DE69618434T2 - Gekrümmter optischer Wellenleiter und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Gekrümmter optischer Wellenleiter und Verfahren zu dessen Herstellung

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen optischen Wellenleiter und ein Verfahren zur Herstellung desselben. Insbesondere betrifft die Erfindung einen gekrümmten optischen Wellenleiter, der zwei Punkte verbindet, bei denen die optischen Achsen des einfallenden Strahles und des ausgehendes Strahles nicht identisch sind, und ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Wellenleiters.
  • Optische Komponenten, wie Optokoppler, optische Sternkoppler und optische Module sind wichtig für den Bereich optischer LANs, die Telekommunikation und die optische Gerätesteuerung usw. In den letzten Jahren hat sich der Anwendungsbereich dieser optischen Komponenten rasch erweitert und im Zusammenhang damit wird der Bedarf nach kompakten Komponenten mit hoher Effizienz größer. Im Zusammenhang mit den oben erwähnten optischen Komponenten werden optische Wellenleiter zum Verzweigen oder Zusammenführen optischer Signale oder zur Verbindung mit lichtemittierenden und lichtempfangenden Vorrichtungen, wie LD (Laserdioden), LED (Leuchtdioden) und PD (Photodioden) verwendet. Optische Wellenleiter bestehen aus einem Kern mit einem hohen Brechungsindex für die Lichtausbreitung und einer Umhüllung mit einem niedrigen Brechungsindex, die den Kern umgibt. Sie sind dadurch gekennzeichnet, dass die angestrebten Einsatzzwecke durch ein geeignetes Ausbilden der Strukturen des Kerns und der Umhüllung des optischen Wellenleiters erreicht werden können.
  • Ein allgemein angewandtes Verfahren zur Verwendung von optischen Wellenleitern zum Leiten von Licht von einem Punkt (P) zu einem anderen Punkt (Q) ist, diese zwei Punkte unter Verwendung gekrümmter Wellenleiter zu verbinden, um den Verlust in den Wellenleitern in den Fällen, in denen die Ausbreitungsrichtungen des einfallenden Lichtes im Punkt P und des ausgehenden Lichtes im Punkt Q nicht identisch sind, so gering wie möglich zu halten. Beispielsweise durch Anwenden eines Verfahrens zum Verbinden des gebogenen Abschnittes und des geraden Abschnittes derart, dass die Richtung der Tangente an einem beliebigen Punkt entlang des optischen Wellenleiters zwischen zwei Punkten P und Q und die Richtung der Lichtausbreitung identisch sind, ist es möglich, eine besonders bevorzugte Form des optischen Wellenleiters zu ermitteln. Deshalb wurde herkömmlicherweise ein optischer Wellenleiter mit einer Form, die mittels des obigen Verfahrens ermittelt wurde, verwendet.
  • Allerdings gibt es bei Verwendung dieser gekrümmter optischer Wellenleiter Krümmungsverluste, Verluste, die auf den gekrümmten Abschnitt zurückzuführen sind. Ein daraus resultierendes Problem ist, dass die Verluste bei optischen Wellenleitern größer werden, die unter spitzen Winkeln gekrümmt sind.
  • Die Krümmungsverluste werden nun unter Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Die Erläuterung in der folgenden Beschreibung bezieht sich nur auf optische Wellenleiter mit rechteckförmigen Querschnitten und die Zeichnungen sind Draufsichten. Um die Erläuterungen zu vereinfachen, wird nur Licht berücksichtigt, welches sich parallel zu der planaren Fläche des optischen Wellenleiters ausbreitet.
  • Die Fig. 3(a) und 3(b) zeigen die Richtungen der Lichtausbreitung bei zwei gekrümmten optischen Wellenleitern, die beide dieselbe Breite aber unterschiedliche Krümmungsradien aufweisen.
  • In Fig. 3(a) erreicht der in den Kern am Punkt A einfallende Strahl Punkt B an der Grenzfläche zwischen dem Kern und der Umhüllung und geht danach entweder vollständig in den Kern über, oder ein Teil des Lichts dringt in die Umhüllung ein und Lichtverluste entstehen.
  • Andererseits erreicht in Fig. 3(b) der in den Kern am Punkt E einfallende Strahl den Punkt F an der Grenzfläche zwischen dem Kern und der Umhüllung und geht danach entweder vollständig in den Kern über, oder ein Teil des Lichts dringt in die Umhüllung ein und Lichtverluste entstehen.
  • In beiden Fig. 3(a) und 3(b) gibt es keine Verluste, wenn das Licht vollständig in den Kern übergeht. Wenn das Licht allerdings austritt, treten die oben erwähnten Krümmungsverluste auf. Ob das Licht vollständig in den Kern übergeht oder ob Leckverluste auftreten ist abhängig von dem Winkel α (β) der durch die Tangente der Grenzfläche am Punkt B (F) und dem Linienabschnitt AB (EF) gebildet wird. Wenn der Winkel α (β) kleiner ist als der kritische Einfallswinkel, tritt eine vollständige Reflexion auf. Wenn der Winkel α (β) größer ist als der kritische Winkel dringt ein Teil des Lichts in die Umhüllung ein und Leckverluste entstehen. Der kritische Winkel ist hierbei angegeben durch die folgende Gleichung:
  • Kritischer Winkel = cos&supmin;¹ (n&sub1;/n&sub2;),
  • wobei n&sub1; der Brechungsindex der Umhüllung und n&sub2; der Brechungsindex des Kerns ist.
  • Wie in den Fig. 3(a) und 3(b) dargestellt ist, gilt: &alpha; < &beta;, und es ist klar, dass bei dem stark gekrümmten Wellenleiter (in Fig. 3(b)) das Auftreten von Licht-Leckverlusten wahrscheinlicher ist, da der durch die Tangente der Grenzfläche und den Linienabschnitt gebildete Winkel größer ist. Vorausgesetzt, dass die Beziehung: &alpha; < kritischer Winkel < &beta; erfüllt ist, breitet sich das Licht wie in Fig. 3 durch die Pfeile gezeigt aus. Mit anderen Worten, während in Fig. 3(a) das Licht total reflektiert wird, gibt es in Fig. 3(b) Lichtverluste. Als Ergebnis gilt, dass bei einem willkürlichen Einstellen der Position von Punkt A (E) oder der Richtung der Lichtausbreitung von Punkt A (E) der Anteil der Lichtverluste in dem gekrümmten optischen Wellenleiter um so größer ist, um so stärker die Krümmung ist.
  • Hinsichtlich optischer Wellenleiter mit gekrümmten Abschnitten des selben Krümmungsradius aber mit unterschiedlichen Breiten wird als Beispiel der Wellenleiter in Fig. 3(a) herangezogen, wobei dessen linke Seite durch durchgezogene Linien und wobei die linke Seite desselben Wellenleiters durch gestrichelte Linien (durch Punkt C gehend) dargestellt ist, wobei der Bereich des Einfallpunktes (Bereich von Punkt A) des breiteren Wellenleiters als in eine Richtung, in welcher die Licht-Leckverluste zunehmen, verschoben angesehen werden kann, so dass die Verlust um so größer sind, um so größer die Breite des optischen Wellenleiters ist. Auf diese Weise erzeugen Wellenleiter mit gekrümmten Abschnitten unvermeidlich Verluste aufgrund der Krümmung. Allerdings variiert der Grad der Verluste mit dem Durchmesser (D) des Wellenleiters an dem gekrümmten Abschnitt und dem Radius (R) der Krümmung, und ist annäherungsweise abhängig von dem Verhältnis R/D. Je kleiner R/D ist, um so größer sind die von der Krümmung abhängigen Verluste. Weiterhin gilt, wenn D und R ermittelt werden, wird der geeignete Bereich für die Wellenleiterbreite D unter anderem aus dem Kernradius der optischen Faser ermittelt, die mit diesem optischen Wellenleiter verbunden wird, so dass der Krümmungsradius R wichtig bei der Entscheidung hinsichtlich der Form des optischen Wellenleiters ist.
  • In letzter Zeit wurden die Forderungen nach kompakten optischen Komponenten, wie optische Koppler, größer, so dass optische Wellenleiter so kompakt wie möglich hergestellt werden müssen, um diesen Zweck zu erreichen. Um Wellenleiter kompakter zu machen, ist es wichtig, die Länge des optischen Wellenleitern zu kürzen, und es entsteht die Notwendigkeit, zwei Punkte mit kurzem Abstand mit unterschiedlichen Richtungen der einfallenden Strahlen und der ausgehenden Strahlen mittels eines optischen Wellenleiters zu verbinden, was unweigerlich zu stark gekrümmten optischen Wellenleitern führt.
  • Wie oben beschrieben, verstärken stark gekrümmte Abschnitte Krümmungsverluste erheblich und machen es schwierig, optische Wellenleiter, die den geforderten Anforderungen genügen, zu erhalten.
  • Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, diese Probleme des Standes der Technik durch Bereitstellen eines kompakten und hocheffizienten optischen Wellenleiters mit geringen Krümmungsverlusten zur Verfügung zu stellen. Es ist ein weiteres Ziel, ein Verfahren zum Herstellen eines solchen optischen Wellenleiters zur Verfügung zu stellen.
  • Die vorliegende Erfindung stellt einen optischen Wellenleiter mit rechteckförmigen Querschnitt zur Verfügung, der einen gekrümmten Abschnitt aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der gekrümmte Abschnitt derart konstruiert ist, dass das Verhältnis zwischen dem Radius R der Krümmung und der Breite D des Wellenleiters in der Ebene der Krümmung R/D &le; 500 ist und das der Kern des Wellenleiters in Richtung der Breite durch Umhüllungsmaterial unterteilt ist, um mehrere schmale Wellenleiter in einem Bereich zu bilden, der sich entlang der Längsrichtung des gekrümmten Abschnittes erstreckt.
  • Diese Konstruktion bietet stark reduzierte, auf der Krümmung beruhende Verluste, da das Innere des Kerns des optischen Wellenleiters in mehrere schmale Wellenleiter unterteilt ist.
  • Das Verhältnis zwischen dem Krümmungsradius R und der Wellenleiterbreite D ist vorzugsweise 10 &le; R/D &le; 500.
  • Der Grund dafür ist, dass bei gekrümmten optischen Wellenleitern, die einen zu kleinen R/D-Wert (z. B., R/D = 5) aufweisen, die obigen Krümmungsverluste außerordentlich groß werden, so dass sogar dann, wenn Umhüllungen innerhalb des Kerns zur Verfügung stehen würden, es schwierig wäre, die Verluste ausreichend klein zu halten, was unpraktikabel wäre. Weiterhin ist bei optischen Wellenleitern mit einem leicht gekrümmten Abschnitt, bei welchem R/D größer als 500 ist, der Krümmungsverlust selbst so gering, dass kein Bedarf nach einer Umhüllung innerhalb des Kerns besteht. Aus praktischen Gründen ist es daher besonders bevorzugt, dass das Verhältnis zwischen dem Radius R der Krümmung und der Breite D des optischen Wellenleiters 10 &le; R/D &le; 500 ist.
  • Vorzugsweise wird die Anzahl der Abschnitte aus Umhüllungsmaterial aus einem Bereich von wenigstens 1 aber nicht mehr als 3 ausgewählt. Mit anderen Worten: das Innere des Kerns wird vorzugsweise in 2 bis 4 Abschnitte durch das Umhüllungsmaterial unterteilt.
  • Weiterhin beträgt die Breite der Spitze der Umhüllung vorzugsweise nicht mehr als 1/5 der Breite des Wellenleiters an einem Ort, der diesem Spitzenabschnitt entspricht und nicht mehr als 10 um. Vorzugsweise beträgt die Breite der Spitze der Umhüllung wenigstens 1 um aber nicht mehr als 5 um. Dies erlaubt, dass die Zunahme der Licht-Leckverluste aufgrund des Vorsehens der Umhüllungen auf einem Minimum bleibt.
  • Wenn die Breite d der Spitze der Umhüllung (Fig. 4) groß ist, nehmen die Lichtverluste in diesem Abschnitt zu und machen es erforderlich, die Breite d klein zu machen, d. h. vorzugsweise innerhalb des oben beschriebenen Bereiches. Wenn die Breite d zu klein gehalten wird, wird die Grenze zwischen dem Kern und der Umhüllung unklar, so dass die Umhüllung tatsächlich bedeutungslos wird. Es ist daher am meisten bevorzugt, die Breite d auf etwa 1 bis 5 um bei optischen Wellenleitern, die eine Breite von etwa 40 bis 200 um aufweisen, einzustellen.
  • Fig. 1 zeigt einen optischen Wellenleiter, der mit einer Umhüllung einer konstanten Breite innerhalb des Kerns versehen ist. Diese Art der Form eines optischen Wellenleiters erfordert eine Umhüllung 2, die breiter ist als 5 um, um eine Umhüllung zu erhalten, die klar von dem Kern 1 verschieden ist.
  • Als Ergebnis kann die Breite der Spitze 2a des Umhüllungsmaterials den Bereich von 1 bis 5 um überschreiten, was besonders bevorzugt ist, da diese Breite möglicherweise ein Ansteigen der Licht-Leckverluste an der Spitze 2a bewirkt.
  • Der optische Wellenleiter gemäß der vorliegenden Erfindung kann weiterhin einen geraden Abschnitt in Verlängerung des gekrümmten Abschnittes aufweisen, wobei die Spitze der Umhüllung in der Nähe der Grenze zwischen diesem gekrümmten Abschnitt und dem geraden Abschnitt gebildet ist. Dadurch können die Licht-Leckverluste weiter reduziert werden.
  • Bei optischen Wellenleitern, die nur aus einem gekrümmten Abschnitt bestehen, kann die Spitze der Umhüllung an einem beliebigen Punkt in der Nähe des Endes des optischen Wellenleiters gebildet sein.
  • Allerdings muss die Breite der Umhüllung anders als an deren Spitze sich nur in einem Bereich befinden, der ausreichend ist, um den Funktionen der Umhüllung zu genügen und muss nicht besonders definiert sein. Beispielsweise kann die Umhüllung eine konstante Breite aufweisen oder so geformt sein, dass sie mit zunehmendem Abstand von der Spitze breiter wird, um dadurch die Anwendung verschiedener Formen zu ermöglichen.
  • Zum besseren Verständnis der vorliegenden Erfindung und derer möglicher Ausführungsformen wird nun anhand von Beispielen auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, bei welchen
  • Fig. 1 eine Draufsicht auf den optischen Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist, die eine innerhalb des Kerns zur Verfügung stehende Umhüllung zeigt.
  • Fig. 2 ist eine Draufsicht auf den optischen Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die Fig. 2 ist eine Draufsicht auf den optischen Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die eine innerhalb des Kerns zur Verfügung stehende Umhüllung zeigt.
  • Fig. 3 ist eine Draufsicht auf den optischen Wellenleiter, und zeigt die Lichtausbreitung an dessen gekrümmten Abschnitt.
  • Fig. 4 ist eine Draufsicht auf den optischen Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der Erfindung und zeigt die Spitze der innerhalb des Kerns zur Verfügung stehenden Umhüllung.
  • Fig. 5 ist eine Draufsicht auf einen gekrümmten optischen Wellenleiter, der keine Umhüllung innerhalb des Kerns aufweist.
  • Fig. 6 ist eine Draufsicht auf den Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei dem eine Umhüllung innerhalb des Kern zur Verfügung steht.
  • Fig. 7 ist eine Draufsicht auf den Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei dem zwei Umhüllungen innerhalb des Kerns zur Verfügung stehen.
  • Fig. 8 ist eine Draufsicht auf den Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei dem drei Umhüllungen innerhalb des Kerns zur Verfügung stehen.
  • Fig. 9 ist eine Draufsicht auf den Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei dem vier Umhüllungen innerhalb des Kerns zur Verfügung stehen.
  • Fig. 10 ist eine Draufsicht auf den Wellenleiter gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei dem fünf Umhüllungen innerhalb des Kerns zur Verfügung stehen.
  • Fig. 11 zeigt die Schritte eines Verfahrens zum Herstellen des optischen Wellenleiters gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Im Folgenden wird ein Ausführungsbeispiel gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Diese Ausführungsform ist eine konkrete Erläuterung eines Beispiels eines optischen Wellenleiters gemäß der vorliegenden Erfindung und dient nicht dazu, den Umfang des Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung oder den Umfang der Erfindung selbst zu beschränken.
  • Die Fig. 2 und die Fig. 6 bis 10 sind Draufsichten, die ein Beispiel des optischen Wellenleiters gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen. Die optischen Wellenleiter, die in diesen Zeichnungen dargestellt sind, bestehen aus einem Kern 1 mit einem hohen Brechungsindex für die Lichtausbreitung und einer Umhüllung 3 mit einem niedrigen Brechungsindex, die an dem Umfang des Kerns 1 angeordnet ist.
  • Eine Umhüllung/ein Umhüllungsmaterial 2 ist innerhalb des Kerns gebildet, um den Innenbereich des Kerns 1 zu unterteilen. Die Breite einer Spitze 2A dieser Umhüllung 2 liegt innerhalb des Bereichs von 1 bis 5 um. Um die Breite des Wellenleiters nach der Unterteilung durch diese Umhüllung 2 konstant zu machen, ist die Umhüllung 2 glatt und in Richtung der Mitte des Bogens etwas breiter geformt.
  • Diese Ausführungsform wird nun unter Bezug auf Fig. 6 genauer beschrieben.
  • Fig. 6 zeigt ein Beispiel, bei dem eine Umhüllung innerhalb des Kerns 1 des in Fig. 5 gezeigten optischen Wellenleiters gebildet ist und bei dem das Innere des Kerns 1 durch diese Umhüllung 2 halbiert wurde, um Wellenleiter mit denselben Breiten zu erhalten.
  • Wie in Fig. 6 gezeigt ist, besteht der Kern 1A, der einer der Hälften des durch die Umhüllung 2 unterteilten Kerns 1 ist und der an der Innenseite gebildet ist, aus einem Viertelbogen mit einem Krümmungsradius von 3000 um für die innere Grenzfläche 1C und einem Viertelbogen mit einem Krümmungsradius von 3021 um für die äußere Grenzfläche 1D.
  • Andererseits besteht der Kern 1B, der an der Außenseite des unterteilten Kerns 1 angeordnet ist aus einem Viertelbogen mit einem Krümmungsradius von 2921 um für die innere Grenzfläche 1D und einem Viertelbogen mit einem Krümmungsradius von 2942 um für die äußere Grenzfläche 1F. Die Mittelpunkte dieser beiden Bögen sind diesen gemeinsam, nämlich 141 um (beziehungsweise 100 um in der rechten und linken Richtung) vom Mittelpunkt des Viertelbogens der inneren Kernhälfte in einer Richtung von 45º bezogen auf die obere rechte Seite in Fig. 6.
  • Dadurch krümmt sich der halbierte optische Wellenleiter sanft, die Breite bleibt konstant bei 21 um, beide Spitzen 2A der Umhüllung 2 sind dünn, wobei die Umhüllung sanft und zunehmend breiter in Richtung des Mittelpunktes des Bogens wird.
  • Dies resultiert aus dem Herstellen der Grenzflächen 1C und 1F zwischen dem Kern 1 und der Umhüllung 3 als Bogen oder als glatte Verbindung von Bögen, wobei sich die Bogenradien und die den Mittelpunkte der Grenzflächen 1D und 1E zwischen den Kernen 1A und 1B und beiden Seiten der Umhüllung 2 leicht unterscheiden, und wobei die Mittelpunkte des Bogens, bezüglich der inneren und äußeren Oberflächen des unterteilten Kerns gleich sind, wobei die Radien mit der Breite des Kerns 1 nach der Unterteilung differieren. Die Fig. 7 bis 10 veranschaulichen Beispiele, bei denen 2 bis 5 Umhüllungen innerhalb des Kerns 1 zur Verfügung stehen. In diesen Zeichnungen entspricht die Breite des unterteilten Kerns einem Wert, der durch Teilen von 42 um, der Breite des Kerns 1 vor der Unterteilung, durch die Anzahl der Unterteilungen erhalten wird. Die Mittelpunkte der Bögen, die die Grenzflächen auf beiden Seiten des Kerns bilden, befinden sich an Positionen, die in vorbestimmten Abständen entlang der Linie von 45º bezogen auf die obere rechte Richtung verschoben sind. Die Breiten beider Spitzen 2A der Unterteilung betragen 1 um.
  • Der optische Wellenleiter gemäß der vorliegenden Erfindung ist nicht beschränkt auf die Materialien, die diesen bilden oder dessen Herstellungsverfahrens, sondern kann unter Verwendung einer Photomaske, die eine Struktur für einen optischen Wellenleiter mit einer Umhüllung 2 innerhalb eines Kerns 1 aufweist, einfach hergestellt werden durch Anwendung des Herstellungsverfahrens für einen optischen Polymer- Wellenleiter in Übereinstimmung mit dem selektiven Photopolymerisationsverfahren (Patent-Veröffentlichung Sho 56 (1981)- 3522) durch Bestrahlen eines lichtdurchlässigen Polymerfilms, der insbesondere lichtreaktive Monomere enthält, über eine Photomaske, die eine Wellenleiterstruktur enthält, Reaktivieren der lichtreaktiven Monomere des belichteten Abschnitts, die einen optischen Wellenleiter bilden, durch Trocknen und Entfernen der nicht-reaktiven Monomere.
  • Nun wird der Schritt zum Herstellen des optischen Wellenleiters mit diesem selektiven Photopolymerisationsverfahren unter Bezug auf Fig. 11 beschrieben.
  • Als erstes verwendet der in Fig. 11(a) beschriebene Verfahrensschritt eine lichtdurchlässige Polymerlösung, die vorgeschriebene Mengen von lichtreaktiven Monomeren und photoempfindlichen Stoffen enthält und erzeugt einen lichtdurchlässigen Polymerfilm 101 der lichtreaktive Monomere enthält, mittels des Auswahlverfahrens.
  • Als nächstes wird in dem in Fig. 11(b) dargestellten Schritt der lichtdurchlässige Polymerfilm 101, der mittels des vorangehenden Schrittes erhalten wurde, mit einer Photomaske 102 überdeckt, die eine darauf ausgebildete Struktur eines optischen Wellenleiters mit einer Umhüllung innerhalb des Kerns aufweist. Dann wird der lichtdurchlässige Polymerfilm 101 über diese Photomaske 102 bestrahlt, um dadurch das lichtreaktive Monomer 101A des belichteten Abschnitts zu reaktivieren.
  • Anschließend wird in dem in Fig. 11(c) dargestellten Schritt das nicht-reaktive Monomer 101B des während der Bestrahlung bei dem vorangehenden Verfahrensschritt nicht belichteten Abschnitts durch Vakuumstrocknen entfernt.
  • Dann wird in dem in Fig. 11(d) dargestellten Schritt eine Schicht aus Umhüllungsmaterial 103 auf der vorderen und hinteren Fläche des durch den Verfahrensschritt in Fig. 11(c) erhaltenen Films gebildet. Bei diesem Schritt kann die Umhüllungsschicht 103 auch durch den Klebstoff ersetzt werden, der dazu verwendet wird, den optischen Wellenleiterfilm durch die Glasplatte zu verstärken, und der zum Befestigen des Films während der Herstellung der optischen Wellenleiterplatte verwendet wird.
  • Das oben beschriebene selektive Photopolymerisationsverfahren hat den Effekt, dass ein besonders bevorzugter optischer Polymer-Wellenleiter einfach hergestellt werden kann, der hinsichtlich der numerischen Apertur und der Größe der optischen Faser entspricht, durch Auswählen der Art oder der Konzentration der lichtreaktiven Monomere. Es besteht weiter der Vorteil, dass das Herstellungsverfahren günstig ist und dass es möglich ist, das präzise hergestellte Muster des optischen Wellenleiters der Photomaske mit hoher Präzision und Reproduzierbarkeit auf den Polymerfilm zu übertragen. Wegen der oben erwähnten Aspekte ist das selektive Polymerisationsverfahren eines der am meisten bevorzugten Verfahren für die Herstellung des optischen Wellenleiters gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun im Detail beschrieben.
  • Ausführungsform 1
  • Herstellung eines optischen Wellenleiters mit einem Viertelbogen mit einem Krümmungsradius von 3 mm, Breite 40 um und Dicke 40 um.
  • Um einen gekrümmten optischen Wellenleiter zur Verwendung mit einer optischen GI-Faser mit einem Kerndurchmesser von 50 um und einem Umhüllungsdurchmesser von 125 um (numerische Apertur 0,2) herzustellen, wurde eine Siliziumdioxidmaske hergestellt, die eine Struktur für einen optischen Wellenleiter mit der in Fig. 5 gezeigten Form und Größe (in um) aufweist, die den Viertelbogenabschnitt und den geraden Abschnitt verbindet, und unter Verwendung dieser Photomaske wurde der optische Wellenleiter in Übereinstimmung mit dem selektiven Photopolymerisationsverfahren hergestellt.
  • (Herstellung des optischen Wellenleiters)
  • Bisphenol-Polycarbonatharz (von Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc., Artikel-Name: Iupilonz) als Matrixharz Trifluoroethylakrylat als Monomer mit niedrigem Brechungsindex und als Sensitiv Benzoinethylesther wurden in Methylenchlorid gelöst, um dadurch einen Film mit einer Dicke von 42 um mittels des Lösungsauswahlverfahrens (solvent casting method) herzustellen, dann wurde eine ultraviolette Bestrahlung über die Photomaske geführt, die Abschnitte außer des Abschnittes für den Bereich des optischen Wellenleiters wurden reaktiviert, und danach wurde das nicht-reagierende Monomer, das auf den Wellenleiterabschnitten verbleibt mittels Vakuumtrocknen entfernt, um den optischen Wellenleiter im Film zu erzeugen. Die Dicke des Films nach dem Trocknen und die Breite des Wellenleiters betrugen 40 um.
  • Nach dem Einfügen und Befestigen dieses Films für den optischen Wellenleiter zwischen zwei Glasplatten unter Verwendung dieses sich bei ultravioletter Bestrahlung verfestigenden Klebstoffes mit einem Brechungsindex von 1,57 wurden beide Enden poliert und die folgenden Messungen für die Einkopplungsverluste wurden durchgeführt.
  • (Messung der Einkopplungsverluste)
  • Unter Verwendung einer optischen 50/125 GI-Faser wurde eine Leuchtdiodenlichtquelle mit einer Wellenlänge von 0,85 um mit einer Stirnfläche des optischen Wellenleiters verbunden, um eine Beleuchtung zu erreichen, und das von dem anderen Ende des optischen Wellenleiters ausgesendete Licht wurde unter Verwendung derselben optischen Faser zu der optischen Messanordnung geführt, an der die Intensität des ausgehenden Lichtes gemessen wurde. Dann wurde ohne Verwendung des optischen Wellenleiters das Leuchtdiodenlicht direkt mit der Leistungsmessanordnung mittels derselben optischen Faser verbunden und dort die Lichtidentität gemessen, wobei dies äquivalent zu der Intensität des in den optischen Wellenleiter eingestrahlten Lichts ist. Durch diese Messungen wurden die Einkopplungsverluste mittels der folgenden Formel berechnet:
  • Einkopplungsverluste (dE) = - 10 · Log (Intensität des abgegebenen Licht/Intensität des eingekoppelten Lichts)
  • Auf dieselbe Weise wurde für Beispiele, die 1 bis 5 Umhüllungen gemäß der vorliegenden Erfindung bei dem optischen Wellenleiter von Fig. 5 aufweisen - eine Photomaske mit einem Muster für einen optischen Wellenleiter der in den Fig. 6 bis 10 angegebenen Form und Größe hergestellt, mit der der optische Wellenleiter hergestellt wurde, und die Einkopplungsverluste wurden gemessen. Darüber hinaus sind die Spitzen der Umhüllungen alle 1 um breit, einschließlich der unten beschriebenen Ausführungsformen 2 bis 4. Die daraus resultierenden Messergebnisse sind in Tabelle 1 dargestellt.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform kann ein stark gekrümmter optischer Wellenleiter mit einem Krümmungsradius von 3 mm und einem R/D-Verhältnis von 75 eine große Einkopplungsdämpfung von 9,7 dB nicht vermeiden, aber durch Bereitstellen von 2 oder 3 Umhüllungen gemäß der vorliegenden Erfindung konnte dieser Wert um wenigstens 5 dB verbessert werden. Es wurde auch herausgefunden, dass sogar eine Umhüllung sehr effektiv war.
  • Gemäß der obigen Beschreibung der Krümmungsverluste sollte der Verlust um so kleiner sein, um so schmaler die Breite des optischen Wellenleiters oder - bei der vorliegenden Erfindung - um so größer die Anzahl der Umhüllungen ist, vorausgesetzt, dass der Krümmungsradius derselbe ist. Im Gegensatz dazu führten als Ergebnis der Messungen der Einkopplungsverluste 4 oder mehr Umhüllungen dazu, die Verluste zu vergrößern. Da es schwierig ist, eine ideale Grenzfläche zwischen dem Kern des optischen Wellenleiters und der Umhüllung herzustellen, und da die Grenzfläche in der Realität nicht perfekt ist, kann davon ausgegangen werden, dass die oben erwähnte Tendenz auf erhöhten Reflektionen an solchen Grenzflächen bei kleiner werdender Breite und auf Zunahmen der Lichtverluste durch die Reflektionen an einer nicht perfekten Grenzfläche beruht. Daher werden in der Praxis in den meisten Fällen nur 1 oder 3 Umhüllungen bevorzugt.
  • Ausführungsform 2
  • Herstellung eines optischen Wellenleiters mit einem Viertelbogen mit einem Krümmungsradius von 5 mm, einer Breite von 40 um und einer Dicke von 40 um.
  • Um einen gekrümmten optischen Wellenleiter mit einem Krümmungsradius von 5 mm, der größer ist als der Radius in dem Ausführungsbeispiel 1, der keine Umhüllung und einen, der eine Umhüllung aufweist, herzustellen, wurde eine Photomaske mit einer Struktur eines optischen Wellenleiters mit einer im wesentlichen ähnlichen Form wie in den Fig. 5 und 6 hergestellt, ein optischer Wellenleiter wurde auf dieselbe Weise hergestellt, und Messungen der Einkopplungsverluste wurden durchgeführt.
  • Die daraus resultierenden Messergebnisse sind in Tabelle 2 dargestellt.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung haben sich die Einkopplungsverluste von 5 dB auf 2,6 dB durch Bereitstellen einer Umhüllung stark verbessert.
  • Ausführungsform 3
  • Herstellung eines optischen Wellenleiters mit einem Viertelbogen mit einem Krümmungsradius von 16 mm, einer Breite von 40 um und einer Dicke von 40 um.
  • Um einen weit gekrümmten optischen Wellenleiter mit einem Krümmungsradius von 16 mm, der größer ist als der Radius in Ausführungsform 1, der keine Umhüllung und einen, der eine Umhüllung aufweist, herzustellen, wurde eine Photomaske mit einer Struktur eines optischen Wellenleiters mit einer Form im Wesentlichen wie in den Fig. 5 und 6 hergestellt, ein optischen Wellenleiter wurde auf dieselbe Weise hergestellt, und Messungen der Einkopplungsverluste wurden durchgeführt.
  • Die daraus resultierenden Messergebnisse sind in Tabelle 2 dargestellt.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung waren die Einkopplungsverluste durch Bereitstellen einer Umhüllung etwas verbessert.
  • Ausführungsform 4
  • Herstellung eines optischen Wellenleiters mit einem Viertelbogen mit einem Krümmungsradius von 10 mm, einer Breite von 150 um und einer Dicke von 150 um.
  • Um einen gekrümmten optischen Wellenleiter zur Verwendung mit einer optischen SI-Phaser mit einem Kerndurchmesser von 200 um und einem Umhüllungsdurchmesser von 230 um (numerische Apertur 0,4), der keine Umhüllung und einen, der eine Umhüllung aufweist, herzustellen, wurde eine Photomaske mit einer Struktur eines optischen Wellenleiters einer Form im Wesentlichen wie in den Fig. 5 und 6 hergestellt, ein optischer Wellenleiter wurde in Übereinstimmung mit dem selektiven Polymerisationsverfahren im Wesentlichen wie in Ausführungsform 1 hergestellt und Messungen der Einkopplungsverluste wurden durchgeführt.
  • Die daraus resultierenden Messergebnisse sind in Tabelle 2 dargestellt.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung waren die Einkopplungsverluste durch Bereitstellen einer Umhüllung stark verbessert. [Tabelle 1] [Tabelle 2]
  • Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich ist, bieten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung dramatische Effekte hinsichtlich der Reduktion der Verluste bei gekrümmten optischen Wellenleitern, sie verbessern die Effizienz optischer Wellenleiter und stellen auf einfache Weise kompakte Wellenleiter zur Verfügung, und tragen dadurch erheblich zur Erweiterung der Anwendungsbereiche bei.

Claims (6)

1. Optischer Wellenleiter mit rechteckförmigem Querschnitt, der einen gekrümmten Abschnitt aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der gekrümmte Abschnitt derart konstruiert ist, dass das Verhältnis zwischen dem Radius R der Krümmung und der Breite D des Wellenleiters in der Ebene der Krümmung R/D &le; 500 ist, und dass der Kern (1) des Wellenleiters in der Richtung seiner Breite mittels eines Umhüllungsmaterials (2) unterteilt ist, um mehrere schmale Wellenleiter (1A, 1B) in einem Bereich zu bilden, der sich entlang der Länge des gekrümmten Abschnittes erstreckt.
2. Optischer Wellenleiter gemäß Anspruch 1, bei dem die Beziehung R/D zwischen dem Krümmungsradius R und der Wellenleiterbreite D ist: 10 &le; R/D &le; 500.
3. Optischer Wellenleiter gemäß Anspruch 1 oder 2, der wenigstens eine aber nicht mehr als drei Abschnitte aus Umhüllungsmaterial (2), die die Unterteilung bilden, aufweist.
4. Optischer Wellenleiter gemäß Anspruch 1, 2 oder 3, bei dem die Breite der Spitze (2A) der Unterteilung (2) nicht mehr als 1/5 der Breite des Wellenleiters an einem Ort, der dem Abschnitt der Spitze entspricht, und nicht mehr als 10 um beträgt.
5. Optischer Wellenleiter gemäß Anspruch 4, dem die Breite der Spitze (2A) der Unterteilung (2) wenigstens 1 um aber nicht mehr als 5 um beträgt.
6. Optischer Wellenleiter gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, der weiterhin einen geraden Abschnitt, der in Verlängerung des gekrümmten Abschnittes gebildet ist, aufweist, wobei die Spitze (2A) der Unterteilung (2) in der Nähe der Grenze zwischen dem gekrümmten Abschnitt und dem geraden Abschnitt gebildet ist.
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Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4012367B2 (ja) * 1997-08-04 2007-11-21 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 単一モード光ウェーブガイド結合要素
US6370837B1 (en) 1999-08-04 2002-04-16 Anthony B. Mcmahon System for laying masonry blocks
US6947651B2 (en) * 2001-05-10 2005-09-20 Georgia Tech Research Corporation Optical waveguides formed from nano air-gap inter-layer dielectric materials and methods of fabrication thereof
US6895133B1 (en) 2001-06-20 2005-05-17 Lightwave Microsystems Corporation Crack propagation stops for dicing of planar lightwave circuit devices
KR100401203B1 (ko) * 2001-11-13 2003-10-10 삼성전자주식회사 다항 곡선 광도파로를 구비한 평면 도파로 소자
US20030156819A1 (en) * 2002-02-15 2003-08-21 Mark Pruss Optical waveguide
JP4066670B2 (ja) * 2002-02-19 2008-03-26 オムロン株式会社 光スイッチ
JP2003274466A (ja) * 2002-03-12 2003-09-26 Funai Electric Co Ltd リモコン受光装置
US7013178B2 (en) * 2002-09-25 2006-03-14 Medtronic, Inc. Implantable medical device communication system
US20040114875A1 (en) * 2002-12-17 2004-06-17 Randy Mattsen 90 Degree fiber optic board connector
JP2004287093A (ja) * 2003-03-20 2004-10-14 Fujitsu Ltd 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法
JP2005010758A (ja) 2003-05-23 2005-01-13 Sanyo Electric Co Ltd 光デバイスおよびその製造方法
JP2006337748A (ja) 2005-06-02 2006-12-14 Fuji Xerox Co Ltd 光導波路及びその製造方法
JP4965135B2 (ja) * 2006-02-10 2012-07-04 オムロン株式会社 光伝送路、光伝送モジュール、および電子機器
JP4848986B2 (ja) 2007-03-22 2011-12-28 富士ゼロックス株式会社 光導波路及びその製造方法
EP2417483A1 (de) * 2009-04-10 2012-02-15 Koninklijke Philips Electronics N.V. Lichtleitende beugung mit gekrümmten schlitzen
JP5278225B2 (ja) * 2009-07-29 2013-09-04 住友ベークライト株式会社 光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器
EP2542939A4 (de) * 2010-03-02 2015-06-17 Expoimaging Inc Formbare fotografievorrichtung
JP2012015104A (ja) * 2010-06-01 2012-01-19 Fujikura Ltd 面状発光装置
US9442243B2 (en) 2013-01-30 2016-09-13 Cree, Inc. Waveguide bodies including redirection features and methods of producing same
US9625638B2 (en) 2013-03-15 2017-04-18 Cree, Inc. Optical waveguide body
US9690029B2 (en) 2013-01-30 2017-06-27 Cree, Inc. Optical waveguides and luminaires incorporating same
US9519095B2 (en) 2013-01-30 2016-12-13 Cree, Inc. Optical waveguides
US9291320B2 (en) 2013-01-30 2016-03-22 Cree, Inc. Consolidated troffer
US9366396B2 (en) 2013-01-30 2016-06-14 Cree, Inc. Optical waveguide and lamp including same
US9869432B2 (en) 2013-01-30 2018-01-16 Cree, Inc. Luminaires using waveguide bodies and optical elements
US10502899B2 (en) * 2013-03-15 2019-12-10 Ideal Industries Lighting Llc Outdoor and/or enclosed structure LED luminaire
US10436970B2 (en) 2013-03-15 2019-10-08 Ideal Industries Lighting Llc Shaped optical waveguide bodies
US10400984B2 (en) 2013-03-15 2019-09-03 Cree, Inc. LED light fixture and unitary optic member therefor
US10379278B2 (en) * 2013-03-15 2019-08-13 Ideal Industries Lighting Llc Outdoor and/or enclosed structure LED luminaire outdoor and/or enclosed structure LED luminaire having outward illumination
US9366799B2 (en) 2013-03-15 2016-06-14 Cree, Inc. Optical waveguide bodies and luminaires utilizing same
US9920901B2 (en) 2013-03-15 2018-03-20 Cree, Inc. LED lensing arrangement
US10209429B2 (en) 2013-03-15 2019-02-19 Cree, Inc. Luminaire with selectable luminous intensity pattern
US9798072B2 (en) 2013-03-15 2017-10-24 Cree, Inc. Optical element and method of forming an optical element
JP5574001B2 (ja) * 2013-03-22 2014-08-20 住友ベークライト株式会社 光導波路
US11719882B2 (en) 2016-05-06 2023-08-08 Ideal Industries Lighting Llc Waveguide-based light sources with dynamic beam shaping
US10416377B2 (en) 2016-05-06 2019-09-17 Cree, Inc. Luminaire with controllable light emission
WO2020088746A1 (en) * 2018-10-30 2020-05-07 Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) Optical add/drop device and assembly, and communications network node
CN113253450B (zh) * 2021-05-18 2022-06-21 浙江大学 一种低损耗集成弯曲光波导及其设计方法
WO2023242063A1 (en) * 2022-06-13 2023-12-21 Schott Ag Thermal expansion-balanced transverse anderson localization optical waveguides that have reduced bowing

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2041211C3 (de) * 1970-08-19 1973-10-18 Matth. Hohner Ag, 7218 Trossingen Vorrichtung zur Beleuchtung einer Fläche mit intensitätsmoduliertem Licht
JPS52138146A (en) 1976-05-14 1977-11-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> High molecular optical-guide pass production
US4472020A (en) * 1981-01-27 1984-09-18 California Institute Of Technology Structure for monolithic optical circuits
US4824194A (en) * 1987-03-25 1989-04-25 Fuji Photo Film Co., Ltd. Light guide apparatus formed from strip light guides
US4810049A (en) * 1987-04-02 1989-03-07 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Reducing bend and coupling losses in integrated optical waveguides
US5292620A (en) * 1988-01-15 1994-03-08 E. I. Du Pont De Nemours And Company Optical waveguide devices, elements for making the devices and methods of making the devices and elements
EP0365724A1 (de) * 1988-10-26 1990-05-02 THE GENERAL ELECTRIC COMPANY, p.l.c. Integrierte optische Wellenleiterkrümmung
US5243672A (en) * 1992-08-04 1993-09-07 At&T Bell Laboratories Planar waveguide having optimized bend
DE69430361D1 (de) * 1993-01-08 2002-05-16 Massachusetts Inst Technology Verlustarme optische und optoelektronische integrierte schaltungen
US5381506A (en) * 1993-10-18 1995-01-10 Mcdonnell Douglas Corporation Flat to spiral polymer light waveguide

Also Published As

Publication number Publication date
EP0777138B1 (de) 2002-01-09
EP0777138A2 (de) 1997-06-04
DE69618434D1 (de) 2002-02-14
US5872883A (en) 1999-02-16
EP0777138A3 (de) 1998-11-11
JPH09145943A (ja) 1997-06-06

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