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Gebiet der
Erfindung
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Die Erfindung betrifft ein neues
keramisches Substrat der Formel Ba2DyMO5
,5, wobei M für mindestens eines
der Metalle Zr und Hf steht, ein Verfahren zur Herstellung dieser
keramischen Substrate für
Bicuprat-Supraleiter, Bicuprat-Supraleiter und ein Verfahren zur
Herstellung von phasenreinen supraleitenden Bi(2223)- und Bi(2223)-Ag-Dickfilmen
auf diesen neu entwickelten Substraten.
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Stand der
Technik der Erfindung
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Die unmittelbare Anwendung von Supraleitern
mit hoher Tc erfolgt in der Regel in Gestalt
von Dick- und Dünnfilmen
in elektronischen Einrichtungen [Alford N. McN et al., Supercond.
Sci., Technol. 4 (1991) 433; Pinto, R. et al., Applied Superconductivity
1 (1993) 1]. In der Herstellung supraleitender Filme spielen Substrate eine
wichtige Rolle, und die hohe chemische Reaktivität der Bicuprat-Supraleiter
legt den Materialien, die zur Verwendung als Substrate für Bicuprat-Supraleiter
verfügbar
sind, strenge Beschränkungen
auf [McGinnis, W. C. et al. J. Mater. Res. 7 (1992) 585]. Außerdem sollte
das Substrat für
Mikrowellenanwendungen bei GHz-Frequenzen eine niedrige Dielektrizitätskonstante
und einen niedrigen Verlustfaktor aufweisen [Preng, L. H. et al., Supercond.
Sci. Technol. 3 (1990) 233]. Soweit wir wissen, ist MgO das einzige
Substrat, das für
Bicupratfilme für
Mikrowellenanwendungen geeignet ist. Die Bi(Pb)SrCaCuO[BiSCCO]-Filme,
die auf MgO entwickelt wurden, enthielten jedoch gemischte Phasen
sowohl mit niedriger Tc, Bi(2212) [Tc(0) = 80K] als auch mit hoher Tc, Bi(2223)
[Tc(0) = 110K] (McGinnis, W. C. et al.,
J. Mater. Res. 7 (1992) 585; Agarwal, A. et al., Supercond. Sci. Technol.
6 (1993) 670). Andere kommerziell erhältliche Substrate wie z. B.
Si, SiO2, Al2O3 und SrTiO3 etc.
sind entweder mit dem BiSCCO-Supraleiter
chemisch reaktiv oder weisen eine hohe Dielektrizitätskonstante
und einen hohen Verlustfaktor auf, was sie für Mikrowellenanwendungen ungeeignet
oder weniger attraktiv macht.
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PHYSICA C, 15. Dez. 1994, NETHERLANDS,
Vol. 234, Nr. 3–4,
ISSN 0921-4534, Seiten 211–218, XP002029563
KOSHYJ et al. offenbart, daß ein
neues perovskitkeramisches Material, DyBa2SnO5
,5, zur Verwendung
als ein Substrat für
sowohl YBCO- als auch BiSCCO-Supraleiter als einphasiges Material
synthetisiert und gesintert wurde.
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PHYSICA C, 10. Jan. 1996, ELSEVIER,
NETHERLANDS, Vol. 256, Nr. 3–4,
ISSN 0921-4534, Seiten 312–318,
XP002029562 KUMARKS et al. beschreibt supraleitende YBCO-Ag- und
Bi(2223)-Ag-Komposit-Dickfilme, die durch Tauchbeschichten auf polykristallinem
DyBaZSnO5
,5 hergestellt wurden.
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Wir haben nun neue Substratmaterialien,
Ba2DyMO5,5, (M =
Zr und Hf), entwickelt, die, wie sich zeigte, selbst bei extremen
Verfahrensbedingungen mit dem BiSCCO-Supraleiter nicht reaktiv sind
und eine niedrige Dielektrizitätskonstante
und einen niedrigen Verlustfaktor aufweisen. Wir haben auf diesen
Substraten phasenreine Bi(2223)- und Bi(2223}-Ag-Dickfilme mitTc(0) = 110K und hoher kritischer Stromdichte
(–104 A/cm2) hergestellt.
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Ziele der
Erfindung
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Das Hauptziel der vorliegenden Erfindung
ist daher, keramische Substrate aus Ba2DyMO5
,5 (M = Zr und Hf),
ein Verfahren zur Herstellung der keramischen Substrate, Bicuprat-Supraleiter
und ein Verfahren zur Herstellung von einphasigen Bi(2223)- und
Bi(2223)-Ag-Dickfilmen mit Tc(0) = 110K
und hoher kritischer Stromdichte auf diesen Substraten bereitzustellen.
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Um diese Ziele zu erreichen, sieht
die vorliegende Erfindung ein neues keramisches Substrat der Formel
Ba2DyMO5,5, ein
Verfahren zur Herstellung von supraleitenden Bi(2223)- und Bi(2223)-Ag-Dickfilmen
auf dem neuen Substrat und den Supraleiter, der durch das Verfahren
hergestellt wird, vor.
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Entsprechend betrifft eine Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Herstellen neuer keramischer
Substrate der Formel Ba2DyMO5
,5, wobei M für die Metalle Zr und Hf steht,
tauglich für
die Herstellung von supraleitenden Filmen darauf, umfassend:
- (i) Mischen von Dysprosium-, Barium- und Zr-
und Hf-Salzen in einem organischen Medium
- (ii) Pressen der resultierenden Mischung in die Form von Pellets,
(iii) Kalzinieren der Pellets durch Erhitzen bei einer Temperatur
im Bereich von 1000 bis 1200°C,
- (iv) Wiederholen des Kalzinierverfahrens, wobei insgesamt 30
bis 45 Stunden nicht überschritten
werden, vorzugsweise 12 Stunden für jede Kalziruerung, bei einer
Temperatur im Bereich von 1000 bis 1200°C, bis eine sehr homogene Mischung
gebildet ist,
- (v) Mahlen des kalzinierten Materials und Pelletisieren bei
einem Druck im Bereich von 3 bis 4 Tonnen/cm2, und
- (vi) Sintern. des resultierenden Produktes bei einer Temperatur
im Bereich von 1200 bis 1600°C
für eine Dauer
von 10 bis 30 Stunden, vorzugsweise 20 Stunden, und dann ofengekühlt auf
Raumtemperatur.
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Die verwendeten Dysprosium- und Bariumsalze
und Salze anderer Metalle können
aus Oxiden, Carbonaten oder Nitraten ausgewählt werden. Die Reinheit der
Salze kann 99,9% betragen. Das verwendete organische Medium kann
aus organischen Lösemitteln
wie z. B. Aceton, Ethylalkohol, Isopropylalkohol ausgewählt werden.
Mehrfache Kalzinierungen (vorzugsweise dreimal) der Pellets können bei
einer Temperatur von 1000 bis 1200°C für eine Dauer, die von 10 bis
15 Stunden reicht, vorzugsweise 12 Stunden für jede Kalzinierung, ausgeführt werden.
Das Sintern des Endproduktes kann für eine Dauer von 10 bis 30
Stunden, vorzugsweise 20 Stunden, durchgeführt werden.
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Im Hinblick auf die Eignung von Ba2DyMO5,
5-Substraten
haben wir Bi(2223)- und Bi(2223)-Ag-Dickfilme mit einem supraleitendem Übergang
mit Nullresistivität
bei 110K auf diesen Substraten erfolgreich siebgedruckt/tauchbeschichtet.
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Daher betrifft ein weiterer Aspekt
der vorliegenden Erfindung ein Verfahren für die Herstellung von supraleitenden
Bi(2223)- und Bi(2223)-Ag-Dickfilmen auf neuen keramischen Substraten
der Formel Ba2DyMO5,5,
wobei M für
Metalle, nämlich
Zr und Hf steht, tauglich für
die Herstellung von supraleitenden Filmen, umfassend:
- (i) mechanisches Polieren des keramischen Substrats der obigen
Formel, um sehr glatte und glänzende Oberflächen zu
erhalten,
- (ii) Herstellen von Dickfilmen von Bi(2223)- und Bi(2223)-Ag-Kompositen
mit 5–10
Vol.-% Ag durch bekannte Verfahren,
- (iii)(a) Siebdrucken von Bi(2223) und Bi(2223)-Ag auf den polierten
Ba2DyMO5,5-Substraten unter
Verwendung einer Siebgröße im Bereich
von 325, oder (b) Tauchbeschichten von Bi(2223) und Bi(2223)-Ag
auf dem polierten Ba2DyMO5
,5 unter Verwendung einer Suspension des
jeweiligen Pulvers mit einem organischen Lösemittel,
- (iv) Trocknen der resultierenden Filme mit einer Temperatur
im Bereich von 100 bis 150°C,
- (v) Erhitzen der getrockneten Filme bei einer Geschwindigkeit
von 200 bis 300°C/h
auf 860–880°C und Glühen bei
dieser Temperatur für
1 bis 5 Minuten
- (vi) Abkühlen
des Films bei einer Geschwindigkeit von 10°C/h, um die Temperatur auf 845°C herunterzubringen,
und Belassen der Filme bei dieser Temperatur für eine Dauer von 2–4 Stunden,
und
- (vii) Abkühlen
des Films bei einer Geschwindigkeit von 200°C/h auf Raumtemperatur.
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Alle obigen Schritte werden in Anwesenheit
von Luft oder Sauerstoff durchgeführt.
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Die Einzelheiten der Erfindung sind
im unten angegebenen Beispiel 1 beschrieben, das lediglich zu Anschauungszwecken
vorgesehen ist und nicht als den Umfang der Erfindung begrenzend
aufgefaßt
werden sollte. Beispiele 2, 3, 4 und 5 liefern technischen Hintergrund.
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Beispiel 1
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Herstellung
von keramischen Substraten der Formel Ba2DyZrO5,5
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Ba2DyZrO5,5 wurde durch ein Festphasenreaktionsverfahren
hergestellt. Dy2O3,
BaCO3 und ZrO2 (Reinheit
99,9%) wurden in stöchiometrischem
Verhältnis
genommen, gründlich
in einem Acetonmedium gemischt und an Luft bei 1150°C 45 Stunden
mit zwei Zwischenmahlgängen
kalziniert. Die resultierende Mischung wurde pulverisiert und bei
einem Druck von 5 Tonnen/cm2 in die Form
von kreisförmigen
Pellets gepreßt
und bei 1450°C
20 Stunden an Luft gesintert.
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Beispiel 2
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Herstellung
von keramischem Substrat der Formel Ba2DySnO5,5
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Ba2DySnO5,5 wurde durch ein Festphasenreaktionsverfahren
hergestellt. Dy2O3,
BaCO3 und SnO2 (Reinheit
99,9%) wurden in stöchiometrischem
Verhältnis
genommen, gründlich
in Aceton gemischt und an der Luft bei 1100°C mit zwei Zwischenmahlgängen kalziniert.
Die resultierende Mischung wurde pulverisiert und bei einem Druck
von 4 Tonnen/cm2 in die Form von kreisförmigen Pellets
gepreßt
und bei 1360°C
20 Stunden an der Luft gesintert.
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Strukturelle
Bestimmung
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Die Struktur des gesinterten Materials
wurde durch ein Röntgendiffraktions(XRD)-Verfahren untersucht,
und es zeigt sich, daß alle
diese Materialien isostrukturell mit einer kubischen Perovskitstruktur
sind, wie in den XRD-Bildern in 1 (Blatt
Nr. 1) der Zeichnungen gezeigt, die dieser Beschreibung für zwei typische Proben
Ba2DyZrO5,5 (Beispiel
1) und Ba2DySnO5,5 (Beispiel
2) beigefügt
sind. In Tabelle 1a und b haben wir die computerisierten XRD-Daten
für diese
Materialien angegeben.
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Dielektrische
Eigenschaften
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Die dielektrischen Eigenschaften
der Substratmaterialien wurden im Frequenzbereich 30 Hz bis 13 MHz
gemessen, und Werte der Dielektrizitätskonstante (ε') und des Verlustfaktors
(tan δ)
bei einer Frequenz von 13 MHz sind 12 bzw. 10–3 bei
Raumtemperatur. Bei GHz-Frequenzen wurden Werte für ε' und tan δ von 10 bzw.
10–5 gefunden,
die ideal für
Mikrowellenanwendungen geeignet sind.
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Chemische Kompatibilität von BaZDyMO5
,5 mit
Bi(2223)-Supraleiter
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Das wichtigste Merkmal eines Materials,
das als Substrat für
Supraleiter verwendet werden soll, ist seine chemische Nichtreaktivität mit dem
Supraleiter bei der Verarbeitungstemperatur. Die chemische Reaktivität zwischen
Ba2DyMO5
,5 und (Bi2223) wurde untersucht, indem 1
: 1 Vol.-% Ba2DyMO5,5 und
Bi(2223) gemischt wurden und das vorliegende Pellet 20 Stunden bei
850°C geglüht wurde.
Das XRD-Bild der geglühten
1 : 1 Vol.-%-Mischung
aus Ba2DySnO5,5 und
Bi(2223) ist in 2 (Blatt
Nr. 2) gezeigt. Das XRD-Bild in den beiden Phasen in 2c wird mit denen des reinen
Bi(2223) (2a) und des
reinen Ba2DySnO5,5 (2b) verglichen. 2 zeigt, daß in der
geglühten
Kompositprobe außer
denen des Bi(2223) und Ba2DySnO5,5 keine
zusätzliche
Phase gebildet wird, nicht einmal Bi(2212). Dies weist deutlich
darauf hin, daß selbst
bei den extremen Verfahrensbedingungen keine chemische Reaktion
zwischen Ba2DySnO5,5 und
Bi(2223) stattfindet. Detaillierte Perkolationsuntersuchungen, die
an Ba2DySnO5,5-Bi(2223)-Kompositen
durchgeführt
wurden, haben bestätigt,
daß gefunden
wird, daß Bi(2223)
und Ba2DySnO5,5 selbst
unter strenger Wärmebehandlung
als getrennte Phasen mit ihren eigenen Merkmalen verbleiben, was
darauf hindeutet, daß Ba2DySnO5,5 ein ideales Substratmaterial
für Bi(2223)
sein kann. Ba2DySnO5,5 sind
isolierende Perovskitoxide mit Resistivitäten der Größenordnung von 10 ohm cm. Im
Hinblick auf die Eignung von Ba2DySnO5,5-Substraten haben wir Bi(2223)- und Bi(2223)-Ag-Dickfilme
mit Tc(0) = 110 K auf diesen Substraten
erfolgreich siebgedruckt/tauchbeschichtet.
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Das vorliegende Verfahren zur Herstellung
von Bi(2223) und Bi(2223)-Ag durch Siebdrucken/Tauchbeschichten
von Dickfilmen auf Ba2DySnO5,5-Substraten
ist unten angegeben:
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Bevor Bi(2223) und Bi(2223)-Ag siebgedruckt/tauchbeschichtet
wurden, wurden Ba2DySnO5,5-Substrate
mechanisch poliert, um sehr glatte und glänzende Oberflächen zu
erhalten. Zum Siebdrucken wurden Bi(2223)- und Bi(2223)-Ag-Dickfilmpasten
durch Mischen des jeweiligen Pulvers mit einem organischen Träger hergestellt.
Die Filmstärke
wurde über
eine Viskositätssteuerung
der Dickfilmpaste gesteuert. Diese Dickfilmpaste wurde dann unter
Verwendung einer Siebgröße von 325
auf Ba2DySnO5,5-Substrate
siebgedruckt. Im Falle des Tauchbeschichtens wurden die Bi(2223)-
und Bi(2223)-Ag-Suspensionen durch separates Mischen ihrer jeweiligen
feinen Pulver in einem organischen Medium hergestellt, und die Viskositäten wurden
durch Zugabe von kommerziell erhältlichem
Fischöl
gesteuert. Bi(2223)- und Bi(2223)-Ag-Dickfilme wurden hergestellt, indem
polierte Ba2DySnO5,5-Substrate
in die jeweilige Suspension getaucht wurden. Siebgedruckte/tauchbeschichtete
Filme wurden bei 100° bis
150°C 2
bis 3 Stunden getrocknet. Getrocknete Filme wurden in einem programmierbaren
Ofen bei einer Geschwindigkeit von 200° bis 300°C/h auf 860–880°C erhitzt und bei dieser Temperatur
1–5 Minuten
geglüht.
Die Filme wurden bei einer Geschwindigkeit von 10°C/h abgekühlt und
auf 845°C
gebracht und bei dieser Temperatur 2–4 Stunden belassen, und dann
wurden die Filme bei einer Geschwindigkeit von 200°C auf Raumtemperatur
abgekühlt.
Alle obigen Verfahren wurden an der Luft durchgeführt. Die
Struktur der Filme wurde durch das Röntgendiffraktionsverfahren
untersucht, und XRD-Bilder dieser typischen Bi(2223)-Dickfilme auf
Ba2DySnO5,5 sind
in 3 gezeigt (dargestellt
auf den Blättern
Nr. 3, 4 und 5). Die XRD-Bilder dieser (2223)-Dickfilme zeigten,
daß außer den
charakteristischen Peaks der Ba2DySnO5,5-Substrate alle anderen Peaks einem phasenreinen
Bi(2223)-Supraleiter zugeordnet werden konnten.
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Die folgenden Beispiele veranschaulichen
die Herstellung eines supraleitenden Films unter Verwendung der
Substrate.
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Beispiel 3
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Herstellung eines supraleitenden
Bi(2223)-Dickfilms auf keramischem Substrat der Formel Ba2DYSnO5,5
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Hochpoliertes polykristallines Ba2DySnO5,5-Substrat
wurde für
die Herstellung von Bi(2223)-Dickfilmen verwendet. Bi(2223)-Dickfilmpaste
wurde durch Mischen von Bi(2223) mit n-Butanol hergestellt. Die
Viskosität der
Paste wurde durch die Zugabe von kommerziell erhältlichem Fischöl gesteuert.
Diese Paste wurde dann unter Verwendung eines Siebs mit 325-Siebgröße auf Ba2DySnO5,5-Substrat
siebgedruckt. Der gedruckte Film wurde dann 3 Stunden in einem Ofen
bei 200°C
getrocknet. Der Film wurde dann in einem programmierbaren Ofen an
Luft bei einer Geschwindigkeit von 200°C/h auf 880°C erhitzt und bei dieser Temperatur
zwei Minuten belassen. Er wurde dann bei einer Geschwindigkeit von
10°C/h auf
845°C abgekühlt und
bei dieser Temperatur 3 Stunden belassen und schließlich auf
Raumtemperatur ofengekühlt.
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Beispiel 4
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Herstellung eines supraleitenden
Bi(2223)-Dickfilms auf keramischem Substrat der Formel Ba2DySnO5,5
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Die Dickfilmsuspension des Bi(2223)
zum Tauchbeschichten wurde durch Mischen eines feines Bi(2223)-Pulvers
mit n-Butanol hergestellt, und die Viskosität wurde durch die Zugabe von
Fischöl
gesteuert. Der Bi(2223)-Dickfilm wurde durch Eintauchen von hochpoliertem
Ba2DySnO5,5-Substrat
in die Bi(2223)-Suspension hergestellt. Der Film wurde dann in einem
elektrischen Ofen 3 Stunden bei 150°C getrocknet. Der getrocknete
Film wurde dann bei einer Geschwindigkeit von 200°C/h in einem
programmierbaren Ofen auf 880°C erwärmt und
bei dieser Temperatur 3 Minuten belassen. Der Film wurde dann bei
einer Geschwindigkeit von 10°C/h
auf 845°C
abgekühlt
und bei dieser Temperatur 3 Stunden belassen. Er wurde dann bei
einer Geschwindigkeit von 200°C/h
auf Raumtemperatur gekühlt.
Das gesamte Verfahren wurde an der Luft durchgeführt.
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Beispiel 5
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Herstellung eines supraleitenden
Bi(2223)-Ag-Dickfilms auf keramischem Substrat der Formel Ba2DySnO5,5
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Die Dickfilmsuspension des Bi(2223)-Ag
zum Tauchbeschichten wurde durch Mischen von supraleitendem Bi(2223)-Ag-Kompositpulver
mit n-Butanol hergestellt. Ein Dickfilm aus Bi(2223)-Ag-Komposit
mit 7 Vol.-% Ag wurde durch Eintauchen eines hochpolierten Ba2DySnO5,5-Substrats
in diese Suspension hergestellt. Der beschichtete Film wurde 3 Stunden
bei 200°C
in einem elektrischen Ofen belassen, um das im Film vorhandene organische
Lösemittel
zu entfernen. Der Film wurde dann in einem programmierbaren Ofen
an Luft bei einer Geschwindigkeit von 300°C/h auf 870°C erwärmt und bei dieser Temperatur
2 Minuten belassen und bei einer Geschwindigkeit von 10°C/h auf 845°C gekühlt und
bei dieser Temperatur 3 Stunden belassen. Der Film wurde dann bei
Raumtemperatur gekühlt.
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Die Struktur des Films wurde durch
ein Röntgendiffraktionsverfahren
untersucht. Die XRD-Bilder von drei typischen Dickfilmen auf Ba2DySnO5,5-(Beispiel
3), Ba2DySnO5,5-(Beispiel 4) und
Ba2DySnO5,5-(Beispiel 5)-Substraten
sind in 3(a), (b) und (c) der
Zeichnungen (Blätter
Nr. 3, 4 und 5), die dieser Beschreibung beigefügt sind, gezeigt. Das XRD-Bild
dieser Bi(2223)-Dickfilme zeigte, daß abgesehen von den charakteristischen
Peaks der Ba2DySnO5,5-Substrate
alle anderen Peaks einem phasenreinen Bi(2223)-Supraleiter zugeordnet
werden konnten. Supraleiter in diesen Bi(2223)-Dickfilmen auf Ba2DySnO5,5-Substraten
wurden durch in 4 (Blatt
Nr. 6, 7 und 8) gezeigte Temperatur-/Widerstandsmessungen untersucht.
Die Filme zeigen im normalen Zustand ein metallisches Verhalten
und liefern bei 110 K auf einen supraleitenden Übergang mit Nullresistivität.
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