DE69312540D1 - Verdampfungsmaterial sowie dieses verwendendes Verfahren zur Herstellung optischer Dünnschichten - Google Patents

Verdampfungsmaterial sowie dieses verwendendes Verfahren zur Herstellung optischer Dünnschichten

Info

Publication number
DE69312540D1
DE69312540D1 DE69312540T DE69312540T DE69312540D1 DE 69312540 D1 DE69312540 D1 DE 69312540D1 DE 69312540 T DE69312540 T DE 69312540T DE 69312540 T DE69312540 T DE 69312540T DE 69312540 D1 DE69312540 D1 DE 69312540D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
production
thin layers
optical thin
evaporation material
evaporation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69312540T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69312540T2 (de
Inventor
Makoto Kameyama
Noboru Sugahara
Mitsuharu Sawamura
Junji Terada
Junichi Sakamoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Application granted granted Critical
Publication of DE69312540D1 publication Critical patent/DE69312540D1/de
Publication of DE69312540T2 publication Critical patent/DE69312540T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/285Interference filters comprising deposited thin solid films
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
DE69312540T 1992-03-24 1993-03-16 Verdampfungsmaterial sowie dieses verwendendes Verfahren zur Herstellung optischer Dünnschichten Expired - Fee Related DE69312540T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4066041A JP3039721B2 (ja) 1992-03-24 1992-03-24 蒸着材料及び該蒸着材料を用いた光学薄膜の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69312540D1 true DE69312540D1 (de) 1997-09-04
DE69312540T2 DE69312540T2 (de) 1998-02-19

Family

ID=13304401

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69312540T Expired - Fee Related DE69312540T2 (de) 1992-03-24 1993-03-16 Verdampfungsmaterial sowie dieses verwendendes Verfahren zur Herstellung optischer Dünnschichten

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5578536A (de)
EP (1) EP0562421B1 (de)
JP (1) JP3039721B2 (de)
CN (1) CN1030864C (de)
DE (1) DE69312540T2 (de)
TW (1) TW245745B (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6670105B2 (en) 1998-09-18 2003-12-30 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing diffractive optical element
FR2793889B1 (fr) * 1999-05-20 2002-06-28 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent a revetement anti-reflets
NO20030254L (no) * 2002-01-18 2003-07-21 Ngk Spark Plug Co Sintret zirkondioksydlegeme, slitasjebestandig element, lagerkule og element for optisk koblingsstykke
CN101111783B (zh) * 2005-01-31 2010-12-08 旭硝子株式会社 带防反射膜的基体
JP2010248580A (ja) * 2009-04-16 2010-11-04 Nidek Co Ltd 機能性膜付基板の製造方法
JP5287834B2 (ja) * 2010-11-16 2013-09-11 日亜化学工業株式会社 チタン酸化物系蒸着材料及びその製造方法
FR3020359B1 (fr) * 2014-04-29 2016-05-06 Eurokera Plaque en verre partiellement cristallise
JP6657872B2 (ja) * 2015-12-03 2020-03-04 Agc株式会社 反射防止膜付きガラス板

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3934961A (en) * 1970-10-29 1976-01-27 Canon Kabushiki Kaisha Three layer anti-reflection film
JPS5035211A (de) * 1973-08-03 1975-04-03
JPS56138701A (en) * 1980-03-31 1981-10-29 Minolta Camera Co Ltd Antireflection film
US4609267A (en) * 1980-12-22 1986-09-02 Seiko Epson Corporation Synthetic resin lens and antireflection coating
JPS59154402A (ja) * 1983-02-23 1984-09-03 Canon Inc 光学薄膜の製法
JPS60181704A (ja) * 1984-02-29 1985-09-17 Canon Inc 真空紫外用反射ミラー
JPS60197867A (ja) * 1984-03-21 1985-10-07 Shin Nippon Kinzoku Kagaku Kk 電子銃加熱真空蒸着用酸化チタン組成物
JPH0685002B2 (ja) * 1986-02-18 1994-10-26 ミノルタ株式会社 プラスチツク光学部品の反射防止膜
JPS635723A (ja) * 1986-06-27 1988-01-11 オリンパス光学工業株式会社 内視鏡ビデオ装置
JPH0470330A (ja) * 1990-02-16 1992-03-05 Nitto Denko Corp 透明耐透湿性フィルム及びel発光装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN1082202A (zh) 1994-02-16
US5578536A (en) 1996-11-26
JPH05264804A (ja) 1993-10-15
JP3039721B2 (ja) 2000-05-08
EP0562421A2 (de) 1993-09-29
DE69312540T2 (de) 1998-02-19
EP0562421A3 (en) 1993-12-15
EP0562421B1 (de) 1997-07-30
TW245745B (de) 1995-04-21
CN1030864C (zh) 1996-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69412831D1 (de) Fluorierte bis-ether und verfahren zur ihrer herstellung sowie von fluorierten methylethern
DE69431573D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Schichten
DE69222892D1 (de) Verfahren zur Herstellung dünner Schichten und mehrlagiger Schichten
DE69609907D1 (de) Verfahren zur Herstellung fehlerfreier Einkristalle mit grösserer Ausbringung
DE69322094D1 (de) Heterogene membrane und verfahren zur herstellung
DE69617147D1 (de) Verfahren zur Herstellung dünner Halbleiterschichten
DE69414315D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Kapseln sowie dadurch erhaltene Kapseln
DE69027457D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Polyethylen
DE69031855D1 (de) Mehrschichtige Strukturen aus verschiedenen elektroaktiven Materialien sowie Verfahren zur deren Herstellung
DE69221283D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Polysilanen
DE69307811D1 (de) Hartschicht aus Ti-Si-N-Verbundwerkstoff und Verfahren zur Herstellung derselben
DE68916311D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer thermoplastischen Kunststoffolie und deren Verwendung als Puffermaterial.
DE69223877D1 (de) Beschichtete Bauteile mit pulvergerüststrukturiertem Film und Verfahren zur ihrer Herstellung
DE69623953D1 (de) Verfahren zur Herstellung von magnetostriktivem Material
DE69412435D1 (de) Ferroelektrische Dünnschicht sowie Verfahren zur dessen Herstellung
DE69302960D1 (de) Verfahren zur Herstellung von dünnen Siliziummesas mit gleicher Dicke
DE68912683D1 (de) Verbundmaterial und Verfahren zur Herstellung.
DE59610741D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Deckelmaterial sowie dessen Verwendung
DE69414054D1 (de) Verfahren zur Herstellung von amorphen Bändern
DE69324717D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Dünnfilm-Strukturen
DE69504563D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Dünnschichten
DE58902131D1 (de) Verfahren zur kontinuierlichen herstellung von hartbonbonmassen sowie vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens.
DE69126605D1 (de) Verbundfilm und verfahren zur herstellung
DE69318909D1 (de) Verfahren zur Herstellung von menschlichem Wachstumshormon
DE69312540D1 (de) Verdampfungsmaterial sowie dieses verwendendes Verfahren zur Herstellung optischer Dünnschichten

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: WESER & KOLLEGEN, 81245 MUENCHEN

8339 Ceased/non-payment of the annual fee