DE69113066T2

DE69113066T2 - Behälter für flüssigen Rohstoff.

Info

Publication number: DE69113066T2
Application number: DE69113066T
Authority: DE
Inventors: Shinji Miyazaki; Yoshitaka Tsunashima
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1990-01-11
Filing date: 1991-01-02
Publication date: 1996-04-11
Anticipated expiration: 2011-01-03
Also published as: JP2614338B2; US5069244A; DE69113066D1; KR930007441B1; JPH03208889A; KR910015018A; EP0437196B1; EP0437196A1

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Behälteranlage, die für eine Versorgungsquelle von verflüssigtem Gas verwendet wird; und insbesondere, wenn auch nicht ausschließlich, auf eine Behälteranlage mit einem Entnahmerohrmechanismus, wobei die Anlage in einer Halbleiterherstellungsstufe verwendet wird.
Anlagen zur Steuerung der Vergasung von flüssigem Material (in folgenden "Wärmebehandlungssysteme" genannt), mit einem Mechanismus zum Vergasen eines flüssigen Gases, derart, daß es als reguläres Gas behandelt werden kann, sind bisher in Halbleiterherstellungsapparaturen als Vorstufenanlage zu einem CVD-(chemische Abscheidung aus der Dampfphase) - Reaktionsofen verwendet worden. Fig. 1 zeigt ein Beispiel der Hauptstruktur einer solchen Apparatur, wobei ein ähnliches Beispiel in der Druckschrift JP-A-6 364 734 offenbart ist. Wie in dieser Figur dargestellt, umfaßt das Erwärmungssystem 1 einen Konstanttemperaturraum 2, einen Tank 3, einen Durchflußregler 4, ein pneumatisches Ventil 5. Eine Versorgungs- bzw. Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur 6 des am häufigsten verwendeten Typs speist ein flüssiges Material in das System 1.
Die Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur 6 umfaßt einen Hauptbehälter bzw. -körper 7, eine Gasversorgungsleitung 8, eine Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung 9, ein Gasversorgungsventil 10, ein Flüssigkeitszufuhrventil 11 und dgl. Die Behälteranlage 6 ist durch einen Anschluß 12 mit dem System verbunden und kann von ihm entfernt werden. Ein Gasversorgungsunternehmen füllt die Behälteranlage 6 mit einer Ausgangsflüssigkeit 13 unter Benutzung eines Verfahrens ähnlich demjenigen, das im Falle regulärer Gas benutzt wird, und liefert den gasgefüllten Behälter an einen Haltleiterhersteller.
Um die Ausgangsflüssigkeit zu transferieren, wird ein Spülventil 14 geschlossen und das Gasversorgungsventil 10 sowie das Speiseventil 11 werden geöffnet. Dann wird ein komprimiertes Inertgas in den Hauptkörper 7 durch die Gasversorgungsleitungen 15 und 8 eingeleitet, was die Ausgangsflüssigkeit 13 veranlaßt, durch die Leitungen 9 und 16 in den Tank des Erwärmungssystems zu fließen. Dabei befindet sich der Tank 3 in einem nicht unter Druck gesetzten Zustand.
Die Ausgangsflüssigkeit wird dann im Tank 3 unter Benutzung des Konstanttemperaturraumes 2 vergast. Das vergaste Ausgangsmaterial strömt sodann durch den Durchflußregler 4 in einen Reaktionsofen, und zwar durch eine Gasleitung, die an den Ofen angeschlossen ist.
Ein Beispiel für die Ausgangsflüssigkeit 13, die bei diesen Verfahren verwendet wird, ist eine organische Ausgangsflüssigkeit, wie etwa Tetraethoxysilan Si(OC&sub2;H&sub5;)&sub4; (im folgenden als TEOS abgekürzt) zum Bilden einer Isolierschicht auf einem Halbleitersubstrat. In bestimmten Fällen wird eine organische Ausgangsflüssigkeit, die einen Dotierstoff, wie etwa Phosphor (P), Bor (B), Arsen (As) oder dgl. enthält, verwendet, um einen Film zu bilden, der Verunreinigungen bzw. Störatome enthält, die in ein Halbleitersubstrat diffundiert werden sollen.
Um den Tank erneut mit Ausgangsflüssigkeit 13 zu füllen, wird die Behälteranlage 6 üblicherweise vom Anschluß 12 abgelöst, wie oben erwähnt, und an das Gasversorgungsunternehmen zur Wiederauffüllung gesandt. Infolgedessen werden die Anschlußleitungen 15 und 16 sowie jene Abschnitte der Leitungen 8 und 9, die zwischen den Anschlußstellen 12 und den Ventilen 10 und 11 der Behälteranlage 6 plaziert sind, in direkte Berührung mit der Atmosphäre gebracht, und zwar jedesmal dann, wenn der Tank wieder aufgefüllt wird. Nun bleibt aber kurz nachdem die Ausgangsflüssigkeit übertragen worden ist, etwas Ausgangsflüssigkeit auf der inneren Oberfläche des Verbindungsrohres 16, und dgl. zurück. Die bei diesem Verfahren verwendete organische Ausgangsflüssigkeit reagiert, wenn auch mäßig, mit der in der Atmosphäre enthaltenen Feuchtigkeit und erzeugt Nebenprodukte, wie etwa Siliciumdioxid (SiO&sub2;).
Der jetzige Stand der Technik wurde entwickelt, um das erwähnte Verbleiben von Flüssigkeit zu vermeiden. Um die verbleibende Flüssigkeit zu beseitigen, wird das Spülventil 14 geöffnet, während die Ventile 10 und 11 geschlossen werden, damit ein Inertgas durch die Verbindungsleitung, und dgl., fließt, um ein Spülen und Trocknen durchzuführen, beides vor und nach der Übertragung der Ausgangsflüssigkeit. Mit Hilfe dieses Standes der Technik ist es jedoch sehr schwierig, ein einwandfreies Spülen und Trocknen durchzuführen, weil die Leitungen 15 und 16, die von der Spülleitung (der Leitung für ein Spülgas) zu den Ventilen 10 und 11 weiterlaufen, zu lang sind und nicht für das Fließen eines Spülgases ausgelegt sind. Falls das Spültrocknen nicht erfolgreich ist, wird ein Nebenprodukt, wie etwa Siliciumdioxid, auf der inneren Oberfläche der Verbindungsleitung 16, den Ventilen 10 und 11 und dgl. erzeugt, wie oben erwähnt. Dieses Nebenprodukt kontaminiert die Behälteranlage 6, das Erwärmungssystem 1 und das zu behandelnde Material. Weiter besteht die Gefahr, daß es in die im Tank 3 im Erwärmungssystem 1 befindliche Flüssigkeit eingemischt wird, was ein Versagen des Durchflußreglers 4 verursacht. Im Falle der Handhabung einer Ausgangsflüssigkeit, die einen Dotierstoff wie etwa Phosphor oder Arsen enthält, verursacht eine unvollständige Spülung die Erzeugung eines giftigen Gases mit stechendem Geruch, das die menschliche Gesundheit angreift. Daher muß die Spüloperation sehr sorgfältig durchgeführt werden.
Wie oben beschrieben, muß vor und nach der Übertragung der Ausgangsflüssigkeit in das Erwärmungssystem die auf den inneren Oberflächen der an das System angeschlossenen Verbindungsleitung sowie der Leitung der Behälteranlage verbleibende Ausgangsflüssigkeit vollständig durch das Spültrocknen beseitigt werden. Die vollständige Spülwirkung kann jedoch in der herkömmlichen Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur nicht erreicht werden. Daher wird die Behälteranlage selber und auch das Erwärmungssystem kontaminiert, was die Qualität des zu verarbeitenden Substrats, wie etwa ein Wafer, beeinträchtigt. Weiter muß bei der herkömmlichen Behälteranlage ein besonders großes Maß an Aufmerksamkeit entwickelt werden, um das System sicher zu betreiben, wenn eine Ausgangsflüssigkeit gehandhabt wird, die eine giftige Substanz, wie etwa Phosphor, Arsen oder dgl. enthält.
Die vorliegende Erfindung wurde konzipiert, um die obengenannten Probleme zu lösen. Das Ziel derselben besteht in der Schaffung einer Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur, mit der ein sicherer Betrieb durchgeführt werden kann, bei der die Spülwirkung während der Operation der Übertragung der Ausgangsflüssigkeit verbessert ist; und bei der die Kontamination der Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur, der Halbleiterherstellungsanlage, wie etwa dem Erwärmungssystem, und der zu verarbeitenden Materialien verhindert wird.
Die Druckschrift EP-A-0 382 987, die ein früheres Prioritätsdatum trägt, aber nach dem Prioritätsdatum der vorliegenden Ansprüche veröffentlicht wurde und nur Frankreich benennt, offenbart eine Apparatur zum sicheren und mit einer genau abgemessenen Menge vorzunehmenden Liefern von Gas, einer Substanz, die bei Raumtemperatur flüssig oder fest ist, schwer verdampft und potentiell gefährlich ist. Die Apparatur umfaßt einen Behälter, der eine Gaseinlaßleitung mit zwei eingebauten Ventilen, eine Substanzgas- Auslaßleitung, ebenfalls mit zwei eingebauten Ventilen, und eine Bypassleitung aufweist, die mit einem Ende an die Gaseinlaßleitung zwischen ihren beiden Ventilen, und mit ihrem anderen Ende an die Substanzgas-Auslaßleitung zwischen ihren beiden Ventilen angeschlossen ist, und die selber ein Ventil enthält.
Weiter wird auf die Druckschrift EP-A-0 165 493 Bezug genommen, bei der ein Flüssigkeitsauffüllgerät einen Auffülltank zum Auffüllen von Rohmaterial, sowie eine Gasversorgungsleitung, die einen Druckregler und ein Ein-Aus- Ventil zwischen dem Druckregler und dem Tank umfaßt, und eine Materialzuführungsleitung aufweist, die zwei Ein-Aus-Ventile enthält, von denen eines in der Nähe des Auffülltanks und das andere in der Nähe des wiederaufzufüllenden Rohmaterialtanks angeordnet ist. Zwischen die Gaszufuhrleitung und die Materialzufuhrleitung ist eine Zweigleitung geschaltet, und zwar im ersten Falle zwischen den Druckregler und das Ventil, und im letzten Falle zwischen die beiden Ventile. Die Zweigleitung enthält ein Ein-Aus-Ventil und einen Durchflußregler.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur zur Lieferung einer Ausgangsflüssigkeit in einen Materialguttank geschaffen, bei der die Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur aufweist: einen Hauptkörper zum Enthalten der Ausgangsflüssigkeit; eine Gasversorgungsleitung mit einem ersten Ende, das an den Hauptkörper angeschlossen ist, um ein Versorgungsgas in den Hauptkörper zum Ausüben eines Druckes auf die Ausgangsflüssigkeit einzuleiten; einen ersten Anschluß, der an einem zweiten Ende der Gasversorgungsleitung gegenüber dem ersten Ende zum Ankuppeln der ersten Gasversorgungsleitung an eine Gasversorgungsquelle vorgesehen ist; ein erstes und ein zweites Gasversorgungsventil in der Gasversorgungsleitung zwischen dem ersten und dem zweiten Ende der Gasversorgungsleitung; eine Ausgangsflüssigkeits- Zufuhrleitung mit einem ersten Ende, das an den Hauptkörper zum Übertragen der Ausgangsflüssigkeit aus demselben als Antwort auf den Gasdruck angeschlossen ist, der auf die Ausgangsflüssigkeit ausgeübt wird; einen zweiten Anschluß, der an einem zweiten Ende der Ausgangsflüssigkeits- Zufuhrleitung gegenüber dem ersten Ende zum Ankuppeln der Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung an den Materialguttank vorgesehen ist; ein erstes und ein zweites Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrventil in der Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung zwischen dem ersten und dem zweiten Ende der Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung; eine Spülleitung mit einem ersten Ende, das an die Gasversorgungsleitung zwischen dem ersten und dem zweiten Gasversorgungsventil angeschlossen ist, und mit einem zweiten Ende, das an die Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung zwischen dem ersten und dem zweiten Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrventil angeschlossen ist; und ein Spülventil in der Spülleitung zwischen dem ersten und den zweiten Ende der Spülleitung.
Die Erfindung befaßt sich gemäß einem weiteren Aspekt mit der Benutzung einer solchen Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur zum Liefern einer Ausgangsflüssigkeit an einen Materialtank sowie damit, daß sie nach der Lieferung der Ausgangsflüssigkeit durch Spülen getrocknet wird.
Mit Hilfe der Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur der vorliegenden Erfindung wird die Spülwirksamkeit vor und nach der Übertragung der Ausgangsflüssigkeit mit Hilfe der Spülleitung, dem Spülventil und den vier in der Nähe des Hauptkörpers vorgesehenen Ventilen erheblich verbessert. Weiter wird die Kontamination der Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur, der Halbleiterherstellungsanlage, wie etwa ein Erwärmungssystem, und des zu verarbeitenden Materials verhindert. Dementsprechend wird die Produktivität und die Zuverlässigkeit der Anlage gesteigert. Gleichzeitig kann die Sicherheit des Betriebs gewährleistet werden.
Die vorliegenden Erfindung geht deutlicher aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen hervor.
Fig. 1 veranschaulicht eine herkömmliche Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur sowie ein herkömmliches Transfersystem;
Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform einer Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 veranschaulicht eine Ausgangsflüssigkeits- Behälteranordnung sowie ein Transfersystem für die in Fig. 2 dargestellte Ausführungsform;
Fig. 4 ist eine Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur, die in Zuge der vorliegenden Erfindung entwickelt worden ist, aber keine Ausführungsform der Erfindung darstellt;
Fig. 5 zeigt eine weitere Ausführungsform sowie ein Transfersystem einer Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 6 veranschaulicht ein Anwendungsbeispiel der in Fig. 5 dargestellten Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur.
Die Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur der vorliegenden Erfindung umfaßt, wie in Fig. 2 dargestellt, einen Hauptkörper 17 zum Enthalten einer Ausgangsflüssigkeit 13, eine Gasversorgungsleitung 18 zum Übertragen der Ausgangsflüssigkeit 13 durch Druck, das erste und das zweite Gasversorgungsventil 20 und 24 in der Gasversorgungsleitung 18, die Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung 19 zum Liefern der Ausgangsflüssigkeit 13, das erste und das zweite Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrventil 21 und 25 in der Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung 19, die Spülleitung 23, von der ein Ende an einen Abschnitt der Gasversorgungsleitung 18 zwischen dem ersten und dem zweiten Gasversorgungsventil 20 und 24 angeschlossen ist, während das andere Ende an einen Abschnitt der Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung 19 zwischen dem ersten und dem zweiten Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrventil 21 und 25 angeschlossen ist, und das Reinigungsventil 22, das in der Reinigungsleitung 23 vorgesehen ist. Darüber hinaus ist es sehr vorteilhaft, die Gasversorgungsleitung 18, die Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung 19 und die Spülleitung 23 der Behälteranlage der vorliegenden Erfindung mit einem Erwärmungs- bzw. Heizmechanismus zu versehen. Im übrigen stellt die beschriebene Struktur ein sehr gutes Beispiel der Erfindung dar.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf Fig. 3 beschrieben.
Wenn Ausgangsflüssigkeit übertragen werden muß, wird das Spülventil 22 geschlossen, während die Gasversorgungsventile 22 und 24 sowie die Zufuhrventile 21 und 25 geöffnet werden.
Dann wird ein komprimiertes Inertgas durch die Gasversorgungsleitung 18 in den Hauptkörper 17 geleitet und veranlaßt die Ausgangsflüssigkeit 13, durch die Zufuhrleitung 19 und die Verbindungsleitung 16 in das Erwärmungssystem 1 zu fließen. Die Ausgangsflüssigkeit 13 wird dann hauptsächlich im Tank 3 vergast, und die vergaste Ausgangsflüssigkeit strömt durch den Durchflußregler 4 und wird durch Vakuumsog in einen Reaktionsofen gezogen, und zwar durch eine an den Ofen angeschlossene Gasleitung.
Vor und nach der Übertragung der Ausgangsflüssigkeit muß die auf den inneren Oberflächen der Anschlußleitung und dgl. verbleibende Flüssigkeit durch Spülen und Trocken entfernt werden. Um das Spültrocknen durchzuführen, werden das erste Gasversorgungsventil 20 und das erste Ausgangsgas- Zufuhrventil 21 geschlossen, während das zweite Gasversorgungsventil 24, das Spülventil 22 und das zweite Gasversorgungs-Zufuhrventil 25 geöffnet werden. Dann wird ein Inertgas durch die Gasversorgungsleitung 15, die Gaszufuhrleitung 18, die Reinigungsleitung 23, die Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung 19 und die Verbindungsleitung 16 in das Erwärmungssystem 1 geleitet, so daß die Spültrocknung im System durchgeführt wird.
Wenn die Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur 26 entfernt werden muß, wird das zweite Gasversorgungsventil 24, das Spülventil 22 und das zweite Ausgangsflüssigkeits- Zuführungsventil 25 nach dem Spültrocknen geschlossen, und anschließend wird die Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur 26 durch Trennen der Anschlüsse 27a und 27b entfernt.
Ein Merkmal der Behälterapparatur der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die Spülleitung 23 und das Spülventil 22 zur Behälterapparatur 26 gehören und in der Nähe bzw. neben dem Hauptkörper 17 angeordnet sind. Infolgedessen ist es möglich geworden, ein spülendes Inertgas direkt in einen Teil der Verbindungsleitung 16, der Zufuhrleitung 19 usw. strömen zu lassen, was mit der herkömmlichen Technik nicht möglich ist. Im einzelnen fließt ein spülendes Inertgas durch das Rohr bzw. die Rohrleitung stromaufwärts des ersten Gasversorgungsventils 20, das neben dem Hauptkörper vorgesehen ist, und stromabwärts des ersten Zufuhrventils 21. Daher wird die Spülwirksamkeit (vollständiges Ausspülen giftiger Stoffe aus dem Rohr in kurzer Zeit) erheblich verbessert. Die Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur, das Erwärmungssystem und das zu verarbeitende Material, wie etwa ein Wafer oder dgl., können also vor Kontamination geschützt werden.
Das andere Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß das erste und das zweite Ventil 20 und 24 und die Ventile 21 und 25 jeweils entsprechend für die Gasversorgungsleitung 18 und die Flüssigkeitszufuhrleitung 19 vorgesehen sind. Nach Beendigung des Spültrocknens werden die zweiten Ventile 24 und 25 geschlossen. In diesem Zeitpunkt sind alle vier Ventile 20, 24, 21 und 25 geschlossen, und Inertgas befindet sich in der Gasversorgungsleitung 18, der Zufuhrleitung 19 und der Spülleitung 23, die durch die vier Ventile abgesperrt sind. Somit steht die im Behälterhauptkörper 17 befindliche Ausgangsflüssigkeit bzw. das darin befindliche Gas durch das Inertgas mit der Atmosphäre außerhalb der Behälterapparatur 26 in Verbindung. Aufgrund dieser Struktur wird selbst im Falle, daß irgendeines der Ventile versehentlich geöffnet wird, wenn die Behälterapparatur 26 weggenommen wird, das giftige Gas, d.h. das Nebenprodukt der Ausgangsflüssigkeit, nicht in den Raum freigelassen. Infolgedessen kann die Sicherheit der Operation erheblich besser als im Falle der herkömmlichen Technik gewährleistet werden.
Nachfolgend wird die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Zuge der Anwendung der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
Die vorerwähnte herkömmliche Technik ist mit dem Problem der Kontamination der Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur, des Erwärmungssystems usw. behaftet, und zwar aufgrund der unzureichenden Spülwirkung. Beim Spülreinigen der herkömmlichen, in Fig. 1 dargestellten Behälterapparatur 6 fließt das Spülgas nicht durch das ganze Leitungssystem, da die Zufuhrleitung 9 und die Verbindungsleitung 16 zu lang sind. Infolgedessen kann die in der Leitung verbleibende Ausgangsflüssigkeit nicht vollständig beseitigt werden, und außerdem wird die für das Reinigen erforderliche Zeitdauer lang. Um dieses Problem zu lösen, ist die in Fig. 4 dargestellte Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur 36 entwickelt worden, obwohl sie selber keine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist. Bei dieser Behälterapparatur 36 werden die Spülleitung 43 und das Spülventil 42 als Teil der Behälterapparatur 36 betrachtet und neben dem Hauptkörper 17 der Behälterapparatur vorgesehen. In dieser Struktur strömt das spülende Inertgas direkt durch den Abschnitt der Versorgungsleitung 38 stromaufwärts des Versorgungsventils 40, sowie durch den Abschnitt der Zufuhrleitung 39 stromabwärts des Zufuhrventils 41, ebenso wie durch die Verbindungsleitung etc. Mit anderen Worten erstreckt sich die Spülung auf den dem Hauptkörper 37 benachbarten Abschnitt. Die Spülwirksamkeit wird somit erheblich verbessert, und das Kontaminationsproblem wird gelöst. Weiter kann im Falle, daß die Behälterapparatur durch Lösen der Anschlüsse 27a und 27b entfernt wird, die Sicherheit in Bezug auf die Gesundheit des Bedieners gewährleistet werden, da die Ausgangsflüssigkeit, die in den Leitungen verblieben ist, welche der offenen Luft ausgesetzt sind, vollständig beseitigt wird. Was die Struktur als solche anbetrifft, ist ein Spülventil wie dasjenige, das in dem anderen Falle vorgesehen ist (das Spülventil 14) nicht wesentlich.
Jedoch wird bei der Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur 36 im Falle, daß eines der Ventile, das Gasversorgungsventil 40 und das Zuführungsventil 41 zufällig geöffnet werden, beispielsweise beim Entfernen der Behälterapparatur, das giftige Gas, d.h. das Nebenprodukt der Ausgangsflüssigkeit, in den Raum freigelassen. Daher erfordert der Betrieb und die Handhabung der Apparatur nach wie vor weitere Aufmerksamkeit.
Die in Fig. 2 dargestellte Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur 26 ist in Anbetracht des genannten Problems erfunden worden. Fig. 2 veranschaulicht eine Struktur der Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur 26, wohingegen Fig. 3 den Fall veranschaulicht, daß die Behälterapparatur 26 an das Erwärmungssystem 1 angeschlossen ist. Zusätzlich zu den Ventilen 20 und 21 weist die Behälterapparatur 26 das zweite Gasversorgungsventil 24 und das zweite Anfangsflüssigkeits- Zufuhrventil 25 auf, die jeweils neben der Gewährleistung des geschlossenen Zustandes als Spülventile benutzt werden.
Die Behälterapparatur 26 ist eine umgebaute Version der in Fig. 4 dargestellten Behälterapparatur 36, die eine bemerkenswerte Spül- bzw. Reinigungswirksamkeit aufweist; und sie besitzt zusätzlich zu den Merkmalen der Behälterapparatur 36 ein weiteres Merkmal, das darin besteht, daß die Behälterapparatur von der Gasversorgungsleitung 15 und der Verbindungsleitung 16 abgetrennt werden kann, während sie gleichzeitig in den Abschnitten der Gasversorgungsleitung 18, der Spülleitung 23 und der Zufuhrleitung 19, die durch die vier Ventile 20, 21, 24 und 25 der Reinigungsapparatur 26 geschlossen sind, ein Inertgas enthält. Somit kann die Sicherheit des Betriebs gewährleistet werden. Und selbst wenn das erste Ventil unabsichtlich geöffnet wird, hält das zweite Ventil zu, wodurch die Möglichkeit eines direkten Kontaktes zwischen der Ausgangsflüssigkeit und der Atmosphäre deutlich verringert wird.
In beiden Fällen der in den Fig. 2 und 4 dargestellten Behälterapparaturen 26 und 36 wird jeweils die Benutzung unterschiedlicher Typen von Anschlüssen empfohlen, beispielsweise eines vorstehenden Anschlußtyps 27a und eines aufnehmenden Anschlußtyps 27b, um Transferfehler zu vermeiden, die durch Anschließen eines falschen Anschlußelementes verursacht werden.
Fig. 5, die ein Stoppventil 28 umfaßt, veranschaulicht eine weitere Ausführungsform der Ausgangsflüssigkeits- Behälterapparatur der vorliegenden Erfindung. Die in dieser Figur dargestellte Behälterapparatur 56 besitzt eine Struktur, bei der ein Erwärmungs- bzw. Heizmechnismus 47 für jede Leitung, die Versorgungsleitung 58 und die Spülleitung 63, vorgesehen ist, und wobei auch die Verbindungsleitung 16 durch einen Erwärmungsmechanismus 47 unterstützt wird. Das erste und das zweite Gasversorgungsventil 60 und 64, das erste und das zweite Ausgangsflüssigkeits-Lieferventil 61 und 65 und das Spülventil 62 können, falls nötig, wärmefest sein. Im übrigen benutzt diese Ausführungsform Heizbänder (Heizer, die in Isolationsbänder eingebaut sind), welche als Erwärmungsmechanismen 47 um die Rohre gewickelt werden.
Bei der vorstehenden Struktur wird der Heizer eingeschaltet, um jede Rohrleitung sowie die Verbindungsleitung 16 der Behälterapparatur 56 auf eine vorbestimmte Temperatur zu erwärmen, so daß die Vergasungswirkung der Ausgangsflüssigkeit in der Leitung verbessert werden kann. Die optimale Temperatur sollte unter Berücksichtigung des Erwärmungsmaterials, der Schwellentemperatur jedes Ventils und des Typs der Ausgangsflüssigkeit bestimmt werden. Bei der vorliegenden Ausführungsform werden die erwähnten Heizbänder verwendet, und die Temperatur ist auf 90-100º C eingestellt. Somit kann das herkömmliche Reinigungsverfahren durch Vakuumsaugen, oder das Reinigungsverfahren durch Vakuumsaugen von N&sub2; durch die Wärme unterstützt werden, so daß die Spültrocknungszeitdauer weiter verkürzt und die Reinigungswirksamkeit drastisch erhöht wird. Infolgedessen kann die Kontamination der Leitung durch Siliciumdioxid, die manchmal bei den in den Fig. 2 und 4 dargestellten Ausführungsformen aufgrund der unzureichenden Spüldauer auftreten kann, vollständig vermieden werden, so daß das Innere der Leitung stets sauber gehalten werden kann.
Fig. 6 zeigt ein Anwendungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, bei dem der Hauptkörper 57 der Behälterapparatur 56 direkt als Konstanttemperaturtank benutzt wird. Bei diesem Beispiel ist der Hauptkörper 57 in eine Lösung 51 eingetaucht, die in einem Konstanttemperaturbad 52 beheizt wird, wobei die Erwärmungsmechanismen 47 für die Leitungen vorgesehen sind. Bei dieser Struktur kann die Behälterapparatur die Funktion eines Erwärmungssystems haben, und tatsächlich kann eine reguläre Erwärmungs- bzw. Back- oder Einbrennprozedur durchgeführt werden. Diese Form der Anwendung ist also bei einem einfachen System sehr nützlich. Im übrigen ist die Behälterapparatur in umgekehrter Weise durch die Anschlüsse des entgegengesetzten Typs (vorstehend- aufnehmend) an das System angeschlossen.
Die bei diesen Ausführungsformen verwendete Ausgangsflüssigkeit ist TEOS, obwohl sie nicht auf diese organische Ausgangsflüssigkeit beschränkt ist. Wie oben festgestellt, ist die Behälterapparatur der vorliegenden Erfindung besonders zur Handhabung von Ausgangsflüssigkeiten verwendbar, die für den menschlichen Körper giftige Substanzen enthalten.
Weiter wird außerdem empfohlen, daß die Behälterapparatur der vorliegenden Erfindung in Gasversorgungsunternehmen verwendet wird. Insbesondere kann im Falle, daß für die Apparatur die Erwärmungsmechanismen wie im Falle der Behälterapparatur 56 vorgesehen werden, die Sicherheit der Operation zum Füllen der Behälterapparatur mit Gas weiter verbessert werden.
Die in den Ansprüchen verwendeten Bezugszeichen dienen nur zum besseren Verständnis und sollen nicht den Umfang der Ansprüche beschränken.

Claims

1. Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur zur Lieferung einer Ausgangsflüssigkeit in einen Materialguttank, wobei die Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur aufweist:

- einen Hauptkörper (17) zum Enthalten der Ausgangsflüssigkeit (13);

- eine Gasversorgungsleitung (18) mit einem ersten Ende, das an den Hauptkörper (17) angeschlossen ist, um ein Versorgungsgas in den Hauptkörper zum Ausüben eines Druckes auf die Ausgangsflüssigkeit (13) einzuleiten;

- einen ersten Anschluß (27a), der an einem zweiten Ende der Gasversorgungsleitung (18) gegenüber dem ersten Ende zum Ankuppeln der ersten Gasversorgungsleitung (18) an eine Gasversorgungsquelle vorgesehen ist;

- ein erstes und ein zweites Gasversorgungsventil (20, 24) in der Gasversorgungsleitung (18) zwischen dem ersten und dem zweiten Ende der Gasversorgungsleitung;

- eine Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung (19) mit einem ersten Ende, das an den Hauptkörper (17) zum Übertragen der Ausgangsflüssigkeit aus demselben als Antwort auf den Gasdruck angeschlossen ist, der auf die Ausgangsflüssigkeit (13) ausgeübt wird;

- einen zweiten Anschluß (27b), der an einem zweiten Ende der Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung (19) gegenüber dem ersten Ende zum Ankuppeln der Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung an den Materialguttank (3) vorgesehen ist;

- ein erstes und ein zweites Ausgangsflüssigkeits- Zufuhrventil (21, 25) in der Ausgangsflüssigkeits- Zufuhrleitung (19) zwischen dem ersten und dem zweiten Ende der Ausgangsflüssigkeits- Zufuhrleitung;

- eine Spülleitung (23), mit einem ersten Ende, das an die Gasversorgungsleitung (18) zwischen dem ersten und dem zweiten Gasversorgungsventil (20, 24) angeschlossen ist, und mit einem zweiten Ende, das an die Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrleitung (19) zwischen dem ersten und dem zweiten Ausgangsflüssigkeits-Zufuhrventil (21, 25) angeschlossen ist; und

- ein Spülventil (22) in der Spülleitung (23) zwischen dem ersten und dem zweiten Ende der Spülleitung.

2. Behälteranlage nach Anspruch 1, die weiter einen Erwärmungsmechnismus (47) umfaßt, der für jede der genannten Leitungen, die Gasversorgungsleitung (58), die Flüssigkeitszufuhrleitung (59) und die Spülleitung (63) vorgesehen ist.

3. Behälteranlage nach Anspruch 1 oder 2, bei der der Hauptkörper (57) als Konstanttemperaturtank verwendet wird.

4. Behälteranlage nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, bei der der erste und zweite Anschluß (27a, 27b) unterschiedlichen Typs sind.

5. Benutzung einer Ausgangsflüssigkeits-Behälterapparatur gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, zum Liefern einer Ausgangsflüssigkeit an einen Materialguttank, sowie derart, daß sie nach der Lieferung der Ausgangsflüssigkeit durch Spülen getrocknet wird.

6. Benutzung nach Anspruch 5, bei der die Behälteranlage als Flüssiggas-Versorgungsquelle für eine Halbleiterherstellungsanlage verwendet wird.

7. Benutzung nach Anspruch 6, bei der die Ausgangsflüssigkeit eine organische Ausgangsflüssigkeit ist.

8. Benutzung nach Anspruch 7, bei der die Ausgangsflüssigkeit eine organische Ausgangsflüssigkeit ist, die einen Dotierungsstoff, wie etwa Phosphor, Bor oder Arsen enthält.