DE69115464T2

DE69115464T2 - Laserstrahlbearbeitungsverfahren

Info

Publication number: DE69115464T2
Application number: DE69115464T
Authority: DE
Inventors: Norio Karube; Tsuyoshi Nagamine; Yoshinori Nakata; Etsuo Yamazaki
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 1990-10-18
Filing date: 1991-10-05
Publication date: 1996-05-02
Anticipated expiration: 2011-10-06
Also published as: EP0506968A4; EP0506968B1; DE69115464D1; EP0506968A1; WO1992006815A1; JP2766389B2; JPH04158995A; US5252805A

Description

Die Erfindung betrifft ein Laserstrahl-Bearbeitungsverfahren zum Bearbeiten eines Werkstückes und insbesondere ein Laserstrahl-Bearbeitungsverfahren zum sauberen Schneiden eines spitzwinkeligen Abschnitts.
Beim Herstellen eines spitzwinkligen Abschnitts an einem Werkstück mit einem Laserstrahl kann eine saubere Bearbeitung oft nicht erzielt werden, weil eine Kante des spitzwinkligen Abschnitts überhitzt wird und wegen zu grober Hitze abschmilzt und deshalb verwendet man eine in Fig. 7 dargestellte Bearbeitungsschleife (s.z.B. JP-A-63-115687). Wenn man - wie dargestellt - einen Schnittvorgang längs einer Bahn 52 mit einem spitzen Winkel 51 ausführt, so läuft man am Punkt C des spitzen Winkels vorbei, dann längs einer Schleife 53 zurück zum Punkt C und dann beginnt der Schneidvorgang neu längs der Bahn 52.
Obwohl dieses Schleifenverfahren zur Bearbeitung von spitzen Winkeln auf der Innenseite der Bahn 52 nützlich ist, hat es einen Nachteil, dar es nicht dort verwendet werden kann, wo es sich um einen stumpfen Winkel am Produkt außerhalb der Bahn 52 handelt und außerdem ist ein Extraprogramm für die Bewegung des Schneidstrahls längs der Schleife 53 nötig.
Die Erfindung entstand angesichts dieser Umstände und eine Aufgabe der Erfindung liegt darin, ein Laserstrahl-Bearbeitungsverfahren zu schaffen, das in der Lage ist, einen spitzwinkligen Abschnitt sauber zu bearbeiten, ohne daß man das Schleifenverfahren benutzt.
Zur Lösung der vorgenannten Aufgabe ist erfindungsgemäß ein Laserstrahl-Bearbeitungsverfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 vorgesehen.
Ein Winkel der Bearbeitungsbahn wird auf der Basis eines laufenden Bewegungsbefehls und des nachfolgenden ausgelesenen Bewegungsbefehls berechnet. Der Bahnwinkel wird mit dem voreingestellten Winkel verglichen und wenn ersterer spitzer ist als letzterer, so wird die auf dem laufenden Bewegungsbefehl beruhende Bearbeitungsbewegung verzögert und angehalten. in diesem Fall wird der Laserausgabebefehl aus dem Schneidzustand in den Bohrzustand verändert, um einen Bohrvorgang entsprechend der Bohrbedingung auszuführen, und wenn der Bohrvorgang beendet ist, so wird die Bearbeitungsbewegung entsprechend dem nächsten Bewegungsbefehl neu gestartet. Sobald die Bearbeitungsbewegung neu gestartet ist, ändert sich der Laserausgabebefehl aus dem Bohrzustand in den Schneidzustand entsprechend der Bearbeitungsbewegung.
Die Zeichnung zeigt:
Fig. 1(a) ein Flußdiagramm eines Verzögerungsbestimmungsprozesses gemäß dem erfindungsgemäßen Laserstrahl-Bearbeitungsverfahren;
Fig. 1(b) ein Flußdiagramm des Prozesses beim Neuschreiben eines Laserausgabebefehls gemäß dem erfindungsgemäßen Laserstrahl-Bearbeitungsverfahren;
Fig. 2 ein Blockschaltbild zur Realisierung der Erfindung;
Fig. 3 eine zeitabhängige Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens;
Fig. 4 eine zeitabhängige Darstellung eines anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens;
Fig. 5 ein Flußdiagramm des mit der Ausführung in Fig. 4 durchgeführten Prozesses zum Neuschreiben eines Laserausgabebefehls;
Fig. 6 ein Blockschaltbild eines NC-Lasergeräts in Anwendung der Erfindung;
Fig. 7 eine Darstellung des Bearbeitungsverfahrens mit Schleife.
Bestmögliche Ausführungsverfahren der Erfindung werden nunmehr erläutert.
Fig. 2 ist ein Blockschaltbild zur Realisierung der Erfindung. Hier wird ein Bearbeitungsprogramm 1 in einem Dekodiermittel 2 dekodiert und dann in Bewegungsbefehle und Laserausgabebefehle aufgeteilt. Die Bewegungsbefehle werden einer Beschleunigungs-/Verzögerungssteuerung 3 eingespeist und dann in einen Interpolator 4, um den einzelnen Achsen zum Steuern jeweiliger Servomotoren einer Servoeinrichtung 5 zugeführt zu werden. Eine Maschine (Tisch usw.) wird von den Servomotoren angetrieben.
Der Laserausgabebefehl wird von einem Befehlssignal in einen Laseroszillator 8 in einer Laserstrahlsteuerung 7 umgewandelt und wird dazu benutzt, die Leistung eines aus dem Oszillator 8 austretenden Laserstrahls zu steuern. Mit diesem Laserstrahl wird ein Werkstück 9 bearbeitet.
Die Laserstrahlsteuerung 7 liest ein Signal aus der Steuerung 3 aus und liefert ein Befehlssignal an den Oszillator 8 gemäß dem empfangenen Signal, um die Laserleistung in der noch zu schildernden Weise zu steuern.
Fig. 3 stellt den zeitlichen Verlauf des Laserstrahls beim erfindungsgemäßen Verfahren dar. Hier wird zuerst ein Schneidvorgang längs einer bestimmten Bahn (nicht gezeigt) ausgeführt. Dabei wird eine Vorschubgeschwindigkeit V vom Bewegungsbefehl auf Vc eingesteuert und ein Laserausgabebefehl bestimmt eine Leistung S, impulsfrequenz P und Einschaltfaktor Q der HF-Impulse für den Laseroszillator. In der Darstellung ist eine Bearbeitungsbedingung Ac eingestellt, z.B. eine Leistung Sc = 1000 W, Impulsfrequenz Pc = 1000 Hz, Einschaltfaktor Qc = 80%. Dann wird ein Winkel der Bahn auf der Basis des laufenden Bewegungsbefehls und des folgenden Bewegungsbefehls berechnet. Wird festgestellt, dar der Bahnwinkel spitzer ist als ein voreingestellter Winkel, d.h. es liegt eine Ecke (spitzer Winkel) vor, so wird die Vorschubgeschwindigkeit Vc basierend auf dem laufenden Bewegungsbefehl verzögert und innerhalb einer Zeit T angehalten.
In diesem Fall wird der Laserausgabebefehl A entsprechend einer Änderung der Verzögerung der Vorschubgeschwindigkeit V verändert und damit ändert sich der Laserausgabefehl A aus der Schneidbedingung Ac in eine Bohrbedingung Ap (z.B. Leistung Sp = 500 W, Impulsfrequenz Pp = 45 Hz und Einschaltfaktor Qp = 15%).
Somit ist die Geschwindigkeit an der Ecke Null, die Betriebsart ändert sich aus dem Schneidzustand in einen Bohrzustand und der Laserstrahl geht rechtwinklig durch das Werkstück.
Nach Beendigung des Bohrens wird der nächste Bewegungsbefehl gelesen und der Schneidvorgang wird von der Ecke aus längs der bestimmten Bahn gemäß dem Bewegungsbefehl neu gestartet. Jetzt wird die Vorschubgeschwindigkeit V erhöht und erreicht wiederum Vc nach einem Zeitverzug ΔT.
Ferner wird der Leistungsbefehl A entsprechend der Änderung der Zustellgeschwindigkeit V verändert, d.h. wechselt von Ap nach Ac und entsprechend diesem Leistungsbefehl Ac wird der Schneidvorgang längs der bestimmten Bahn wiederum ausgeführt. Wenn in dieser Ausführungsform - wie erläutert - die Vorschubgeschwindigkeit V vor Erreichen einer Ecke verzögert und nach Passieren der Ecke wieder erhöht wird, so ändert sich der Laserleistungsbefehl A mit einer Änderung in der Vorschubgeschwindigkeit V und damit kann die in die Ecke eingebrachte Erwärmung genau kontrolliert werden. Ferner ist die Geschwindigkeit in der Ecke Null und es wird ein Bohrvorgang quer durch das Werkstück ausgeführt, worauf die Vorschubrichtung wechselt, so daß ein scharfer Rand von der Oberfläche zur Unterseite des Werkstückes entsteht und man so eine scharfe Ecke oder Schleifenverfahren erhält.
Wenn, wie vorstehend erläutert, V verzögert wird bis Null, die Leistung A vom Schneidzustand Ac in den Bohrzustand Ap verändert wird, kann aber der Befehl A noch einmal in einen Zwischenzustand Ai zwischen Ac und Ap verändert und dann von Ai nach Ap geschaltet werden, wenn die Geschwindigkeit zu Null wird, um so die in eine Ecke eingebrachte Wärmemenge während der Verzögerung und des Anhaltens noch weiter zu steuern.
Fig. 1(a) ist ein Flußdiagramm des Verzögerungsprozesses beim erfindungsgemäßen Verfahren. Die Zahlen hinter "S" bezeichnen die Schritte.
(S1) Ein Inkrement des Laserausgabebefehls A pro Zeiteinheit wird wie folgt berechnet
ΔS = (Sc - Sp) Ts/ΔT
ΔP = (Pc - Pp) Ts/ΔT
ΔQ = (Qc - Qp) Ts/ΔT (1)
(S2) Der nächste Block (Bewegungsbefehl) wird ausgelesen.
(S3) Der Winkel wird berechnet.
(S4) Es wird bestimmt, ob der berechnete Winkel kleiner als der voreingestellte Winkel ist. Ist dies der Fall, so existiert eine spitze Ecke und es folgt Schritt S5. Falls nicht, ist die Programmausführung beendet.
(S5) Eine Verzögerungsmarke F1 wird auf "1" gesetzt.
Fig. 1(b) ist ein Flußdiagramm eines Vorgangs zum Neuschreiben des Laserausgabebefehls gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren. Dieses Programm wird in Zeitintervallen von 1/Ts nach Ausführung der Schritte in Fig. 1(a) ausgeführt.
(S11) Es wird bestimmt, ob eine Bestimmungsmarke F2 für ein Bohrende auf 11 gesetzt ist. Ist die Marke auf "1", so folgt Schritt S22 und wenn 0, so folgt Schritt S12.
(S12) Es wird bestimmt, ob eine Marke F3 zum Bestimmen des Endes des Neuschreibens der Bohrbedingung auf "1" gesetzt ist. Ist die Marke "1", so folgt Schritt S2 und wenn 0, so folgt Schritt S13.
(S13) Es wird bestimmt, ob die Verzögerungsmarke F1 auf "1" steht. Ist die Marke auf "1", so folgt Schritt S14 und wenn die Marke "0" ist, so ist die Programmausführung beendet.
(S14) Es wird bestimmt, ob die Bearbeitungsbewegung basierend auf einem laufenden Block (Bewegungsbefehl) einen bestimmten Verzögerungsbereich erreicht hat. Wenn ja, so folgt Schritt S15.
(S15) Die Vorschubgeschwindigkeit V wird entsprechend dem Verzögerungsbefehl gesteuert.
(S16) Der Laserausgabebefehl A wird mit folgenden Gleichungen neu geschrieben:
S = S - ΔS
P = P - ΔP
Q = Q - ΔQ (2)
(S17) Es wird bestimmt, ob die Verzögerung beendet worden ist. Wenn ja, so folgt Schritt S18 und wenn nicht, wird das Programm beendet.
(S18) Der Laserausgabefehl A wird in die Bohrbedingung umgeschrieben (S = Sp, P = Pp, Q = Qp).
(S19) Die Marke F3 zum Bestimmen des Endes des Umschreibens der Bohrbedingung wird auf "1" gesetzt.
(S20) Es wird bestimmt, ob der Bohrvorgang beendet ist. Wenn ja, folgt Schritt 21, wenn nein, wird das Programm beendet.
(S21) Die das Bohrende bestimmende Marke F2 wird auf "1" gesetzt und die Marke F3 zum Bestimmen des Endes des Umschreibens der Bohrbedingung wird auf "0" gesetzt.
(S22) Die Vorschubgeschwindigkeit wird mit dem Beschleunigungsbefehl gesteuert.
(S23) Der Laserausgabefehl A wird nach folgenden Gleichungen neu berechnet:
S = S + ΔS
P = P + ΔP
Q = Q + ΔQ (3)
(S24) Es wird bestimmt, ob die Beschleunigung beendet ist. Wenn ja, folgt Schritt S25, wenn nein, wird das Programm beendet.
(S25) Der Laserausgabefehl A wird in die Schneidbedingung umgeschrieben (S = Sc, P = Pc, Q = Qc).
(S26) Die die Verzögerung bestimmende Marke F1 und die das Bohrende bestimmende Marke F2 werden beide auf Null gesetzt.
Fig. 4 ist eine zeitliche Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens in einer anderen Ausführungsform. Diese unterscheidet sich von der ersten darin, daß beim Verzögern und Anhalten der Bearbeitungsbewegung der Laserausgabefehl A zuerst während der Verzögerung in der Schneidbedingung Ac gehalten wird und gleichzeitig mit dem Anhalten in die Bohrbedingung Ap wechselt, wodurch die zum Ausführen der Bearbeitung bis zur Ecke ausreichende Wärmemenge jedenfalls vorhanden ist.
Fig. 5 ist ein Flußdiagramm für den Neuschreibungsprozeß des Laserausgabebefehls in der Ausführungsform der Fig. 4. Wie im Flußdiagramm in Fig. 1(b) wird das Programm in Zeitintervallen 1/Ts ausgeführt, nachdem das Flußdiagramm der Fig. 1(a) beendet ist.
(S30) Es wird bestimmt, ob die das Bohrende bestimmende Marke F2 auf "1" ist. Ist sie auf "1", so folgt Schritt S39 und ist sie auf "0", so folgt Schritt S31.
(S31) Es wird bestimmt, ob die die Verzögerung bestimmende Marke F1 auf "1" ist. Ist sie auf "1", so folgt Schritt S32 und ist sie auf "0", so wird das Programm beendet.
(S32) Es wird bestimmt, ob die auf dem laufenden Bewegungsblock beruhende Bearbeitungsbewegung einen vorbestimmten Verzögerungsbereich erreicht hat. Wenn ja, so folgt Schritt S33.
(S33) Es wird bestimmt, ob die Verzögerung beendet ist. Wenn ja, so folgt Schritt S35, wenn nein, folgt Schritt S34.
(S34) Die Vorschubgeschwindigkeit V wird entsprechend dem Verzögerungsbefehl gesteuert.
(S35) Der Laserausgabebefehl A wird für die Bohrbedingung neu geschrieben (5 = Sp, P = Pp, Q = Qp).
(S36) Es wird bestimmt, ob der Bohrvorgang beendet ist. Wenn ja, folgt Schritt S38, wenn nein, endet das Programm.
(S38) Die das Bohrende bestimmende Marke F2 wird auf "1" gesetzt.
(S39) Die Vorschubgeschwindigkeit V wird entsprechend dem Beschleunigungsbefehl gesteuert.
(S40) Der Laserausgabebefehl A wird entsprechend den Gleichungen (3) neu geschrieben.
(S41) Es wird bestimmt, ob die Beschleunigung beendet ist. Wenn ja, so folgt Schritt S42, wenn nein, endet das Programm.
(S42) Der Laserausgabefehl A wird in die Schneidbedingung (S = Sc, P = Pc, Q = Qc) umgeschrieben.
(S43) Die die Verzögerung bestimmende Marke F1 und die das Bohrende bestimmende Marke F2 werden auf "0" gesetzt.
Fig. 6 ist ein Blockschaltbild eines NC-Lasergeräts, in das die Erfindung eingebaut ist. Hier liest ein Prozessor 61 das Bearbeitungsprogramm 1 (Fig. 2) aus einem Speicher 70 aus und steuert den Gesamtbetrieb des Gerätes mit Hilfe eines in einem ROM (nicht gezeigt) gespeicherten Steuerprogramms. Die Dekodiermittel 2, die Beschleunigungs-/Verzögerungssteuerung 3 und der Interpolator 4 in Fig. 2 und dem Prozessor 61 verwirklicht.
Eine Ausgabesteuerschaltung 62 hat einen eingebauten D/A- Wandler und konvertiert einen Ausgabebefehlswert aus dem Prozessor 61 in einen laufenden Befehlswert. Eine Energieversorgung 63 sorgt für eine Gleichrichtung einer üblichen Netzspannung und liefert mit Hilfe von Schaltvorgängen eine HF-Spannung mit einem Strom entsprechend einem laufenden Befehlswert für ein Entladungsrohr 64. Die Ausgabesteuerschaltung 62 und die Energieversorgung 63 bilden die in Fig. 2 gezeigten Laserstrahl-Steuermittel.
Ein Lasergas 79 zirkuliert durch das Entladerohr 64 und wird von einer elektrischen Entladung angeregt, wenn der HF-Strom aus 63 angeliefert wird. Ein Rückspiegel 65 aus Germanium (Ge) mit einem Reflexionsfaktor von 99,5% und ein Auslaßspiegel 66 aus Zinkselenid (ZnSe) mit einer Reflektion von 65% bilden einen Fabry-Perot-Resonator, der das aus den Molekülen des gepumpten Lasergases austretende 10,6 um Licht verstärkt und einen Teil des Lichtes als Laserstrahl 67 aus dem Spiegel 66 austreten läßt.
Ist eine Blende 83a offen, so reflektiert der Laserstrahl 67 am Spiegel 68, konvergiert zu einem Punkt kleiner 0,2 mm mit Hilfe einer lichtfokussierenden Linse 69 und strahlt auf eine Fläche des Werkstückes 9.
Der Speicher 70 ist ein nicht flüchtiger Speicher zum Speichern verschiedener Parameter usw. und hierfür ist ein batteriegestützter CMOS verwendet. Obwohl nicht dargestellt, können auch andere Speicher als ein ROM zum Speichern des Systemprogramms und ein RAM zum zeitweisen Speichern von Daten vorgesehen sein.
Eine Positionssteuerung 71 steuert einen Servomotor 73 über einen Verstärker 72 mit einem Befehl vom Prozessor 61 für die Bewegung eines Tisches 76 (Maschine 6) und so der Position des Werkstückes 9 mit einem Spindelantrieb 74 und einer Mutter 75. Wenn hier nur eine Achse dargestellt ist, so können freilich mehrere Achsen vorhanden sein. Eine Anzeige ist an einem Gerät 78 möglich.
Als Gebläse 80 wird ein Roots-Gebläse benutzt, um das Lasergas 79 durch Kühler 81a und 81b zu schicken. Der Kühler 81a kühlt das Lasergas 79, das infolge des Pumpens auf hohe Temperatur erwärmt worden ist und der Kühler 81b entfernt die Wärme, die sich bei der Gasverdichtung im Gebläse 80 ergibt.
Eine Blendensteuerung 82 öffnet und schließt die Blende 83a entsprechend einem Befehl vom Prozessor 61. Die Blende 83a besteht aus Kupfer oder Aluminium, platiert mit Gold. Ist sie geschlossen, so reflektiert der Laserstrahl 67 aus dem Spiegel 66 zu einem Absorber 83b und wird hier absorbiert. Ist die Blende 83a offen, so strahlt der Strahl 67 auf das Werkstück 9.
Ein Leistungssensor 84 besteht aus einem Thermoelement, photoelektrischen Wandler o.ä. und erhält einen Teil des Laserstrahls aus dem Rückspiegel 65, um die Ausgangsleistung des Laserstrahls 67 zu messen. Ein A/D-Wandler 85 konvertiert das Ausgangssignal des Leistungssensors 84 in einen digitalen Wert für den Prozessor 61.
Wie vorstehend beschrieben, wird der Laserausgabebefehl bei einer Änderung der Vorschubgeschwindigkeit verändert, wenn die Bearbeitungsbewegung neu gestartet wird, aber dieser Befehl kann aus dem Bohrzustand in den Schneidzustand während der Zeit verändert werden, die für einen bestimmten Abstand nach dem Neustarten der Bewegung gebraucht wird.
Wenn - wie vorstehend beschrieben - die Zeiten für die Verzögerung und die Beschleunigung jeweils gleich sind (ΔT), so können diese Zeiten unterschiedlich sein.
Wenn also erfindungsgemäß, wie vorbeschrieben, die Vorschubgeschwindigkeit vor Erreichen einer spitzwinkligen Ecke verzögert und nach dem Durchfahren der Ecke wiederum beschleunigt wird, wird der Laserausgabebefehl entsprechend einer Änderung der Vorschubgeschwindigkeit verändert und deshalb kann die in die spitze Ecke eingebrachte Wärmemenge passend gesteuert werden. Sobald darüber hinaus die Vorschubgeschwindigkeit an der spitzen Ecke auf "0" gebracht wird, erfolgt ein Bohrvorgang und der Laserstrahl durchsetzt das Werkstück rechtwinklig, worauf die Vorschubrichtung verändert wird, so dar eine scharf geschnittene Kante des Werkstückes von der Oberseite bis zur Unterseite erzielt werden kann und so eine derartige spitze Ecke ohne das eingangs geschilderte Schleifenverfahren bearbeitet werden kann.

Claims

1. Laserstrahlbearbeitungsverfahren zum Bearbeiten eines Werkstückes gemäß einem Bearbeitungsprogramm, das aus einer Reihe von Bewegungsbefehlen und Laserausgabebefehlen zusammengesetzt ist, mit folgenden Schritten:

ein Winkel einer Bearbeitungbahn wird gemäß einem Bewegungsbefehl beim Ausführen und einem nachfolgenden, ausgelesenen Bewegungsbefehl beim Auslesen berechnet;

der Winkel der Bearbeitungsbahn wird mit einem voreingestellten Winkel verglichen;

eine Bewegung für eine auf dem Bewegungsbefehl beim Ausführen basierende Bearbeitung wird verzögert und angehalten, wenn der Winkel der Bearbeitungsbahn spitzer ist als der voreingestellte Winkel;

der Laserausgabebefehl wird gemäß der Verzögerung und dem Anhalten der Bearbeitungsbewegung von einem Schneidzustand in einen Bohrzustand verändert;

die Bearbeitungsbewegung wird gemäß dem nachfolgenden Bewegungsbefehl erneut gestartet, wenn ein Bohrvorgang gemäß dem Bohrzustand vollständig erfolgt ist und der Laserausgabebefehl wird gemäß der Bearbeitungsbewegung von dem Bohrzustand in den Schneidzustand verändert, wenn die Bearbeitungsbewegung neu gestartet wird.

2. Laserstrahlbearbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem der Laserausgabebefehl linear von dem Schneidzustand in den Bohrzustand gemäß einer Verzögerungsänderung der Bearbeitungsbewegung verändert wird, wenn die Bearbeitungsbewegung verzögert und angehalten wird.

3. Laserstrahlbearbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem, wenn die Bearbeitungsbewegung verzögert und angehalten wird, der Laserausgabebefehl aus dem Schneidzustand in einen Zwischenzustand zwischen dem Schneidzustand und dem Bohrzustand während der Verzögerung der Bearbeitungsbewegung verändert wird, gemäß einer Änderung der Verzögerung und in den Bohrzustand umgeschaltet wird, wenn die Bearbeitungsbewegung angehalten wird.

4. Laserstrahlbearbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem, wenn die Bearbeitungsbewegung verzögert und angehalten wird der Laserausgabebefehl im Schneidzustand während der Verzögerung beibehalten wird und in den Bohr zustand umgeschaltet wird, wenn die Bearbeitungsbewegung angehalten wird.

5. Laserstrahlbearbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem beim erneuten Starten der Bearbeitungsbewegung der Laserausgabebefehl linear aus dem Bohrzustand in den Schneidzustand gemäß einer Änderung der Zustellgeschwindigkeit für die Bearbeitungsbewegung verändert wird.

6. Laserstrahlbearbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem bei einem erneuten Starten der Bearbeitungsbewegung der Laserausgabebefehl aus dem Bohrzustand in den Schneidzustand gemäß einer Bearbeitungsbewegung längs eines vorbestimmten Abstandes verändert wird.

7. Laserstrahlbearbeitungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem der Laserausgabebefehl mindestens einen Faktor bezüglich Leistung, Impulsfrequenz und Impulsdauer einschließt.