DE69114823D1 - Verfahren zur Abscheidung einer Zinkoxidschicht auf ein Substrat. - Google Patents

Verfahren zur Abscheidung einer Zinkoxidschicht auf ein Substrat.

Info

Publication number
DE69114823D1
DE69114823D1 DE69114823T DE69114823T DE69114823D1 DE 69114823 D1 DE69114823 D1 DE 69114823D1 DE 69114823 T DE69114823 T DE 69114823T DE 69114823 T DE69114823 T DE 69114823T DE 69114823 D1 DE69114823 D1 DE 69114823D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
deposition
substrate
oxide layer
zinc oxide
zinc
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69114823T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69114823T2 (de
Inventor
Dennis R Platts
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ford Werke GmbH
Original Assignee
Ford Werke GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ford Werke GmbH filed Critical Ford Werke GmbH
Publication of DE69114823D1 publication Critical patent/DE69114823D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69114823T2 publication Critical patent/DE69114823T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/25—Oxides by deposition from the liquid phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/216—ZnO
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/23—Mixtures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/11—Deposition methods from solutions or suspensions
    • C03C2218/112—Deposition methods from solutions or suspensions by spraying

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
DE69114823T 1990-12-10 1991-11-14 Verfahren zur Abscheidung einer Zinkoxidschicht auf ein Substrat. Expired - Fee Related DE69114823T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/625,248 US5106653A (en) 1990-12-10 1990-12-10 Zinc oxide film having improved chemical durability

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69114823D1 true DE69114823D1 (de) 1996-01-04
DE69114823T2 DE69114823T2 (de) 1996-04-25

Family

ID=24505202

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69114823T Expired - Fee Related DE69114823T2 (de) 1990-12-10 1991-11-14 Verfahren zur Abscheidung einer Zinkoxidschicht auf ein Substrat.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5106653A (de)
EP (1) EP0490493B1 (de)
CA (1) CA2053018A1 (de)
DE (1) DE69114823T2 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0698275A4 (de) * 1993-04-28 1996-09-04 Mark Mitchnick Leitfähige polymere
BE1012997A5 (fr) * 1998-06-30 2001-07-03 Glaverbel Verre sodo-calcique vert.
GB0803702D0 (en) 2008-02-28 2008-04-09 Isis Innovation Transparent conducting oxides
GB0915376D0 (en) 2009-09-03 2009-10-07 Isis Innovation Transparent conducting oxides
CA2716144A1 (en) 2009-10-02 2011-04-02 University Of Windsor Method of surface treatment of aluminum foil and its alloy and method of producing immobilized nanocatalyst of transition metal oxides and their alloys
JP2014513209A (ja) * 2011-03-23 2014-05-29 ピルキントン グループ リミテッド 化学気相蒸着法による酸化亜鉛被膜を堆積させる方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1082017B (de) * 1958-03-05 1960-05-19 Pittsburgh Plate Glass Co Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen hydrolysierbarer Metallverbindungen auf waermebestaendige Koerper, z. B. Glasscheiben
US3850665A (en) * 1971-07-08 1974-11-26 Glaverbel Process for forming a metal oxide coating on a substrate and resulting products
IT996924B (it) * 1972-12-21 1975-12-10 Glaverbel Procedimento per formare uno strato di ossido metallico
US4292347A (en) * 1979-12-03 1981-09-29 Ppg Industries, Inc. Pyrolytic coating reactant for defect and durability control
JPS56109842A (en) * 1980-01-29 1981-08-31 Nippon Sheet Glass Co Ltd Manufacture of glass coated with metal oxide
JP2541269B2 (ja) * 1987-08-27 1996-10-09 日本板硝子株式会社 酸化物薄膜の製造方法
JPH01249634A (ja) * 1988-03-30 1989-10-04 Nippon Sheet Glass Co Ltd 導電性ガラスおよびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0490493A3 (en) 1992-08-05
EP0490493A2 (de) 1992-06-17
CA2053018A1 (en) 1992-06-11
EP0490493B1 (de) 1995-11-22
US5106653A (en) 1992-04-21
DE69114823T2 (de) 1996-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69123802T2 (de) Verfahren zum Auftragen einer Dünnschicht auf ein Substrat durch Sputtern
DE68928402T2 (de) Verfahren zur Entfernung einer Oxidschicht auf einem Substrat
DE69209896D1 (de) Verfahren zur Herstellung degradierter Beschichtung auf einem Substrat
DE69421467T2 (de) Verfahren zum Ablegen einer Dünnschicht auf Basis von einem Titannitrid auf einem transparenten Substrat
DE3766940D1 (de) Verfahren zur herstellung einer planaren polymerischen bedeckung auf einem substrat.
DE68909395D1 (de) Verfahren zur Ablagerung eines dünnen Oxydfilms.
DE69009635D1 (de) Verfahren zur Verhinderung von Rückseitenwachstum auf Substraten in einer Anlage zur Dampfphasenbeschichtung.
DE69114595T2 (de) Verfahren zur Bestimmung der vollständigen Abtragung einer Dünnschicht auf einem nichtplanaren Substrat.
DE59202154D1 (de) Verfahren zur herstellung einer leuchtstoffschicht auf einem substrat.
DE69123807T2 (de) Verfahren zum Verbessern der Eigenschaften einer Dünnschicht auf einem Substrat
DE69111770D1 (de) Verfahren zur Abscheidung einer Zinkoxidschicht auf ein Substrat.
DE69114823D1 (de) Verfahren zur Abscheidung einer Zinkoxidschicht auf ein Substrat.
DE68912638T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Kristallschicht auf einem Substrat.
DE69510906T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer unlöslichen Beschichtung auf einem Substrat
DE68921253D1 (de) Verfahren zur Abscheidung einer dünnen Supraleiterschicht.
DE3886863D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer supraleitenden Oxydschicht auf einem Substrat.
DE68908325D1 (de) Verfahren zur herstellung einer indiumphosphid-epitaxialschicht auf einer substratoberflaeche.
DE69303853T2 (de) Verfahren zur Bildung einer Dünnschicht auf einem Substrat mittels reaktiven Gleichstrom-Sputtern
DE69114942T2 (de) In situ-Messung einer dünnen Schicht auf einem Substrat.
DE69304130T2 (de) Verfahren zur Abscheidung eines ohmischen Kontaktes auf einer ZnSe-Schicht
DE69019869D1 (de) Verfahren zur Plattierung einer metallischen Schicht zwischen funktionellen Bahnen auf einem Substrat.
DE69114615T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer dünnen Schicht auf der Faserstirnfläche.
DE3886033D1 (de) Verfahren zur herstellung einer t-gate metallstruktur auf einem substrat.
DE69129722D1 (de) Verfahren für das selektive Wachstum einer Dünnschicht auf einem gemusterten Substrat
ATA81890A (de) Verfahren zur herstellung einer duennen nitridoder oxidschicht auf einer oberflaeche

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee