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Die vorliegende Erfindung bezieht
sich auf ein optisches Nahfeldrastermikroskop zum Beobachten mikroskopischer
Merkmale und optischer Eigenschaften der Oberfläche einer Probe.
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Im allgemeinen verwenden herkömmliche optische
Nahfeldmikroskope, die mittels einer Atomkraft gesteuert werden,
einen Fühler,
der erhalten wird durch Anspitzen eines Endes eines optischen Leiterelements
wie z. B. einer Lichtleitfaser, wobei Bereiche außer dem
Ende mit einem Metallfilm beschichtet werden und eine mikroskopische Öffnung am
Endabschnitt ausgebildet wird. Obwohl als optisches Leitelement
hauptsächlich
eine Lichtleitfaser verwendet wird, kann eine Lichtleitfaser nicht
für eine Beobachtung
bei Wellenlängen
im Ultraviolettbereich oder im Infrarotbereich verwendet werden,
die bei der Bewertung der physikalischen Eigenschaften wichtig sind,
da sie die Ausbreitung von Strahlen mit Wellenlängen im wesentlichen von etwa
350 bis 1600 nm erlaubt, wenn sie als Basismaterial verwendet wird.
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Unter solchen Umständen wurde
ein Fühler vorgeschlagen,
der ein Loch aufweist, das von einem Ende eines Fühler, der
aus Silicium oder Siliciumnitrid für ein Atomkraftmikroskop gefertigt
ist, durch eine hierzu gegenüberliegende
Oberfläche
verläuft.
Da in diesem Fall kein Feststoff vorhanden ist, der das Licht in
dem mit der Öffnung
und der gegenüberliegenden
Oberfläche
verbundenen Loch absorbiert, wird dies als brauchbar für die Beobachtung
bei Wellenlängen
im Ultraviolettbereich und im Infrarotbereich betrachtet.
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Prozesse zur Herstellung des Fühlers dieses Typs,
der ein Fühler
für ein
mit einem Loch versehenes Atomkraftmikroskop ist, umfassen ein Verfahren, bei
dem das Loch durch Ätzen
ausgebildet wird, sowie ein Verfahren, bei dem das Loch durch fokussierte
Ionenstrahlen ausgebildet wird. Gemäß den Prozess, der das Ätzen verwendet,
wird das Loch ausgebildet, wenn das Ätzen fortschreitet, um hindurchzudringen,
wobei das Ätzen
zu einem bestimmten Zeitpunkt gestoppt werden muss. Es ist sehr
schwierig, das Ätzen
durchzuführen,
während
der Vorgang der Ausbildung einer solchen mikroskopischen Öffnung überwacht
wird, wobei es folglich sehr schwierig ist, die Größe der ausgebildeten Öffnung zu
kontrollieren. Andererseits besteht bei dem Verfahren, bei dem das
Loch unter Verwendung fokussierter Ionenstrahlen ausgebildet wird,
das Problem, dass es zu einer geringen Produktivität oder zu
hohen Herstellungskosten führt,
und das weitere Problem, dass eine Positionsverschiebung, die einer
Drift der Vorrichtung mit fokussiertem Ionenstrahl zuzuweisen ist,
zu der Ausbildung eines Loches an einer anderen Stelle als einem
Ende eines Fühlers
führt.
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Um diesbezüglich die Nahfeldbeobachtungstechniken
auf den Ultraviolettbereich und den Infrarotbereich auszudehnen,
ist es unabdingbar, einen Fühler
für ein
optisches Nahfeldmikroskop zu schaffen, der eine gute Kontrollierbarkeit
der Ausbildung einer mikroskopischen Öffnung aufweist. Ein Verfahren,
um dies zu erreichen, ist ein Verfahren, das von Lewis u. a. und
Shalom u. a. berichtet wird und eine mikroskopische Öffnung an
einem Ende eines Rohres nutzt, das thermisch erweitert und abgeschnitten wurde
(US-Patent 4.917.462 (1990); Rev. Sci. Instrum. 63(1992) 4061).
In diesem Fall wird eine STM-Regelung oder Scherkraftregelung verwendet, um
den Abstand zwischen einem Fühler
und einer Probe zu regeln. Bei der STM-Regelung besteht das Problem,
dass eine Probe leitend sein. Im Fall der Scherkraftregelung kann
diese auch auf einer Probe verwendet werden, die nicht leitend ist,
indem der Fühler
in horizontaler Richtung relativ zur Probe oszilliert, jedoch erlaubt
sie nicht die gleichzeitige Beobachtung von Informationen über die
physikalischen Eigenschaften der Oberfläche einer Probe, was mit der
AFM-Regelung möglich
ist. Hierbei beinhalten die Informationen über physikalische Eigenschaften die
Reibung, die Viskoelastizität,
das Oberflächenpotential
und dergleichen, welche durch Steuern eines Fühlers mit einer Kraft in vertikaler
Richtung relativ zur Probe erfasst werden können. Ferner besteht bei dem
Scherkraftregelungsverfahren das Problem, dass es einen größeren Raum
auf der oberen Oberfläche
einer Probe beansprucht als das AFM-Regelungsverfahren. Der Bericht
von Shalom u. a. offenbart einen Rohrfühler, der gebogen ist, um als AFM-Fühler nutzbar
zu sein. Da in diesem Fall jedoch das Licht am gebogenen Abschnitt
des Rohres nicht gut geleitet werden kann, ist es schwierig, für die Messung
Licht in ausreichender Menge aus einem Loch am Ende desselben bereitzustellen.
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Um die obenbeschriebenen Probleme
zu lösen,
haben die Erfinder einen Fühler
für ein
optisches Nahfeldmikroskop konzipiert, wie in Anspruch 1 definiert
ist.
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Die Verwendung eines Glasrohres wie
des obenbeschriebenen Rohres ermöglicht,
eine mikroskopische Öffnung
auszubilden und einen Fühler leicht
herzustellen. Wenn in diesem Fall Licht mit einer Wellenlänge, die
von Glas durchgelassen wird, verwendet wird, es ist möglich, ein
Austreten von Licht zu verhindern, da wenigstens die Außenseite des
kegelförmigen
Abschnitts mit einem Material wie z. B. metallbeschichtet ist, das
eine elektromagnetische Welle blockiert.
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Wenn ferner ein optisches Hebelverfahren für die Regelung
des Abstands zwischen einer Probe und dem Fühler auf der Grundlage einer
Atomkraftregelung verwendet wird, kann eine stabilere Erfassung
erreicht werden, in dem eine Spiegeloberfläche auf der Oberfläche des
Rohres der Öffnung
gegenüberliegend
ausgebildet wird.
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Ferner kann die Beobachtung im Ultraviolettbereich
und im Infrarotbereich ausgeführt
werden, in dem ein optisches Nahfeldrastermikroskop mit wenigstens
einer Lichtquelle, einem optischen Sammelsystem, einem Mittel für die relative
Bewegung zwischen einem Fühler
und einer Probe, einem optischen Detektor und dem obenbeschriebenen
Fühler für ein optisches
Nahfeldmikroskop konfiguriert wird. Diese Vorrichtung kann eine
Konfiguration aufweisen, bei der das gesammelte Licht von der Seite
des Fühlers
gegenüberliegend
der Öffnung
in das Loch geleitet wird, sowie eine Konfiguration, bei der das Erfassungslicht
von der Seite des Fühlers,
die der Öffnung
gegenüberliegt,
von einem optischen System gesammelt wird.
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Im folgenden werden Ausführungsformen der
Erfindung lediglich beispielhaft und mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen
beschrieben, in welchen:
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1A, 1B und 1C schematische Ansichten sind, die eine
Struktur eines Fühlers
für ein
optisches Nahfeldmikroskop gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigen;
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2A, 2B, 2C und 2D Ansichten
sind, die Schritte zur Herstellung eines Fühlers für ein optisches Nahfeldmikroskop
gemäß der vorliegenden Erfindung
zeigen;
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3A, 3B, 3C, 3D und 3E schematische Ansichten
sind, die Konfigurationen von optischen Nahfeldmikroskopen gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigen;
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4A und 4B Ansichten sind, die Beispiele von
Mitteln zum Erfassen der Verschiebung eines Fühlers für ein optisches Nahfeldmikroskop
gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigen; und
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5A, 5B, 5C, 5D, 5E und 5F Ansichten sind, die Schritte zur Herstellung
eines Fühlers
für ein optisches
Nahfeldmikroskop gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigen.
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Im folgenden werden Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung unter Verwendung der Zeichnungen genauer
beschrieben.
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Die 1A, 1B und 1C zeigen schematisch einen Fühler für ein optisches
Nahfeldmikroskop gemäß der vorliegenden
Erfindung. In 1A ist
der Fühler
ein Rohr, das thermisch erweitert und abgeschnitten worden ist und
einen kegelförmigen
Abschnitt 11 und eine mikroskopische Öffnung 12 aufweist,
wobei der Abschnitt als Endabschnitt eines thermisch gebogenen,
hakenförmigen
Abschnitts 13 konfiguriert ist und eine Struktur aufweist,
in der ein Teil des Rohres, der der Öffnung gebogenen Abschnitts
gegenüberliegt,
entfernt ist, bis der Hohlraum des Rohres erreicht ist, so dass
kein Hindernis im Raum zwischen einer so ausgebildeten Öffnung 14 und
der Öffnung 12 am
Ende besteht. 1B zeigt
eine Schnittansicht und zeigt ein Beispiel, bei dem ein Metallbeschichtungsfilm 16 um
das Rohr 15 ausgebildet ist.
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Während
ein Metallbeschichtungsfilm auf der Außenoberfläche des kegelförmigen Abschnitts in 1B ausgebildet ist, kann
auch ein Film wie z. B. eine Metallbeschichtung, die eine elektromagnetische
Welle blockiert, auf der Innenoberfläche des kegelförmigen Abschnitts
ausgebildet sein, wie in 1C gezeigt
ist. Dies ist effektiv, wenn infrarotes Licht verwendet wird, das
einer signifikanten Absorption durch Glas unterliegt.
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Als nächstes zeigen die 2A, 2B, 2C und 2D ein Beispiel von Schritten
zur Herstellung eines Fühlers
gemäß der vorliegenden
Erfindung. In 2A wird
ein Teil eines Glasrohres 20 z. B. mittels Laserstrahlen 21 erhitzt,
um eine Spannung 22 auf das Rohr auszuüben, wobei ein Ende des Glasrohres angespitzt
wird und eine kegelförmige
Konfiguration aus dem Ende gebildet wird. Zu diesem Zeitpunkt wird
eine mikroskopische Öffnung 12,
die die Form des Rohres widerspiegelt, an dem Ende ausgebildet, wobei,
wie bereits bekannt ist, die Steuerbarkeit des Durchmessers der Öffnung sehr
gut ist. Mittel, die für die
Erhitzung zu diesem Zeitpunkt geeignet sind, umfassen Verfahren,
wie z. B. die Bestrahlung mit einem Kohlenstoffdioxidgas-Laser,
die Erwärmung
mit einer Spulenheizvorrichtung und die Erwärmung mit einem Brenner. Wie
in 2B als nächstes gezeigt
ist, werden Kohlendioxidgas-Laserstrahlen 21 auf einen
Teil eines abgeschnittenen Rohres 23 aufgebracht, der etwa
0,1 bis 1 mm von einem Ende 24 einer Seite desselben in
einer Richtung beabstandet ist. Als Ergebnis wird die eine Seite
deutlich stärker
erwärmt als
die andere Seite, wobei dann, wenn die Erweichung beginnt, eine
gebogene Konfiguration auf der erhitzten Seite durch die Oberflächenspannung
ausgebildet werden kann. Wie in 2C gezeigt
ist, wird folglich ein Teil des Rohres auf dem gebogenen Abschnitt,
der der Öffnung 12 am
gebogenen Abschnitt 25 gegenüberliegt, entfernt, bis der
Hohlraum im Rohr erreicht ist. Dieser Schritt der Entfernung kann unter
Verwendung einer Schleifplatte 26 ausgeführt werden.
Als alternatives Verfahren können
fokussierte Ionenstrahlen verwendet werden. Wie in 2D gezeigt ist, wird anschließend, wenn
das optische Hebelverfahren verwendet wird, um den Abstand zwischen
der Probe und dem Fühler
auf der Grundlage der Atomkraftregelung zu regeln, ein Schleifen durchgeführt, um
einen flachen Abschnitt 15 auszubilden, der als Spiegel
auf der Oberfläche
des Rohres der Öffnung
gegenüberliegend
dient. Wenn ferner Licht mit einer Wellenlänge, die von Glas durchgelassen
wird, verwendet wird, wird die Außenseite des kegelförmigen Abschnitts
mit einem Material wie z. B. mit einem Metall beschichtet, das eine
elektromagnetische Welle blockiert. Die Vakuumabscheidung, das Sputtern,
die CVD oder die stromlose Plattierung können verwendet werden, um den
Metallfilm auszubilden. Wenn der Beschichtungsfilm auf der Innenoberfläche ausgebildet
wird, können
das stromlose Plattieren oder die CVD verwendet werden.
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Ein zweites Beispiel von Schritten
für die Herstellung
eines Fühlers
gemäß der vorliegenden Erfindung
ist in den 5A, 5B, 5C, 5D, 5E und 5F gezeigt. In 5A wird ein Teil eines Glasrohres 20 z.
B. mittels Laserstrahlen 21 erhitzt, um eine Spannung 22 auf
das Rohr auszuüben,
um somit ein Ende des Rohres anzuspitzen und eine kegelförmige Konfiguration
aus dem Ende zu bilden. Wie in 5B gezeigt
wird, werden als nächstes
Kohlenstoffdioxidgas-Laserstrahlen 21 auf einen Teil eines
abgeschnittenen Rohres 23 aufgebracht, der etwa 0,1 bis 1
mm von einem Ende 24 desselben auf einer Seite derselben
in einer Richtung beabstandet ist. Als Ergebnis wird die eine Seite
deutlich stärker
erhitzt als die andere Seite, wobei dann, wenn die Erweichung beginnt,
eine gebogene Konfiguration auf der erwärmten Seite mittels Oberflächenspannung
ausgebildet werden kann. Wenn das optische Hebelverfahren verwendet
wird, um den Abstand zwischen der Probe und dem Fühler auf
der Grundlage einer Atomkraftregelung zu regeln, wie in 5C gezeigt ist, wird ein
Schleifen durchgeführt,
um einen flachen Abschnitt 15 auszubilden, der als Spiegel
auf der Oberfläche
des Rohres gegenüberliegend
der Öffnung dient.
Anschließend
wird das Rohr mit einem dünnen Schutzfilm 60 beschichtet,
der aus Gold oder dergleichen gefertigt wird, und der durch ein Ätzmittel
wie z. B. Hydrogenfluoridwasser nicht korrodiert wird (5D). Wie in 5E gezeigt ist, wird anschließend der
beschichtete Abschnitt eines Teils des Rohres, der der Öffnung 12 gegenüberliegt,
am gebogenen Abschnitt 25 entfernt, wobei die Entfernung
bis kurz vor dem Hohlraum des Rohres fortschreitet. Der Schritt
der Entfernung kann unter Verwendung einer Schleifplatte 26 ausgeführt werden.
Als alternative Verfahren können
fokussierte Ionenstrahlen verwendet werden. Anschlie ßend wird
der Abschnitt, von dem die Beschichtung entfernt worden ist, durch Ätzen unter
Verwendung eines Ätzmittels,
wie z. B. Hydrogenfluoridwasser, entfernt, um ein Ätzen auszuführen, bis
es bis zum Hohlraum vorgedrungen ist. Zu diesem Zeitpunkt, wie in 5F gezeigt ist, braucht nur
der zu ätzende
Abschnitt mit dem Hydrogenfluoridwasser in einer Flüssigkeit
mit zwei Phasen aus Hydrogenfluoridwasser 61 und einem
organischen Lösungsmittel 62 in
Kontakt gebracht werden, um zu verhindern, dass andere Abschnitte
versehentlich korrodiert werden. Wenn Gold als dünner Schutzfilm verwendet wird,
dient es ferner als Material zum Blockieren einer elektromagnetischen
Welle. Um die Haftung des Goldes zu verbessern, kann ein dünner Film
aus Titan, Chrom oder dergleichen zwischen dem Glas und dem Gold
abgeschieden werden.
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Obwohl im ersten Beispiel der Schritte Schleifpartikel
in die mikroskopische Öffnung
während
des Schritts des Entfernens des Teils des Rohres gegenüberliegend
von der Öffnung 12 am
gebogenen Abschnitt 25, bis dieses hindurchdringt, eintreten
können,
ist das zweite Beispiel der Schritte insofern vorteilhaft, als dieses
Problem nicht auftritt, obwohl die Anzahl der Schritte erhöht ist.
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Insbesondere bezüglich der Größe des Fühlers kann
z. B. ein Glasrohr mit einem Außendurchmesser
von 210 μm
und einem Innendurchmesser von 127 μm verwendet werden. Eine Lichtleitfaser
mit einem Außendurchmesser
von 125 μm
kann in dieses eingesetzt werden. Wenn ein solches Glasrohr mit
einem Außendurchmesser
von 210 μm
verwendet wird, ergibt dies eine Resonanzfrequenz von etwa 5 bis
20 kHz, wenn es in einem Abstand von 1 bis 2 mm von einem seiner
Enden befestigt wird. Alternativ kann z. B. ein Glasrohr mit einem
Außendurchmesser
von etwa 120 μm
und einem Innendurchmesser von etwa 75 μm verwendet werden. Die Größe der mikroskopischen Öffnung kann
bis zu einer Größe von etwa
50 nm bis 1 μm
bearbeitet werden, wenn ein Glasrohr verwendet wird. Der Metallfilm
als Material zum Blockieren einer elektromagnetischen Welle muss
eine Dicke von etwa 100 bis 250 nm aufweisen.
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Im folgenden wird eine Konfiguration
eines optischen Nahfeldrastermikroskops beschrieben, dass diesen
Fühler
verwendet. In 3A ist
ein Fühler
31 gemäß der vorliegenden
Erfindung mit der mikroskopischen Öffnung 12 versehen,
die nahe der Oberfläche
der Probenplatte 32 angeordnet ist; die Öffnung 14,
die durch Schleifen ausgebildet worden ist, ist in einer Richtung
senkrecht zur Oberfläche
der Probe ausgehend von der mikroskopischen Öffnung angeordnet; und ein
primäres
Federelement des Fühlers 31 ist
senkrecht zur Oberfläche
der Probe vorgesehen. Eine Lichtquelle 33 und ein optisches System,
das eine Linse 34, einen Spiegel 35 und dergleichen
umfasst, sind oberhalb der Öffnung 14 vorgesehen,
um Licht zu sammeln und die Öffnung 14 zu
leiten. Als Ergebnis wird die Oberfläche der Probe mit Licht aus
der mikroskopischen Öffnung 14 bestrahlt.
Im Beispiel der 3A ist
ein optisches Sammelsystem 36 unter der Probenplatte 32 vorgesehen, um
das durch die Probe durchgelassene Licht zu sammeln, wobei ein optischer
Detektor 37 die Intensität des Lichts erfasst. In diesem
Beispiel wird der Abstand zwischen dem Ende des Fühlers und
der Oberfläche
der Probe unter Verwendung des optischen Hebelverfahrens geregelt,
bei dem ein Strahl auf die Spiegeloberfläche 15 von einer Lichtquelle 38 projiziert
wird und die Verschiebung des reflektierten Strahls durch einen
unterteilten optischen Detektor 39 als Verschiebung des
Fühlers
erfasst wird. Die Probenplatte 32 auf dem Probentisch 41 kann
in X-, Y- und Z-Richtungen durch ein Mittel 40 für die relative
Bewegung zwischen dem Fühler
und der Probe bewegt werden, wobei eine Steuervorrichtung 42 die Abtastung
auf der XY-Ebene durchführt
und automatisch eine Regelung des Abstands in Z-Richtung längs der Konfiguration der Oberfläche der
Probe durchführt.
Die Aufnahme des erfassten optischen Signals wird gleichzeitig mit
der Regelung des Abstand ausgeführt.
Als Mittel für
die relative Bewegung wird eine Messschraube oder ein Schrittmotor
als ein Grobbewegungsmechanismus verwendet, während ein piezoelektrisches
Element als Feinbewegungsmechanismus verwendet wird. Wenn ferner
der Fühler
unter Verwendung einer Oszillation gesteuert wird, kann eine piezoelektrische
Membran 44 zwischen dem Fühlerbefestigungsmittel 43 und
dem Fühler 31 vorgesehen
sein, wobei eine Wechselstromquelle 45 verwendet werden
kann, um den Fühler 31 in
Schwingungen zu versetzen.
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3B ist
eine Ansicht, die einen Teil einer Vorrichtung als Variation des
optischen Nahfeldrastermikroskops gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
Dieses Beispiel weist eine Konfiguration auf, in der dann, wenn
die Oberflä che
der Probenplatte 32 aus der mikroskopischen Öffnung 12 bestrahlt
wird, Licht in Richtung der Reflexion von der Oberfläche mittels
des optischen Sammelsystems 36 gesammelt wird.
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3C zeigt
eine Konfiguration, bei der die Oberfläche der Probe direkt mit Licht
bestrahlt wird, wobei das Licht, das durch die mikroskopische Öffnung 12 in
die Probe eingedrungen ist, vom optischen Sammelsystem 36 durch
die Öffnung 14 gesammelt
wird.
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3D zeigt
eine Konfiguration, bei der die Oberfläche der Probenplatte 32 mit
Licht aus der mikroskopischen Öffnung 12 durch
die Öffnung 14 des Fühlers bestrahlt
wird, und bei der das Licht von der Oberfläche der Probe vom optischen
Sammelsystem 36 durch die mikroskopische Öffnung 12 und
die Öffnung 14 gesammelt
wird, um das durch einen Halbspiegel oder dichroitischen Spiegel 46 durchgelassene
Licht zu erfassen.
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3E zeigt
eine Konfiguration, in der Licht von der Lichtquelle 33 veranlasst
wird, auf die untere Oberfläche
der Probenplatte 32 direkt aufwärts oder in einem Winkel, der
zu einer Totalreflexion an der Oberfläche der Probe führt, aufzutreffen,
unter Verwendung einer optischen Komponente 47 wie z. B. eines
Prismas, und bei der das Licht von der Probenoberfläche, das
durch die Öffnung 14 und
die mikroskopische Öffnung 12 gelaufen
ist, gesammelt wird.
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Als optisches Sammelsystem, das in
den obigen Beispielen der Konfiguration verwendet wird, können nicht
nur eine Linse oder dergleichen, die aus Glas oder Kristall gebildet
sind, sondern auch eine Reflexionstyplinse (Cassegrain-Linse) verwendet werden.
Das obenbeschriebene System kann somit im Ultraviolettbereich oder
im Infrarotbereich verwendet werden, wobei der Vorteil eines Fühlers gemäß der vorliegenden
Erfindung genutzt wird.
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Obwohl ferner in den obigen Beispielen
das optische Hebelverfahren als Verfahren zum Erfassen der Verschiebung
eines Fühlers
verwendet wird, können
andere Verfahren zum Erfassen einer Verschiebung verwendet werden.
Wie in 4A gezeigt ist, kann
z. B. die Verschiebung auch durch das Sammeln von Licht von der
Lichtquelle 38 mit einer Linse 51, Projizieren desselben
auf den Fühler 31 auf
einer Seite desselben und Erfassen von Interferenzlicht mit dem
unterteilten optischen Detektor 39 erfasst werden.
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Wie in 4B gezeigt
ist, kann die Verschiebung des Fühlers
ferner erfasst werden, indem ein piezoelektrisches Element 52 zum
Erfassen einer Verschiebung separat von der piezoelektrischen Membran 44 vorgesehen
wird und Änderungen
der elektrischen Eigenschaften des piezoelektrischen Elements überwacht
werden.
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Eine Vorrichtung mit der obenbeschriebenen Konfiguration
ermöglicht,
eine Beobachtung der optischen Auflösung von optischen Informationen
im Ultraviolettbereich und im Infrarotbereich sowie eine Beobachtung
von Bildern von Merkmalen gleichzeitig auszuführen. Die Verwendung eines
Erfassungselements, einer Modulationsschaltung, eines Einrastverstärkers oder
dergleichen in Abhängigkeit
von der jeweiligen Messung ermöglicht,
physikalische Eigenschaften wie z. B. die Reibung, die Viskoelastizität und das
Oberflächenpotential
gleichzeitig zu beobachten. Zum Beispiel erfordert die Messung der
Reibung einen vierteiligen optischen Detektor zum Erfassen von Torsionskomponenten
des Fühlers.
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Der Fühler für ein optisches Nahfeldmikroskop
und das optische Nahfeldmikroskop gemäß der vorliegenden Erfindung
ermöglichen,
mikroskopische Öffnungen
mit hoher Reproduzierbarkeit auszubilden, und erlauben die praktische
Verwendung derselben in der Technik der optischen Nahfeldmikroskope,
um eine Beobachtung der optischen Auflösung von optischen Informationen
im Ultraviolettbereich und im Infrarotbereich, eine Beobachtung
von Bildern von Merkmalen und eine Beobachtung von physikalischen
Eigenschaften wie z. B. der Reibung, der Viskoelastizität und des
Oberflächenpotentials
gleichzeitig durchzuführen.