DE69408761T2 - Strahlungsempfindliche Zusammensetzung - Google Patents

Strahlungsempfindliche Zusammensetzung

Info

Publication number
DE69408761T2
DE69408761T2 DE69408761T DE69408761T DE69408761T2 DE 69408761 T2 DE69408761 T2 DE 69408761T2 DE 69408761 T DE69408761 T DE 69408761T DE 69408761 T DE69408761 T DE 69408761T DE 69408761 T2 DE69408761 T2 DE 69408761T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
radiation
acid
sensitive composition
acrylate
meth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69408761T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69408761D1 (de
Inventor
Nobuo Bessho
Hiroaki Nemoto
Fumine Shitani
Yusuke Tajima
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
Japan Synthetic Rubber Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Synthetic Rubber Co Ltd filed Critical Japan Synthetic Rubber Co Ltd
Publication of DE69408761D1 publication Critical patent/DE69408761D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69408761T2 publication Critical patent/DE69408761T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Description

  • Diese Erfindung betrifft eine strahlungsempfindliche Zusammensetzung. Insbesondere bezieht sich diese Erfindung auf eine pigmentdispergierte strahlungsempfindliche Zusammensetzung, welche eine gute Pigmentdispergierbarkeit, eine gute Substratadhäsion und ausgezeichnete Überzugseigenschaften aufweist, und welche sich für die Verwendung bei der Bildung eines Farbfilters eignet, welcher in einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung oder Festkörper- Abbildungsvorrichtung verwendet wird.
  • Als ein Verfahren zum Herstellen eines Farbfilters einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung oder einer Festkörperabbildungsvorrichtung sind bis jetzt ein Färbeverfahren, ein Druckverfahren und ein galvanisches Metallabscheidungsverfahren bekannt. In den letzten Jahren hat ein lithographisches Verfahren unter Verwenden einer gefärbten strahlungsempfindlichen Zusammensetzung besonders das Interesse im Hinblick auf Reinheit, Dimensionsgenauigkeit und Verfahrensbeständigkeit geweckt.
  • Um ein Farbfilter mithilfe des lithographischen Verfahrens unter Verwenden der strahlungsempfindlichen Zusammensetzung herzustellen, wird die strahlungsempfindliche Zusammensetzung auf eine auf einem Glassubstrat gebildete schwarze Matrix mithilfe einer Schleuderauftragsmaschine oder dergleichen aufgetragen und unter Bilden eines Überzugs getrocknet. Der Überzug wird anschließend Licht ausgesetzt und unter Erhalten eines gefärbten Pixels entwickelt. Dieses Verfahren wird mehrere Male unter Verwenden in Bezug auf Farbe unterschiedliche strahlungsempfindliche Zusammensetzungen unter Erhalten eines Farbfilters wiederholt. Jedoch wird ein unter Verwenden der konventionellen strahlungsempfindlichen Zusammensetzung erhaltenes Pixel leicht von dem Substrat abgezogen und tendiert dazu, dem Farbfilter einen Fehler zu verleihen. Wenn eine Adhäsion eines Pixels an ein Substrat unter Eliminieren dieses Nachteils verbessert wird, tendiert die Löslichkeit eines in einer Entwicklerlösung wegzulösenden Nicht-Pixelteils dazu, bei der Entwicklung abzunehmen, und sogenanntes Oberflächenbeschmutzen und Verbleiben des Films neigen dazu, aufzutreten.
  • Als eine Technik zum Lösen derartiger Probleme schlägt die offengelegte europäische Patentanmeldung Nr. 0564168A2 eine strahlungsempfindliche Zusammensetzung für die Verwendung in einem Farbfilter vor, welcher ein alkalilösliches Blockcopolymer mit einer spezifischen Struktur als ein Bindermittel, eine strahlungsempfindliche Verbindung und ein Pigment enthält.
  • Es ist eine Aufgabe dieser Erfindung, eine neue pigmentdispergierte strahlungsempfindliche Zusammensetzung zur Verfügung zu stellen.
  • Eine weitere Aufgabe dieser Erfindung besteht darin, eine pigmentdispergierte strahl ungsempfindl iche Zusammensetzung zu liefern, welche nicht das Oberflächenbeschmutzen erzeugt, welche ausgezeichnet in Bezug auf Adhäsion eines gebildeten Pixels an ein Glassubstrat ist, und welche für die Verwendung bei der Bildung eines Farbfilters geeignet ist.
  • Eine weitere Aufgabe dieser Erfindung besteht darin, eine pigmentdispergierte strahlungsemfindliche Zusammensetzung zur Verfügung zu stellen, welche nicht das Oberflächenbeschmutzen auf einer schwarzen Matrix und einem Glassubstrat erzeugt, welche ein Pixel ergibt, das ausgezeichnet in Bezug auf Adhäsion an die schwarze Matrix und das Glassubstrat ist, welche ausgezeichnet im Hinblick auf Überzugseigenschaften ist, und welche sich für die Verwendung bei der Bildung eines Farbfilters eignet.
  • Die anderen Aufgaben und Vorteile dieser Erfindung werden aus der nachfolgenden Erklärung deutlich gemacht.
  • In Übereinstimmung mit dieser Erfindung werden die Aufgaben dieser Erfindung gelöst und die Vorteile dieser Erfindung mithilfe einer strahlungsempfindlichen Zusammensetzung erzielt, die umfaßt:
  • eine strahlungsempfindliche Zusammensetzung, umfassend:
  • (A) ein Binderpolymer, welches ein Copolymer ist, erhalten durch Polymerisieren:
  • (A-1) einer ungesättigten Verbindung, welche mindestens eine alkoholische Hydroxylgruppe in dem Molekül enthält,
  • (A-2) eines Macromonomeren, enthaltend eine (Meth)acryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls und mit einem Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, von 1000 bis 10000, und
  • (A-3) eines weiteren Monomeren, welches copolymerisierbar mit dem (A-1) und (A-2) ist, welches mindestens ein Monomer ausgewählt aus der Gruppe aus einem Arylalkyl (meth)acrylat, einem Butadien und einem Isopren ist, und
  • (A-4) einer ungesättigten Carbonsäure, die copolymerisierbar mit dem (A-1), (A-2) und (A-3) ist;
  • (B) ein Pigment;
  • (C) eine Strahlungs-Polymerisationsverbindung, umfassend:
  • (C-1) eine Kombination aus:
  • (C-1-a) einem Stahlungspolymerisationsinitiator, und
  • (C-1-b) einem strahl ungspolymerisierbaren Monomeren oder Oligomeren, oder
  • (C-2) ein Strahlungsvernetzungsmittel; und gewünschtenfalls
  • (D) eine organische Carbonsäure, enthaltend mindestens eine Säuregruppe in dem Molekül und mit einem Molekulargewicht von 1000 oder weniger.
  • Das Wort "Strahlung", auf das in dieser Erfindung Bezug genommen wird, wird unter dem Konzept verwendet, daß dieses Wort ein sichtbares Licht, ein ultraviolettes Licht, einen Elektronenstrahl und Röntgenstrahlen umfaßt.
  • Die Zusammensetzung dieser Erfindung wird detaillierter im nachfolgenden erklärt.
  • (A) Binderpolymer:
  • Bei dieser Erfindung wird ein Copolymer, welches ein Monomer umfaßt, enthaltend eine alkoholische Hydroxylgruppe (A-1)(im nachfolgenden als "(A- 1)" bezeichnet), ein Macromonomer (A-2) (im nachfolgenden als "(A-2)" bezeichnet) und zwei Comonomere, die copolymerisierbar mit den zuvor genannten Monomeren (A-3), (A-4) (im nachfolgenden als "(A-3)" bzw. "(A-4)" bezeichnet) sind, als das Binderpolymer (A) verwendet.
  • (A-1) ist vorzugsweise eine ungesättigte Verbindung verwendet, die mindestens eine alkoholische Hydroxylgruppe in dem Molekül enthält. Bestimmte Beispiele von (A-1) umfassen 2-Hydroxyethyl(meth)acrylat. 2- Hydroxypropyl(meth)acrylat, N-Hydroxymethylacrylamid, 2-Hydroxy-3- phenoxypropylacrylat, Polyethylenglykolmono(meth)acrylat und Polypropylenglykolmono(meth)acrylat. Von diesen ist 2-Hydroxyethylmethacrylat besonders als (A-1) bevorzugt.
  • Um die gewünschten Eigenschaften zu erhalten, ist das Binderpolymer (A) ein Blockcopolymer mit (A-2) als einer Copolymerkomponente des Binderpolymeren (A), welches eines der charakteristischen Merkmale dieser Erfindung ist.
  • (A-2) ist vorzugsweise eine Verbindung mit vorzugsweise einer polymerisierbaren Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung in dem Molekül. (A-2) hat ein Molekulargewicht-Zahlenmittel (im nachfolgenden als "Mn" bezeichnet), berechnet als Polystyrol von 1000 bis 10000, insbesondere 2000 bis 8000.
  • Derartiges (A-2) ist ein Homopolymer oder ein Copolymer, wobei mindestens ein Monomer aus der Gruppe aus Styrol, einem Alkyl(meth)acrylat, Acrylnitril, Vinylacetat, Butadien und Isopren ausgewählt ist, wobei das Homopolymer oder Copolymer eine (Meth)acryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls hat.
  • Macromonomer (A-2) hat eine (Meth)acryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls, beispielsweise eines Polystyrololigomeren, eines Polymethyl(meth)acrylatoligomeren oder eines Polybutyl (meth)acrylatoligomeren. Kommerzielle Produkte, welche leicht erhalten werden können, sind AS-6 (Polystyrololigomer mit einer (Meth)acryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls, hergestellt von Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd. Mn = 6000), M-6 (Polymethylmethacrylatoligomer mit einer (Meth)acryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls, hergestellt von Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd., Mn = etwa 6000) und AB-6 (Polybutylacrylatoligomer mit einer (Meth)acryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls, hergestellt von Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd., Mn = 6000).
  • Ferner wird ein Polysilikonoligomer mit einer (Meth)acryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls auch vorzugsweise als (A-2) verwendet.
  • (A-3) ist ein weiteres Monomer, welches copolymerisierbar mit dem (A- 1) und (A-2) ist, welches mindestens ein Monomer ausgewählt aus der Gruppe aus einem Arylalkyl(meth)acrylat, einem Butadien und einem Isopren ist. Bevorzugte Beispiele von (A-4) umfassen (Meth)acrylsäure, Crotonsäure, Itakonsäure und Fumarsäure.
  • Diese (A-1), (A-2), (A-3) und (A-4) werden entweder einzeln oder in Kombination verwendet.
  • Die Menge von (A-1) in dem Binderpolymeren (A) beträgt vorzugsweise 5 bis 30 Gewichtsteile, bevorzugter 10 bis 20 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile aller Monomeren. Die Menge von (A-2) beträgt vorzugsweise 1 bis 50 Gewichtsteile, bevorzugter 5 bis 20 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile aller Monomeren. Die Menge von (A-3) und (A-4) ist ein Gleichgewicht (balance) der Mengen von (A-1) und (A-2).
  • Bestimmte Beispiele des Binderpolymeren (A) umfassen 2-Hydroxypropyl(meth)acrylat/Polystyrolmacromonomer/Benzylmethacrylat/Methacrylsäurecopolymer, ein 2-Hydroxy-3-phenoxypropylacrylat/Polymethylmethacrylatmacromonomer/Benzylmethacrylat/Methacrylsäurecopolymer und ein 2-Hydroxyethylmethacrylat/Polystyrolmacromonomer/Benzylmethacrylat/Methacrylsäurecopolymer.
  • Eine Adhäsion eines gebildeten Pixeis an eine schwarze Matrix und ein Glassubstrat kann durch Einführen der alkoholischen Hydroxylgruppe via (A- 1) in das Binderpolymer (A) verbessert werden.
  • Die Verwendung von (A-1) in der zuvor genannten Menge verbessert weiterhin die Adhäsion des gebildeten Pixels an das Substrat und macht es schwierig, die Oberflächenverunreinigung auf der schwarzen Matrix und dem Glassubstrat in dem Nicht-Pixel-Teil zu bewirken.
  • Das Binderpolymer (A) ist ein Pfropfpolymer mit (A-2) als der Copolymerkomponente. Dieses ermöglicht es, die Affinität in Bezug auf ein Pigment zu erhöhen und bemerkenswerterweise die Einheitlichkeit eines Überzugs und die Löslichkeit eines Nicht-Pixel-Teils, der mit einem Alkali entwickelt ist, zu verbessern. Das Binderpolymer (A) hat ferner (A-3) und (A-4) als die Copolymerkomponenten, was es möglich macht, die Löslichkeit des Binderpolymerem (A) in Alkali einzustellen und die Filmbildbarkeit und Wärmebeständigkeit zu erhöhen.
  • Das bei dieser Erfindung verwendete Binderpolymer (A) hat ein Durchschnittsmolekulargewicht (im nachfolgenden als "MW" bezeichnet), berechnet als Polystyrol, von vorzugsweise 5000 bis 50000, bevorzugter 10000 bis 30000, gemessen mittels Gelpermeationschromatographie (Träger: Tetrahydrofuran).
  • Das Binderpolymer (A) mit einem derartigen Mw kann durch radikalische Polymerisation von (A-1), (A-2), (A-3) und (A-4) in der Anwesenheit eines Lösungsmittels erhalten werden. Bei dieser Gelegenheit kann ein Kettenübertragungsmittel verwendet werden. Als Kettenübertragungsmittel ist ein α-Methylstyroldimer bevorzugt, weil Farbänderung durch Wärme weniger beim Herstellen eines Farbfilters aus der Zusammensetzung dieser Erfindung auftritt, die das Binderpolymer (A) enthält. Das α-Methylstyroldimer wird in einer Menge von 0,01 bis 20 Gewichtsteile, bevorzugter 0,1 bis 10 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile aller Monomeren verwendet.
  • Beispiele des α-Styroldimeren umfassen die folgenden Isomeren,
  • (a) 2,4-Diphenyl-4-methyl-1-penten,
  • (b) 2,4-Diphenyl-4-methyl-2-penten und
  • (c) 1,1,3-Trimethyl-3-phenylindan.
  • Eine bevorzugte Zusammensetzung des α-Methylstyroldimeren als Kettentransfermittel ist, daß wenn die Gesamtmenge 100 Gewichtsteile beträgt, die Menge der Komponente (a) 40 Gewichtsteile oder mehr beträgt, und die Menge der Komponente (b) und/oder der Komponente (c) 60 Gewichtsteile oder weniger beträgt. Eine bevorzugtere Zusammensetzung des α-Methylstyroldimeren ist, daß die Menge der Komponente (a) 50 Gewichtsteile oder mehr beträgt, und die Menge der Komponente (b) und/oder der Komponente (c) 50 Gewichtsteile oder weniger beträgt.
  • (B) Pigment:
  • Bei dieser Erfindung werden organische oder anorganische Pigmente als das Pigment (B) verwendet.
  • Die organischen Pigmente sind Farbstoffe oder Pigmente, die unlöslich in Wasser oder einem organischen Lösungsmittel sind. Spezifische Beispiele des organischen Pigments umfassen Verbindungen, welche in Pigmente gruppiert sind, die in einem Farbindex gezeigt sind (veröffentlicht von The Society of Dyers and Colourists).
  • Die anorganischen Pigmente sind metallische Verbindungen, d.h. Metalloxide und Metallkomplexsalze. Beispiele davon umfassen Oxide von Metallen wie beispielsweise Eisen, Cobalt, Aluminium, Cadmium, Blei, Kupfer, Titan, Magnesium, Chrom, Zink und Antimon und Komplexoxide der Metallen.
  • Spezifische Beispiele des Pigments (B) umfassen Verbindungen mit den folgenden Farbindex CI Nummern.
  • C.I. Pigment Gelb 24, C.I. Pigment Gelb 31, C.I. Pigment Gelb 53, C.I. Pigment Gelb 83, C.I. Pigment Orange 43, C.I. Pigment Rot 105, C.I. Pigment Rot 149, C.I. Pigment Rot 176, C.I. Pigment Rot 177, C.I. Pigment Violett 14, C.I. Pigment Violett 29, C.I. Pigment Blau 15, C.I. Pigment Blau 15:3, C.I. Pigment Blau 15:6, C.I. Pigment Blau 22, C.I. Pigment Blau 28, C.I. Pigment Grün 15, C.I. Pigment Grün 25, C.I. Pigment Grün 36, C.I. Pigment Braun 28, C.I. Pigment Schwarz 1, C.I. Pigment Schwarz 7, C.I. Pigment Gelb 109, C.I. Pigment Gelb 110,
  • C.I. Pigment Violett 23, C.I. Pigment Grün 7.
  • Diese Pigmente können entweder einzeln oder in Kombination verwendet werden.
  • Bei dieser Erfindung wird das Pigment (B) in einer Menge von üblicherweise 10 bis 1 000 Gewichtsteile, vorzugsweise 20 bis 500 Gewichtsteile, pro 100 Gewichtsteile des Binderpolymeren (A) verwendet.
  • (C) Strahlungempfindliche Verbindung:
  • Die bei dieser Erfindung verwendete strahlungsempfindliche Verbindung (C) ist (1) eine Verbindung, die eine Polymerisationskettentransferreaktion einer polymerisierbaren Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung ermöglicht, oder (2) eine Verbindung, die in eine Kohlenstoff-Kohlenstoff-Bindung oder eine Kohlenstoff-Wasserstoffbindung unter Bilden einer vernetzten Struktur zwischen Molekülen bei Bestrahlung mit Strahlung eintritt, wobei die Energie unter Erzeugen aktiver Samen wie beispielsweise eines Radikals, Nitren und Methylen in dem elektronisch angeregten Zustand absorbiert wird.
  • Die Verbindung (1) ist beispielsweise eine Verbindung, die das Radikal bei Bestrahlung mit Strahlung erzeugt, d.h. eine Verbindung mit einer ungesättigten Doppelbindung, welche bei Bestrahlung mit Strahlung polymerisiert wird, wie beispielsweise ein Strahlungspolymerisationsinitiator oder ein strahlungspolymerisierbares Monomer oder Oligomer.
  • Beispiele des Strahlungspolymerisationsinitiators umfassen
  • Kohlenstoffverbindungen wie beispielsweise Diacetyl, Benzyl, Benzoin, 2-Hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-on,1-(4-Isopropylphenyl)-2-hydroxy-2- methylpropan-1-on, 4-(2-hydroxyethoxy)phenyl-(2-hydroxy-2-propyl)keton, 1- Hydroxycyclohexylphenylketon, 2,2-Dimethoxy-2-phenylacetophenon, 2-Methyl-1-(4-methylthiophenyl)-2-morpholin-1-propan-1-on, 2-Benzyl-2-dimethylamino- 1-(4-morpholinphenyl)-butan-1-on, Benzophenon, 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenon, 4,4'-Bis(diethylamino)benzophenon, 2,4-Diethylthioxanthon und 3,3-Diethyl-4-methoxybenzophenon;
  • Azoverbindungen und Azidoverbindungen wie beispielsweise Azobisisobutyronitril, Diazonium, 4-Azidobenzaldehyd, 4-Azidoacetophenon, 4-Azidobenzalacetophenon, 4-Azidobenzalaceton, Azidopyren, 4-Diazodiphenylamin, 4-Diazo-4'-methoxydiphenylamin und 4-Diazo-3'-methoxydiphenylamin;
  • organische Schwefelverbindungen;
  • Peroxide wie Diethyletherperoxid und Trihalomethanverbindungen wie 1,3-Bis(trichlormethyl)-4-(2'-chlorphenyl)-s-triazin und 1,3-bis(trichlormethyl)-5-(4'-methoxyphenyl)-5-triazin.
  • Beispiele des strahlungspolymerisierbaren Monomeren oder Oligomeren umfassen polyvalente Acrylate wie beispielsweise Trimethybipropantriacrylat, Pentaerythritoltriacrylat, Trisacryloyloxyethylphosphat, Pentaerythritoltetracrylat, Dipentaerythritolpentacrylat und Dipentaerythritolhexacrylat, ein Kondensat von 4-Azidobenzaldehyd und Polyvinylalkohol, ein Kondensat von 4-Azidobenzaldehyd und einem Phenolnovolakharz, und ein Polymer oder ein Copolymer aus 4-Acryloylphenylcinnamoylester.
  • Das strahlungspolymerisierbare Monomer oder Oligomer kann in einer derartigen Menge verwendet werden, die nicht die Aufgaben und Wirkungen dieser Erfindung beeinträchtigt, so lange wie die Zusammensetzung dieser Erfindung einen Überzug mit einer Adhäsion bei Bestrahlung mit Strahlung bilden kann.
  • Die Verbindung (2) ist eine Verbindung, die mindestens zwei funktionelle Gruppen enthält, die ein Radikal, Carben und Nitren bei Bestrahlung mit Strahlung erzeugen, d.h. ein Strahlungsvernetzungsmittel.
  • Beispiele des Strahlungsvernetzungsmittels umfassen Diazidocalcon, 2,6-bis(4'-Azidobenzal)-cyclohexanon, 1,3-bis(4'-Azidobenzal)-4- methylcyclohexanon, 1,3-bis(4'-Azidobenzal)-2-propan, 1,3-bis(4'- Azidocinnamyliden)-2-propan, 4,4'-Diazidostilben und Ammoniumdichromat.
  • Bei diesen strahlungsempfindlichen Verbindungen ist es ratsam, eine Kombination der Verbindung, die das Radikal bei Bestrahlung mit Strahlung erzeugt, welche der Strahlungspolymerisationsinitiator ist, mit dem strahlungspolymerisierbaren Monomeren, insbesondere dem polyvalenten Acrylat zu verwenden.
  • Diese Kombination ist beispielsweise eine Kombination aus 2-Methyl-1- (4-Methylthiophenyl)-2-morpholinpropan-1-on, 1-Hydroxycyclohexylphenylketon oder 2-Benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinphenyl)-butan-1-on als der Strahlungspolymerisationsinitiator und Pentaerythritoltriacrylat oder Dipentaerythritolhexacrylat als das strahlungspolymerisierbare Monomer. Bei dieser Gelegenheit wird der Strahlungspolymerisationsinitiator in einer Menge von 0,01 bis 200 Gewichtsteile, vorzugsweise 1 bis 120 Gewichtsteile, pro 100 Gewichtsteile des strahlungspolymerisierbaren Monomeren verwendet.
  • Die strahlungsempfindliche Verbindung wird in einer Menge von üblicherweise 10 bis 200 Gewichtsteile, vorzugsweise 20 bis 150 Gewichtsteile, pro 100 Gewichtsteile des Binderpolymeren (A) verwendet. Wenn die Menge weniger als 10 Gewichtsteile beträgt, tendiert die Lebendigkeit eines Pixels dazu, unzureichend zu sein. Wenn die Menge 200 Gewichtsteile übersteigt, tritt der verbleibende Film leicht auf einem Nicht-Pixel-Teil auf.
  • Die erfindungsgemäße Zusammensetzung kann, wie gefordert, eine Vielzahl von Additiven enthalten, wie beispielsweise einen Füllstoff, eine andere polymere Verbindung als das Binderpolymer (A), einen oberflächenaktiven Mittel, einen Adhäsionspromotor, einen Antioxydationsmittel, einen ultravioletten Absorber und ein agglomerationsverhinderndes Mittel.
  • Spezifische Beispiele dieser Additive sind folgende. Spezifische Beispiele des Füllstoffs umfassen ein Glas und ein Aluminiumoxid. Andere spezifische Beispiele der polymeren Verbindung als das Binderpolymer (A) umfassen Polyvinylalkohol, Polyacrylsäure, Polyethylenglykolmonoalkylether und Polyfluoralkylacrylat.
  • Spezifische Beispiele des oberflächenaktiven Mittels umfassen nichtionische, kationische und anionische oberflächenaktive Mittel. Spezifische Beispiele des Adhäsionspromotors umfassen Vinyltrimethoxysilan,, Vinyltriethoxysilan, Vinyltris(2-methoxyethoxy)silan, N-(2- Aminoethyl)-3-aminopropylmethyldimethoxysilan, N-(2-Aminoethyl)-3- aminopropyltrimethoxysilan, 3-Aminopropyltriethoxysilan, 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilan, 3-Glycidoxypropylmethyldimethoxysilan, 2-(3,4- Epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilan, 3-Chlorpropylmethyldimethoxy-silan, 3-Chlorpropyltrimethoxysilan, 3-Methacryloxypropyltrimethoxysilan und 3- Mercaptopropyltrimethoxysilan. Spezifische Beispiele des Antioxydationsmittels umfassen 2,2-Thiobis(4-methyl-6-tert-butyl phenol) und 2,6-di-tert- Butylphenol. Spezifische Beispiele des ultravioletten Absorbers umfassen 2-(3-tert-Butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl)-5-chlorbenzotriazol und Alkoxybenzophenon. Spezifische Beispiele des die Agglomeration verhindernden Mittels umfassen Natriumpolyacrylat.
  • Um die Löslichkeit eines nicht mit Strahlung bestrahlten Teils in Alkali zu beschleunigen und die Entwickelbarkeit der Zusammensetzung dieser Erfindung zu verbessern, kann die Zusammensetzung dieser Erfindung eine organische Carbonsäure, vorzugsweise eine organische Carbonsäure mit einem niedrigen Molekulargewicht von 1000 oder weniger enthalten. Spezifische Beispiele der organischen Carbonsäure umfassen aliphatische Monocarbonsäuren wie beispielsweise Ameisensäure, Essigsäure, Propionsäure, Buttersäure, n-Valeriansäure, Pivalinsäure, n-Capronsäure, n-Heptylsäure und n-Caprylsäure; aliphatische Dicarbonsäuren wie beispielsweise Oxalsäure, Malonsäure, Succinsäure, Glutarsäure, Adipinsäure, Pimelinsäure, Suberinsäure, Azelainsäure, Sebacinsäure, Brassylsäure, Methylmalonsäure, Ethylmalonsäure, Dimethylmalonsäure, Methylsuccinsäure, Tetramethylsuccinsäure und Citraconsäure; aliphatische Tricarbonsäuren wie Tricarballylsäure, Aconitsäure und Camphersäure; aromatische Monocarbonsäuren wie Benzoesäure, Toluylsäure, Cuminsäure, Hemellithsäure und Mesitylensäure; aromatische Polycarbonsäuren wie Phthalsäure, Isophthalsäure, Terephthalsäure, Trimellithsäure, Trimesinsäure, Mellophansäure und Pyromellithsäure; und andere Carbonsäuren wie Phenylessigsäure, 2-Phenylpropionsäure, Hydrozimtsäure, Mandelsäure, Phenylsuccinsäure, Atropasäure, Zimtsäure, Methylzimtsäure, Benzylzimtsäure, Cynnamylidenessigsäure, Coumarinsäure und Umbellsäure. Von diesen organischen Carbonsäuren sind Itaconsäure, Malonsäure, Citraconsäure, Mesaconsäure, Fumarsäure und Phthalsäure bevorzugt.
  • Die Zusammensetzung dieser Erfindung kann durch Mischen und Dispergieren des Binderpolymeren (A), des Pigment(B) und der strahlungsempfindlichen Verbindung (C) und, falls verlangt, der anderen Komponenten in Anwesenheit eines Lösungsmittels unter Verwenden von beispielsweise einer Kugelmühle, einer Pebble-Mühle, einer Schüttelmaschine, eines Homogenisators, einer Dreiwalzenmühle, einer Sandmühle oder eines Nanomizers hergestellt werden.
  • Die Zusammensetzung dieser Erfindung kann auch hergestellt werden, indem das Pigment (B), beispielsweise ein Pigment mit einem Durchschnittsteilchendurchmesser von 1 um oder weniger in einem Dispersionsmedium, welches ein Dispergiermittel und ein Lösungsmittel (vorläufige Dispersionsstufe) enthält, dispergiert wird, anschließend die auf diese Weise erhaltene vorläufige Dispersion bei hohem Druck von 100 kg/cm² oder mehr (Hochdruckdispersionsstufe) dispergiert wird, das Binderpolymer (A) und die strahlungs-empfindliche Verbindung (C) und, falls gewünscht, die anderen Komponenten zu der auf diese Weise erhaltenen Pigmentdispersion hinzugefügt werden, und diese mit der zuvor genannten Dispersionsvorrichtung gemischt werden. Das Verfahren kann die Depolarisation (Streuen von einem polarisierten Licht) eines Farbfilters reduzieren.
  • Es gibt eine große Anzahl von Dispergiermittel, welche bei der vorläufigen Dispergierstufe verwendet werden können. Spezifische Beispiele davon umfassen Phthalocyaninderivate (EFKA-745, eine Handelsbezeichnung für ein Produkt von Morishita & Co., Ltd); kationische oberflächenaktive Mittel wie beispielsweise ein Organosiloxanpolymer KP 341 (eine Handelsbezeichnung für ein Produkt der The Shin-etsu Chemical Industry Co., Ltd), (meth)acrylsäurehaltige Copolymere Polyflow Nr. 75, Nr. 90, Nr. 95 (Handelsbezeichnung für Produkte von Kyoeisha Chemical Co., Ltd) und W001 (eine Handelsbezeichnung für ein Produkt der Yusho Co., Ltd.); nichtionische oberflächenaktive Mittel wie beispielsweise Polyoxyethylenlaurylether, Polyoxyethylenstearylether, Polyoxyethylenoleylether, Polyoxyethylenoctylphenylether, Polyoxyethylennonylphenylether, Polyethylenglykoldilaurat, Polyethylenglykoldistearat und Sorbitan aliphatischer Säureester; fluorhaltige oberflächenaktive Mittel wie EFTOP EF 301, EF 303, EF 352 (Handelsbezeichnung für Produkte von Tohken Products Co., Ltd), Megafac F171, F172, F173 (Handelsbezeichnungen für Produkte der Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), Fluorad FC430, FC431 (Handelsbezeichnungen für Produkte der Sumitomo 3M, Ltd.), ASAHI GUARD AG710, Surflon S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-1068) (Handelsbezeichnungen für Produkte von Asahi Glass Co., Ltd.); anionische oberflächenaktive Mittel wie beispielsweise W004, W005, W017 (Handelsbezeichnungen für Produkte von Yusho Co., Ltd.), hochmolekulargewichtige Dispersionsmittel wie beispielsweise EFKA-46, EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA Polymer 100, EFKA Polymer 400, EFKA Polymer 401, EFKA Polymer 450 (Handelsbezeichnungen für Produkte von Morishita & Co., Ltd.), Disperse Aid 6, Disperse Aid 8, Disperse Aid 15, Disperse Aid 9100 (Handelsbezeichnungen für Produkte von San Nop Co., Ltd.); und IONET S-20 (eine Handelsbezeichnung für ein Produkt von Sanyo Chemical Industries, Ltd.).
  • Diese Dispergiermittel können entweder einzeln oder in Kombination verwendet werden.
  • Das Dispergiermittel, welches in der Pigmentdispersion enthalten ist, wird in einer Menge von üblicherweise 0,1 bis 50 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile des Pigments verwendet.
  • Beispiele des verwendeten Lösungsmittels für das Herstellen dieser erfindungsgemäßen Zusammmensetzung umfassen:
  • Ester wie Ethylacetat, n-Butylacetat, Isobutylacetat, Amylformiat, Isoamylacetat, Butylpropionat, Isopropylbutyrat, Ethylbutyrat, Butylbutyrat; Alkylester wie Methyllactat, Ethyllactat, Methylhydroxyacetat, Ethylhydroxyacetat, Butylhydroxyacetat, Methylmethoxyacetat, Ethylmethoxyacetat, Butylmethoxyacetat, Methylethoxyacetat, Ethylethoxyacetat, 3-Hydroxypropionsäurealkylester wie Methyl-3-hydroxypropionat, Ethyl-3-hydroxypropionat, Methyl-3-methoxypropionat, Ethyl-3-methoxypropionat, Methyl-3-ethoxypropionat, Ethyl-3- ethoxypropionat, Methyl-2-hydroxypropionat, Ethyl-2-hydroxypropionat, Propyl-2-hydroxypropionat, Methyl-2-methoxypropionat, Ethyl-2-methoxypropionat, Propyl-2-methoxypropionat, Methyl-2-ethoxypropionat, Ethyl-2- ethoxypropionat, Methyl-2-hydroxy-2-methylpropionat, Ethyl-2-hydroxy-2- methylpropionat, Methyl-2-methoxy-2-methylpropionat, Ethyl-2-ethoxy-2- methylpropionat, Methylpyruvat, Ethylpyruvat, Propylpyruvat, Methylacetoacetat, Ethylacetoacetat, Methyl-2-hydroxybutyrat und Ethyl-2-hydroxybutyrat;
  • Ether wie Diethylenglykoldimethylether, Tetrahydrofuran, Ethylenglykolmonomethylether, Ethylenglykolmonoethylether, Methylcellosolveacetat, Ethylcellosolveacetat, Diethylenglykolmonomethylether, Diethylenglykolmonoethylether, Diethylenglykolmonobutylether, Propylenglykolmethyletheracetat, Propylenglykolethyletheracetat und Propylenglykolpropyletheracetat;
  • Ketone wie beispielsweise Methylethylketon, Cyclohexanon, 2-Heptanon und 3-Heptanon; und
  • aromatische Kohlenwasserstoffe wie beispielsweise Toluol und Xylol.
  • Von diesen Verbindungen sind Methyl-3-ethoxypropionat, Ethyl-3- ethoxypropionat, Ethylcellosolveacetat, Ethyllactat, Diethylenglykoldimethylether, Butylacetat, Methyl-3-methoxypropionat, 2-Heptanon, Cyclohexanon, Ethylcarbitolacetat, Butylcarbitolacetat und Propylenglykolmet hyl etheracetat bevorzugt.
  • Diese Lösungsmittel können entweder einzeln oder in Kombination verwendet werden.
  • Das Lösungsmittel wird in einer Menge von üblicherweise 100 bis 4000 Gewichtsteile, vorzugsweise 200 bis 2000 Gewichtsteile, pro 100 Gewichtsteile des Pigments verwendet.
  • Bei der vorhergehenden Dispersionsstufe wird das Pigment in dem Dispersionsmedium dispergiert, welches das Dispersionsmittel und das Lösungsmittel enthält.
  • Das Dispergieren wird üblicherweise mit einer Dispergiereinrichtung oder einer Knetvorrichtung wie beispielsweise einer Kugelmühle, einem Dissolver, einem Homomischgerät, einer Knetvorrichtung, einer Dreiwalzenmühle oder einer Sandmühle durchgeführt.
  • Von diesen wird die Dreiwalzenmühle oder die Sandmühle vorzugsweise verwendet.
  • Bei der vorhergehenden Dispersion, welche in der vorhergehenden Dispergierstufe erhalten worden ist, wird das Pigment mit einem Durchschnittsteilchendurchmesser von vorzugsweise 1 um oder weniger dispergiert.
  • Der Durchschnittsteilchendurchmesser des Pigments beträgt beträgt vorzugsweise 0,05 bis 0,7 um, insbesondere vorzugsweise 0,05 bis 0,4 um.
  • Wenn die Viskosität der vorhergehenden Dispersion hoch ist, verringert sich die Verarbeitbarkeit der anschließenden Hochdruckdispergierstufe manchmal. Demgemäß beträgt die Viskosität der vorhergehenden Dispersion 50000 mPa s oder weniger, vorzugsweise 20000 mPa s oder weniger, bevorzugter 10000 mPa s oder weniger.
  • Bei der vorhergehenden Dispergierstufe können neben dem Pigmet, dem Dispersionsmittel und dem Lösungsmittel die anderen Komponenten, falls gewünscht, in der vorhergehenden Dispersion enthalten sein.
  • Bei der Hochdruckdispergierstufe wird die vorhergehende Dispersion einer Dispergierbehandlung unter Druck von 100 kg/cm² oder mehr, vorzugsweise 300 kg/cm² oder mehr ausgesetzt.
  • Die Dispergierbehandlung wird beispielsweise bei dem zuvor genannten Hochdruck mit einer Hochdruckdispergiereinrichtung durchgeführt, die Flüssigkeit-Flüssigkeit-Aufprallen bei hoher Geschwindigkeit erlaubt, beispielsweise mit einem Microverflüssiger (hergestellt von Microfluidics), ULTIMIZER (hergestellt von Hosokawa Micron K.K.) oder T.K.NANOMIZER (hergestellt von Tokushu Kika Kogyo K.K.).
  • Bei der auf diese Weise erhaltenen Pigmentdispersion ist es wünschenswert, daß daß Pigment den Durchschnittsteilchendurchmesser von 0,05 bis 0,7 um, vorzugsweise 0,05 bis 0,4 um hat.
  • Die Viskosität der Pigmentdispersion beträgt 50000 mPa s oder weniger, vorzugsweise 20000 mPa s oder weniger, bevorzugter 10000 oder weniger.
  • Bei der Hochdruckdispergierstufe können die anderen Komponenten, welche, wie verlangt, verwendet werden, in der Pigmentdispersion enthalten sein.
  • Die zuvor erhaltene Pigmentdispersion hat die ausgezeichnete Dispergierbarkeit des Pigments ohne Agglomerierung der Pigmentteilchen und kann den dispergierten Zustand des Pigments selbst bei Lagerung während einer langen Dauer beibehalten.
  • Die erfindungsgemäße Zusammensetzung wird hergestellt durch Hinzugeben der Komponenten zum Bilden der Zusammensetzung dieser Erfindung, d.h. dem Binderpolymeren (A) und der strahlungsempfindlichen Verbindung (C) zu der zuvor erhaltenen Pigmentdispersion und Mischen dieser mit der Hochdruckdispergiereinrichtung, wie zuvor genannt.
  • Die Zusammensetzung dieser Erfindung wird auf ein Substrat durch Auftragen wie beispielsweise Rotationsauftragen, Schleuderauftragen oder Rollauftragen unter Bilden einer strahlungsempfindlichen Zusammensetzungsschicht aufgetragen, und die strahlungsempfindliche Zusammensetzungsschicht wird Licht durch ein zuvor festgelegtes Abdeckmuster ausgesetzt und mit einem Entwickler unter Bilden eines gefärbten Musters entwickelt. Die Strahlung, welche bei dieser Gelegenheit verwendet wird, ist besonders bevorzugt ultraviolette Strahlen wie g Strahlen und i Strahlen.
  • Beispiele des Substrats umfassen ein Sodaglas, welches in einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung verwendet wird, ein Pyrexglas, ein Quartzglas, wobei diese Gläser einen deutlichen darauf abgelagerten elektroleitfähigen Film haben, und ein photoelektrisches Umwandlersubstrat, das bei einer Festkörperabbildungsvorrichtung wie beispielsweise einem Siliciumsubstrat verwendet wird.
  • Schwarze Streifen, durch die Teilpixels im allgemeinen auf dem Substrat gebildet werden.
  • Als der Entwickler wird eine alkalische wäßrige Lösung verwendet, in der eine alkalische Verbindung in einer Menge von 0,001 bis 10 Gew.%, vorzugsweise 0,01 bis 1 Gew.%. gelöst ist. Beispiele der alkalischen Verbindung umfassen Natriumhydroxid, Kal iumhydroxid, Natriumcarbonat, Natriumsilikat, Natriummetasilikat, wäßriges Ammoniak, Ethylamin, Diethylamin, Diethylethanolamin, Tetramethylammoniumhydroxid, Tetraethyl ammoniumhydroxid, Cholin, Pyrrol, Piperidin und 1,8-Diazabicyclo-[5,4,0]-7- undecen.
  • Wenn der aus einer derartigen alkalischen wäßrigen Lösung gebildete Entwickler verwendet wird, wird das Substrat im allgemeinen nach der Entwicklung mit Wasser gespült.
  • Diese Erfindung wird spezifischer unter Bezugnahme auf die folgenden Beispiele veranschaulicht. Jedoch ist diese Erfindung nicht auf diese Beispiele beschränkt. In den Beispielen bedeutet % Gew.%, und Teile bedeuten Gewichtsteile. SYNTHESEBEISPIEL 1:
  • (*1) Macromonomer AS-6, hergestellt von Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd., ein Polystyrololigomer mit einer Methacryloylgruppe an einem Ende des Moleküls, ein Molekulargewicht = 6000
  • (*2) enthaltend 2,4-Diphenyl-4-methyl-1-penten (88,9%), 2,4-Diphenyl- 4-methyl-2-penten (3,4%) und 1,1,3-Trimethyl-3-phenylindan (0,8%) als Hauptbestandteile.
  • Die zuvor genannten Rohmaterialien wurden in einen Autoklaven gefüllt, der mit einem Rührer ausgerüstet war, und bei Raumtemperatur gerührt, bis eine einheitliche Mischung erhalten war. Anschließend wurde die Temperatur auf 80ºC erhöht. Danach wurde die Temperatur 3 Stunden auf 80ºC gehalten und anschließend 2 Stunden auf 100ºC. Die Mischung wurde auf Raumtemperatur unter Erhalten einer Polymerlösung A abgekühlt. Während dieser Zeit wurde Stickstoff durch das Innere des Autoklaven unter Abschließen von Luft geleitet, und das Rühren wurde fortgesetzt. Die Polymerisationsausbeute der Polymerlösung A (Konzentration des Polymeren 30 Gew.%) betrug 98%. Das Mw des Polymeren (im nachfolgenden als "Polymer A" bezeichnet) in der Polymerlösung A betrug 25000 (gemessen mit HLC-802A, hergestellt von Tosoh Corporation). BEISPIEL 1:
  • Die zuvor genannten Rohmaterialien wurden gemischt und mit einer Kugelmühle dispergiert. Die Dispersion wurde mit einem Filter (mit der Wirkung, ein Fremdmaterial mit einem Teilchendurchmesser von 2,5 um zu 95% zu schneiden) unter Erhalten einer Dispersion einer Zusammensetzung dieser Erfindung filtriert.
  • Diese Dispersion wurde auf ein Glassubstrat mit einer darauf gebildeten schwarzen Matrix, welche aus Chrom hergestellt war, bis zu einer Trockenfilmdicke von 2 um mit einer Schleuderauftragsmaschine aufgetragen, und das auf diese Weise überzogene Substrat wurde bei 80ºC unter Erhalten eines roten einheitlichen Überzugs 10 Minuten lang getrocknet.
  • Weiterhin wurde das zuvor überzogene Substrat mit 100 mJ/cm² einer Lichtenergie mithilfe einer Hochdruckquecksilberbogenlampe durch eine Photomaske mit einer Maskenlochbreite von 10 bis 100 um für die Bestimmung der Auflösung bestrahlt, mit einer 0,1% wäßrigen Lösung von Tetramethylammoniumhydroxid entwickelt, mit Wasser gespült und anschließend 1 Stunde bei 180ºC getrocknet.
  • Das auf diese Weise erhaltene Pixel hatte ein Muster feiner Linien mit einer Breite von 10 bis 100 um. Das Muster war bei Beobachtung mit einem optischen Mikroskop ein Muster mit scharfen Ecken. Weiterhin war das Nicht-Pixelteil frei von Oberflächenverunreinigung. Außerdem trat selbst bei Bilden eines Musters feiner Linien mit einer Breite von 5 um oder weniger Delaminierung nicht auf, und das Pixel war eines, welches geeignetermaßen in einem Farbfilter von hoher Genauigkeit verwendet werden kann. BEISPIEL 2:
  • Die zuvor genannten Rohmaterialien wurden gemischt und mit einer Kugelmühle dispergiert. Die Dispersion wurde mit einem Filter (mit einer Wirkung, die ein Fremdmaterial mit einem Teilchendurchmesser von 2,5 um zu 95% schnitt), unter Erhalten einer Dispersion dieser erfindungsgemäßen Zusammensetzung filtriert.
  • Die Dispersion wurde auf ein Glassubstrat mit einer darauf gebildeten, aus Chrom hergestellten schwarzen Matrix bis zu einer Trockenfilmdicke von 2 um mit einer Schleuderauftragsmaschine aufgetragen, und das auf diese Weise überzogene Substrat wurde 10 Minuten lang bei 80ºC unter Erhalten eines roten einheitlichen Überzugs getrocknet.
  • Weiterhin wurde das zuvor aufgetragene Substrat mit 100 mJ/cm² einer Lichtenergie mithilfe einer Hochdruckquecksilberbogenlampe durch eine Photomaske mit einer Maskenlochbreite von 10 bis 100 um für die Bestimmung der Auflösung bestrahlt, mit einer 0,1% wäßrigen Lösung von Tetramethylammoniumhydroxyd entwickelt, mit Wasser gespült und anschließend 1 Stunde bei 180ºC getrocknet.
  • Das auf diese Weise erhaltene Pixel hatte ein Muster feiner Linien mit einer Breite von 10 bis 100 um. Das Muster war bei Beobachtung mit einem Elektronenmikroskop ein Muster mit scharfen Ecken. Ferner war das Nicht-Pixel-Teil frei von Oberflächenverunreinigung. Außerdem trat selbst bei Bildung eines Musters feiner Linien mit einer Breite von 5 um oder weniger Delaminierung nicht auf, und das Pixel war eines, welches geeigneterweise in einem Farbfilter mit hoher Genauigkeit verwendet werden kann. BEISPIEL 3:
  • (*1) Dispergiermittel, hergestellt von Sanyo Chemical Industries, Ltd.
  • Die zuvor genannten Materialien wurden 1 Stunde mit einem Dissolver gemischt, und die Mischung wurde ferner in eine Hochdruckdispergiervorrichtung (T.K. Nanomizer, eine Handelsbezeichnung für eine Vorrichtung, hergestellt von Tokushu Kika Kogyo K.K.) geladen, wo die Mischung mit einem hohen Druck von 1000 kg/cm² dispergiert wurde. Dabei wurde eine Pigmentdispersion erhalten.
  • Die zuvor genannten Rohmaterialien wurden gemischt und in einer Kugelmühle dispergiert. Die Dispersion wurde mit einem Filter (mit einer Wirkung, die ein Fremdmaterial mit einem Teilchendurchmesser von 2,5 um zu 95% schnitt) unter Erhalten einer Dispersion einer Zusammensetzung dieser Erfindung filtriert.
  • Diese Dispersion wurde auf ein Glassubstrat mit einer darauf gebildeten aus Chrom hergestellten schwarzen Matrix bis zu einer Trockenfilmdicke von 2 um mit einer Schleuderauftragsmaschine aufgetragen, und das auf diese Weise überzogene Substrat wurde 10 Minuten lang bei 80ºC unter Erhalten eines grünen einheitlichen Überzugs getrocknet.
  • Ferner wurde das zuvor überzogene Substrat mit 100 mJ/cm² einer Lichtenergie mithilfe einer Hochdruckquecksilberbogenlampe durch eine Photomaske mit einer Maskenlochbreite von 10 bis 100 um für die Bestimmung der Auflösung bestrahlt, mit einer 0,1% wäßrigen Lösung von Tetramethylammoniumhydroxid entwickelt, mit Wasser gespült und anschließend 1 Stunde lang bei 180ºC getrocknet.
  • Das auf diese Weise erhaltene Pixel hatte ein Muster aus feinen Linien mit einer Breite von 10 bis 100 um ohne Depolarisation (Streuen von einem polarisierten Licht). Das Muster war bei Beobachten mit einem optischen Mikroskop ein Muster mit scharfen Ecken. Weiterhin war das Nicht- Pixel-Teil frei von Oberflächenverunreinigung. Außerdem trat selbst bei Bilden eines Musters aus feinen Linien mit einer Breite von 5 um oder weniger Delaminierung nicht auf, und das Pixel war eines, welches geeigneterweise in einem Farbfilter von hoher Genauigkeit verwendet werden kann.
  • Die pigmentdispergierte strahlungsempfindliche Zusammensetzung dieser Erfindung kann ein Pixel von hoher Genauigkeit mithilfe eines photolithographischen Verfahrens liefern, verursacht keine Oberflächenverunreiniging auf der schwarzen Matrix und dem Glassubstrat, ergibt ein Pixel, welches ausgezeichnet in Bezug auf Adhäsion an die schwarze Matrix und das Glassubstrat ist, ausgezeichnete Überzugseigenschaften hat und geeignet für die Verwendung in einem Farbfilter ist.
  • Folglich kann die pigmentdispergierte strahlungsempfindliche Zusammmensetzung dieser Erfindung geeignetermaßen bei der Herstellung von Farbfiltern verwendet werden, welche ein Farbfilter für Färbung einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung und ein Farbfilter für Farbauflösung einer Festkörperabbildungsvorrichtung in der elektronischen Industrie einschließen.

Claims (12)

1. Eine strahlungsempfindliche Zusammensetzung, umfassend:
(A) ein Binderpolymer, welches ein Copolymer ist, erhalten durch Polymerisieren:
(A-1) einer ungesättigten Verbindung, welche mindestens eine alkoholische Hydroxylgruppe in dem Molekül enthält,
(A-2) eines Macromonomeren, enthaltend eine (Meth)acryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls und mit einem Molekulargewicht-Zahlenmittel, berechnet als Polystyrol, von 1000 bis 10000, und
(A-3) eines weiteren Monomeren, welches copolymerisierbar mit dem (A-1) und (A-2) ist, welches mindestens ein Monomer ausgewählt aus der Gruppe aus einem Arylalkyl(meth)acrylat, einem Butadien und einem Isopren ist, und
(A-4) einer ungesättigten Carbonsäure, die copolymerisierbar mit dem (A-1), (A-2) und (A-3) ist;
(B) ein Pigment;
(C) eine Strahlungspolymerisationsverbindung, umfassend:
(C-1) eine Kombination von:
(C-1-a) einem Strahlungspolymerisationsinitiator, und
(C-1-b) einem strahlungspolymerisierbaren Monomeren oder Oligomeren, oder
(C-2) ein Strahlungsvernetzungsmittel; und gewünschtenfalls
(D) eine organischen Carbonsäure, die mindestens eine Säuregruppe in dem Molekül enthält und ein Molekulargewicht von 1000 oder weniger hat.
2. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei das Copolymer durch radikalische Polymerisation in der Anwesenheit eines α-Methylstyroldimeren als ein Kettentransfermittel erhalten ist.
3. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei die ungesättigte Verbindung, die die alkoholische Hydroxylgruppe (A-1) enthält, mindestens ein Glied ausgewählt aus der Gruppe aus 2-Hydroxyethyl(meth)acrylat, 2-Hydroxypropyl(meth)acrylat, N-Hydroxymethylacrylamid, 2-Hydroxy-3-phenoxypropylacrylat, Polyethylenglykolmono(meth)acrylat und Polypropylenglykolmono(meth)acrylat ist.
4. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei das Macromonomer (A-2) ein Homopolymer oder ein Copolymer ist, welches mindestens ein Glied ausgewählt aus der Gruppe aus Styrol, einem Alkyl(meth)acrylat, Acrylnitril, Vinylacetat, Vinylpyridin, Butadien und Isopren umfaßt, wobei das Homopolymer oder Copolymer eine Methacryloylgruppe an einer Endposition des Moleküls enthält und ein Molekulargewicht- Zahlenmittel von 1000 bis 10000 hat.
5. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, welche die organische Carbonsäure (D) enthält, und wobei die organische Carbonsäure aus der Gruppe aus Itaconsäure, Malonsäure, Citraconsäure, Mesaconsäure, Fumarsäure und Phthalsäure ausgewählt ist.
6. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei das Binderpolymer ein Durchschnittsmolekulargewicht, berechnet als Polystyrol, von 5000 bis 50000 hat.
7. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei das Binderpolymer (A) ein Glied ausgewählt aus der Gruppe aus einem
2-Hydroxypropyl (meth)acrylat/Polystyrolmacromonomer/Benzylmethacrylat/Methacrylsäurecopolymer,
einem 2-Hydroxy-3-Phenoxypropylacrylat/Polymethylmethacrylatmacromonomer/Benzylmethacrylat/Methacrylsäurecopolymer, und einem 2-Hydroxyethylmethacrylat/Polystyrolmacromonomer/Benzylmethacrylat/Methacrylsäurecopolymer ist.
8. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei das Pigment (B) in einer Menge von 10 bis 1000 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile des Binderpolymeren (A) verwendet wird, und die Gesamtmenge des Strahlungspolymerisationsinitiators und des strahlungspolymerisierbaren Monomeren oder Oligomeren 20 bis 150 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile des Binderpolymeren (A) beträgt.
9. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei (C-1-b), das strahlungspolymerisierbare Monomer, ein mehrwertiges Acrylat ist.
10. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei (C-1), die Kombination aus (C-1-a), dem Strahlungspolymerisationsinitiator, und (C-1-b), dem strahlungspolymerisierbaren Monomeren, eine Kombination aus 2-Methyl-1-(4-Methylthiophenyl)-2-morpholinpropan-1-on, 1-Hydroxycyclohexylphenylketon oder 2-Benzyl-2-dimethylamino-1-(4-Morpholinphenyl)-butan-1-on als der Strahlungspolymerisationsinitiator und Pentaerythritoltriacrylat oder Dipentaerythritolhexacrylat als das strahlungspolymerisierbare Monomer ist.
11. Die strahlungsempfindliche Zusammensetzung nach Anspruch 1, wobei (C-1-a), der strahlungspolymerisierbare Initiator, in einer Menge von 0,01 bis 200 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile des strahlungspolymerisierbaren Monomeren verwendet wird.
12. Verwendung der strahl ungsempfindlichen Zusammensetzung nach Anspruch 1 für die Bildung eines in einer Flüssigkristallanzeige verwendeten Farbfilters.
DE69408761T 1993-09-24 1994-09-22 Strahlungsempfindliche Zusammensetzung Expired - Fee Related DE69408761T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26187793 1993-09-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69408761D1 DE69408761D1 (de) 1998-04-09
DE69408761T2 true DE69408761T2 (de) 1998-08-27

Family

ID=17368008

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69408761T Expired - Fee Related DE69408761T2 (de) 1993-09-24 1994-09-22 Strahlungsempfindliche Zusammensetzung

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5847015A (de)
EP (1) EP0645678B1 (de)
KR (1) KR100332326B1 (de)
DE (1) DE69408761T2 (de)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3824285B2 (ja) * 1997-03-14 2006-09-20 富士写真フイルム株式会社 感放射線性着色組成物
EP1033625A1 (de) * 1997-07-24 2000-09-06 JSR Corporation Lichtempfindliche Zusammensetzung
US6642963B1 (en) * 1998-06-29 2003-11-04 Intel Corporation Silylation layer for optical devices
US6162842A (en) * 1999-05-18 2000-12-19 The Goodyear Tire & Rubber Company Radiation curable coating composition
US20040058276A1 (en) * 2002-09-23 2004-03-25 Dueber Thomas E. Halo resistent, photoimagable coverlay compositions, having, advantageous application and removal properties, and methods relating thereto
JP2005228997A (ja) * 2004-02-13 2005-08-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像装置およびその製造方法
KR100839046B1 (ko) * 2006-12-14 2008-06-19 제일모직주식회사 액정표시소자용 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여제조된 칼럼 스페이서 및 그 칼럼 스페이서를 포함하는디스플레이 장치
EP2116527A4 (de) 2007-01-23 2011-09-14 Fujifilm Corp Oximverbindung, photosensible zusammensetzung, farbfilter, verfahren zur herstellung des farbfilters und flüssigkristallanzeigeelement
JP2008241744A (ja) 2007-03-23 2008-10-09 Fujifilm Corp カラーフィルタの製造方法
WO2008138724A1 (en) 2007-05-11 2008-11-20 Basf Se Oxime ester photoinitiators
CN101679394B (zh) 2007-05-11 2013-10-16 巴斯夫欧洲公司 肟酯光引发剂
US20090086064A1 (en) * 2007-09-27 2009-04-02 Micron Technology, Inc. Dynamic adaptive color filter array
CN105175315B (zh) * 2009-03-23 2018-08-28 巴斯夫欧洲公司 光致抗蚀剂组合物
CN103153952B (zh) 2010-10-05 2016-07-13 巴斯夫欧洲公司 苯并咔唑化合物的肟酯衍生物及其在可光聚合组合物中作为光敏引发剂的用途
US9051397B2 (en) 2010-10-05 2015-06-09 Basf Se Oxime ester
JP5955339B2 (ja) 2011-01-28 2016-07-20 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se 熱硬化剤としてオキシムスルホネートを含む重合性組成物
KR102006041B1 (ko) 2011-12-07 2019-07-31 바스프 에스이 옥심 에스테르 광개시제
EP3354641B1 (de) 2012-05-09 2019-07-17 Basf Se Oximester-fotoinitiatoren
KR101961219B1 (ko) 2013-01-08 2019-03-22 동우 화인켐 주식회사 착색 감광성 수지 조성물
WO2015004565A1 (en) 2013-07-08 2015-01-15 Basf Se Oxime ester photoinitiators
EP3044208B1 (de) 2013-09-10 2021-12-22 Basf Se Oximester-photoinitiatoren
EP3186226B1 (de) 2014-08-29 2020-06-17 Basf Se Oximsulfonatderivate
TWI675907B (zh) 2015-01-21 2019-11-01 日商Jsr股份有限公司 固體攝像裝置
EP3253735B1 (de) 2015-02-02 2021-03-31 Basf Se Latente säuren und ihre verwendung
US10272426B2 (en) 2015-04-21 2019-04-30 Jsr Corporation Method of producing microfluidic device, microfluidic device, and photosensitive resin composition
KR101986408B1 (ko) 2016-11-08 2019-06-05 동우 화인켐 주식회사 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 화상표시장치
KR20190107370A (ko) 2018-03-12 2019-09-20 동우 화인켐 주식회사 녹색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 컬러필터 및 화상표시장치
US20220121113A1 (en) 2019-01-23 2022-04-21 Basf Se Oxime ester photoinitiators having a special aroyl chromophore
CN115210219A (zh) 2020-03-04 2022-10-18 巴斯夫欧洲公司 肟酯光引发剂

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3759875A (en) * 1971-10-12 1973-09-18 J Guthrie Curable liquid pigment composition and method
JPS543482B2 (de) * 1972-10-14 1979-02-23
US4673705A (en) * 1985-04-05 1987-06-16 Desoto, Inc. Radiation-curable coatings containing reactive pigment dispersants
DE3706561A1 (de) * 1987-02-28 1988-09-08 Basf Ag Lichtempfindliches aufzeichnungsmaterial mit erhoehter flexibilitaet
DE3852756T2 (de) * 1987-07-28 1995-05-18 Nippon Kayaku Kk Photoempfindliche harzzusammensetzung und farbfilter.
US5096801A (en) * 1989-04-03 1992-03-17 Fuji Photo Film Co., Ltd. Color image recording method
JP3094403B2 (ja) * 1992-03-27 2000-10-03 ジェイエスアール株式会社 顔料分散型カラーフィルター用組成物
US5368976A (en) * 1992-03-27 1994-11-29 Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. Pigment-dispersed color-filter composition comprising an alkali-soluble block copolymer as a binder

Also Published As

Publication number Publication date
DE69408761D1 (de) 1998-04-09
US5847015A (en) 1998-12-08
EP0645678B1 (de) 1998-03-04
KR100332326B1 (ko) 2002-11-30
EP0645678A1 (de) 1995-03-29
KR950009350A (ko) 1995-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69408761T2 (de) Strahlungsempfindliche Zusammensetzung
JP3455915B2 (ja) カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ
DE69327189T2 (de) Farbfilterzusammensetzung enthaltend dispergiertes Pigment
DE69620723T2 (de) Fotopolymerisierbare Zusammensetzung für einen Farbfilter, Farbfilter und Flüssigkristallanzeigevorrichtung
DE69504942T2 (de) Lichtempfindliche Harzzusammensetzung
JP4940716B2 (ja) 感光性着色組成物用洗浄液
KR101988696B1 (ko) 청색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 청색 컬러필터 및 표시장치
KR20170085687A (ko) 적색 감광성 수지 조성물
DE69607569T3 (de) Benutzung einer fotoempfindlichen paste, verfahren zur herstellung einer plasmaanzeigetafel, sowie plasmaanzeigetafel, welche nach diesem verfahren herstellbar ist
KR20160109834A (ko) 착색 감광성 수지 조성물
CN100416311C (zh) 喷墨方式滤色器用隔板
CN111752103A (zh) 红色感光性树脂组合物及包含其的滤色器
KR102529779B1 (ko) 착색 감광성 수지 조성물, 컬러 필터 및 이를 구비한 화상 표시 장치
KR101840584B1 (ko) 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 화상표시장치
CN110244512B (zh) 红色感光性树脂组合物及包含该组合物的彩色滤光片
KR20140089001A (ko) 녹색 화소용 착색 감광성 수지 조성물
US6641960B2 (en) Photosensitive solution for forming picture cell
US20020128342A1 (en) Photosensitive resin compositions for color filter applications
JP5724117B2 (ja) カラーフィルタ用着色組成物、およびカラーフィルタ
JPH07198933A (ja) カラーフィルタ用顔料分散液の製造方法
KR20150112390A (ko) 착색 감광성 수지 조성물, 이를 포함하는 컬러필터 및 표시장치
KR101689058B1 (ko) 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하는 컬러 필터
KR20170082312A (ko) 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하는 컬러 필터
KR20150106637A (ko) 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하는 컬러 필터
KR102456915B1 (ko) 착색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하는 컬러 필터

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: JSR CORP., TOKIO/TOKYO, JP

8339 Ceased/non-payment of the annual fee