DE69302569T2 - Verfahren zur beschichtung eines piezoelektrischen substrats mit einem halbleitermaterial und verfahren zur herstellung eines tröpfchenausstosssystems mit dem beschichtungsverfahren - Google Patents

Verfahren zur beschichtung eines piezoelektrischen substrats mit einem halbleitermaterial und verfahren zur herstellung eines tröpfchenausstosssystems mit dem beschichtungsverfahren

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