konvergieren [und] auf einem vorgegebenen Bereich der ersten Dynode 24a zum Auftreffen gebracht.
  • Ein besonderes Merkmal der vorliegenden Ausführungsform ist eine Ionen-Bündelelektrode 22 und eine Ionenfallen-Elektrode 23, die zwischen der Fokussierelektrode 21 und der ersten Dynodenstufe 24a angebracht sind.
  • 3 ist eine perspektivische Teilansicht, die eine Öffnungsanordnung der Fokussierelektrode 21, der Ionen-Bündelelektrode 22 und der Ionenfallen-Elektrode 23 zeigt. Die Ionen-Bündelelektrode 22 und die Ionenfallen-Elektrode 23 sind ebenfalls mit mehreren schlitzförmigen Öffnungen ausgebildet, die den schlitzförmigen Öffnungen der fokussierenden Elektrode 21 entsprechen, die den elektronenfokussierenden Teil 21a bilden. Es sollte beachtet werden, dass andere Anordnungen als die Öffnungsanordnung, wie zum Beispiel diejenige für das Stapeln und Halten der Kontaktanschlüsse und Elektroden, in 3 weggelassen sind.
  • Die Steckerstifte 17, die an ein äußeres Spannungsterminal angeschlossen sind, durchdringen den Schaft 13, der als Unterteil dient, um die vorgegebenen Spannungen an die Fokussierelektrode 21, jede der Dynoden 24a, 24b, die Ionen-Bündelelektrode 22 und die Ionenfallen-Elektrode 23 anzulegen. Jeder Steckerstift 17 ist an dem Schaft 13 durch kegelförmig zulaufendes luftdichtes Glas 18 befestigt.
  • 4 zeigt die Potentiale, die für die Fokussierelektrode 21, die Ionen-Bündelelektrode 22, die Ionenfallen-Elektrode 23, die erste Dynodenstufe 24a und die zweite Dynodenstufe 24b eingestellt sind. Die Fokussierelektrode 21 wird auf Nullpotential eingestellt, also auf das gleiche Potential wie die Photokathode 20. Spannungen von 94,1 V und 188,2 V werden an die erste Dynodenstufe 24a beziehungsweise die zweite Dynodenstufe 24b angelegt. Das Potential der Ionenfallen-Elektrode 23 wird auf null eingestellt, was dem Potential der Photokathode 20 entspricht. Eine Spannung von 188,2 V, die höher ist als die Spannung, die an die zweite Dynodenstufe 24b angelegt wird, wird an die Ionen-Bündelelektrode 22 angelegt. In der vorliegenden Ausführungsform ist es möglich, das nötige Potential anzulegen, ohne die Anzahl der Steckerstifte 17 zu erhöhen, indem das Potential der Ionen-Bündelelektrode 22 gleich dem der zweiten Dynodenstufe 24b eingestellt wird.
  • 4 zeigt auch ein Beispiel für eine errechnete Bahn der positiven Ionen, die in dem elektronenvervielfachenden Teil 24 erzeugt werden, wenn die Potentiale der Elektroden so eingestellt sind wie zuvor beschrieben. In Bezug auf den Mechanismus zum Erzeugen positiver Ionen, die die Ionenrückkopplung auslösen, wird vermutet, dass Gasmoleküle, die von der Sekundärelektronen-Emissionsfläche der ersten Dynodenstufe 24a absorbiert werden, emittiert werden, wenn Photoelektronen auf der ersten Dynodenstufe 24a auftreffen. Dann stoßen diese Gasmoleküle mit Photoelektronen oder Sekundärelektronen zusammen, wodurch sie positive Ionen erzeugen.
  • In der zuvor beschriebenen Elektrodenanordnung werden positive Ionen, die nahe der ersten Dynodenstufe 24a erzeugt werden und durch einen Bereich A in 4 angezeigt sind, möglicherweise durch die Ionen-Bündelelektrode 22 zurückgehalten und schließlich durch die Ionenfallen-Elektrode 23 und den elektronenvervielfachenden Teil 24 selbst absorbiert. Infolgedessen erreichen die positiven Ionen nicht die Photokathode.
  • Bezüglich des Elektronenflusses kann angenommen werden, dass eine größere Anzahl positiver Ionen nahe der Dynoden von der zweiten Stufe an erzeugt werden. 4 zeigt auch eine errechnete Bahn positiver Ionen, die nahe der zweiten Dynode 24b erzeugt werden und durch einen Bereich B in 4 angezeigt sind. Diese positiven Ionen jedoch werden von der Dynode auf der vorhergehenden Stufe absorbiert, in diesem Fall der ersten Dynodenstufe 24a und der zweiten Dynodenstufe 24b selbst. Entsprechend wird vermutet, dass positive Ionen, die nahe den Dynoden von der zweiten Stufe an erzeugt werden, nicht zu der Ionenrückkopplung in der herkömmlichen Photoelektronenvervielfacher-Röhre beitragen und folglich nicht zu der Verschlechterung der Photokathode beitragen, die durch die Ionenrückkopplung verursacht wird. Entsprechend ist es möglich, die Ionenrückkopplung ausreichend zu unterdrücken, indem das Potential der Ionen-Bündelelektrode 22 höher eingestellt wird als das der ersten Dynodenstufe 24a.
  • 5 zeigt die Veränderung der Eigenschaften der relativen Ausgangsleistung der Photoelektronenvervielfacher-Röhre gemäß der vorliegenden Ausführungsform über die Zeit, wobei die zuvor beschriebene Anordnung mit der einer herkömmlichen Photoelektronenvervielfacher-Röhre verglichen wird, die eine GaAs-Halbleiter-Photokathode umfasst, aber weder eine Ionen-Bündelelektrode noch eine Ionenfallen-Elektrode. Wie in dem Schaubild dargestellt, sinkt die Ausgangsleistung der herkömmlichen Vorrichtung auf 55% nach 100 Betriebsstunden. Die Ausgangsleistung des verbesserten Modells der vorliegenden Erfindung jedoch liegt nach 100 Stunden bei 98% und zeigt nahezu kein Absinken der Ausgangsleistung, das durch die Verschlechterung der Photokathode verursacht wird. Somit zeigt die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung extrem stabile Eigenschaften über eine lange Gebrauchszeit hinweg.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die zuvor beschriebene Ausführungsform beschränkt und kann auf eine Vielzahl unterschiedlicher Typen von Elektronenröhren angewendet werden. Es sollte beachtet werden, dass die Elektronenröhre der vorliegenden Erfindung mit einer Photokathode in einem Raum aufgebaut ist, der durch eine Frontplatte, eine Seitenröhre und einen Schaft bestimmt ist. Somit umfasst dieser Elektronenröhrentyp zusätzlich zu der Photoelektronenvervielfacher-Röhre eine Bildröhre und ähnliches. Die Bildröhre ist eine Elektronenröhre, die ein optisches Bild auf einer Photokathode durch die photoelektrische Umwandlung in ein Photoelektronen-Bild umwandelt. Das Photoelektronen-Bild wird durch ein Elektronen-Linsensystem beschleunigt und zum Konvergieren gebracht und auf eine fluoreszierende Oberfläche emittiert, um ein optisches Bild zu reproduzieren.
  • In der zuvor beschriebenen Ausführungsform werden die Metallkanal-Dynoden verwendet, die jeweils mit mehreren elektronenvervielfachenden schlitzförmigen Öffnungen ausgebildet sind. Es können jedoch auch Metallkanal-Dynoden verwendet werden, die mit mehreren elektronenvervielfachenden Öffnungen ausgebildet sind. In diesem Fall bildet die Öffnungsanordnung der Fokussierelektrode, der Ionen-Bündelelektrode und der Ionenfallen-Elektrode ein Matrixmuster, das den Dynoden entspricht, wie in 6 gezeigt.
  • 7 zeigt eine Mikrokanalplatte 25 gemäß einer Vergleichsausführungsform, die nicht Teil der beanspruchten Erfindung ist, bei der die Mikrokanalplatte 25 in einer Plattenstruktur mit einem Bündel Mikroglasröhren 250 ausgebildet ist. Die inneren Flächen der Mikroglasröhren 250 dienen als Sekundärelektronen-Emissionsfläche. Eine Elektronen-Auftrefffläche 25a auf einer Seite der Mikrokanalplatte 25 liegt der Photokathode gegenüber, während eine Elektronen-Austrittsfläche 25b auf der anderen Seite gegenüber einer Anodenelektrode angebracht ist. Die Mikrokanalplatte 25 ist eine Dynode, die auftreffende Elektronen entlang den Mikroglasröhren 250 durch den wiederholten Zusammenstoß von Elektronen mit den inneren Wänden und die Emission von Sekundärelektronen vervielfacht. Die Elektronen-Auftrefffläche 25a der Mikrokanalplatte 25, die im Verhältnis zu der Photokathode ein positives Potential aufweist, dient als Elektronen-Auftreffbereich des elektronenvervielfachenden Teils.
  • ANWENDBARKEIT IN DER INDUSTRIE
  • Die Photoelektronenvervielfacher-Röhre, als eine der erfindungsgemäßen Elektronenröhren, hat einen breiten Anwendungsbereich als lichtanalytische Vorrichtung zur Analyse unterschiedlicher Stoffe unter Verwendung von Absorption, Reflexion und Polarisation spezifischer Wellenlängen, in medizinischen Instrumenten, analytischen Instrumenten, industriellen Messinstrumenten und ähnlichem. Die Photoelektronenvervielfacher-Röhre kann auch beim Röntgen verwendet werden; in Instrumenten, die verwendet werden, um Fixsterne, die Sonne und Polarlichter zu beobachten; und in Vorrichtungen, die verwendet werden, um Umweltphänomene innerhalb und außerhalb der Atmosphäre zu messen.

Claims (7)

  1. Elektronenröhre, umfassend: eine Photokathode (20), die Elektronen in Reaktion auf auftreffendes Licht durch photoelektrische Umwandlung emittiert; einen elektronenvervielfachenden Teil (24), der mehrere Stufen gestapelter Dynoden (24a24n) umfasst und die von der Photokathode (20) emittierten Elektronen vervielfacht, wobei der elektronenvervielfachende Teil (24) einen Elektronen-Auftreffbereich (24a) umfasst, der in nächster Nähe der Photokathode (20) positioniert ist, in dem die von der Photokathode (20) emittierten Elektronen auf den elektronenvervielfachenden Teil (24) auftreffen; eine Ionen-Bündelelektrode (22), die zwischen der Photokathode (20) und dem elektronenvervielfachenden Teil (24) zum Bündeln der positiven Ionen vorgesehen ist, die in dem elektronenvervielfachenden Teil (24) erzeugt werden; eine Fokussierelektrode (21), die zwischen der Photokathode (20) und der Ionen-Bündelelektrode (22) zum Fokussieren der Elektronen vorgesehen ist, die von der Photokathode (20) emittiert werden; und eine Ionenfallen-Elektrode (23), die zwischen der Ionen-Bündelelektrode (22) und dem Elektronen-Auftreffbereich (24a) zum Auffangen der positiven Ionen vorgesehen ist, die durch die Ionen-Bündelelektrode (22) gebündelt werden, wobei die Fokussierelektrode (21), die Ionen-Bündelelektrode (22), die Ionenfallen-Elektrode (23) und jede der Stufen gestapelter Dynoden (24a24n) in dem elektronenvervielfachenden Teil (24) jeweils mit mehreren Öffnungen ausgebildet sind, wobei entsprechende Öffnungen in der Fokussierelektrode (21), der Ionen-Bündelelektrode (22), der Ionenfallen-Elektrode (23) und jeder der mehreren Dynodenstufen (24a24n) aufeinander ausgerichtet sind, wobei das Potential der Ionen-Bündelelektrode (22) höher eingestellt ist als das Potential des Elektronen-Auftreffbereichs (24a), und das Potential der Ionenfallen-Elektrode (23) gleich oder größer eingestellt ist als das Potential der Photokathode (20) und niedriger eingestellt ist als das Potential des Elektronen-Auftreffbereichs (24a).
  2. Elektronenröhre nach Anspruch 1, wobei der elektronenvervielfachende Teil (24) eine erste Dynodenstufe (24a) zum Auffangen und ordnungsgemäßen Vervielfachen von Elektronen umfasst, die von der Photokathode (20) emittiert werden, wobei die erste Dynodenstufe (24a) als Elektronen-Auftreffbereich dient.
  3. Elektronenröhre nach Anspruch 1 oder 2, weiter umfassend eine Anodenelektrode (26), die die Elektronen, die durch den elektronenvervielfachenden Teil vervielfacht werden, extrahiert.
  4. Elektronenröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Photokathode (20) aus einem photoelektrischen Halbleiter-Umwandlungsmaterial gebildet ist.
  5. Elektronenröhre nach Anspruch 4, wobei das photoelektrische Halbleiter-Umwandlungsmaterial aus Gallium-Arsenid gebildet ist.
  6. Elektronenröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die mehreren Öffnungen, die jeweils in der Ionen-Bündelelektrode (22) und der Ionenfallen-Elektrode (23) als eine Reihe von mehreren Schlitzen ausgebildet sind, um es den Photoelektronen zu ermöglichen, hindurch zu gelangen.
  7. Elektronenröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die mehreren Öffnungen, die jeweils in der Ionen-Bündelelektrode (22) und der Ionenfallen-Elektrode (23) gebildet sind, in einem Matrixmuster ausgebildet sind, um es den Photoelektronen zu ermöglichen, hindurch zu gelangen.
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4008353B2 (ja) * 2001-02-23 2007-11-14 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管
JP2005011592A (ja) 2003-06-17 2005-01-13 Hamamatsu Photonics Kk 電子増倍管
JP4249548B2 (ja) * 2003-06-17 2009-04-02 浜松ホトニクス株式会社 電子増倍管
JP4593238B2 (ja) * 2004-10-29 2010-12-08 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管及び放射線検出装置
JP4627470B2 (ja) * 2005-09-27 2011-02-09 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管
JP4804172B2 (ja) * 2006-02-28 2011-11-02 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管、放射線検出装置および光電子増倍管の製造方法
JP4804173B2 (ja) 2006-02-28 2011-11-02 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管および放射線検出装置
JP4711420B2 (ja) 2006-02-28 2011-06-29 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管および放射線検出装置
JP4849521B2 (ja) * 2006-02-28 2012-01-11 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管および放射線検出装置
JP4753303B2 (ja) * 2006-03-24 2011-08-24 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管およびこれを用いた放射線検出装置
US8334506B2 (en) 2007-12-10 2012-12-18 1St Detect Corporation End cap voltage control of ion traps
US7973277B2 (en) * 2008-05-27 2011-07-05 1St Detect Corporation Driving a mass spectrometer ion trap or mass filter
JP5956292B2 (ja) * 2012-09-05 2016-07-27 浜松ホトニクス株式会社 電子管
US9425030B2 (en) 2013-06-06 2016-08-23 Burle Technologies, Inc. Electrostatic suppression of ion feedback in a microchannel plate photomultiplier
JP7217189B2 (ja) * 2019-03-28 2023-02-02 株式会社日立ハイテク イオン検出装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3109957A (en) * 1959-10-07 1963-11-05 Emi Ltd Electron multiplying devices and circuit arrangements therefor
US3868536A (en) * 1971-10-18 1975-02-25 Varian Associates Image intensifier tube employing a microchannel electron multiplier
JPS5435059B2 (de) * 1972-01-14 1979-10-31
GB1470162A (en) * 1973-02-27 1977-04-14 Emi Ltd Electron multiplying arrangements
FR2486712A1 (fr) * 1980-07-11 1982-01-15 Thomson Csf Tube intensificateur d'images a micro-canaux, et ensemble de prise de vues comprenant un tel tube
SU993361A1 (ru) * 1981-01-21 1983-01-30 Организация П/Я М-5273 Фотоэлектронный умножитель
JPH07118294B2 (ja) 1987-02-13 1995-12-18 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管
JPS63299032A (ja) * 1987-05-29 1988-12-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 二次電子増倍器の製造方法
US4978885A (en) * 1989-03-02 1990-12-18 Galileo Electro-Optics Corporation Electron multipliers with reduced ion feedback
US5268612A (en) * 1991-07-01 1993-12-07 Intevac, Inc. Feedback limited microchannel plate
JP3466712B2 (ja) 1994-06-28 2003-11-17 浜松ホトニクス株式会社 電子管
JP3598173B2 (ja) * 1996-04-24 2004-12-08 浜松ホトニクス株式会社 電子増倍器及び光電子増倍管
JP3598184B2 (ja) * 1996-11-07 2004-12-08 浜松ホトニクス株式会社 透過型2次電子面及び電子管
AU3958699A (en) * 1998-06-01 1999-12-20 Hamamatsu Photonics K.K. Photomultiplier unit and radiation sensor

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Publication number Publication date
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