DE69815248T2 - Einrichtung zum Messen eines optischen, kennzeichnenden Parameters - Google Patents

Einrichtung zum Messen eines optischen, kennzeichnenden Parameters Download PDF

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung der optischen Eigenschaften eines mit Hilfe eines Laserstrahls abgetragenen Abtragungs-Normals, eine Vorrichtung zur Messung einer Abtragungsrate, die dasselbige umfasst, und eine Vorrichtung, die entweder die erstere oder die letztere umfasst.
  • 2. Beschreibung des Standes der Technik
  • Eine wohlbekannte Bearbeitungsvorrichtung trägt ein Objekt mit einem Laserstrahl ab. Die Bearbeitungsvorrichtung trägt eine Hornhautoberfläche mit einem Excimerlaser-Strahl ab und bewirkt somit eine Änderung ihrer Krümmung, um eine Fehlsichtigkeit eines Augapfels zu korrigieren.
  • Wenn ein Excimerlaser unter konstanten Bearbeitungsbedingungen aufeinanderfolgend arbeitet, wird angenommen, dass die Abtragungstiefe pro einzelnem Schuss bei der Bestrahlung desselben zu bearbeitenden Objekts in etwa konstant ist. (Wobei die Abtragungstiefe in der Beschreibung als "Abtragungsrate" bezeichnet wird, und ein Schuss wird in der bevorzugten Ausführungsform als "ein Scan" bezeichnet). Die Abtragungsrate ändert sich jedoch häufig aufgrund der Art des zu bearbeitenden Objekts, des zeitlichen Ablaufs, wann der Laser arbeitet, einiger Faktoren wie der Ausgangsenergie des Lasers, der Bearbeitungsbedingung und dergleichen. Die Änderung der Abtragungsrate hat negative Auswirkungen auf eine Vorrichtung, wie die Notwendigkeit einer exakten Tiefenkontrolle, insbesondere auf eine Vorrichtung zur Abtragung der Hornhaut, um ihr eine gewünschte und definierte Form zu verleihen. Es ist jedoch schwierig, eine tatsächliche Abtragungsrate der Hornhaut zu bekommen.
  • Daher hat der vorliegende Anmelder in der USP 5 624 436, die der offengelegten japanischen Patentanmeldung mit der Nr. HEI6 (1994)-226471 entspricht, eine Vorrichtung vorgeschlagen, durch die die Bedienperson leicht eine Abtragungsrate erhalten kann, wobei die Vorrichtung auf der Grundlage der Abtragungsrate reguliert wird. Die in der Veröffentlichung offenbarte Vorrichtung trägt ein Abtragungs-Normal ab, das eine bekannte Abtragungsrate (eine transparente Platte aus PMMA (Polymethylmetacrylat)) aufweist, wobei eine Abtragungsrate eines Objektes (einer Hornhaut) unbekannt ist, um das Abtragungs-Normal in eine solche gekrümmte Oberfläche zu formen, dass sie die gewünschten optischen Eigenschaften aufweist. Anschließend misst die Bedienperson mit einem Messmittel (einem Scheitelbrechwertmesser) die optischen Eigenschaften der tatsächlich ausgebildeten gekrümmten Oberfläche des Abtragungs-Normals. Die Bedienperson gibt dann die gemessenen Daten in die Vorrichtung ein und lässt die Vorrichtung die Abtragungsrate des zu verarbeitenden Objektes berechnen, indem die gewünschten optischen Eigenschaften mit den tatsächlichen optischen Eigenschaften verglichen werden, und korrigiert somit Steuerungs- bzw. Antriebsinformationen der Vorrichtung.
  • Bezugnehmend auf das vorgenannte Verfahren lässt die Bedienperson das Normal mit Hilfe der Vorrichtung abtragen und muss dann das Normal von der Abtragungsvorrichtung zu einem handelsüblichen Scheitelbrechwertmesser bewegen, um das Objekt zu messen. Für die Bedienperson ist dies schwierig, und es beansprucht viel Zeit. Die Genauigkeit der Messergebnisse wird leicht und empfindlich von der Ausrichtung des Normals bezüglich eines optischen Messsystems des Scheitelbrechwertmessers, sowie der Geschicklichkeit und dem Know-How der Bedienperson, die es bedient, beeinflusst.
  • Darüber hinaus besteht die Möglichkeit künstlicher Fehler beim Lesen und Eingeben der Messergebnisse, wenn die Bedienperson die mit dem Scheitelbrechwertmesser gemessenen Ergebnisse liest und mit Hilfe von Eingabemitteln mit einer Tastatur oder dergleichen in die Abtragungsvorrichtung eingibt. Ein Eingabevorgang ist außerdem mühsam für die Bedienperson und erfordert viel Zeit.
  • KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung ist im Hinblick auf die obigen Umstände gemacht worden und hat zum Ziel, die obigen Probleme zu überwinden und eine Vorrichtung bereitzustellen, mit der eine Bedienperson die optischen Eigenschaften nach einer Abtragung exakt und leicht messen kann, ohne dabei ein Abtragungs-Normal zu bewegen. Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung bereitzustellen, deren Bedienung für die Bedienperson nicht mühsam ist, und eine Vorrichtung bereitzustellen, durch die künstliche Fehler reduziert werden können.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung zur Messung der optischen Eigenschaften eines Abtragungs-Normals mit bekannter Abtragungsrate bereitgestellt, die Folgendes umfasst: Ein Haltemittel zum Halten des Abtragungs-Normals, so dass eine Oberfläche davon in einer ersten vorbestimmten Höhe sein kann, ein Brechkraft-Messmittel zur Messung einer Brechkraft des Abtragungs-Normals, das ein optisches Projektionssystem zur Projektion eines Ziellichtstroms, der zur Messung der Brechkraft verwendet wird, auf das Abtragungs-Normal, das durch das Haltemittel gehalten wird, und ein optisches Erfassungssystem zur Erfassung des durch das optische Projektionssystem projizierten Ziellichtstroms, und ein Ausgabemittel zur Ausgabe der Brechungskraft des mit dem Brechkraft-Messmittel gemessenen Abtragungs-Normals, gekennzeichnet durch ein erstes Gehäuse und ein zweites Gehäuse, in denen das optische Projektionssystem und das optische Erfassungssystem getrennt untergebracht sind, wobei die Brechkraft des Abtragungs-Normals, die von dem Ausgabemittel ausgegeben wird, dazu verwendet wird, eine Abtragungsrate einer Abtragungsvorrichtung zur Abtragung eines mit dem Laserstrahl zu bearbeitenden Objekts zu berechnen und/oder ein Änderungsverhältnis der Abtragungsrate zu berechnen, wobei das erste Gehäuse mit einer Öffnung versehen ist, durch die der Ziellichtstrom hindurchgeht, das Abtragungs-Normal durch das Haltemittel oberhalb des Öffnung gehalten wird, und eine optische Achse des optischen Systems, das in dem ersten Gehäuse untergebracht ist, mit einer mittleren Achse der Abtragungsvorrichtung zusammenfällt, wenn das erste Gehäuse in einer vorbestimmten Position in Bezug auf die Abtragungsvorrichtung angeordnet ist, wobei das zweite Gehäuse durch das erste Gehäuse getragen wird und sich in Bezug auf das tragende erste Gehäuse bewegt, und sich das zweite Gehäuse zu einer Abtragungsposition bewegt, wenn das Abtragungs-Normal abgetragen wird, und sich zu einer Messposition bewegt, in der jede optische Achse von jedem optischen System, das getrennt in dem ersten und dem zweiten Gehäuse untergebracht ist, zusammenfällt, wenn die Brechkraft des Abtragungs-Normals gemessen wird, wobei das so gehaltene Abtragungs-Normal von der Abtragungsvorrichtung abgetragen wird und darauf eine gekrümmte Oberfläche gebildet wird, und wobei das so gehaltene Abtragungs-Normal von der Brechkraft-Messeinrichtung gemessen wird.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine Bedienperson die optischen Eigenschaften nach einer Abtragung genau und leicht messen, ohne zur Kalibrierung ein Abtragungs-Normal zu bewegen. Die Messergebnisse können automatisch der Abtragungsvorrichtung eingegeben werden. Demzufolge hat die Bedienperson keine Mühe bei der Bedienung, und die künstlichen Fehler können reduziert werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG, DER ZEICHNUNGEN
  • Die beigefügten Zeichnungen, die in dieser Beschreibung enthalten sind und ein Teil von ihr bilden, veranschaulichen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und dienen, zusammen mit der Beschreibung, der Erklärung der Gegenstände, Vorteile und Prinzipien der Erfindung. In den Zeichnungen sind:
  • 1 eine äußere Ansicht, die eine Abtragungsvorrichtung gemäß der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 eine Ansicht, die eine schematische Anordnung eines optischen Systems und einen schematischen Aufbau eines Steuersystems einer Abtragungsvorrichtung einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 3 eine äußere Ansicht, die eine Kalibriereinheit einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 4 eine Ansicht zur Darstellung eines Mechanismus zum Antrieb eines Standard-Einsatzes einer Kalibriereinheit;
  • 5 eine Ansicht, die eine schematische Anordnung eines optischen Systems und einen schematischen Aufbau eines Steuersystems einer Kalibriereinheit zeigt; und
  • 6 eine Ansicht zur Darstellung eines Einflusses auf die Brechkraft aufgrund einer Änderung einer Abtragungsrate.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Nachfolgend ist eine ausführliche Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen gegeben. 1 ist eine äußere Ansicht, die eine Abtragungsvorrichtung zeigt, die eine Fehlsichtigkeit einer Hornhaut mit Hilfe eines Laserstrahls korrigiert. Nummer 1 bezeichnet eine Operationsvorrichtung, in die eine Excimerlaser-Quelle und dergleichen eingebaut ist. Der Laserstrahl von der Excimerlaser-Quelle tritt durch ein nachstehend erwähntes optisches Laserbestrahlungssystem der Vorrichtung 1 und wird so einem Arm 2 zugeführt. Der Arm 2 umfasst einen Lichtweg, um den Laserstrahl mit Hilfe optischer Elemente wie Spiegeln und dergleichen zu leiten. Ein Armende 5 des Arms 2 ist zur Beobachtung eines Auges eines Patienten mit einem binokularen Mikroskop 3, einem Beleuchtungsteil 4 und einer (nicht gezeigten) Austrittsöffnung zur Aussendung des Laserstrahls versehen. Eine (nicht gezeigte) Antriebsvorrichtung ermöglicht die Bewegung des Arms 2 in XY-Richtung und die Bewegung des Armendes 5 in Z-Richtung.
  • Nummer 6 bezeichnet eine Steuereinheit, die ein Joystick 7 aufweist und ein Signal ausgibt, so dass sich der Arm 2 in XY-Richtung bewegen kann, und einen Schalter 6a aufweist, der zur Fokussierung verwendet wird, indem in Z-Richtung ausgerichtet wird, und dergleichen. Nummer 8 bezeichnet einen Fußschalter, der zum Aussenden eines Laserbestrahlungssignals verwendet wird. Nummer 9 bezeichnet einen Computer, der zur Eingabe entsprechender Arten von Daten verwendet wird, wie etwa Bedingungen, die zur Operation, zur Berechnung von Laserbestrahlungsdaten, zur Anzeige und zur Speicherung der Daten erforderlich sind, und dergleichen. Der Computer 9 umfasst ein Hauptgerät 90, einen Monitor 91, eine Tastatur 92, eine Maus 93 und dergleichen.
  • Nummer 10 bezeichnet eine Kalibriereinheit, deren Einzelheiten nachstehend beschrieben sind. Vor der Abtragung einer Hornhaut trägt die Kalibriereinheit 10 eine transparente Platte aus PMMA ab, die eine bekannte Beziehung zur Hornhautabtragungsrate hat. Die Kalibriereinheit 10 misst anschließend eine Brechkraft der transparenten Platte und sendet über eine Verbindungsleitung 11 die Messergebnisse automatisch zu dem Computer 9. Die Operationsvorrichtung 1 (der Computer 9) führt auf der Grundlage der gesendeten Daten mit derselben Laserausgangsenergie wie bei der Hornhautabtragung eine Kalibrierung durch. Bei der in 1 gezeigten bevorzugten Ausführungsform wird die Kalibrierungseinheit 10, wenn sie verwendet wird, auf einer Liege 30 angeordnet, auf die der Patient gelegt wird, um im Bewagungsbereich des Armendes 5 zu sein. Alternativ kann sie speziell, auf einem gesonderten Tisch angeordnet sein.
  • Als nächstes ist mit Bezug auf 2 eine schematische Anordnung eines optischen Systems und eines schematischen Aufbaus eines Steuersystems der Operationsvorrichtung 1 beschrieben. Nummer 40 bezeichnet eine Excimerlaser-Quelle, die eine Wellenlänge von 193 nm aussendet. Der von der Laserquelle 40 ausgesendete Laserstrahl wird durch einen Planspiegel 41 um 90° nach oben abge lenkt, und dann durch einen Planspiegel 44 in eine horizontale Richtung erneut abgelenkt. Durch eine Spiegelantriebsvorrichtung 45 kann der Planspiegel 44 in eine vertikale Richtung (eine Richtung, die durch einen Pfeil gekennzeichnet ist) bewegt werden. Durch eine Parallelverschiebung des Laserstrahls gemäß einer Gauss'schen Verteilung kann das Objekt gleichmäßig abgetragen werden. Hierzu sind Einzelheiten in der USP 5 507 799, die der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. HEI (1992) – 242644 entspricht, offenbart.
  • Nummer 46 bezeichnet einen Bilddreher, der durch eine Bilddreher-Antriebsvorrichtung 47 um eine optische Achse L gedreht wird, so dass sich der Laserstrahl um die optische Achse L dreht. Nummer 48 bezeichnet eine veränderliche kreisförmige Blende, deren Durchmesser mit Hilfe einer Blendenantriebsvorrichtung 49 verändert werden kann. Nummer 50 bezeichnet eine Projektionslinse, die zur Projektion der Blende 48 auf die Hornhaut des abzutragenden Auges verwendet wird (während der Korrektur ist dort ein Ersatzobjekt angeordnet). Die Blende 48 und die Hornhaut sind bezüglich der Projektionslinse 50 konjugiert. Der durch die Blende 48 eingefasste Bereich erzeugt Bilder auf der Hornhaut und begrenzt somit den abzutragenden Bereich.
  • Nummer 51 bezeichnet einen dichroitischen Spiegel, der die Eigenschaft besitzt, dass er einen Excimerlaser-Strahl mit einer Wellenlänge von 193 nm reflektiert und sichtbares Licht hindurch lässt. Der durch die Projektionslinse 50 hindurchtretende Laserstrahl wird durch den dichroitischen Spiegel 51 um 90° abgelenkt und dann zur Hornhaut geleitet.
  • Nummern 52a und 52b bezeichnen optische Spaltprojektionssysteme, die in dem Beleuchtungsteil 4 angeordnet sind. Die jeweiligen optischen Spaltprojektionssysteme 52a und 52b umfassen Beleuchtungslampen 53a und 53b, Kondensorlinsen 54a und 54b, Spaltplatten 55a und 55b, die Kreuzspalte aufweisen, und Projektionslinsen 56a und 56b. Die jeweiligen Spaltplatten 55a und 55b und die Hornhaut sind bezüglich den Projektionslinsen 56a und 56b konjugiert, so dass Bilder der Kreuzspalte Bilder bei einer Fokussierungsposition auf der optischen Achse eines optischen Beobachtungssystems 57 bilden können, das oberhalb des dichroitischen Spiegels 51 angeordnet ist. Als optisches Beobachtungssystem kann die bevorzugte Ausführungsform eine Einheit verwenden, die im Handel erhältlich ist, wobei Einzelheiten davon wenig mit der vorliegenden Erfindung zu tun haben und somit weggelassen werden.
  • Nummer 54 ist eine Steuervorrichtung, die die gesamte Vorrichtung, d. h. die Laserquelle 40, die Spiegelantriebsvorrichtung 45, die Bilddreher-Antriebsvorrichtung 47, die Blendenantriebsvorrichtung 49 und dergleichen, steuert.
  • Als nächstes ist der Aufbau der Kalibriereinheit 10 unter Bezugnahme auf die 3, 4 und 5 beschrieben. 3 ist eine Ansicht zur Veranschaulichung des äußeren Aufbaus der Kalibriereinheit 10. Die Kalibriereinheit 10 umfasst ein optisches Projektionssystem eines nachstehend genannten optischen Messsystems, und ein Drehgehäuse 13, das im oberen Teil der Einheit 10 angeordnet ist, umfasst das optische Empfangssystem des optischen Messsystems. Das Drehgehäuse 13 wird auf der Drehachse 14 gehalten, so dass es sich zwischen einer Ablageposition, die durch durchgezogene Linien dargestellt ist, und einer Messposition, die durch gestrichelte Linien dargestellt ist, schwenkend dreht.
  • Die transparente Platte 15 aus PMMA, die zur Kalibrierung verwendet wird, ist durch einen Objekttisch 16 und eine Halteplatte 17 festgelegt. Ein Ende der Halteplatte 17 ist an der Einheit 10 befestigt, deren anderes Ende ist mit einer kreisförmigen Öffnung 17a zum Durchtritt des (Bestrahlungs-) Laserstrahls von der Operationsvorrichtung 1 versehen. Der Objekttisch 16 wird stets von einer Tragewelle und einer Feder, die auf der Unterseite des Objekttischs 16 angeordnet sind, nach oben gedrückt. Indem ein Hebel 18 nach unten gedrückt wird, kann der Objekttisch 16 nach unten bewegt werden. Der Objekttisch 16 ist darüber hinaus an einer Stelle, die der Öffnung 17a der Halteplatte 17 entspricht, mit einer Öffnung 16a (siehe 4 und 5) versehen, durch die ein Messlicht des optischen Projektionssystems hindurchtreten kann.
  • Allerdings ist die Ausrichtung der transparenten Platte 15 zur Durchführung einer Laserbestrahlung aufgrund von Reflexionen beider Oberflächen der Platte 15 schwierig. Daher ist es vorzuziehen, dass die Ausrichtung zur Laserbestrahlung abgeschlossen worden ist, bevor die transparente Platte 15 auf den Objekttisch 16 gelegt wird. Zu diesem Zweck wird bei der Ausrichtung ein Standart-Einsatz 21 in der Öffnung 16a angeordnet, wie es in 4 gezeigt ist. In 4 ist eine Betätigungsplatte 20 um eine von der Einheit 10 gehaltenen Drehachse 20a schwenkend befestigt, wobei sie nach oben gedrückt wird. Der kreisförmige Standardeinsatz 21, der etwas kleiner ist als die Öffnung 16a des Objekttischs 16, ist an einem Ende der Betätigungsplatte 20 befestigt, deren Höhe die gleiche Dicke aufweist wie die des Objekttisches 16. Die Höhe der oberen Oberfläche des Standard-Einsatzes 21 ist so eingestellt, dass sie auf der gleichen Höhe liegt wie die Höhe der oberen Oberfläche des Objekttisches 16, wobei die obere Oberfläche der Betätigungs platte 20 die untere Oberfläche des Objekttisches 16 berührt. Ein abgeschrägter Block 22 ist auf einem Teil der Betätigungsplatte 20 befestigt, der nicht an dem Objekttisch 16 anliegt. Auf der anderen Seite ist ein Haltestab 23 an der Drehachse 14 befestigt, an der das Drehgehäuse 13 befestigt ist, und ein Stift 24, der sich nach unten erstreckt, ist an einem Ende des Haltestabes 23 befestigt. Indem das Drehgehäuse 13 von der Ablageposition zu der Messposition bewegt wird, wird der Haltestab 23 mitgedreht. Der Haltestab 23 dreht schwenkend entlang der geneigten Oberfläche des abgeschrägten Blocks 22, was zur Folge hat, dass sich die Betätigungsplatte 20 nach unten bewegt. Dies bewirkt, dass sich der Standard-Einsatz 21 außerhalb der Öffnung 16a des Objekttisches 16 befindet. Gleichzeitig rollt ein Stift 24, der an einem Ende des Haltestabes 23 befestigt ist, glatt sowohl entlang der Seitenfläche der Betätigungsplatte 20 als auch entlang der des abgeschrägten Blocks 22, wodurch bewirkt wird, dass sich die Betätigungsplatte 20 schwenkend, mit dem Drehpunkt bei der Drehachse 20a, dreht, was wiederum bewirkt, dass sich der Standard-Einsatz 21 außerhalb des Lichtweges befindet. Dadurch kann eine Messung glatt durchgeführt werden.
  • In 3 bezeichnet Nummer 25 einen Ventilator, der Staub, der durch die Bestrahlung der transparenten Platte 15 mit dem Laserstrahl erzeugt wird, entfernt. Nummer 26 bezeichnet eine Ventilatorabdeckung, durch die wirksam eine Gebläseluft zu der transparenten Platte 15 befördert wird. Nummer 27 bezeichnet einen Netzschalter, 28 bezeichnet ein Stromkabel.
  • 5 ist eine Ansicht zur Veranschaulichung eines optischen Messsystems und eines Steuersystems der Kalibriereinheit 10. Nummer 60 bezeichnet ein optisches Projektionssystem, 61 eine LED zur Lichtprojektion, 62 be zeichnet eine Fokusplatte zur Messung, die eine Punktöffnung aufweist, und 63 bezeichnet eine Kollimationslinse. Ein hinterer Brennpunkt der Kollimationslinse 63 fällt im wesentlichen mit der unteren Oberfläche der Halteplatte 17 zusammen. Durch eine Fokusplattenantriebsvorrichtung 64 kann die LED 61 und die Fokusplatte 62 gemeinsam nach oben und unten (in Richtung der optischen Messachse) bewegt werden, wobei die Bewegungsposition dann mit dem Positionsdetektor 65 erfasst wird. Nummer 66 bezeichnet einen Grenzbereichssensor, der eine Bewegungsgrenze, bis zu der sich die Fokusplatte 62 bewegen kann, erfasst. Nummer 70 bezeichnet ein optisches Empfangssystem, das in dem Drehgehäuse 13 angeordnet ist und das einen Spiegel 71, eine Objektivlinse 72, eine Fotodetektor 73 wie etwa eine CCD und dergleichen umfasst. Nummer 75 bezeichnet eine Vorrichtung mit arithmetischer Steuerung, die die Fokusplattenantriebsvorrichtung 64 auf der Grundlage eines Signals von dem Fotodetektor 73 ansteuert und von dem aus der Positionsdetektor 65 ein Positionssignal erhält, mit dem eine Brechkraft der transparenten Platte 15 berechnet wird. Nummer 76 bezeichnet einen Lichtunterbrechungssensor, der erfasst, ob das Drehgehäuse 13 (das optische Empfangssystem 70) bei der Messposition angeordnet ist oder nicht, indem eine Lichtunterbrechungsplatte 14a erfasst wird, die an der Drehachse 14 befestigt ist.
  • Nachfolgend wird die Messung der Brechkraft, die mit der Kalibriereinheit 10 durchgeführt wird, die den oben erwähnten Aufbau aufweist, beschrieben. wenn der Lichtunterbrechungssensor 76 erfasst, dass sich das optische Empfangssystem 70 in der Messposition befindet, veranlasst die Vorrichtung 75 mit arithmetischer Steuerung, dass die LED 61 eingeschaltet wird und die Messung beginnt. Ein Messlicht von der LED 61 beleuchtet das Messziel (die Punktöffnung) der Fokusplatte 62. Zu Beginn befindet sich die Fokusplatte 62 relativ zu dem Fotodetek tor 73 an einer konjugierten Position. Der Ziellichtstrom von der Fokusplatte 62 bildet über die Kollimationslinse 63, die abgetragene transparente Platte 15, den Spiegel 71 und die Objektivlinse 72 ein Bild auf dem Fotodetektor 73 ab. Wenn die transparente Platte 15 eine Brechkraft besitzt, ist das Zielbild auf dem Fotodetektor 73 verschwommen. Daher steuert die Vorrichtung 75 mit arithmetischer Steuerung die Fokusplattenantriebsvorrichtung 64, wodurch bewirkt wird, dass die Fokusplatte 62 so bewegt wird, dass das Zielbild minimal wird (die Fokusplatte 62 kann sich an einer zu der Position des Fotodetektors 73 konjugierten Position befinden). Aus der von dem Positionsdetektor 65 erfassten Bewegungsposition kann die Brechkraft der transparenten Platte 15 berechnet werden.
  • Nachfolgend ist die Korrektur zur Änderung der Abtragungsrate durch Verwendung einer Hornhautabtragungsvorrichtung beschrieben, die den oben erwähnten Aufbau besitzt.
  • Die Bedienperson stellt den Laserbestrahlungsmodus mit der Tastatur 92 des Computers 9 auf den Kalibriermodus ein und gibt dann Bedingungen wie eine gewünschte Brechkraft der künstlichen Linse (Linsenoberfläche), eine Abtragungsrate und dergleichen ein. Die Bedienperson stellt die Kalibriereinheit 10 auf die Liege 30 oder dergleichen, so dass sich die Einheit 10 innerhalb eines Bereichs befindet, in dem sich das Armende 5 bewegen kann. Die Bedienperson führt wie folgt eine Ausrichtung aus. Die Bedienperson betätigt den Joystick 7, so dass sich die Öffnung 17a des Endes der Halteplatte 17 im Zentrum des Gesichtsfeldes befindet, während sie in dem binokularen Mikroskop 3 das optische Beobachtungssystem 57 beobachtet, wodurch das Armende 5 bewegt wird. Sofern sich das Drehgehäuse 13 der Kalibriereinheit 10 in der Ablageposition befindet, ist der Standard-Einsatz 21 gemäß dem obigen Aufbau bei der Öffnung 16a des Objekttisches 16 angeordnet, dessen Höhe auf der Höhe der unteren Oberfläche der Halteplatte 17 liegt. Die Bedienperson bewegt das Armende 5, so dass sich zur Ausrichtung das Bild des Kreuzspaltes des Beleuchtungsteils 4 innerhalb des Standard-Einsatzes 21 der Öffnung 16a befindet. Die Bedienperson führt dann die Ausrichtung in XY-Richtung aus, so dass sich das Bild des Kreuzspaltes im Zentrum der Öffnung 16a befindet. Bei der Ausrichtung in Z-Richtung (der Fokussierungsrichtung) wird das Bild des Kreuzspaltes, das lateral getrennt ist, so eingestellt, dass es das einzige Bild ist.
  • Wenn die Ausrichtung abgeschlossen ist, drückt die Bedienperson den Hebel 18, so dass sich der Objekttisch 16 nach unten bewegt, legt anschließend die transparente Platte 15, die aus PMMA hergestellt und ein Abtragungs-Normal ist, auf den Objekttisch 16 und fügt sie zwischen die Halteplatte 17 und den Objekttisch 16 ein, so dass sie nicht bewegt werden kann. Danach wird der Laser auf die obere Oberfläche der transparenten Platte 15 gerichtet.
  • Nach dem Vorbereiten der transparenten Platte 15, wird die Abtragung durch Bestrahlung mit Hilfe des Laserstrahls durchgeführt. Die Steuervorrichtung 54 steuert auf der Grundlage des Laserbestrahlungsbedingungen den Planspiegel 44, die Öffnung 48 und den Bilddreher 46 über die jeweilige Antriebsvorrichtung an, und die Laserbestrahlung bewirkt, dass die transparente Platte 15 in eine gekrümmte Oberfläche (sphärische Oberfläche oder asphärische Oberfläche) geformt wird. Während der Abtragung wird Rauch (entfernter Abrieb) erzeugt, der jedoch durch Betreiben des Ventilators 25 entfernt werden kann. Daher wird sie von Faktoren, die eine Änderung der Abtragungsrate bewirken, nicht beeinflusst. Der Ventilator 25 be ginnt zu arbeiten, wenn die Bedienperson den Computer 9 bedient und ihn in den Kalibriermodus setzt. Alternativ kann der Ventilator 25 so konfiguriert werden, dass er zu arbeiten beginnt, wenn der Netzschalter 27 der Kalibriereinheit 10 eingeschaltet wird.
  • Nach Beendigung der Abtragung der transparenten Platte 15, wird die Brechkraft der tatsächlich hergestellten Linsenoberfläche gemessen. Dadurch, dass das Drehgehäuse 13 von der Ablageposition zu der Messposition bewegt wird, befindet sich der Standard-Einsatz 21 außerhalb der optischen Messweges, und der Lichtunterbrechungssensor 76 erfasst, dass sich das optische Empfangssystem 70 in der Messposition befindet, worauf die Messung automatisch durchgeführt wird. während der Messung bewegt sich die Fokusplatte 62 in Abhängigkeit von der von der Bedienperson eingegebenen gewünschten Brechkraft der künstlichen Linse (Linsenoberfläche). Die Vorrichtung 75 mit arithmetischer Steuerung misst die Brechkraft der wie oben beschrieben auf der transparenten Platte 15 geformten Linsenoberfläche. Wie beschrieben kann unter Beibehaltung des vorliegenden Zustandes die Messung des Abtragungs-Normals, auf dem eine Linsenoberfläche geformt wurde, leicht ausgeführt werden, ohne das Normal nach der Abtragung zu bewegen. Ferner können genaue Messergebnisse gewonnen werden, indem eine Beeinflussung durch die Ausrichtungsverschiebung vermieden wird, da eine weitere Ausrichtung nicht erforderlich ist, um die Messung durchzuführen.
  • Der durch die Vorrichtung 75 mit arithmetischer Steuerung gewonnene Messwert wird von dem Computer 9 über das Kabel 11 eingelesen. Der Computer 9 vergleicht die gewünschte Brechkraft, die eingegeben ist, mit der tatsächlichen Brechkraft, berechnet dann die Änderungsrate der Brechkräfte und die Änderungsrate der Abtragungsrate auf der Grundlage der Brechkräfte und korrigiert somit die Ansteuerungsinformationen der Abtragungsvorrichtung korrigiert.
  • Unter Bezugnahme auf 6, ist die Beziehung zwischen einer auf der transparenten Platte 15 durch Abtragung geformten Linsenoberfläche und deren Brechkraft beschrieben. Allgemein wird angenommen, dass ein Brechungsindex eines Mediums A "n" und der eines Mediums B ist "n'" ist, und die Grenze zwischen dem Medium A und dem Medium B ist eine asphärische Linsenoberfläche (bei der bevorzugten Ausführungsform ist das Medium A Luft und das Medium B PMMA). Die Abtragungstiefe "d" und der Durchmesser "w" auf einem beliebigen Punkt C der asphärischen Linsenoberfläche genügt der folgenden Beziehungsgleichungs:
    Figure 00160001
    wobei f die Brennweite ist. Die von der Abtragungsvorrichtung der bevorzugten Ausführungsform geformte Grenzfläche ist streng genommen stufenförmig. Sie ist jedoch als eine asphärische Linse definiert, so dass sie von dem optischen Messsystem in der Kalibriereinheit 10 vermessen werden kann, wobei sie als Linsenoberfläche definiert ist.
  • Folglich ist die Abtragungstiefe d als ein Produkt aus einer Abtragungsrate multipliziert mit einer ganzen Zahl, definiert, und die Öffnung 48 ist so eingestellt, dass der Durchmesser w eines projizierten Bildes von ihr bei jeder Tiefe d der obigen Beziehungsgleichung genügt, so dass die transparente Platte 15 in eine Linsenoberfläche geformt werden kann. Wenn die Abtragungsrate gleich einem Standardwert (eingestellten Wert) ist, kann eine Linsenoberfläche mit einer beliebigen Brennweite f leicht hergestellt werden, indem die Öffnung 48 so gesteuert wird, dass die obige Beziehungsgleichung erfüllt ist. Demgegenüber kann die Änderung der Brechkraft einer geformten Linse wie folgt berechnet werden, wenn die transparente Platte 15 unter der Bedingung hergestellt wird, dass die tatsächliche Abtragungsrate von dem Standardwert abweicht. Wenn die obige Beziehungsgleichung für eine Brechkraft D (1/f) neu geschrieben wird, ergibt sich die folgende Gleichung:
    Figure 00170001
  • Wenn die Breite w so definiert ist, dass sie wesentlich größer als die Tiefe d ist, dann ist n'2w2 wesentlich größer als (n2 – n'2). Eine vernünftige Näherung für die Gleichung (1) ist durch die nachstehende Gleichung (2) gegeben.
  • Figure 00170002
  • Wie durch Gleichung (2) gezeigt ist, ist die Brechkraft D direkt proportional zur Abtragungstiefe d, was zur Folge hat, dass die Änderungsrate der Abtragungsrate gleich der der Brechkraft ist. Daher kann die momentane Abtragungsrate dadurch erhalten, dass die Brechkraft der auf der transparenten Platte 15 geformten Linsenoberfläche gemessen und anschließend der Messwert mit der Brechkraft verglichen wird, die gebildet wird, wenn die Abtragungsrate dem Standardwert entspricht.
  • Sobald die momentane Abtragungsrate gewonnen ist, stellt die Abtragungsvorrichtung die Laserausgangsenergie von der Laserquelle 40 ein. Alternativ dazu kann die Kor rektur auch wie folgt ausgeführt werden. Wenn der Durchmesser der Öffnung 48 wie oben beschrieben als Funktion der Abtragungstiefe ausgedrückt werden kann, wird ein Durchmesser jeder Öffnung 48, der das Produkt der Abtragungsrate multipliziert mit einer ganzen Zahl ist, berechnet, um die Öffnung 48 auf der Grundlage der berechneten Ergebnisse zu steuern. wenn bis zu der vorbestimmten Tiefe wiederholt Laserimpulse abgeschossen werden, wird die Anzahl der Impulse gesteuert, indem die Verarbeitungstiefe durch die Abtragungsrate geteilt wird.
  • Die Abtragungsrate wird vorzugsweise von der Vorrichtung korrigiert, die transparente Platte 15 wird anschließend im Kalibriermodus wiederholt abgetragen, und es wird bestätigt, ob die transparente Platte 15 gemäß einer gewünschten Brechkraft abgetragen werden kann. wenn es nach der Ausrichtung erforderlich ist, wird ein weiterer Teil der transparenten Platte 15 bestrahlt, um darauf eine Linsenoberfläche zu formen. Die Messung wird dann automatisch ausgeführt, indem das Gehäuse 13 der Kalibriereinheit 10 zur Messposition gedreht wird und anschließend die Daten in den Computer 9 eingegeben werden.
  • Wenn tatsächlich eine Operation an der Hornhaut durchgeführt wird, bedient die Bedienperson den Computer 9, stellt den Laserbestrahlungsmodus auf den Operationsmodus ein, gibt Daten ein, die für eine Korrektur einer Fehlsichtigkeit erforderlich sind, und richtet die Vorrichtung mit der Hornhaut aus, so dass die Vorrichtung die Hornhaut abtragen kann.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben erwähnte bevorzugte Ausführungsform beschränkt. Unter Bezug auf die erste Ausführungsform ist zum Beispiel das Drehgehäuse 13 der Kalibriereinheit 10 so ausgeführt, dass es manuell gedreht wird. Alternativ dazu kann die Vorricht ung mit einer Antriebseinheit oder dergleichen versehen sein, so dass sich das Drehgehäuse 13 automatisch drehen lässt, sobald die Abtragung beendet ist. Unter Bezugnahme auf die bevorzugte Ausführungsform ist das optische Projektionssystem 60 darüber hinaus in der Kalibriereinheit 10 aufgenommen, und das optische Empfangssystem 70 ist in dem Drehgehäuse aufgenommen. Alternativ dazu kann das optische Empfangssytem 70 in der Kalibriereinheit 10 aufgenommen sein, und das optische Projektionssystem 60 kann in dem Drehgehäuse aufgenommen sein.

Claims (8)

  1. Vorrichtung (10) zur Messung einer optischen Charakteristik eines Abtragungs-Normals (15) mit bekannter Abtragungsrate, die Folgendes umfasst: – ein Haltemittel (16, 17) zum Halten des Abtragungs-Normals, so dass eine Oberfläche davon in einer vorbestimmten ersten Höhe sein kann; – ein Brechkraft-Messmittel zur Messung einer Brechkraft des Abtragungs-Normals, das ein optisches Projektionssystem (60) zur Projektion eines Ziellichtstroms, der zur Messung der Brechkraft verwendet wird, auf das Abtragungs-Normal, das durch das Haltemittel gehalten wird, und ein optisches Erfassungssystem (70) zur Erfassung des durch das optische Projektionssystem projizierten Ziellichtstroms; und – ein Ausgabemittel (11, 75) zur Ausgabe der Brechkraft des mit dem Brechkraft-Messmittel gemessenen Abtragungs-Normals, gekennzeichnet durch – ein erstes Gehäuse und ein zweites Gehäuse (13), in denen das optische Projektionssystem und das optische Erfassungssystem getrennt untergebracht sind, – wobei die Brechkraft des Abtragungs-Normals, die von dem Ausgabemittel ausgegeben wird, dazu verwendet wird, eine Abtragungsrate einer Abtragungsvorrichtung zur Abtragung eines mit einem Laserstrahl zu bearbeitenden Objekts zu berechnen und/oder ein Änderungsverhältnis der Abtragungsrate zu berechnen, – wobei das erste Gehäuse mit einer Öffnung versehen ist, durch die der Ziellichtstrom hindurchgeht, das Abtragungs-Normal durch das Haltemittel oberhalb der Öffnung gehalten wird, und eine optische Achse des optischen Systems, das in dem ersten Gehäuse untergebracht ist, mit einer mittleren Achse der Abtragungsvorrichtung zusammenfällt, wenn das erste Gehäuse in einer vorbestimmten Position in Bezug auf die Abtragungsvorrichtung angeordnet ist, – wobei das zweite Gehäuse durch das erste Gehäuse getragen wird und sich in Bezug auf das tragende erste Gehäuse bewegt, und sich das zweite Gehäuse zu einer Ablageposition bewegt, wenn das Abtragungs-Normal abgetragen wird, und sich zu einer Messposition bewegt, in der jede optische Achse von jedem optischen System, das getrennt in dem ersten und dem zweiten Gehäuse untergebracht ist, zusammenfällt, wenn die Brechkraft des Abtragungs-Normals gemessen wird, – wobei das so gehaltene Abtragungs-Normal von der Abtragungsvorrichtung abgetragen wird und darauf eine gekrümmte Oberfläche gebildet wird, und – wobei das so gehaltene Abtragungs-Normal von der Brechkraft-Messeinrichtung gemessen wird.
  2. Vorrichtung zur Messung einer optischen Charakteristik nach Anspruch 1, die ferner ein Staubentfernungsmittel (25) zum Entfernen von bei der Abtragung entfernten Staubrückständen, welche bei der Abtragung des Abtragungs-Normals erzeugt wurden.
  3. Vorrichtung zur Messung einer optischen Charakteristik nach einem der Ansprüche 1 und 2, die ferner umfasst: – ein Erfassungsmittel (76) zur Erfassung des zweiten Gehäuses in der Messposition; und – ein Anweisungsmittel (75) zur Anweisung des Brechkraft-Messmittels, auf der Grundlage eines von dem Erfassungsmittel erfassten Resultats, einen Messvorgang zu beginnen.
  4. Vorrichtung zur Messung einer optischen Charakteristik nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Brechkraft-Messmittel ferner umfasst: – ein Mittel (64) zum Bewegen des optischen Projektionssystems auf der optischen Achse; – ein Positionserfassungsmittel (65) zur Erfassung einer Position, zu der das optische Projektionssystem durch das Mittel zum Bewegen des optischen Projektionssystems bewegt wird; und – ein Berechnungsmittel (75) zur Berechnung der Brechkraft des Abtragungs-Normals auf der Grundlage eines durch das Positionserfassungsmittel erfassten Resultats.
  5. Vorrichtung zur Messung einer optischen Charakteristik nach einem der Ansprüche 1 bis 4, die ferner einen Ausrichtungs-Referenzeinsatz (21) umfasst, der zur Durchführung einer zwei- oder dreidimensionalen Ausrichtung der mittleren Achse der Abtragungsvorrichtung verwendet wird, wobei eine Oberfläche des Einsatzes während der Ausrichtung auf etwa der gleichen Höhe wie die erste Höhe angeordnet ist.
  6. Vorrichtung zur Messung einer optischen Charakteristik nach Anspruch 5, – wobei sich der Ausrichtungs-Referenzeinsatz synchron mit der Bewegung des zweiten Gehäuses bewegt, während der Ausrichtung auf der optischen Achse des optischen Systems angeordnet ist und während der Messung von der optischen Achse des optischen Systems entfernt ist.
  7. Vorrichtung zur Messung einer optischen Charakteristik nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Brechkraft des Abtragungs-Normals, die durch das Ausgabemittel ausgegeben wird, als Kalibrierungsinformation zur Ansteuerung der Laserbestrahlungsmittels verwendet wird, das in der Abtragungsvorrichtung enthalten ist, wobei das Laserbestrahlungsmittel eine Laserlichtquelle, die den Laserstrahl aussendet, und ein optisches Bestrahlungssystem zur Führung des ausgesendeten Laserstrahls umfasst.
  8. Vorrichtung zur Messung einer optischen Charakteristik nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Abtragungs-Normal eine transparente Platte ist, die aus Polymethylmetacrylat (PMMA) hergestellt ist.
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