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Hintergrund
der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft ein vakuumisoliertes Schaltgerät, das mit
einer Vakuumdruck-Messvorrichtung versehen ist.
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Die
Schaltfunktion und die Durchschlagsfestigkeit einer Vakuumröhre nehmen
schnell ab, wenn der Vakuumdruck auf mehr als 10–4 Torr
zunimmt. Gründe
für eine
Variation des Vakuumdrucks sind ein Vakuumleck durch Rissbildung,
das Freisetzen von an Metallen und Isoliermaterialien adsorbierten
Gasmolekülen,
das Eindringen atmosphärischer
Gase, und andere. Wenn ein Vakuumgefäß vergrößert wird, womit eine Erhöhung der
Spannung der Vakuumröhre
einhergeht, werden die Freisetzung eines adsorbierten Gases und
das Eindringen von Atmosphärengas
nicht vernachlässigbar.
Entsprechend der Konstruktion des isolierten Schaltgeräts, wie
es in JP-A-9-249076 (1997) offenbart ist, bei dem ein Trennschalter,
ein Abschalter und ein Masseschalter in einer einzelnen Röhre integriert
sind, ist die Hinzufügung
einer Vakuumdruck-Prüffunktion
während
des Betriebs oder einer kontinuierlichen Drucküberwachungsfunktion wünschenswert,
um die Sicherheit von Bedienern bei der Wartung und Untersuchung
einer Last, oder des Schaltgeräts
selbst, zu erhöhen.
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Herkömmlicherweise
sind Vakuumröhren bekannt,
die mit Vakuumdruck-Messanschlüssen versehen
sind, wie solche, die mit Ionisations-Vakuummessgeräten und
einem Magnetronanschluss versehen sind, wobei der Vakuumdruck dadurch
bestimmt wird, dass eine Spannung an einen kleinen, im Vakuumgefäß vorhandenen
Spalt angelegt wird, um für
eine Entladung zu sorgen.
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Wenn
die Isolation zwischen einem Hauptschaltkreis und einem Messanschluss
beim Stand der Technik betrachtet wird, treten einige Probleme auf,
wie sie unten beschrieben sind. Wenn das Messterminal mit einem
Isolierzylinder getrennt vom Hauptschaltkreis versehen ist, wird
die Größe des Messterminals
einschließlich
des Isolierzylinders groß,
bis zur Größe der Vakuumröhre. Ferner
können am
Messterminal erzeugte Elektronen in das Innere der Vakuumröhre eintreten,
mit dem Isolierzylinder zusammenstoßen und Sekundärelektronen
erzeugen, was zu einer Vervielfachung der Elektronenanzahl führt. Daher
stellt eine Beeinträchtigung
der Isolierfunktion einer Vakuumröhre ein Problem dar.
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Gemäß dem Stand
der Technik kann die Größe des Messterminals
dadurch klein gemacht werden, dass der Isolierzylinder durch ein
Verfahren überflüssig gemacht
wird, bei dem eine Leitung auf der Spannungsversorgungsseite und
eine zylindrische Außenelektrode
des Vakuumdruck-Messelements auf gleichem Potential gehalten werden
und eine durch einen Kondensator geteilte Spannung an eine Innenelektrode
gelegt wird. Jedoch entstehen Probleme wie eine Vergrößerung der
Vorrichtung, wenn eine Isolation des Kondensators gegen Masse berücksichtigt
wird, und ferner können
Einflüsse
aufgrund von Schwankungen der Spannung im Hauptschaltkreis (z.B.
eines Spannungsstoßes
und dergleichen) wirken. Da das Potential des Messelements demjenigen
der Leitung auf der Spannungsversorgungsseite entspricht, sind Trenntransformatoren
und optische Übertragung
erforderlich, um Signale an Relaisschaltungen des Messgeräts, Warnlampen
und Warnsummer zu leiten. Dies führt
zum Problem, dass das Gesamtsystem kompliziert wird.
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Ein
Gerät und
ein Verfahren zum Messen des Gasdrucks gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs
1 sind in GB-A-2203282 offenbart. Das dortige Vakuumgefäß ist ein
Isolator, der nicht geerdet ist. Das Messgerät muss mit dem Hochspannungs-Anlegeteil
verbunden werden. Dies erfordert es, dass die Signalleitung von
hoher Durchschlagsfestigkeit ist. Außerdem wird die Größe des Messgeräts aufgrund
des Erfordernisses eines großen
Isolierabstands zwischen dem geerdeten Gehäuse und dem Messgerät groß.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Die
Erfindung zielt darauf ab, die obigen Probleme zu lösen, und
ihr liegt die Aufgabe zugrunde, ein vakuumisoliertes Schaltgerät zu schaffen,
das mit einer zuverlässigen
Vakuumdruck-Überwachungs- und
Messfunktion versehen ist. Dies erfolgt durch die im unabhängigen Anspruch
1 beschriebene Konfiguration, gemäß der die Vakuumröhre aus
einem geerdeten Vakuumgefäß und einem
an ihr angebrachten Vakuumdruck-Messgerät besteht.
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Beim
auf die obige Weise aufgebauten Schaltgerät können der Hauptschaltkreis und
das Messelement elektrisch getrennt werden, und für Sicherheit
des Schaltgeräts
kann dadurch gesorgt werden, dass die Zuverlässigkeit der Vakuumüberwachungs-
und Messfunktion erhöht
wird.
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Kurze Beschreibung der
Zeichnungen
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1 ist
eine schematische Darstellung der Vakuumröhre und des Vakuumdruck-Messterminals gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung;
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2 ist
eine schematische Darstellung der Vakuumröhre und es Vakuumdruck-Messterminals gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung;
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3 ist
ein Vertikalschnitt des Vakuumdruck-Messterminals, das an der Vakuumröhre gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung angebracht ist;
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4 ist
ein Vertikalschnitt des Vakuumdruck-Messterminals, das an der Vakuumröhre gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung angebracht ist;
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5 ist
ein Vertikalschnitt der Vakuumröhre gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung;
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6 ist
ein Vertikalschnitt der Vakuumröhre gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung;
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7 ist
ein Vertikalschnitt der Vakuumröhre gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung;
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8 ist
ein Vertikalschnitt eines anderen Vakuumdruck-Messterminals, das
an der Vakuumröhre
gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung angebracht ist;
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9 ist
ein Vertikalschnitt eines anderen Vakuumdruck-Messterminals, das
an der Vakuumröhre
gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung angebracht ist;
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10 ist
ein Vertikalschnitt eines anderen Vakuumdruck-Messterminals, das
an der Vakuumröhre
gemäß einer
Ausführungsform
der Erfindung angebracht ist;
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11 ist
ein Vertikalschnitt, der eine andere Ausführungsform der Erfindung zeigt;
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12 ist
ein Vertikalschnitt, der eine andere Ausführungsform der Erfindung zeigt;
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13 ist
eine Darstellung eines isolierten Schaltgeräts gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung;
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14 ist
ein Charakteristikdiagramm, das die Beziehung zwischen dem Druck
P und der Durchschlagsfestigkeit/dielektrischen Festigkeit zeigt;
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15 ist
eine schematische Darstellung zum Veranschaulichen eines Verfahrens
zum Messen des Vakuumdrucks gemäß einer
anderen Ausführungsform
der Erfindung.
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Detaillierte
Erläuterung
der bevorzugten Ausführungsformen
der Erfindung
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Nun
werden Ausführungsformen
der Erfindung unter Bezugnahme auf die 1 bis 15 detailliert
erläutert.
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(Ausführungsform 1)
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Nachfolgend
wird die erste Ausführungsform der
Erfindung erläutert.
In der 1 ist eine Schnittansicht einer Vakuumröhre 1 und
eines Vakuumdruck-Messterminals 30 dargestellt,
und in der 12 ist ein isoliertes Schaltgerät dargestellt,
das dadurch aufgebaut wird, dass ein beweglicher Leiter 21 drehbar
an einer Hauptachse 20 montiert wird.
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Die
Vakuumröhre
wird dadurch aufgebaut, dass zwei Durchführungen 3, 4 am
Umfang eines geerdeten Metallgefäßes 2 angebracht
werden. Eine feste Elektrode 5 und eine bewegliche Elektrode 6 werden
so angeordnet, dass sie innerhalb der Vakuumröhre 1 in Berührung gebracht/voneinander
getrennt werden können,
um durch diese Berührung oder
Trennen ein Ein- oder Ausschalten auszuführen. Die feste Elektrode ist
an der Durchführung 3 befestigt,
und ein flexibler Leiter 8, der sich ausgehend von der
beweglichen Elektrode 6 erstreckt, ist an der Durchführung 4 befestigt.
Bei der Vakuumröhre 1 gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
fließt
ein elektrischer Strom in der folgenden Reihenfolge durch einen
Pfad: Durchführung 3 – feste
Elektrode 5 – bewegliche
Elektrode 6 – flexibler
Leiter 8 – Durchführung 4.
Die bewegliche Elektrode 6 ist mit einem isolierenden Stab 9 verbunden,
der über
einen Balg 10 am metallischen Gefäß 2 befestigt ist.
Die Bezugszahl 11 kennzeichnet eine Lichtbogenabschirmung,
um einen Erdungsfehler zu verhindern, wie er dadurch erzeugt wird,
dass ein Lichtbogen A das metallische Gefäß 2 berührt.
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Nachfolgend
wird der Betrieb der Vakuumröhre 1 unter
Bezugnahme auf die 13 erläutert. Die 11 zeigt
ein Schaltgerät,
bei dem die Vakuumröhre 1 durch
einen Betätigungsmechanismus 25 betätigt wird.
Die Bezugszahl 30 kennzeichnet eine Trennfeder, die dadurch
eine Antriebskraft erzeugt, dass sie einen angedrückten Isolierabschnitt 31 durch
einen gesondert vorhandenen Auslösemechanismus
freigibt, und die Antriebskraft wird über einen Schaft 22 an
den isolierenden Stab 9 übertragen. Im Ergebnis wird
der isolierende Stab nach oben oder unten verstellt, und die feste
Elektrode 5 und die bewegliche Elektrode 6 werden
in Berührung
gebracht oder getrennt.
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Die
Bezugszahl 30 kennzeichnet einen Messanschluss vom Magnetrontyp,
der an einer Seitenebene des metallischen Gefäßes 2 angebracht ist.
Die Konstruktion des Messterminals 30 ist in der 3 dargestellt.
Das Messterminal 30 besteht aus einer koaxialen Elektrode 32 und
einer Spule 36 zum Erzeugen eines Magnetfelds, das um den
Umfang der koaxialen Elektrode 32 herum angeordnet ist.
Die koaxiale Elektrode 32 besteht aus einer zylindrischen Außenelektrode 33 und
einer Innenelektrode 34, die die Außenelektrode durchdringt. Die
Außenelektrode 33 und
die Innenelektrode 34 sind durch den Isolierabschnitt 31 gegeneinander
isoliert. Anstelle der Spule 36 kann, wie es in der 4 dargestellt
ist, ein ringförmiger
Permanentmagnet 37 verwendet werden. Außerdem können die magnetische Polarität des N-
und des S-Pols des Permanentmagnetpols umgekehrt werden.
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Nachfolgend
wird der Betrieb des Messterminals 30 unter Bezugnahme
auf die 3 erläutert. Der Innenelektrode 34 wird
durch eine elektrische Spannungsversorgungsschaltung 40 ein
negativer Gleichstrom zugeführt.
Es können
auch ein Wechselstrom oder Spannungsimpulse verwendet werden. Von
der Innenelektrode 34 freigesetzte Elektronen e empfangen
durch ein Magnetfeld B, das durch ein elektrisches Feld E angelegt
wird, und die Spule 36 eine Lorentz-Kraft, und sie bewegen
sich drehend um den Umfang der Innenelektrode 34. Die rotierenden Elektronen
e stoßen
mit Restgasen zusammen und ionisieren sie, und erzeugte Anionen
I fließen
in die Innenelektrode 34. Der Ionisierungsstrom j variiert abhängig von
der Menge an Restgasen, d.h. dem Druck. Daher kann der Druck dadurch
gemessen werden, dass die Spannung V bestimmt wird, die zwischen
den beiden Enden des Widerstands R erzeugt wird. Wenn der Druck
kontinuierlich überwacht
werden muss, kann ein Relais zum Einschalten einer Warmlampe betätigt werden,
oder es kann ein Warnton auf Grundlage der Spannung an den beiden
Seiten des Widerstands R erzeugt werden. Wie es das in der 14 dargestellte
Diagramm zeigt, werden die Trennfunktion und die Isolierfunktion
der Vakuumröhre 1 schnel
beeinträchtigt,
wenn der Druck auf 10–4 Torr oder mehr ansteigt.
Das bei der vorliegenden Messterminal angegebene Vakuumdruck-Messterminal 30 kann
bis ungefähr
10–6 Torr
detektieren, und es ist ausreichend effektiv, um den Vakuumdruck zu überwachen.
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Nachfolgend
werden Vorteile der vorliegenden Ausführungsform erläutert. Da
das Messterminal 30 am geerdeten metallischen Gefäß 2 vorhanden ist,
kann die Spannungsversorgungsschaltung für das Messterminal 30 vom
Hauptschaltkreis 13 getrennt werden. Daher kann eine durch
einen Stromstoß vom
Hauptschaltkreis 13 verursachte Fehlfunktion vermieden
werden, und die Zuverlässigkeit
des Schaltgeräts
wird verbessert. Da Signale direkt vom Widerstand R zu Messinstrumenten
oder Relaisschaltungen übertragen
werden, kann das Messsystem klein und vereinfacht sein. Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist das Messterminal 30 direkt am metallischen
Gefäß 2 befestigt.
Daher ist, im Vergleich zum Stand der Technik, bei dem das Messterminal über einen
Isolierzylinder befestigt ist, die Anzahl der in die Vakuumröhre 1 eintretenden
Elektronen klein, und es kann der Vorteil erzielt werden, dass eine
Beeinträchtigung
der Trennfunktion und der Isolierfunktion der Vakuumröhre 1 vermieden
wird.
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Die 5 zeigt
ein Beispiel eines Magnetrons, das einen metallisierten Teil der
Keramik zum Freisetzen von Elektronen verwendet. Eine koaxiale Elektrode 32 und
eine Außenelektrode 33 sind
mit negativer Polarität
verbunden, und die Innenelektrode 34 ist mit positiver
Polarität
verbunden. Daher ist die Polarität
umgekehrt zu der in der 4. Das elektrische Feld wird
nahe dem dünnen,
metallisierten Teil 43 der Keramik 31 zum Verbinden
der Außenelektrode 33 mit
dieser Keramik 31 hoch, und daher wird der Elektronenemissionskoeffizient
groß.
Im Ergebnis ist die Empfindlichkeit des Magnetrons verbessert.
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Die
Position zum Befestigen des Messterminals 30 befindet sich
vorzugsweise an der Außenseite
der Lichtbogenabschirmung 11, wie es in der 6 dargestellt
ist. Da Metallteilchen, Elektronen und Ionen, wie sie von der Elektrode
zum Trennzeitpunkt freigesetzt werden, nicht in das Messterminal 30 eindringen,
kann die Zuverlässigkeit
aufrechterhalten werden. Die Abschirmung 12 kann gesondert in
der Vakuumröhre 1 vorhanden
sein, wie es in der 7 dargestellt ist. In diesem
Fall kann die Spule 36 entfernt von der Elektrode angeordnet
werden, und es kann eine Abnahme der Trennfunktion durch das Magnetfeld
vermieden werden. Die Spule 36 muss nicht notwendiger weise
immer vorhanden sein, sondern sie kann nur zur Druckmesszeit vorhanden
sein, um den Einfluss des Magnetfelds auf die Trennfunktion zu vermeiden.
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Selbstverständlich ist
die Erfindung nicht nur bei einem Magnetronterminal anwendbar, sondern auch
bei Messterminals wie einem Ionisierungs-Vakuummessgerätterminal,
einem Entladungsspalt-Messterminal und dergleichen. Die Zuverlässigkeit
aller Messterminals kann durch Befestigung am geerdeten, metallischen
Gefäß 2 verbessert
werden, da das Messsystem und der Hauptschaltkreis getrennt werden
können.
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(Ausführungsform 2)
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Nun
wird die zweite Ausführungsform
der Erfindung unter Bezugnahme auf die 2 erläutert. Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
ist das in der 1 dargestellte Messterminal 30 über ein
Isolierelement 50 am metallischen Gefäß 2 der Vakuumröhre 1 befestigt.
Wenn die Dicke des Isolierelements 50, stoßen Elektronen
vom Sensor wiederholt mit ihm zusammen, und durch Sekundärelektronenvervielfachung
vervielfachte Elektronen treten in das Vakuumgefäß 2 ein. Im Ergebnis
ist die Isolierfunktion verringert. Daher beträgt eine geeignete Dicke des
Isolierelements 50 2 bis 3 mm.
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Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform sind
der Hauptschaltkreis und das Messsystem getrennt, und daher ist
es möglich,
einen Ausfall des Messsystems hervorgerufen durch einen Stromstoß vom Hauptkörper zu
vermeiden. Das Vakuummessgerät
kann an der Wand des geerdeten Vakuumgefäßes (metallischen Gefäßes) 2 und
auch irgendeiner Stelle entfernt vom Vakuumgefäß 2 angebracht werden,
wie es in der 15 dargestellt ist. D.h., es
ist möglich,
das Vakuummessgerät
irgendwo im Vakuumgefäß zu installieren,
wenn der Druck gemessen werden kann.
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(Ausführungsform 3)
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Nachfolgend
wird die dritte Ausführungsform der
Erfindung unter Bezugnahme auf die 8 erläutert. Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
ist das in der 7 dargestellte Messterminal 30 am metallischen
Gefäß 2 in
der in der 1 dargestellten Vakuumröhre 1 befestigt.
Das Messterminal 30 besteht aus einer Außenelektrode 33,
einer Innenelektrode 34 und einer dritten Elektrode 39 mit
demselben Potential wie dem der Außenelektrode 33, mit solcher
Anordnung, dass sie der Innenelektrode 34 zugewandt ist.
Demgemäß werden
die vom oberen Ende der Innenelektrode 34 freigesetzten
Elektronen e durch die Elektrode 39 eingefangen, und ein
Eindringen der Elektronen e in das Innere der Vakuumröhre kann
verringert werden, und es kann eine Verringerung der Isolierfunktion
der Vakuumröhre 1 vermieden
werden. Derselbe Effekt wie oben kann dadurch erzielt werden, dass
am metallischen Gefäß 2 ein
Loch 15 angebracht wird und die Koaxialelektrode 32 an
diesem angebracht wird, wie es in der 9 dargestellt
ist.
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Wie
es in der 10 dargestellt ist, ist am metallischen
Gefäß 2 ein
Loch 51 vorhanden, das kleiner als die Innenseite der Außenelektrode 33 ist. Die
vom oberen Ende der Innenelektrode 34 emittierten Elektronen
e2 empfangen durch das elektrische Feld E und das Magnetfeld 35 eine
Lorentz-Kraft, und sie bewegen sich entlang einer Spiralbahn 44 und
erreichen das metallische Gefäß 2.
Wenn die Elektronen e2 wiederholt mit Restgasen zusammenstoßen, fließ ein Ionenstrom
j. Zusätzlich
zum Strom durch die Elektronen e1 ist die Empfindlichkeit durch
den Effekt der Elektronen e2 verbessert.
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(Ausführungsform 4)
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Nachfolgend
wird die vierte Ausführungsform
der Erfindung unter Bezugnahme auf die 9 erläutert. Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform ist
das in der 11 dargestellte Messterminal 30 am metallischen
Gefäß 2 in
der in der 1 dargestellten Vakuumröhre 1 angebracht.
Das Messterminal 30 verfügt über eine Außenelektrode aus einem metallischen
Platierungsfilm 52 auf einer Innenseitenfläche eines
becherförmigen
Keramikkörpers 51.
Gemäß den Ausführungsformen
1 und 2, wie in der 3 dargestellt, wurden der Isolierabschnitt 31 und
die Außenelektrode 33 gesondert
hergestellt. Jedoch können
gemäß der vorliegenden
Ausführungsform der
Isolierabschnitt und die Außenelektrode
als integriertes Element hergestellt werden. Daher kann die Anzahl
von Teilen und Schweißabschnitten
verringert werden.
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(Ausführungsform 5)
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Nachfolgend
wird die fünfte
Ausführungsform
der Erfindung erläutert.
Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform,
wie sie in der 11 dargestellt ist, ist das
in der 11 dargestellte Messterminal 30 am
metallischen Gefäß 2 in
der in der 1 dargestellten Vakuumröhre 1 befestigt.
Das Messterminal 30 verfügt über die Innenelektrode 34 mit
einem Schraubabschnitt, was die Empfindlichkeit der Messung dadurch
verbessert, dass das lokale elektrische Feld an der Oberfläche der
Innenelektrode 34 erhöht
wird, wodurch die Menge der von ihr freigesetzten Elektronen zunimmt.
Selbstverständlich
kann derselbe Effekt wie oben dadurch erzielt werden, dass irgendein
Vorsprung an der Innenelektrode 34 angebracht wird.
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(Ausführungsform 6)
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Nachfolgend
wird die sechste Ausführungsform
der Erfindung unter Bezugnahme auf die 15 erläutert. Der
Messterminal 30 ist auf dieselbe Weise wie bei der in der 1 dargestellten
Ausführungsform
1 an der Seitenebene des metallischen Gefäßes 2 angebracht.
Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
werden die Erzeugung einer an das Messterminal 30 angelegten
Gleichspannung und eine Messung des Ionenstroms unter Verwendung
eines Megohmmeters 41, d.h. einer Isolierwiderstand-Testeinrichtung
ausgeführt.
Das Megohmmeter 41 ist ein Handtester zum Messen eines
Widerstands von M Ω-Größe durch
Anlegen einer Gleichspannung von mehreren kV an einen Isolator und
durch Messen eines Leckstroms, und es handelt sich um eines von
Instrumenten, über
die Personal in der Regel verfügt, das
mit der Wartung und Steuerung von Hochspannungsgeräten beauftragt
ist. Spannungsanschlüsse 42 des
Megohmmeters 41 werden mit der koaxialen Elektrode 32 des
Messterminals 30 verbunden, und ein Widerstand R wird durch
Anlegen einer Spannung V gemessen. Der durch die Spannung V und den
Widerstand R bestimmte Leckstrom (I= –V/R) entspricht dem vom Druck
P abhängigen
Ionenstrom I. Demgemäß kann,
wenn zuvor die Beziehung zwischen dem Widerstand R und dem Druck
P bestimmt wird, der Druck leicht mit einem Megohmmeter gemessen
werden.
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Es
ist nicht erforderlich, zur Druckmessung eine spezielle elektrische
Spannungsquelle bereitzustellen, sondern der Druck kann leicht und
billig gemessen werden.
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(Ausführungsform 7)
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Nachfolgend
wird die siebte Ausführungsform
der Erfindung erläutert.
Die vorliegende Ausführungsform
bildet eine Gegenmaßnahme,
um zu verhindern, dass das am Messterminal 30 erzeugte
Magnetfeld B in die Vakuumröhre 1 eingreift.
Der Aufbau ist derselbe wie bei der in der 1 dargestellten Ausführungsform
1. Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
wird das in der 1 dargestellte metallische Gefäß 2 aus
einem magnetischen Material wie Monel (einer Cu-Ni-Legierung) und
dergleichen hergestellt, um eine Verringerung der Trennfunktion durch
Eingreifen eines Magnetfelds dadurch zu vermeiden, dass das am Messterminal
mit dem metallischen Gefäß 2 erzeugte
Mag netfeld abgeschirmt wird.
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Die
Erfindung kann bei einer in der 12 dargestellten
Vakuumröhre
vom Rotationsbetriebstyp angewandt werden. Die bewegliche Elektrode 6 wird
mit einer Hauptachse 20 als Trägerpunkt gedreht, um mit der
festen Elektrode 5 in Kontakt gebracht oder von ihr getrennt
zu werden. Die feste Elektrode 5 ist durch einen Isolierzylinder 16A gegen das
geerdete, metallische Gefäß 2 isoliert,
und die bewegliche Elektrode 6 ist gegen dieses durch einen Isolierzylinder 16B isoliert.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform
ist das Loch 15 hinzugefügt, um ein kleines Schaltgerät mit einem
Trennschalter, einem Abschalter und einem Erdungsschalter dadurch
aufzubauen, dass dafür
gesorgt wird, dass die bewegliche Elektrode 6 an einer
jeweiligen von vier Positionen stoppt, d.h. einer Schließposition
Y1, einer Öffnungsposition
Y2, einer Trennposition Y3, an der die Isolierung nicht durch eine
Entladung und dergleichen gestört
wird, und einer Erdungsposition Y4. Durch Hinzufügen des Vakuumdruck-Messterminals gemäß der Erfindung
zur Vakuumröhre 1 mit
der Funktion einer Trenneinrichtung kann für die Sicherheit von Bedienern
zur Wartung und Inspektion gesorgt werden, und es kann die Zuverlässigkeit
des Schaltgeräts
verbessert werden.
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Wie
oben erläutert,
ist, gemäß der Erfindung, die
Zuverlässigkeit
beim Überwachen
und Messen des Vakuumdrucks dadurch verbessert, dass das Vakuumdruck-Messterminal
am geerdeten, metallischen Gefäß angebracht
wird, und im Ergebnis kann ein vakuumisoliertes Schaltgerät mit hoher
Sicherheit geschaffen werden.