DE69635119D1 - Kathode, elektronenstrahlemittierende Vorrichtung mit Verwendung derselben, und Verfahren zur Herstellung der Kathode - Google Patents

Kathode, elektronenstrahlemittierende Vorrichtung mit Verwendung derselben, und Verfahren zur Herstellung der Kathode

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Masakuni Okamoto
Hiroyuki Shinada
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3556331B2 (ja) * 1995-07-17 2004-08-18 株式会社日立製作所 電子源の作製法
JP3440448B2 (ja) * 1996-11-12 2003-08-25 日本電子株式会社 熱電界放射型電子銃
US6252339B1 (en) 1998-09-17 2001-06-26 Nikon Corporation Removable bombardment filament-module for electron beam projection systems
US6680562B1 (en) 1999-08-20 2004-01-20 Fei Company Schottky emitter having extended life
SE0002066D0 (sv) * 2000-05-31 2000-05-31 Amersham Pharm Biotech Ab Method and device for preforming analyses in parallel
US6771013B2 (en) * 2000-10-17 2004-08-03 Fei Company Low power schottky emitter
US6798126B2 (en) * 2002-05-03 2004-09-28 Fei Company High angular intensity Schottky electron point source
JP3832402B2 (ja) * 2002-08-12 2006-10-11 株式会社日立製作所 カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置
DE10245052A1 (de) * 2002-09-26 2004-04-08 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Elektronenstrahlquelle und elektronenoptischer Apparat mit einer solchen
US9159527B2 (en) * 2003-10-16 2015-10-13 Carl Zeiss Microscopy, Llc Systems and methods for a gas field ionization source
US8110814B2 (en) 2003-10-16 2012-02-07 Alis Corporation Ion sources, systems and methods
JP2005259606A (ja) * 2004-03-12 2005-09-22 Anelva Corp 熱電子放出用フィラメント
JP2008004411A (ja) * 2006-06-23 2008-01-10 Denki Kagaku Kogyo Kk 電子源
US7888654B2 (en) * 2007-01-24 2011-02-15 Fei Company Cold field emitter
JP2008270017A (ja) * 2007-04-23 2008-11-06 Tohken Co Ltd ナノチップ電界放射電子源
JP5173516B2 (ja) * 2008-03-26 2013-04-03 学校法人早稲田大学 電子源及び電子源の製造方法
JP5363413B2 (ja) * 2010-05-10 2013-12-11 電気化学工業株式会社 電子源
RU2682182C2 (ru) * 2014-02-10 2019-03-15 Люксбрайт Аб Эмиттер электронов для рентгеновской трубки
CN104505697B (zh) * 2014-11-01 2017-09-22 佛山宁宇科技股份有限公司 抗溅射激光泵浦稀土合金热电子发射阴极贴片及其制备方法
WO2019008738A1 (ja) * 2017-07-07 2019-01-10 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電界放出型電子源および荷電粒子線装置
CN111048382B (zh) * 2018-10-12 2021-03-23 中国电子科技集团公司第三十八研究所 电子源制造方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE578383C (de) * 1928-10-07 1933-06-13 Franz Skaupy Dr Wehneltkathode
US3273005A (en) * 1963-04-01 1966-09-13 Gen Electric Electron emitter utilizing nitride emissive material
US3814975A (en) * 1969-08-06 1974-06-04 Gen Electric Electron emission system
DE3039283A1 (de) * 1979-10-19 1981-05-14 Hitachi, Ltd., Tokyo Feldemissionskathode und verfahren zu ihrer herstellung
JPS5661734A (en) * 1979-10-24 1981-05-27 Hitachi Ltd Field emission cathode and its manufacture
US4324999A (en) * 1980-04-30 1982-04-13 Burroughs Corporation Electron-beam cathode having a uniform emission pattern
JPS57191950A (en) * 1981-05-22 1982-11-25 Hitachi Ltd Charged-particle source
JPS5949065A (ja) * 1982-09-13 1984-03-21 Hitachi Ltd 拡散補給形電子線源
JPH0684452A (ja) * 1992-03-27 1994-03-25 Denki Kagaku Kogyo Kk 熱電界放射陰極
JP3264775B2 (ja) * 1994-06-29 2002-03-11 電気化学工業株式会社 熱電界放射電子銃
US5440124A (en) * 1994-07-08 1995-08-08 Wisconsin Alumni Research Foundation High mass resolution local-electrode atom probe
US5616926A (en) * 1994-08-03 1997-04-01 Hitachi, Ltd. Schottky emission cathode and a method of stabilizing the same

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Publication number Publication date
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US5763880A (en) 1998-06-09
JPH08250054A (ja) 1996-09-27
EP0732720B1 (de) 2005-08-31

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