DE69911047T2 - Verfahren zur realisierung von empfängen für elektromagnetische wellen durch verbinden von integrierten schaltkreisen in drei dimensionen - Google Patents

Verfahren zur realisierung von empfängen für elektromagnetische wellen durch verbinden von integrierten schaltkreisen in drei dimensionen Download PDF

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q21/00Antenna arrays or systems
    • H01Q21/0087Apparatus or processes specially adapted for manufacturing antenna arrays
    • H01Q21/0093Monolithic arrays

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Funkempfängern durch Verbindung von integrierten Schaltungen in drei Dimensionen.
  • Sie ist insbesondere auf die Herstellung von Empfängern anwendbar, die unter der Abkürzung GPS (englisch: Global Positioning System) bekannt sind und in Munition vom Typ eines Geschosses oder eines Flugkörpers zur Verbesserung der Abschüsse eingebaut sind. Die Erfindung kann aber auch auf andere Gebiete erstreckt werden, sofern ein GPS oder ein Funkempfänger in einem kleinen Volumen oder in beweglichen Körpern untergebracht werden soll, wenn diese erheblichen Beschleunigungen und Verzögerungen unterliegen.
  • Das GPS, das ursprünglich im Jahr 1973 in den USA für militärische Anwendungen entwickelt wurde, hat die Welt der Schifffahrts- und Flugnavigation revolutioniert und dann Eingang in zivile Anwendungen, insbesondere für die Freizeit, gefunden.
  • Mithilfe von GPS ist es möglich, in jedem Augenblick und an jeder Stelle der Erde mithilfe eines Empfängers und einer Antenne Funksignale zu empfangen, die von mindestens sechs Satelliten ausgesendet werden und den Benutzer in die Lage versetzen, seine exakte Position nach Länge, Breite und Höhe zu kennen.
  • Im Gebiet der Artillerie kann ein in das Geschoß eingebautes GPS mithilfe eines Transponders Korrekturbefehle für die Flugbahn ausgehend von einer Bodenstation übermitteln, oder man kann unmittelbar ein Korrektursystem für die Flugbahn ausgehend von der Position des Geschosses und der Koordinaten eines Zielpunkts steuern.
  • Mehrere Probleme treten hierbei auf. Einerseits müssen die elektronischen Schaltungen auch unter sehr harten Beschleunigungsbedingungen von 15000 bis 20000 g während mehrerer Millisekunden arbeiten und andrerseits muß für bestimmte Arten von Geschossen der von der Einheit eingenommene Platz sehr gering sein, beispielsweise in der Größenordnung von einigen cm3.
  • Um diese Probleme zu lösen, kann man eine Integration in dreidimensionaler Technologie, nachfolgend 3D-Technologie genannt, in Betracht ziehen, wie sie in dem Patent FR-A-2 670 323 auf den Namen von Thomson-CSF beschrieben ist.
  • Das beschriebene Verfahren besteht darin, eine Verbindung zwischen gestapelten Halbleiterchips mit je einer integrierten Schaltung zu realisieren.
  • Die Halbleiterchips werden miteinander über Anschlußpunkte fest verbunden. Die Anschlußpunkte sind je an einer beliebigen der Seiten des Stapels angeschlossen mit einer Ausnahme, der Basis, die mit einem Substrat einer Druckschaltung in Kontakt stehen soll. Die Bildung der Anschlüsse der Chips untereinander erfolgt an den Seiten des Stapels durch Lasergravur.
  • Die Anwendung dieses Verfahrens auf die Herstellung eines GPS für ein Geschoß erlaubt es nicht, gewisse Bedingungen hinsichtlich des Volumens zu erfüllen, insbesondere wegen der parallelepipedischen Form der Chips und wegen der Antenne, die außen an die Chips angeschlossen ist. Dies hat auch die Wirkung, daß die so realisierte Vorrichtung hinsichtlich ihrer Empfindlichkeit gegenüber Beschleunigungen beim Abschuß der Munition sehr verletzbar ist.
  • Ziel der Erfindung ist es, die obigen Nachteile zu beheben.
  • Hierzu ist Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Funkempfängers, der an eine Empfangsantenne gekoppelt ist, durch Stapelung von Halbleiterchips, die je mindestens eine integrierte Schaltung sowie Anschlußpunkte besitzen, um die Chips untereinander zu verbinden, dadurch gekennzeichnet, daß es darin besteht, die äußere Oberfläche der gestapelten Chips mit Metall zu beschichten, um eine Masse-Ebene des Empfängers zu bilden, die Masse-Ebene mit einem dielektrischen Material zu bedecken, die Oberfläche des dielektrischen Materials wieder mit Metall zu beschichten und die Antenne des Empfängers in der so erhaltenen metallischen Oberfläche zu gravieren.
  • Die Erfindung hat auch die Verwendung des Verfahrens zur Realisierung eines GPS-Empfängers zum Gegenstand, der in eine Munition eingebaut ist.
  • Der wesentliche Vorteil der Erfindung besteht darin, daß sie eine Realisierung van in eine Munition eingebauten Funkempfängern erlaubt, die eine ausreichende Unempfindlichkeit gegen Beschleunigungen besitzen, denen die Munition ausgesetzt ist. Daher gewährleistet die Erfindung eine größere Wirksamkeit der Abschüsse über große Entfernungen, da bekanntlich ohne eine Vorrichtung zur Korrektur der Flugbahn die Wirksamkeit sehr schnell mit der Reichweite der Munition wegen der Zielfehler und der Streufehler abnimmt.
  • Bekanntlich ist es jenseits einer Reichweite von 15 km erforderlich, die Flugbahn zu korrigieren, aber man braucht, um die gegnerischen Artillerie-Batterieeinheiten in einem sicheren Abstand zu halten, Reichweiten von 35 km. Für 35 km beträgt die typische Abweichung hinsichtlich der Reichweite etwa 600 m und in Seitenrichtung etwa 200 m.
  • Die erfindungsgemäße Realisierung eines Funkempfängers durch Stapelung von Halbleiterchips mit einer auf die äußere Oberfläche der Chips eingravierten Antenne bildet ein gutes Mittel, um ein eingebautes Navigationshilfsmittel darzustellen, das die Munition während ihres Flugs lokalisieren und eine Korrektur der Flugbahn durchführen kann, sodaß die Munition ihr Ziel erreicht.
  • Andere Merkmale und Vorzüge der Erfindung werden nun anhand der beiliegenden Zeichnungen näher erläutert.
  • 1 zeigt die verschiedenen Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens in Form eines Flußdiagramms.
  • 2 zeigt eine Ausführungsart in Form der Ver drahtung auf einer TAB-Folie (Tape Automated Bonding).
  • 3 zeigt einen integrierten Modul ohne die Antennen.
  • 4 zeigt einen integrierten Modul mit der Masse-Ebene der Antenne.
  • 5 zeigt einen integrierten Modul mit dem Substrat der Antenne.
  • 6 zeigt einen integrierten GPS-Modul in 3D-Technologie.
  • Die 7a, 7b und 7c zeigen verschiedene Integrationsmodelle.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren läuft in sechs Schritten 1 bis 6 ab (siehe 1.
  • Der Schritt 1 besteht darin, in bekannter Weise in Form von ASIC-Chips (Application Specific Integration Circuit) spezifische Komponenten des GPS-Empfängers zu realisieren.
  • Die Verdrahtung der Chips oder diskreten Komponenten erfolgt im Schritt 2 auf biegsamen Druckschaltungen auf der Basis von Polyamid, Epoxy oder auch auf einer Folie nach dem TAB-Verfahren (Tape Automated Bonding). Für einen GPS-Empfänger kann man vier solche Folien einsetzen, nämlich eine Folie 7 für die Stromversorgung, zwei Folien 8 und 9 mit der Signalverarbeitungselektronik und eine Folie 10 für die Hochfrequenzschaltungen.
  • Die Folien 7 bis 10 werden im Schritt 3 in ein Epoxyharz eingebettet, um Chips zu bilden. Währenddes Schritts 3 werden die Chips auch gemäß der Form der Fenster der TAB-Folie ausgeschnitten, und sie werden übereinander gestapelt, um einen Empfängermodul zu bilden. Die Verbindungen zwischen den verschiedenen Folienebenen können nach dem Verfahren realisiert werden, das in der bereits erwähnten Patentschrift FR-A-2 670 323 beschrieben ist. Nach der Metallbeschichtung der Stirnseiten der Chips werden die Querverbindungen zwischen den Chips durch Lasergravur gebil det, und die Leiterbahnen werden durch eine Isolationsschicht geschützt. Die Stapelung der Chips ist in 3 gezeigt. Gleiche Elemente wie in 2 tragen dieselben Bezugszeichen. Anschlußpunkte 11 zum Anschluß des Moduls an eine nicht dargestellte äußere Druckschaltung werden nach dem bekannten HGA-Verfahren (Hall Grid Array) gebildet. Ausgänge 12a, 12b zum Anschluß der Hochfrequenzfolie an die Antenne werden auch gebildet.
  • Der Schritt 4 besteht darin (4), eine Metallschicht auf die äußeren Seiten des aus gemäß dem Schritt 3 gestapelten Chips zusammengesetzten Moduls aufzubringen, um die Masse-Ebene der Antenne zu erzeugen.
  • Im Schritt 5 (5) wird ein dielektrisches Material mit hoher Dielektrizitätskonstante auf die Seiten des Moduls aufgebracht und darauf im Schritt 6 eine Metallschicht, die in Form der Antennen 13a, 13b graviert wird, wie 6 zeigt. Die Antennen sind vorzugsweise um den ganzen Modul herum graviert, sodaß stets eine Antenne aktiv ist, also in der Lage ist, Daten vom GPS-Satellitennetz zu empfangen, wenn sich die Munition um sich selbst dreht.
  • Grundsätzlich ermöglicht die 3D-Technologie eine Realisierung in verschiedensten Formen und die Verwendung von Antennen gleicher Form oder von Mikrostripantenne, die im Englischen Patch genannt werden und deren Gravur an der Oberfläche der Moduln graviert wird.
  • Die 6a bis 6c zeigen verschiedene Integrationslösungen, die bestimmte Volumenbedingungen erfüllen können.
  • 6a zeigt eine Realisierung eines würfelförmigen Moduls und Patch-Antennen an vier Seiten des Würfels.
  • 6b zeigt einen zylindrischen Modul mit einer rundum verlaufenden Bandantenne.
  • Schließlich zeigt 6c einen Modul in Form eines zylindrischen Kegels mit einer Antenne aus mehreren Adern.
  • 7 zeigt einen nach dem erfindungsgemäßen verfahren hergestellten GPS-Modul, der in einen Artillerieflugkörper eingebaut ist. Gemäß dieser Ausführungsform liegt der GPS-Modul 14 in der Nase des Flugkörpers. Man kann erkennen, daß er sehr geringe Abmessungen hat in Richtung der Längsdimension des Flugkörpers, die in diesem Beispiel etwa 145 mm beträgt, während der maximale Durchmesser etwa 50 mm beträgt.
  • Die obige Beschreibung, die sich auf eine Realisierung vom Typ GPS bezieht, schränkt aber die Erfindung nicht ein. Selbstverständlich kann die Erfindung auch auf die Miniaturisierung beliebiger Funkempfänger angewendet werden, insbesondere wenn der Empfänger in einem rauhen mechanischen Umfeld funktionieren und doch wenig Platz einnehmen soll.

Claims (9)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Funkempfängers, der an eine Empfangsantenne gekoppelt ist, durch Stapelung (3) von Halbleiterchips, die je mindestens eine integrierte Schaltung sowie Anschlußpunkte besitzen, um die Chips untereinander zu verbinden, dadurch gekennzeichnet, daß es darin besteht, die äußere Oberfläche der gestapelten Chips mit Metall zu beschichten (4), um eine Masse-Ebene des Empfängers zu bilden, die Masse-Ebene mit einem dielektrischen Material zu bedecken (5), die Oberfläche des dielektrischen Materials wieder mit Metall zu beschichten (6) und die Antenne des Empfängers in der so erhaltenen metallischen Oberfläche zu gravieren.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterchips durch Verdrahtung von elektronischen Bausteinen auf TAB-Folien und anschließendes Einhüllen in ein Epoxyharz erhalten werden.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß es darin besteht, die Chips so zu stapeln, daß sich ein Würfel ergibt.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß es darin besteht, Patch-Antennen auf die Würfelflächen zu gravieren.
  5. Verfahren nach einem beliebigen der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß es darin besteht, die Chips zylindrisch zu formen.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß es darin besteht, eine Bandantenne rund um den Zylinder zu gravieren.
  7. Verfahren nach einem beliebigen der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß es darin besteht, die Chips in Form eines Kegels zu stapeln.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß es darin besteht, die Antennen auf der Oberfläche des Kegels zu gravieren.
  9. Verwendung des Verfahrens nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 8 zur Realisierung eines GPS-Empfängers, der in eine Munition eingebaut ist, oder zur Realisierung von Funkempfängern.
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