DE69710103T2 - Benutzung von hydrofluoroethern als testflüssigkeit zum testen von elektronischen bauteilen - Google Patents

Benutzung von hydrofluoroethern als testflüssigkeit zum testen von elektronischen bauteilen

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Description

    Erfindungsgebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft das Testen von elektronischen Bauteilen unter Verwendung einer inerten Testflüssigkeit.
    • Allgemeiner Stand der Technik
  • Elektronische Bauteile werden zur Sicherung ihrer Leistung in Abhängigkeit von der beabsichtigten Anwendung verschiedenen Tests unterzogen. So sind beispielsweise Mikroelektronik-, Halbleiter- und andere Bauteile oftmals in einem Hohlraum in einem schützenden Verpackungsmaterial verkapselt, wobei sich Anschlußdrähte von den Schaltungen zum Äußeren des schützenden Bausteins zum Anschluß an andere Bauteile erstrecken. Der schützende Baustein soll die Schaltungen festhalten und sie vor Korrosion, Oxidation, Schocks, Handhabung, Temperatur und anderen Problemen schützen, die zu einem Ausfall führen können. Um den zuverlässigen Betrieb derartiger abgedichteter elektronischer Bausteine sicherzustellen, muß ihre Hermitezität getestet werden. Außerdem werden elektronische Bausteine oftmals Wärmeschocktests, Environmental Stress Screening (ESS) und Flüssigkeitseinbrenntests unterworfen, um die Betriebsbedingungen in der Realität zu simulieren und ihre Leistung unter derartigen Bedingungen zu gewährleisten.
  • Bei den obenerwähnten Tests wird in der Regel eine inerte Testflüssigkeit verwendet. Als inerte Testflüssigkeit sind verschiedene fluorierte Kohlenstoffverbindungen, einschließlich perfluorierte Kohlenstoffverbindungen, verwendet worden. So ist beispielsweise aus dem US-Patent Nr. 4,920,785 die Verwendung von FLUORINERTTM Electronic Liquids der 3M Company, wie etwa FC-40, FC-72 und FC-84, beim Testen der Hermitezität eines elektronischen Bausteins bekannt.
  • Aus dem US-Patent Nr. 4,955,726 ist die Verwendung von Perfluorpolyethern als Testflüssigkeiten bei Wärmeschocktests, Flüssigkeitseinbrenntests und Tests auf die Hermitezität eines elektronischen Bausteins bekannt.
  • Aus dem US-Patent Nr. 4,736,621 ist die Verwendung von Fluorperhydrofluoren als inerte Flüssigkeit beim Testen der Hermitezität eines elektronischen Bausteins bekannt. Das US-Patent Nr. 4,896,529 offenbart die Verwendung von Perfluor-2,3,4-trimethylpentan als Indikatorflüssigkeit bei einem Test auf eine große Undichte. Aus dem US-Patent Nr. 5,369,983 ist weiterhin ein Testmedium bekannt, das gleichzeitig das Testen auf große und kleine Undichten in einem abgedichteten elektronischen Baustein gestattet. Das Medium umfaßt eine perfluorierte Verbindung.
  • Der Environmental Stress Screening-Test ("ESS") wird in Bauerfeind et al., US-Patent Nr. 5,187,432 beschrieben. Dieser Test wurde entwickelt, um die Zeit reduzieren zu können, die zum Durchführen des Einbrenntests benötigt wird. Bei diesem Verfahren wird ein Bauelement zyklisch zwischen einem kalten Bad aus einer inerten Flüssigkeit und einem heißen Bad aus einer inerten Flüssigkeit hin und her bewegt, während für kurze Zeiträume eine Vorspannung angelegt wird, die die Nennspannung des Bauelements übersteigt. Das kalte Bad wird bei einer Höchsttemperatur von 0ºC gehalten, während das heiße Bad bei einer Mindesttemperatur von 65ºC gehalten wird.
  • Bei jedem dieser Tests werden Perfluorkohlenstoffflüssigkeiten als Testmedium verwendet. Die Perfluorkohlenstoffflüssigkeiten haben sich wegen ihrer physikalischen Eigenschaften, zu denen der Siedepunkt und der Erstarrungspunkt, die Dichte, die Durchschlagsfestigkeit, die Oberflächenspannung, die chemische und thermische Stabilität und das Aussehen gehören, als nützlich herausgestellt. Bei der Umweltprüfung elektronischer Einrichtungen können beliebige oder alle dieser physikalischen Eigenschaften wichtig sein. MIL-STD-883E schreibt die Verwendung von Perfluorkohlenstoffen beim Testen von elektronischen Bauteilen vor.
  • Da die Perfluorkohlenstoffe kein Chlor enthalten, schädigen sie nicht die Ozonschicht der Erde, und ihr Einsatz läuft unter dem Protokoll von Montreal nicht aus. Wegen ihrer chemischen Stabilität und langen Lebensdauer in der Atmosphäre besteht jedoch der Verdacht, daß sie ein hohes Treibhauspotential (GWP = Global Warming Potential) aufweisen, und ihr Einsatz wird immer stärker eingeschränkt. Es besteht deshalb ein Bedarf an neuen Flüssigkeiten für die Umweltprüfung elektronischer Bauteile, die in den Tests die erforderliche Leistung zeigen, kein Ozonabbaupotential (ODP = ozone depletion potential) und ein geringes Potential zur globalen Erwärmung aufweisen.
    • Kurze Darstellung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zum Testen eines elektronischen Bauteils bereit, bei dem das elektronische Bauteil einer Testflüssigkeit ausgesetzt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Testflüssigkeit aus einem im wesentlichen nicht entflammbaren Hydrofluorether besteht. Die Testflüssigkeit besteht aus 90 Gew.-% bis 100 Gew.-% Hydrofluorether.
    • Ausführliche Beschreibung der Erfindung
  • Es hat sich herausgestellt, daß sich Hydrofluorether zur Verwendung als Testflüssigkeiten in einer Vielzahl von Testverfahren eignen, mit denen in der Regel die Leistung eines elektronischen Bauteils, wie etwa elektronischer Leiterplatten oder elektronischer Bausteine, getestet wird. Die Hydrofluorether zur Verwendung bei dem Verfahren der Erfindung sind im wesentlichen nicht entflammbar. Die Hydrofluorether weisen, wenn sie in einem gemäß ASTM D 56-87 durchgeführten Flammpunkttest im geschlossenen Tiegel getestet werden, keinen Flammpunkt auf. Geeignete Hydrofluorether entsprechen allgemein der folgenden allgemeinen Formel:
  • Rf(ORh)n
  • wobei:
  • Rf eine perfluorierte Alkylgruppe;
  • Rh eine Alkylgruppe;
  • n eine Zahl zwischen 1 und 3 ist und
  • wobei die Anzahl der in Rf enthaltenen Kohlenstoffatome größer ist als die Gesamtzahl der in allen Rh-Gruppen enthaltenen Kohlenstoffatome.
  • Bevorzugt beinhaltet Rf zwischen 2 und 8 Kohlenstoffatomen und ist ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einer linearen oder verzweigten Perfluoralkylgruppe, einer eine Perfluorcycloalkylgruppe enthaltenden Perfluoralkylgruppe, einer Perfluorcycloalkylgruppe, einer linearen oder verzweigten Perfluoralkylgruppe mit einem oder mehreren Kettenatomen, einer eine Perfluorcycloalkylgruppe enthaltenden Perfluoralkylgruppe mit einem oder mehreren Kettenatomen und eine Perfluorcycloalkylgruppe mit einem oder mehreren Kettenatomen.
  • Ganz besonders bevorzugt ist n gleich 1; ist Rf ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus linearen oder verzweigten Perfluoralkylgruppen mit 3 bis etwa 9 Kohlenstoffatomen, Perfluorcycloalkyl-enthaltenden Perfluoralkylgruppen mit 5 bis etwa 7 Kohlenstoffatomen und Perfluorcycloalkylgruppen mit 5 bis etwa 6 Kohlenstoffatomen; ist Rh eine Methyl- oder Ethylgruppe; kann Rf ein oder mehrere Kettenheteroatome enthalten; und ist die Summe aus der Anzahl von Kohlenstoffatomen in Rf und der Anzahl von Kohlenstoffatomen in Rh mindestens gleich 4.
  • Zu repräsentativen Beispielen zählen die folgenden Verbindungen:
  • n-C&sub4;F&sub9;OCH&sub3;, n-C&sub4;F&sub9;OCH&sub2;CH&sub3;, CF&sub3;CF(CF&sub3;)CF&sub2;OCH&sub3;, CF&sub3;CF(CF&sub3;)CF&sub2;OC&sub2;H&sub5;, C&sub8;F&sub1;&sub7;OCH&sub3;, CH&sub3;O-(CF&sub2;)&sub4;-OCH&sub3;, C&sub5;F&sub1;&sub1;OC&sub2;H&sub5;, C&sub3;F&sub7;OCH&sub3;, CF&sub3;OC&sub2;F&sub4;OC&sub2;H&sub5;, C&sub3;F&sub7;OCF(CF&sub3;)CF&sub2;OCH&sub3;, (CF&sub3;)&sub2;CFOCH&sub3;, (CF&sub3;)&sub3;COCH&sub3;, C&sub4;F&sub9;OC&sub2;F&sub4;OC&sub2;F&sub4;OC&sub2;H&sub5;, C&sub4;F&sub9;O(CF&sub2;)&sub3;OCH&sub3;,
  • und 1,1-Dimethoxyperfluorcyclohexan.
  • Die sich zur Verwendung in dem erfindungsgemäßen Verfahren eignenden Hydrofluorether können hergestellt werden durch Alkylierung von perfluorierten Alkoxiden, die durch die Umsetzung des entsprechenden perfluorierten Acylfluorids oder perfluorierten Ketons mit einem wasserfreien Alkalimetallfluorid (z. B. Kaliumfluorid oder Cäsiumfluorid) oder wasserfreiem Silberfluorid in einem wasserfreien polaren aprotischen Lösungsmittel (siehe z. B. die Herstellungsverfahren, die in der französischen Patentveröffentlichung Nr. 2,287,432 und der deutschen Patentveröffentlichung Nr. 1,294,949 beschrieben sind). Man kann aber auch einen fluorierten tertiären Alkohol mit einer Base, z. B. Kaliumhydroxid oder Natriumhydrid, reagieren lassen, um ein perfluoriertes tertiäres Alkoxid herzustellen, das durch Umsetzung mit einem Alkylierungsmittel alkyliert werden kann.
  • Zu geeigneten Alkylierungsmitteln zur Verwendung bei der Herstellung zählen Dialkylsulfate (z. B. Dimethylsulfat), Alkylhalogenide (z. B. Methyliodid), Alkyl-p- toluolsulfonate (z. B. Methyl-p-toluolsulfonat), Alkylperfluoralkansulfonate (z. B. Methylperfluormethansulfonat) und dergleichen. Zu geeigneten polaren aprotischen Lösungsmitteln zählen acyclische Ether wie etwa Diethylether, Ethylenglykoldimethylether und Diethylenglykoldimethylether; Carbonsäureester wie etwa Methylformat, Ethylformat, Methylacetat, Diethylcarboat, Propylencarbonat und Ethylencarbonat; Alkylnitrile wie etwa Acetonitril; Alkylamide wie etwa N,N-Dimethylformamid, N,N-Diethylformamid und N-Methylpyrrolidon; Alkylsulfoxide wie etwa Dimethylsulfoxid; Alkylsulfone wie etwa Dimethylsulfon, Tetramethylensulfon und andere Sulfolane; Oxazolidone wie etwa N-Methyl-2-oxazolidon; und Mischungen davon.
  • Perfluorierte Acylfluoride (zur Verwendung bei der Herstellung der alkoxysubstituierten Perfluorverbindungen) können durch elektrochemische Fluorierung (ECF) der entsprechenden Kohlenwasserstoffcarbonsäure (oder eines Derivats davon) hergestellt werden, wobei entweder wasserfreies Hydrogenfluorid (Simons-ECF) oder KF.2HF (Philips-ECF) als Elektrolyt verwendet wird. Perfluorierte Acylfluoride und perfluorierte Ketone können auch durch Dissoziation perfluorierter Carbonsäureester hergestellt werden (die aus entsprechenden Kohlenwasserstoff- oder teilfluorierten Carbonsäureestern durch direkte Fluorierung mit gasförmigem Fluor hergestellt werden können). Die Dissoziation kann durch Beaufschlagung des perfluorierten Esters mit einer Fluoridionenquelle unter Reaktionsbedingungen (gemäß dem in dem US-Patent Nr. 3,900,372 (Childs) beschriebenen Verfahren) oder durch Kombinieren des Esters mit mindestens einem Initiator erreicht werden, der ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus gasförmigen nichthydroxylischen Nucleophilen; flüssigen nichthydroxylischen Nucleophilen und Mischungen mindestens eines nichthydroxylischen Nucleophils (gasförmig, flüssig oder fest) und mindestens eines Lösungsmittels, das gegenüber Acyliermitteln inert ist.
  • Bei der Dissoziation einsetzbare Initiatoren sind solche gasförmigen oder flüssigen, nichthydroxylischen Nucleophile und Mischungen aus einem oder mehreren gasförmigen, flüssigen oder festen, nichthydroxylischen Nucleophilen und einem Lösungsmittel (im weiteren als "Lösungsmittelmischungen" bezeichnet), die zur nucleophilen Reaktion mit perfluorierten Estern in der Lage sind. Wenn geringe Mengen von hydroxylischen Nucleophilen vorliegen, so kann dies toleriert werden. Zu geeigneten gasförmigen oder flüssigen, nichthydroxylischen Nucleophilen zählen Dialkylamine, Trialkylamine, Carbonsäureamide, Alkylsulfoxide, Aminoxide, Oxazolidone, Pyridine und dergleichen und Mischungen davon. Zu geeigneten nichthydroxylischen Nucleophilen zur Verwendung in Lösungsmittelmischungen zählen derartige gasförmige oder flüssige, nichthydroxylische Nucleophile sowie feste nichthydroxylische Nucleophile, z. B. Fluorid-, Cyanid-, Cyanat-, Iodid-, Chlorid-, Bromid-, Acetat-, Mercaptid-, Alkoxid-, Thiocyanat-, Azid-, Trimethylsilyldifluorid-, Bisulfit- und Bifluoridanionen, die in Form von Alkalimetall-, Ammonium-, (mono-, di-, tri- oder tetra-substituierten) alkylsubstituierten Ammonium- oder quarternären Phosphoniumsalzen und Mischungen davon verwendet werden können. Derartige Salze sind im allgemeinen im Handel erhältlich, können gegebenenfalls aber durch bekannte Verfahren hergestellt werden, z. B. diejenigen, die von M. C. Sneed und R. C. Brasted in Comprehensive Inorganic Chemistry [Umfassende Anorganische Chemie], Band Sechs (The Alkali Metals), Seiten 61-64, D. Van Nostrand Company, Inc., New York (1957) und von H. Kobler et al. in Justus Liebigs Ann. Chem. 1978, 1937 beschrieben werden. 1,4-Diazabicylco[2.2.2]octan und dergleichen sind ebenfalls geeignete feste Nucleophile.
  • Zu den Testverfahren für elektronische Bauteile, bei denen der Hydrofluorether verwendet werden kann, zählen unter anderem das Testen eines abgedichteten Hohlraums auf Hermitezität, ein Wärmeschocktest, ein Flüssigkeitseinbrenntest und ein Environmental Stress Screening-Test (ESS). Die Hydrofluorether werden aus Sicherheitsgründen so gewählt, daß sie nicht entflammbar sind. Hydrofluorether sind im allgemeinen in Verbindungen nicht entflammbar, in denen die Anzahl der C-F-Bindungen die Summe aus der Anzahl von C-C- Bindungen zuzüglich der Anzahl der C-H-Bindungen übersteigt (C-F > C-H + C-C). Ein präziseres und zuverlässigeres Verfahren ist der Flammpunkttest im geschlossenen Tiegel, ASTM D 56-87.
  • Die Wahl eines bestimmten Hydrofluorethers hängt von dem verwendeten Testverfahren ab. Der Hydrofluorether wird im allgemeinen so gewählt, daß der Siedepunkt und der Erstarrungspunkt einen zur Durchführung des Tests ausreichenden flüssigen Bereich bereitstellen. Außerdem sollte der Hydrofluorether bei den Testbedingungen im allgemeinen thermisch und chemisch stabil sein. Zur Verwendung bei einigen Umweltprüfungen können auch andere physikalische Eigenschaften berücksichtigt werden, wie etwa die Durchschlagsfestigkeit, die Dichte und die Oberflächenspannung. Beispielsweise wird die Dichte der Testflüssigkeit bevorzugt bei der Auswahl eines Hydrofluorethers als Testflüssigkeit beim Testen der Hermitezität durch den Gewichtszunahmetest berücksichtigt. Die Oberflächenspannung wird bevorzugt bei der Auswahl eines Hydrofluorethers als Testflüssigkeit beim Testen auf Lecks berücksichtigt, wobei Flüssigkeiten so gewählt werden, daß sie ein kleines Leck durchdringen können. Bei Tests, bei denen eine Vorspannung an ein elektronisches Bauelement angelegt wird, wird bevorzugt die Durchschlagsfestigkeit bei der Auswahl eines Hydrofluorethers als Testflüssigkeit berücksichtigt. Die Oberflächenspannung der Hydrofluorether liegt in der Regel unter 0,014 N/m (14 Dyn/cm), die Dichte liegt in der Regel im Bereich von 1,4- 1,6 g/cm³ und die Durchschlagsfestigkeit liegt in der Regel über 9 000 V/mm.
  • Hermetische Abdichtungen werden in einer großen Vielzahl von Anwendungen verwendet. So müssen beispielsweise in der Elektronikindustrie Halbleiterbauelemente vor der umgebenden Atmosphäre geschützt werden, um ihren fortdauernden Betrieb zu garantieren. In dem Bauelement kann sich Feuchtigkeit enthaltende Umgebungsluft ansammeln, was zu Korrosion und Ausfall führen kann. Bauelemente mit hoher Zuverlässigkeit werden oftmals dadurch geschützt, daß man sie in hermetisch abgedichtete Keramikbausteine einschließt. Es ist jedoch unmöglich, für jeden Baustein eine Leckrate von Null zu erhalten. Die Bausteine müssen getestet werden, um zu bestimmen, ob die Leckrate für ein gegebenes abgedichtetes Innenvolumen unter einem gesetzten Standard liegt.
  • Der für Keramikbausteine verwendete gebräuchlichste Standard ist in dem Military Standard ("MIL-STD") 883E, Verfahren 1014.9, vorgegeben. Standardleckraten basieren auf der Leckrate von trockener Luft von 25ºC, die durch einen Leckweg strömt, wobei eine Hochdruckseite des Lecks bei 1 Atmosphäre (760 Torr absolut) und eine Niederdruckseite des Lecks unter 1 Torr absolut (1 Torr = 133,3 Pa) liegt.
  • Beim Testen auf eine große Undichtigkeit werden Leckraten zwischen 1 · 10&sup0; atm-cm³/s und 1 · 10&supmin;&sup5; atm-cm³/s Trockenluft getestet. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Hydrofluorether als Flüssigkeit zum Eindringen in die großen Lecköffnungen aufgrund ihrer geringen Oberflächenspannung verwendet werden. Der Test auf eine große Undichtigkeit kann einen Blasentest, einen Gewichtszunahmetest und einen Test, bei dem der Hydrofluorether durch eine analytische Technik, wie etwa Infraroterfassung, erfaßt wird, beinhalten. Diese Tests sind zerstörungsfrei.
  • Bei dem Test auf eine große Undichtigkeit wird in der Regel in der angegebenen Reihenfolge folgendes durchgeführt: (a) der elektronische Baustein wird in einem Detektorflüssigkeitsbad mit Druck bombardiert, (b) der elektronische Baustein wird aus dem Detektorflüssigkeitsbad entfernt und trocknen gelassen, (c) der elektronische Baustein wird in eine Indikatorflüssigkeit eingetaucht, deren Temperatur über dem Siedepunkt der Detektorflüssigkeit liegt, und (d) es wird beobachtet, ob Blasen entstehen, wobei Blasen auf Undichtigkeiten hinweisen. Der Hydrofluorether kann als Detektorflüssigkeit oder als Indikatorflüssigkeit verwendet werden.
  • Bei einer typischen Ausführungsform des Blasentests wird der elektronische Baustein in einer "Bombardierkammer" angeordnet. Die Detektorflüssigkeit wird unter einem Druck von bis zu 0,62 MPa (90 psia) bis zu 12,5 Stunden lang in den leckbehafteten Baustein "bombardiert", um die Detektorflüssigkeit in etwaige Lecks in dem Bauelement zu drücken. Nach der Bombardierung werden die Bausteine entfernt und getrocknet.
  • Die Bausteine werden dann zur Leckerfassung in einem Blasentank angeordnet. Der Blasentank enthält eine Indikatorflüssigkeit. Die Indikatorflüssigkeit wird in der Regel auf etwa 125ºC +/-5ºC erhitzt. Die Bausteine werden bis zu einer Mindesttiefe von etwa 5 cm (zwei Zoll) in die Indikatorflüssigkeit eingetaucht. Falls in dem Baustein ein Leck vorliegt, verdampft die Detektorflüssigkeit in dem Bausteinhohlraum, was die Ausbildung von Blasen bewirkt. Die Ausbildung und die Größe von Blasen werden vor einem beleuchteten flachen schwarzen Hintergrund überwacht. Falls sich innerhalb von 30 Sekunden keine Blasen bilden, so sagt man, daß keine großen Undichtigkeiten im Baustein vorliegen.
  • Der Gewichtszunahmetest ist ein weiterer Test auf eine große Undichtigkeit, der durchweg verwendet und in MIL- STD-883E, Verfahren 1014.9, Testbedingung beschrieben wird. Der Gewichtszunahmetest erfaßt ein Leck, indem gemessen wird, wie sich das Gewicht eines Bausteins verändert, nachdem die Detektorflüssigkeit durch das Leck in den Baustein gedrückt worden ist. Bei den Gewichtszunahmetest wird (a) der elektronische Baustein gewogen, (b) der elektronische Baustein in einem Detektorflüssigkeitsbad mit Druck bombardiert, (c) der elektronische Baustein aus dem Detektorflüssigkeitsbad entfernt und trocknen gelassen, (d) der elektronische Baustein gewogen, wobei eine Gewichtszunahme des elektronischen Bausteins auf Undichtigkeiten hinweist. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Hydrofluorether als Detektorflüssigkeit verwendet werden.
  • Gemäß einer Ausführungsform dieses Verfahrens werden die zu testenden elektronischen Bausteine gereinigt, getrocknet und gewogen. Die Bausteine werden dann je nach ihrem Innenvolumen in "Zellen" gruppiert. Bausteine mit einem Innenvolumen von unter 0,01 cm³ werden in Zellen mit Inkrementen von 0,5 Milligramm angeordnet, und Bausteine mit einem Innenvolumen von mindestens 0,01 cm³ werden in Zellen mit Inkrementen von 1 Milligramm angeordnet.
  • Die Bausteine werden in der Regel eine Stunde lang unter ein Vakuum von 667 Pa (5 Torr) gesetzt. Die Hydrofluorether-Detektorflüssigkeit wird in die Bombardierungskammer eingelassen, so daß die Bausteine ohne Unterbrechen des Vakuums bedeckt werden. Die Bausteine werden zwei Stunden lang unter einen Druck von beispielsweise 0,52 MPa (75 psia) gesetzt. Bei empfindlichen Teilen kann ein geringerer Druck mit einem längeren Bombardierungszyklus verwendet werden. Nach der Bombardierung werden die Teile etwa zwei Minuten lang an der Luft getrocknet.
  • Die Bausteine werden einzeln gewogen und kategorisiert. Ein Baustein wird als undicht zurückgewiesen, falls sein Gewicht um 1, 0 Milligramm oder mehr zunimmt. Beim Kategorisieren der Bausteine wird jeder Baustein als Ausschuß betrachtet, dessen Position sich um mehr als eine Zelle verändert. Falls ein Baustein Gewicht verliert, kann er nach acht Stunden Wärmebehandlung bei 125ºC nochmals getestet werden.
  • Ein weiterer Test auf eine große Undichtigkeit, der verwendet werden kann, beinhaltet die Erfassung der Detektorflüssigkeit durch eine analytische Technik wie etwa Infraroterfassung. Bei diesem Verfahren wird in der angegebenen Reihenfolge: (a) der elektronische Baustein in einem Detektorflüssigkeitsbad mit Druck bombardiert, wodurch versucht wird, Detektorflüssigkeit in den Hohlraum einzuleiten; (b) der elektronische Baustein aus der Detektorflüssigkeit entfernt, damit eine Menge der Detektorflüssigkeit verdampfen und aus dem Hohlraum als eine Anzeige für ein Leck abgegeben kann; und (c) abgegeben entweichender Detektordampf durch eine analytische Technik erfaßt. Als Detektorflüssigkeit kann ein Hydrofluorether verwendet werden.
  • Ein derartiges Verfahren wird in dem US-Patent Nr. 4,920,785 an Etess beschrieben und wird in der Regel als NIDTM-Test bezeichnet. Die sich nach dem Bombardierungsschritt aus dem Baustein entwickelnde Menge der Detektorflüssigkeit (Hydrofluorether) kann gemessen werden, indem die Infrarotabsorption der Atmosphäre aus der Testkammer gemessen wird. Die gemessene Menge ist proportional zu der Größe der großen Undichtigkeit. Andere Meßgeräte können mit dem NIDTM-Testverfahren verwendet werden. Zu diesen Geräten zählen ein Ultraviolettspektrometer, ein Wärmeleitfähigkeitsdetektor, ein Photoionisierungsdetektor und ein Elektroneneinfangdetektor. Das von Web Technology, Inc. (Dallas, TX, LTSA) hergestellte Detektorsystem verwendet einen Infrarotabsorptionsdetektor.
  • Bevorzugte Hydrofluorether zur Verwendung in einem hermetischen Dichtungstest (Blasentest, Gewichtszunahmetest und NIDTM-Test) als Detektorflüssigkeiten sind unten in Tabelle 1 aufgeführt.
    • Tabelle 1 Hydrofluorether Siedepunkt (ºC)
  • C&sub3;F&sub7;OC&sub2;H&sub5; 52
  • C&sub4;F&sub9;OCH&sub3; 60
  • C&sub4;F&sub9;OC&sub2;H&sub5; 78
  • C&sub5;F&sub1;&sub1;OCH&sub3; 82
  • C&sub4;F&sub9;OC&sub3;H&sub7; 94
  • Als Detektorflüssigkeiten können auch C&sub5;F&sub1;&sub1;-O-C&sub2;H&sub5; (Siedepunkt 96ºC) und c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-O-CH&sub3; (Siedepunkt 101ºC) verwendet werden.
  • Hydrofluorether mit einem Siedepunkt von über 125ºC können auch als Indikatorflüssigkeiten beim Blasentest verwendet werden. Beispiele dafür sind in Tabelle 2 gezeigt.
    • Tabelle 2 Hydrofluorether Siedepunkt (ºC)
  • C&sub7;F&sub1;&sub5;-OCH&sub3; 127
  • C&sub7;F&sub1;&sub5;-OCH&sub2;CH&sub3; 139
  • c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;-OC&sub2;H&sub5; 138
  • CF&sub3;-O-c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;-O-CH&sub3; 148
  • C&sub6;F&sub1;&sub7;-O-CH&sub3; 150 (geschätzt)
  • Die Hydrofluorether können auch als Testflüssigkeit beim Wärmeschocktesten elektronischer Bauteile verwendet werden. Bei einem Wärmeschocktest wird in der Regel das elektronische Bauelement in einer ersten Flüssigkeit bei einer Temperatur zwischen -75ºC und -25ºC und in einer zweiten Flüssigkeit bei einer Temperatur zwischen 100ºC und 210ºC ausgesetzt. Die elektrischen Bauelemente können wiederholt zwischen der ersten und der zweiten Flüssigkeit hin und her bewegt werden. Danach werden die physikalischen und elektrischen Eigenschaften des elektronischen Bauelements getestet. Die Modalitäten des Wärmeschocktests werden in MIL-STD-883E, Verfahren 1011.9, beschrieben. Der Hydrofluorether kann je nach seinem Siedepunkt und Erstarrungspunkt als erste und/oder zweite Flüssigkeit verwendet werden.
  • Zum Wärmeschocktesten wird ein Bauelement mit einer ersten Flüssigkeit bei einer Temperatur zwischen -75ºC und -25ºC beaufschlagt, das Bauelement wird aus der ersten Flüssigkeit entfernt und mit einer zweiten Flüssigkeit bei einer Temperatur zwischen 100ºC und 210ºC beaufschlagt. Ein Hydrofluorether kann entweder als die Niedertemperaturflüssigkeit, die Hochtemperaturflüssigkeit oder beide dienen. Folglich muß der als Niedertemperaturflüssigkeit dienende Hydrofluorether einen Erstarrungspunkt unter -25ºC und bevorzugt unter -75ºC aufweisen. Der als Hochtemperaturflüssigkeit dienende Hydrofluorether muß einen Siedepunkt über 100ºC (bei MIL-STD-883E, Verfahren 1011.9, Test A) über 125ºC (Verfahren 1011.9, Test B) oder über 150ºC (Verfahren 1011.9, Test C) aufweisen. Somit kann ein Hydrofluorether sowohl als erste als auch zweite Flüssigkeit verwendet werden, der beiden Anforderungen hinsichtlich des Siedepunkts und des Erstarrungspunkts genügt. Temperaturausschläge von +10ºC für die heißen Bäder und von -10ºC für die kalten Bäder sind gestattet. In der Regel wird gefordert, daß der Transport der elektronischen Bauelemente aus dem einen zu dem anderen Bad und umgekehrt innerhalb sehr kurzer Zeiträume stattfindet, die nicht länger als 10 Sekunden sind.
  • Hydrofluorether zur Verwendung beim Wärmeschocktesten elektrischer Bauelemente weisen bevorzugt eine Wärmeleitfähigkeit von zwischen 0,5 und 0,8 mWatt/cm-ºC und eine spezifische Wärme zwischen 1,0-1,13 J/gºC (0,24 und 0,27 cal/gm-ºC) auf. Zu bevorzugten Hydrofluorethern, die als die erste Flüssigkeit verwendet werden können, zählen die folgenden, die in Tabelle 3 gezeigt sind:
    • Hydrofluoroether Erstarrungspunkt (ºC)
  • C&sub4;F&sub9;OCH&sub3; -153
  • C&sub4;F&sub9;OC&sub2;H&sub5; -138
  • C&sub3;F&sub7;OCH&sub3; -125
  • c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-OCH&sub3; -41
  • c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-OC&sub2;H&sub5; -53
  • c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;OCH&sub3; -59
  • c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;OC&sub2;H&sub5; -110
  • CF&sub3;CF(OCH&sub3;)CF(CF&sub3;)&sub2; -66
  • CF&sub3;CF(OC&sub2;H&sub5;)CF(CF&sub3;)&sub2; -105
  • C&sub2;F&sub5;CF(OCH&sub3;)CF(CF&sub3;)&sub2; -36
  • CF&sub3;O(c-C&sub6;F&sub1;&sub0;)CF&sub2;OCH&sub3; -97
  • C&sub4;F&sub9;O[CF(CF&sub3;)CF&sub2;O]&sub2;CH&sub3; -77
  • C&sub4;F&sub9;O[CF(CF&sub3;)CF&sub2;O]&sub3;CH&sub3; -80
  • (c-C&sub6;F&sub1;&sub1;)CF&sub2;O[CF(CF&sub3;)CF&sub2;O]&sub2;CH&sub3; -65
  • Zu bevorzugten Hydrofluorethern, die als zweite Flüssigkeit verwendet werden können, zählen C&sub6;F&sub1;&sub1;OCH&sub3; sowie solche mit einem Siedepunkt von über 125ºC, die in Tabelle 2 aufgeführt sind.
  • Hydrofluorether eignen sich auch zur Verwendung bei Environmental Stress Screening-Tests (ESS-Tests). Derartige Tests werden in der Regel durchgeführt, um den Betrieb des elektronischen Bauelements über einen langen Zeitraum hinweg von beispielsweise einem Jahr zu simulieren.
  • Bei dem Test werden in der Regel:
  • (a) das elektronische Bauteil in ein kaltes Bad aus einer inerten Flüssigkeit eingetaucht;
  • (b) an das elektronische Bauelement nach dem Verstreichen eines ersten vordefinierten Zeitraums Versorgungsspannungen angelegt, die über den höchsten Arbeitsspannungen liegen;
  • (c) die Versorgungsspannungen von dem elektronischen Bauelement abgeklemmt;
  • (d) das elektronische Bauelement innerhalb eines zweiten vordefinierten Zeitraums von dem kalten Bad in ein heißes Bad aus einer inerten Flüssigkeit überführt;
  • (e) an das elektronische Bauelement die Versorgungsspannungen angelegt, die über den höchsten Arbeitsspannungen liegen, während das elektronische Bauelement in dem heißen Bad eingetaucht ist;
  • (f) die Versorgungsspannungen von dem elektronischen Bauelement abgeklemmt; und
  • (g) die Schritte (a) bis (f) für eine vorbestimmte Anzahl von Spielen wiederholt.
  • Wie bereits oben für den Fall des Wärmeschocktests erörtert, könnte der Hydrofluorether je nach dem Erstarrungspunkt und Siedepunkt des Hydrofluorethers und den in dem kalten und dem heißen Bad verwendeten tatsächlichen Temperaturen möglicherweise in dem kalten Bad und/oder dem heißen Bad verwendet werden. Gemäß einer besonderen Ausführungsform dieses Verfahrens wird das kalte Bad bei einer Temperatur unter 0ºC und das heiße Bad bei einer Temperatur über 65ºC verwendet.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des vorliegenden Verfahrens wird das kalte Bad bei einer Temperatur von -20ºC und das heiße Bad bei einer Temperatur von über 85ºC verwendet. Geeignete Hydrofluorether zur Verwendung in dem kalten Bad dieser letzteren Ausführungsform sind C&sub4;F&sub9;-O-CH&sub3; und C&sub4;F&sub9;-O-CH&sub2;CH&sub3;. Zu geeigneten Hydrofluorethern zur Verwendung in dem heißen Bad der letzteren Ausführungsform zählen C&sub4;F&sub9;-O-C&sub3;H&sub7; (SP 94ºC) und C&sub5;F&sub1;&sub1;-O-C&sub2;H&sub5; (SP 96ºC) sowie diejenigen, die oben in den Tabellen 1 und 2 erwähnt wurden. Zu repräsentativen Hydrofluorethern, die sich als Niedertemperaturflüssigkeit beim Environmental Stress Testing eignen, zählen die in Tabelle 3 gezeigten.
  • Es kann auch ein Flüssigkeitseinbrenntest durchgeführt werden, in dem das zu testende elektronische Bauelement in einem Hydrofluorether als Testflüssigkeit bei einer Temperatur von 100ºC angeordnet wird, das elektronische Bauelement bestromt und die Temperatur der Testflüssigkeit allmählich auf eine Temperatur im Bereich zwischen 125ºC und 250ºC angehoben wird. Hydrofluorether zur Verwendung in einem derartigen Einbrenntest sollten einen Siedepunkt aufweisen, der über der in dem Test verwendeten Höchsttemperatur liegt.
  • Die Hydrofluorether eignen sich weiterhin zur Verwendung in einem Flüssigkeitseinbrenntest. Der Flüssigkeitseinbrenntest wird durchgeführt, um am Rand liegende Bauelemente zu sortieren oder zu eliminieren, und zwar solche mit inhärenten Fehlern oder Fehlern, die aus Abweichungen bei der Herstellung herrühren und Ausfälle in Abhängigkeit von der Zeit und der Beanspruchung hervorrufen. Dieser Test soll Mikroschaltungen bei oder über maximal ausgelegten Betriebsbedingungen testen.
  • Bei dem Flüssigkeitseinbrenntest wird ein Mikroelektronikbauelement je nach Art des Bauelements und seinen Leistungs- und Designspezifikationen spezifischen Testbedingungen ausgesetzt. Die Bauelemente werden mit einer an das Bauelement oder die Schaltung angelegten Spannung bei spezifizierten Temperaturen über gegebene Zeitintervalle hinweg diesen Bedingungen ausgesetzt. Der Einbrenntest wird im allgemeinen durchgeführt, indem das zu testende elektronische Bauelement in dem Hydrofluorether als Testflüssigkeit bei einer Temperatur von 100ºC angeordnet wird, an das elektronische Bauelement eine Spannung angelegt und die Temperatur der Testflüssigkeit allmählich auf eine Temperatur im Bereich zwischen 125ºC und 250ºC erhöht wird. Zur Verwendung in einem derartigen Einbrenntest bestimmte Hydrofluorether sollten einen Siedepunkt aufweisen, der über der in dem Test verwendeten Höchsttemperatur liegt. Temperaturen für diesen Test liegen im allgemeinen über 125ºC, mit Ausnahme bei großen Bauelementen, die als Hybride oder Hybridschaltungen bekannt sind. Die erforderlichen Zeiten bei gegebenen Temperaturen sind durch MIL-STD- 883E spezifiziert.
  • Die folgenden Beispiele veranschaulichen die Erfindung, ohne daß die Erfindung jedoch darauf beschränkt sein soll.
    • BEISPIELE Beispiel 1.
  • Bei diesem Beispiel wurden über Vakuum- und Drucktriebskräfte Hydrofluorether auf ihren Durchgang durch Leckkapillarröhren mit standardmäßiger Größe getestet. Zum Test auf Vakuum wurden die Speicher für Glaskapillarröhren mit unterschiedlichen Leckraten (die von General Electric erhältlich sind) mit flüssigen C&sub4;F&sub9;OCH&sub3;-Proben gefüllt. Eine Kugel, die speziell mit einem einen Septumsanschluß enthaltenden Ventil ausgestattet war, wurde auf der dem Behälter gegenüberliegenden Seite an der Glaskapillarröhre angebracht. Die Kugel wurde bei geschlossenem Ventil evakuiert. Das Ventil wurde dann geöffnet, damit das Vakuum an der Kapillaröffnung saugen und den Hydrofluorether in der Kugel sammeln konnte. Nach einer Stunde wurde aus der Kugel eine Probe entnommen. Um den unter Druck stehenden Fluß auszuwerten, wurde der C&sub4;F&sub9;OCH&sub3; enthaltende Behälter mit einem Druck von 1,93 bar (28 psig) beaufschlagt, und unter Normaldruck wurde eine Probe des Hydrofluorethers aus der Probenkugel entnommen. Zum Erfassen, ob C&sub4;F&sub9;OCH&sub3;-Material vorlag, das sich durch die Kapillarröhre und in die Kugel bewegt hatte, wurde ein Gaschromatograph (GC) 5890 von Hewlett Packard mit einem Elektroneneinfangdetektor (ECD) verwendet. Tabelle 4 zeigt die Standardleckgröße (bei Bereitstellung durch den Hersteller der Kapillarröhre) und das darauffolgende mittlere GC-Verhalten für C&sub4;F&sub9;OCH&sub3; nach einer Stunde unter Vakuum oder Druck.
    • Tabelle 4 Standardleckrate (atm-cm³/s) GC-Messung (ppm)*
  • 3,3 · 10&supmin;³ 42 500
  • 3,1 · 10&supmin;&sup4; 27 000
  • 2,7 · 10&supmin;³ 11 000
  • 3,0 · 10&supmin;&sup6; Keine Reaktion
  • * Die über ECD gemessenen GC-Konzentrationen sind nur näherungsweise
  • Aus der obigen Tabelle ist ersichtlich, daß C&sub4;F&sub9;OCH&sub3; in der Lage ist, durch Kapillarröhren mit Größen zu fließen, die einer standardmäßigen Leckrate von mehr als 10&supmin;&sup5; atm-cm³/s entsprechen.
    • Beispiel 2.
  • Zur Bestimmung der Effektivität von Hydrofluorethern wurden praktische Bauelemente getestet. Diese Bauelemente, bei denen es sich um standardmäßige keramische Doppelreihengehäuse (C-Dips) handelte, wurden von einem großen Elektronikhersteller bereitgestellt. Die von dem großen Elektronikhersteller bereitgestellten Bauelemente waren solche mit großen, feinen und kleinen Undichtigkeiten, wie aus dem realen Testen auf Lecks während der Produktion bekannt war.
  • Unter Verwendung der von MIL-STD-883E geforderten Parameter wurden sechs Bauelemente mit bekannten großen Undichtigkeiten getestet. Die Bauelemente wurden 35 Minuten lang evakuiert, mit C&sub4;F&sub9;OCH&sub3; als Detektorflüssigkeit bedeckt und 65 Minuten lang mit einem Druck von 6,20 bar (90 psig) beaufschlagt. Nachdem sie aus der Detektorflüssigkeit entfernt worden waren, wurden die Bauelemente in eine 125ºC warme Indikatorflüssigkeit FLUORINERT FC-40TM (erhältlich von 3M Company) in einer Trio-Tech-Blasenstation eingetaucht. Bei allen Bauelementen entwickelten sich große Mengen an C&sub4;F&sub9;OCH&sub3;- Blasen; die Blasenbildung hörte innerhalb von 30 Sekunden auf, was darauf hinwies, daß sich in den Hohlräumen keinerlei Detektorflüssigkeit mehr befand.
    • Beispiel 3.
  • Mit C&sub4;F&sub9;OC&sub2;H&sub5; als Detektorflüssigkeit wurden, wie in Beispiel 2 beschrieben, zwei C-Dips mit großen Undichtigkeiten, zwei mit feinen Undichtigkeiten und zwei ohne Undichtigkeiten getestet. Bei dem Blasentest zeigte sich, daß sich aus beiden Bauelementen mit großen Undichtigkeiten und einem Bauelement mit feinen Undichtigkeiten Blasen entwickelten. Bei dem anderen Bauelement mit feinen Undichtigkeit und beiden ohne Undichtigkeiten entwickelten sich keine Blasen.
    • Beispiel 4.
  • Zum Bestimmen der Eignung von Hydrofluorethern beim Wärmeschocktesten, bei Flüssigkeitseinbrenntests und ESS-Tests wurden gemäß der in Bouchop, D. F. und Alves, G. E., "Dimensionless Numbers", CHEM. ENG. PROG., 55, Nr. 9, S. 55-64 (1959) beschriebenen Formeln die Graetz-Zahl (NGS) und die Prandtl-Zahl (NPr) eines repräsentativen Hydrofluorethers berechnet und mit diesen für einen repräsentativen Perfluorkohlenwasserstoff berechneten Zahlen verglichen. Die Graetz-Zahl bestimmt das Verhältnis der Wärmekapazität einer Flüssigkeit zu der leitenden Wärmeübertragung bei einem stromlinienartigen Fluß. Die Prandtl-Zahl bestimmt das Verhältnis der Impulsdiffusionsfähigkeit und der thermischen Diffusionsfähigkeit einer Flüssigkeit unter erzwungenen oder freien Konvektionsbedingungen. Folgendes sind die Ergebnisse dieser Berechnungen:
  • Die analogen berechneten Werte für die Graetz-Zahl geben an, daß das Verhältnis der Wärmekapazität zu der leitenden Wärmeübertragung für Perfluorkohlenwasserstoffe und Hydrofluorether im wesentlichen identisch ist und unter stromlinienartigen Flußbedingungen eine fast gleichwertige Leistung aufweisen sollten. Die höhere Prandtl-Zahl für den Hydrofluorether ist auf die geringere Viskosität und die geringfügig höhere Wärmeleitfähigkeit von Hydrofluorethern zurückzuführen. Hydrofluorether sollten deshalb eine höhere thermische Diffusionsfähigkeit und einen geringeren Strömungswiderstand aufweisen. Die Graetz-Zahl und die Prandtl- Zahl zeigen dementsprechend, daß Hydrofluorether geeignete Kandidaten für das Wärmeschock-, Einbrenn- und ESS-Testen sind.

Claims (20)

1. Verfahren zum Testen eines elektronischen Bauteils, bei dem das elektronische Bauteil einer Testflüssigkeit ausgesetzt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Testflüssigkeit aus einem im wesentlichen nicht entflammbaren Hydrofluorether in einer Menge von 90 Gew.-% bis 100 Gew.-% besteht.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Verfahren ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus:
(a) Verfahren zum hermetischen Dichtungstesten zum Testen der Hermitezität eines abgedichteten Hohlraums in einem elektronischen Baustein;
(b) Verfahren zum Wärmeschocktesten;
(c) Verfahren zum Environmental Stress Screening- Testen; und
(d) Verfahren zum Flüssigkeitseinbrenn-Testen.
3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Verfahren ein hermetischer Dichtungstest zum Testen der Hermitezität eines abgedichteten Hohlraums in einem elektronischen Baustein ist.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei der hermetische Dichtungstest ein Test auf eine große Undichte ist, wobei in der angegebenen Reihenfolge:
(a) der elektronische Baustein in einem Detektorflüssigkeitsbad mit Druck bombardiert wird,
(b) der elektronische Baustein aus dem Detektorflüssigkeitsbad entfernt und trocknen gelassen wird,
(c) der elektronischen Baustein in eine Indikatorflüssigkeit eingetaucht wird, deren Temperatur über dem Siedepunkt der Detektorflüssigkeit liegt, und
d) beobachtet wird, ob Blasen entstehen, wobei Blasen auf Undichtigkeiten hinweisen und wobei die Testflüssigkeit die Detektorflüssigkeit oder die Indikatorflüssigkeit ist.
5. Verfahren nach Anspruch 3, wobei der hermetische Dichtungstest ein Test auf eine große Undichtigkeit ist, wobei in der angegebenen Reihenfolge:
(a) der elektronische Baustein gewogen wird,
(b) der elektronische Baustein in einem Detektorflüssigkeitsbad mit Druck bombardiert wird,
(c) der elektronische Baustein aus dem Detektorflüssigkeitsbad entfernt und trocknen gelassen wird,
(d) der elektronische Baustein gewogen wird, wobei eine Gewichtszunahme des elektronischen Bausteins auf Undichtigkeiten hinweist,
und wobei die Testflüssigkeit die Detektorflüssigkeit ist.
6. Verfahren nach Anspruch 3, wobei der hermetische Dichtungstest ein Test auf eine große Undichtigkeit ist, wobei in der angegebenen Reihenfolge:
(a) der elektronische Baustein in einem Detektorflüssigkeitsbad mit Druck bombardiert wird, wodurch versucht wird, Detektorflüssigkeit in den Hohlraum einzuführen;
(b) der elektronische Baustein aus der Detektorflüssigkeit entfernt wird, damit eine Menge der Detektorflüssigkeit verdampfen und als Anzeichen für eine Undichtigkeit aus dem Hohlraum abgegeben werden kann; und
(c) der entweichende Detektordampf durch eine analytische Technik erfaßt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Verfahren ein Wärmeschocktest ist.
8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei bei dem Wärmeschocktest das elektronische Bauelement in einer ersten Flüssigkeit einer Temperatur zwischen -75ºC und -25ºC und in einer zweiten Flüssigkeit einer Temperatur zwischen 100ºC und 210ºC ausgesetzt wird und wobei die Testflüssigkeit die erste Flüssigkeit und/oder die zweite Flüssigkeit ist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei der Hydrofluorether einen Erstarrungspunkt von unter -25ºC und/oder einen Siedepunkt von über 100ºC aufweist.
10. Verfahren nach Anspruch 8, wobei der Hydrofluorether einen Erstarrungspunkt von unter -25ºC und einen Siedepunkt von über 100ºC aufweist und wobei die Testflüssigkeit als erste und zweite Flüssigkeit verwendet wird.
11. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Verfahren ein Environmental Stress Screening-Test ist.
12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei bei dem Environmental Stress Screening-Test:
(a) das elektronische Bauteil in ein kaltes Bad aus einer inerten Flüssigkeit eingetaucht wird;
(b) an das elektronische Bauelement nach dem Verstreichen eines ersten vordefinierten Zeitraums Versorgungsspannungen angelegt werden, die über den höchsten Arbeitsspannungen liegen;
(c) die Versorgungsspannungen von dem elektronischen Bauelement abgeklemmt werden;
(d) das elektronische Bauelement innerhalb eines zweiten vordefinierten Zeitraums von dem kalten Bad in ein heißes Bad aus einer inerten Flüssigkeit überführt wird;
(e) an das elektronische Bauelement die Versorgungsspannungen angelegt werden, die über den höchsten Arbeitsspannungen liegen, während das elektronische Bauelement in dem heißen Bad eingetaucht ist;
(f) die Versorgungsspannungen von dem elektronischen Bauelement abgeklemmt werden; und
(g) die Schritte (a) bis (f) für eine vorbestimmte Anzahl von Spielen wiederholt werden, und wobei die Testflüssigkeit die inerte Flüssigkeit des kalten Bades und/oder die inerte Flüssigkeit des heißen Bades ist.
13. Verfahren nach Anspruch 12, wobei das kalte Bad bei einer Temperatur von unter 0ºC und das heiße Bad bei einer Temperatur von über 65ºC gehalten wird.
14. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Verfahren ein Flüssigkeitseinbrenntest ist.
15. Verfahren nach Anspruch 14, wobei bei dem Flüssigkeitseinbrenntest das elektronische Bauteil in der Testflüssigkeit bei 100ºC angeordnet wird, daran eine Spannung angelegt und die Temperatur der Testflüssigkeit allmählich auf eine Temperatur zwischen 125ºC und 250ºC angehoben wird.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, wobei der Hydrofluorether der folgenden Formel entspricht:
Rf(ORh)n
wobei:
Rf eine perfluorierte Alkylgruppe;
Rh eine Alkylgruppe;
n eine Zahl zwischen 1 und 3 ist und wobei die Anzahl der in Rf enthaltenen Kohlenstoffatome größer ist als die Gesamtzahl der in allen Rh-Gruppen enthaltenen Kohlenstoffatome.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, wobei der Hydrofluorether ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus C&sub4;F&sub9;-OCH&sub3;, C&sub4;F&sub9;-OC&sub2;H&sub5;, c-C&sub6;F&sub1;&sub1;CF&sub2;-OCH&sub3; und CF&sub3;-O-c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;-O-CH&sub3;.
18. Verfahren nach Anspruch 4, wobei die Testflüssigkeit die Detektorflüssigkeit ist und der Hydrofluorether ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus C&sub3;F&sub7;OC&sub2;H&sub5;, C&sub4;F&sub9;OCH&sub3;, C&sub4;F&sub9;OC&sub2;H&sub5;, C&sub5;F&sub1;&sub1;OCH&sub3;, C&sub5;F&sub1;&sub1;OC&sub2;H&sub5;, C&sub4;F&sub9;OC&sub3;H&sub7; und c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-OCH&sub3;.
19. Verfahren nach Anspruch 4, wobei die Testflüssigkeit die Indikatorflüssigkeit ist und der Hydrofluorether ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus C&sub7;F&sub1;&sub5;-OCH&sub3;, C&sub7;F&sub1;&sub5;-OC&sub2;H&sub5;, c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;- OC&sub2;H&sub5;, CF&sub3;-O-c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;-OCH&sub3; und C&sub8;F&sub1;&sub7;OCH&sub3;.
20. Verfahren nach Anspruch 7, wobei der Hydrofluorether ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus C&sub4;F&sub9;OCH&sub3;, C&sub4;F&sub9;OC&sub2;H&sub5;, C&sub3;F&sub7;OCH&sub3;, c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-OCH&sub3;, c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-OC&sub2;H&sub5;, c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;-OCH&sub3;, c-C&sub6;F&sub1;&sub1;-CF&sub2;OC&sub2;H&sub5;, CF&sub3;CF(OCH&sub3;)CF(CF&sub3;)&sub2;, CF&sub3;CF(OC&sub2;H&sub5;)CF(CF&sub3;)&sub2;, (C&sub2;F&sub5;)CF(OCH&sub3;)CF(CF&sub3;)&sub2;, CF&sub3;O(c-C&sub6;F&sub1;&sub0;)CF&sub2;OCH&sub3;, C&sub4;F&sub9;O[CF(CF&sub3;)CF&sub2;O]&sub2;CH&sub3;, C&sub4;F&sub9;O[CF(CF&sub3;)CF&sub2;O]&sub3;CH&sub3;, (c-C&sub6;F&sub1;&sub1;)CF&sub2;O[CF(CF&sub3;)CF&sub2;O]&sub2;CH&sub3; und
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