DE2516975C2 - Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters

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Description

20
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters gemäß dem Oberbegriff sdes Patentanspruchs 1.
Ein Verfahren der genannten Art ist aus der 7DE-OS 21 51 781 bekannt (siehe dort insbesondere die Pig. 14 und 15 und die dazugehörigen Beschreibungs-. teile, sowie den Anspruch 10). Bei diesem Verfahren wird eine lichtieitende und lichtempfindliche Schicht durch ein vorbestimmtes Muster belichtet und dann entwickelt und fixiert, wobei unbelichtete Bereiche einen. Lichtleiter mit gewünschten Formen bilden, der durch optisch isolierende Schichten begrenzt ist
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, aufzuzeigen, wie ein optischer Wellenleiter galvanoplastisch hergestellt werden kann.
Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren der genannten durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst
Durch dieses erfindungsgemäße Verfahren entsteht ein optischer Wellenleiter in Form eines metallischen Hohlleiters. Wenn das lichtempfindliche Material im Inneren des Hohlleiters lichtdurchlässig ist, kann es vielfach verbleiben.
In vielen Fällen wird es aber zweckmäßig sein, wenn gemäß Anspruch 2 der Kern aus dem lichtempfindlichen Material fortgelöst wird.
Mit dem Verfahren lassen sich nicht nur einzelne Wellenleiter, sondern auch Wellenleiterverzweigungen, insbesondere Vielfachverzweigungen herstellen.
Die Erfindung wird anhand der Fig. in der folgenden Beschreibung näher erläutert
Die Fig. zeigt einen passiven Wellenleiterverzweiger in Form eines sich verästelnden Baumes, der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren herstellbar ist
Ein in einer Glasfaser 10 ankommendes optisches Signal wird mit einem geeigneten Koppler in einen breiten Anfang 13 eines auf einem Substrat befindlichen Wellenleiters 2 eingekoppelt Der Wellenleiter 2 ist in Form eines metallischen Hohlleiters ausgebildet Das eingekoppelte optische Signal wird in dem Wellenleiter 2 geführt, wobei an den Abzweigungen jeweils die Lichtenergie in beide sich verzweigende Wellenleiter 3 und 6, sowie später in die weiteren Wellenleiter, beispielsweise von Wellenleiter 3 in die Wellenleiter 4 und 5 aufgeteilt wird. Auch diese Wellenleiter 3 bis 6 sind in Form metallischer Hohlleiter ausgebildet
Die in der F i g. dargestellte Struktur'iäßt sich so herstellen, daß die dem Kern des Hohlleiters entsprechend, baumartig sich verzweigende Struktur mittels Fotolithografie in einer auf einem metallischen oder metallisierten Substrat 1 aufgebrachten Fotolackschicht oder lichtempfindlichen Folie hergestellt und diese Struktur mittels Galvanoplastik metallisiert wird. Der Kern aus dem lichtempfindlichen Material kann dann eventuell wieder fortgelöst werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung eines optischen Wellenleiters auf einem Substrat, bei dem eine, einem Kern des Wellenleiters entsprechende Struktur mittels Fotolithografie in einer auf dem Substrat aufgebrachten lichtempfindlichen Schicht hergestellt und diese Struktur mit einer optisch isolierenden Schicht überzogen wird, dadurch ge- ίο kennzeichnet, daß die auf dem metallischen oder metallisierten Substrat hergestellte Struktur mittels Galvanoplastik metallisiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kern aus dem lichtempfindlichen Material fortgelöst wird.
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