DE69019688T2 - Verfahren und Einrichtung zur Erfassung thermischer Spannungen in integrierten Schaltungen. - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Erfassung thermischer Spannungen in integrierten Schaltungen.

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Description

  • Diese Erfindung betrifft im allgemeinen Alarmschaltungen, um thermische Beanspruchungen in integrierten Schaltungseinrichtungen zu erfassen, und betrifft insbesonders eine Schaltung, die von einer Anordnung von Halbleitereinrichtungen gebildet ist, die schon in der Geographie der integrierten Schaltungseinrichtung eingeschlossen ist, die die der Leitungsfähigkeit eigene Veränderlichkeit gegenüber der Temperatur von solchen Halbleiterkomponenten ausnutzt, um die Alarmschaltung zu bilden. Eine solche Schaltung ist von US-A-4243898 bekannt.
  • Thermische Beanspruchung ist schon lange als ein bedeutendes Problem beim Betrieb von integrierten Halbleiterchips anerkannt worden. Diese Chips haben begrenzte Betriebstemperaturbereiche, und es kann sein, dar sie in sehr heilen oder sehr kalten Umgebungen nicht richtig funktionieren. Zusätzlich benutzen die Chips selbst Leistung und erzeugen Wärme. Wenn sogar die Temperatur der Umgebung in dem Betriebstemperaturbereich für den Chip liegt, kann der Chip selbst daher sehr viel heiter sein. Dieses Problem verschlimmert sich bei neueren Chips, die viel schneller laufen und daher mehr Wärme erzeugen.
  • Thermische Beanspruchung kann verläßlichen Betrieb dieser Chips verhindern. In vielen Anwendungen solcher Schaltungen, wie in Steuersystemen von Flugzeugen hoher Geschwindigkeit, ist irgendeine solche Unverläßlichkeit, wenn sie auch noch so kurz ist, nicht akzeptierbar. Thermische Beanspruchung kann den Chip zerstören, was noch schlimmer ist. Betrieb eines Chips, wenn sein Substrat über einer bestimmten Temperatur liegt, kann die miniaturisierten Schaltungen zu einem solchen Ausmaß beschädigen, dar der Chip nie wieder richtig arbeiten wird. Die Anmelderin hat aber beobachtet, daß, wenn die Chips nun betrieben werden, während sie heil sind, sie Aussetzung gegenüber viel höheren Temperaturen überleben können. Daher könnte die Verläßlichkeit einer bestimmten Schaltung erhalten werden, falls Betrieb von bestimmten Chips, die einen überhitzten Zustand erfahren&sub1; stillgelegt werden könnten, und ihre Arbeit von anderen Chips durchgeführt werden könnte. Da die integrierten Schaltungschips mit sehr grobem Umfang (wie die in Mikroprozessoren der neuen Generation benutzten VLSICs) und einzeln angefertigte Chips für besondere Zwecke jeweils hunderte oder tausende Dollar kosten können, könnten bedeutende Einsparungen auch durch Verhindern des Betriebs von solchen Chips in einer zu heilen Umgebung verwirklicht werden.
  • Mit Blick auf das Vorhergehende wäre es wünschenswert, ein sehr wirksames und billiges Mittel zur Uberwachung der Chiptemperatur zu haben, so dar der Chip ausgeschaltet werden könnte, ein Alarm erklingen lassen werden könnte, usw., bevor übermäßig hohe oder tiefe Betriebstemperaturen verursachen würden, dar der Chip unverläßlich arbeiten oder beschädigt würde. Die Umgebungstemperatur eines Chips könnte mit Temperaturfühlern überwacht werden, die in einer Computereinheit angeordnet würden oder an dem Chipgehäuse selbst befestigt würden, aber diese Verfahren wären teuer, da sie Fühler benötigen, die von dem Chip getrennt sind, und zusätzliche Uberwachungshardware. Zusätzlich würden Verfahren, die Fühler benutzen, einer weniger verläßliche Temperaturanzeige liefern. Die Temperatur des Siliciumsubstrats bestimmt die thermische Beanspruchung darauf, aber die anderen hier beschriebenen Verfahren erfassen die Chipgehäusetemperatur oder umgebende Lufttemperatur in einer Computereinheit. Es kann sein, dar die Temperatur der Chipgehäuse oder der umgebenden Luft die Temperatur des Schaltungssubstrats nicht genau reflektiert.
  • Es ist auch beim Stand der Technik wohlbekannt, daß der Strom von Elektronen und Löchern über Halbleiterverbindungspunkte sich mit der Temperatur ändert. Die Anmelderin hat im allgemeinen in der Digitalelektronik beobachtet, dar die analoge Eigenschaft von Transistoren als Betriebsmangel angesehen wird, der umgangen werden muß, so dar die sich ergebende digitale Schaltung nicht von solchen Temperaturänderungen beeinflußt wird. Im gewönlichen Fall benutzt der Halbleiterchipingenieur normalerweise in solchen digitalen Schaltungen Transistoren nur bei entweder einer hohen oder einer tiefen Spannung (gewöhnlicherweise 5 Volt und Null Volt), so dar der Transistor ungeachtet der Temperatur jeweils "ein"- oder "aus" geschaltet sein wird.
  • Die vorliegende Erfindung nutzt vorteilhafterweise die Temperaturänderungseigenschaft von Transistoren in einer Schaltung für thermische Beanspruchung aus, die Transistoren umfasst, die schon in einen Siliciumchip integriert sind, der benutzt wird, um die thermische Beanspruchung auf dem Chip zu erfassen. Da sie physikalisch Teil des Substrats des Chips sind, erfassen die Transistoren die Temperatur auf dem Substrat und liefern daher sehr genaue Messungen. Da die Zwischenverbindungen zwischen den Transistoren, die notwendig sind, um die thermische Erfassungsschaltung zu bilden, sehr leicht durch normale Photoverfahren zugegeben werden können, kann die Schaltung, die die Beanspruchung erfasst, dem Chip mit praktisch keiner Erhöhung der Herstellungskosten zugegeben werden.
  • Daher ist es eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine neue und verbesserte integrierte Halbleitereinrichtung (Chip) mit einer Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung zu liefern, die Anderung mit der Temperatur, die der Transistorleitfähigkeit eigen ist, benutzt, um ein Ausgangssignal herzustellen, das die Temperatur anzeigt.
  • In einer Ausführungsform der Erfindung wird ein integrierter Halbleiterchip geliefert, der mit seinem Substrat integriert eine Anordnung von temperaturempfindlichen Transistoren einschließt, die angeschlossen sind, um die Auswirkungen der Temperatur auf die Ausgangsspannung zu multiplizieren, und eine Reihe von Invertern oder Gattern. Eine Bezugsspannung wird auf die Transistoranordnung angewandt, und der mit der Temperatur veränderliche Ausgang der Anordnung wird dann auf die Inverter oder Gatter angewandt. Die Inverter oder Gatter ändern Zustände bei bekannten Temperaturen und Spannungen, so dar der digitale Zustandsausgang von jedem Inverter oder Gatter anzeigt, ob die Substrattemperatur größer oder kleiner als die dem Inverter oder Gatter zugeordnete Schaltungstemperatur ist. Durch Abfrage der Inverter oder Gatter kann der Chip selbst oder eine Außeneinrichtung die Temperatur des Substrats in einem bestimmten Bereich bestimmen. Wenn die Temperatur außerhalb des sicheren Betriebsbereichs für den Chip liegt, dann unternimmt der Chip selbst oder eine Außeneinrichtung Schritte, um unsicheren Betrieb zu verhindern.
  • Die Gestaltung und der Betrieb der vorliegenden Erfindung kann am besten mit Bezug auf die genaue Beschreibung in Verbindung mit den folgenden Zeichnungen verstanden werden:
  • Figur 1 ist ein schematisches Diagramm einer Ausführungsform der Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung in einer Einrichtung der vorliegenden Erfindung;
  • Figur 2 ist eine graphische Darstellung der Ausgangsspannung der Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung als Funktion der Eingangsspannung bei verschiedenen Temperaturen;
  • Figur 3 ist eine graphische Darstellung der Ausgangsspannung eines Inverters (der als Ausgangseinrichtung für die Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung benutzt wird) als Funktion der Eingangsspannung und der Temperatur;
  • Figur 4 ist eine graphische Darstellung der Ausgangsspannung eines ersten NAND-Gatters (das als Ausgangseinrichtung für die Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung benutzt wird) als Funktion der Eingangsspannung und der Temperatur;
  • Figur 5 ist eine graphische Darstellung der Ausgangsspannung eines zweiten NAND-Gatters (das als Ausgangseinrichtung für die Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung benutzt wird) als Funktion der Eingangsspannung und der Temperatur;
  • Figur 6 ist eine graphische Darstellung der Ausgangsspannung eines dritten NAND-Gatters (das als Ausgangseinrichtung für die Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung benutzt wird) als Funktion der Eingangsspannung und der Temperatur.
  • Wenn man zunächst auf Figur 1 Bezug nimmt, dann wird die Schaltung der vorliegenden Erfindung allgemein bei 2 gezeigt. Die Schaltung 2 umfasst Bezugsspannungseingang 4, Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung, Endwiderstand 8, und Gatteranordnung 10. Die Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung hat einen Eingang 12 und einen Ausgang 14.
  • Der Bezugsspannungseingang 4 ist vorzugsweise eine feste Gleichstromquelle mit einem Spannungsausgang, der in Verbindung mit der Gatterauswahl für die Gatteranordnung 10 ausgewählt wird, wie später genauer erklärt werden wird. Ger Bezugsspannungseingang 4 hat einen negativen Anschluß 16 und einen positiven Anschluß 18. Der negative Anschluß 16 ist geerdet, während der positive Anschluß 18 an den Eingang 12 der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung angeschlossen ist.
  • Wie aus Figur 1 ersichtlich ist, umfasst die Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung zehn seriell angeschlossene NMOS- Feldeffekttransistoren, deren Leitfähigkeit temperaturempfindlich ist. Dieser Aufbau wird vorgezogen, da die Wirkung der Temperatur auf Leitfähigkeit der Feldeffekttransistoren sich ansammelnd erhöht, während mehr Transistoren zugegeben werden. Zehn Transistoren reichen aus, um einen nützlichen Temperaturempfindlichkeitsstand zu liefern, obwohl es klar sein wird, das ein einziger Transistor oder irgendeine Anzahl von Transistoren benutzt werden könnte, wenn geeignete Ausgangserfassungsmittel geliefert werden würden. Es könnten auch andere temperaturempfindliche Halbleitereinrichtungen als Feldeffekttransistoren benutzt werden. Zum Beispiel könnten gewöhnliche Transistoren oder eine Reihe von Dioden in der Schaltung benutzt werden. Die Transistoren der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung werden durch Standardverfahren auf dem Substrat des Chips gebildet, der auf thermische Beanspruchung überwacht werden soll. Die Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung ist vorzugsweise in der Nähe der Mitte des Chips gebildet, so dar die gemessene Temperatur die allgemeine Chiptemperatur darstellt.
  • Der Schaltplan der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung wird nun genauer beschrieben. Die Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung schließt einen ersten Transistor 20 mit einem Steueranschluß 22, einem Drainanschluß 24 und einem Quellenanschluß 26 ein. Ein letzter Transistor 28 hat ein Gatter 30, einen Drain 32 und eine Quelle 34, und acht dazwischenliegende Transistoren 36 werden in der Schaltung gezeigt, jeder mit einem Quellen-, Drain- und Steueranschluß.
  • Das Gatter 22 des ersten Transistors 20, das Gatter 30 des letzten Transistors 28, und die Gatter jeder der dazwischenliegenden Transistoren 36 sind alle an den Eingang 12 der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung angeschlossen. Der Drain 24 des ersten Transistors 20 ist an den Ausgang 14 der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung angeschlossen, während die Quelle 26 oder der erste Transistor nur an den Drain einer der dazwischenliegenden Transistoren angeschlossen ist. Die Quelle 34 des letzten Transistors 28 ist geerdet, und der Drain 32 des letzten Transistors 28 ist nur an die Quelle eines dazwischenliegenden Transistors 36 angeschlossen. Jeder dazwischenliegende Transistor außer dem dazwischenliegenden Transistor 36, der an den ersten Transistor angeschlossen ist, hat seinen Drain in einem isomorphen Verhältnis mit der Quelle eines anderen dazwischenliegenden Transistors 36 angeschlossen. Daher umfasst die Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung eine gestapelte Vielzahl von Feldeffekttransistoren, die ihre steuernden Gatter an einen gemeinsamen Eingang angeschlossen haben, und ihre Drains und Quellen zwischen dem Ausgang 14 und Erde zusammengekettet haben. Es ist experimentell bestimmt worden, dar der gestapelte Aufbau die maximale Temperatur/Ausgangskorrelation herstellt.
  • Der Endwiderstand 8 ist zwischen einer Gleichspannungsquelle von fünf Volt und dem Ausgang 14 der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung angeschlossen. Der Widerstand 8 ist vorzugsweise ein Widerstand von 8,2 K Ohm und kann miniaturisiert werden und in das Chipgehäuse gebracht werden. Andererseits könnte der Ausgang 14 auf ein Außenteil der Chippackung gebracht werden, und der Widerstand 8 könnte außen an die Chippackung angeschlossen werden. Die gezeigte Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung ist allein grundsätzliche eine Stromeinrichtung, wobei der Ausgang 14 ein veränderlicher Stromzug ist. Der Endwiderstand 8 wirkt mit der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung zusammen, um einen Spannungsteiler zu bilden, so dar der Ausgang 14 ein Spannungsausgang wird.
  • Die Ausgangsspannung 14 der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung ist in Figur 2 als Funktion der Eingangsspannung und der Temperatur gezeigt. Wenn man wieder auf Figur 1 Bezug bnimmt, dann wird die Gatteranordnung 10 gebeten, um diesen Ausgang 14 zu verarbeiten, ihn in digitale Signale umzuwandeln, die den Temperaturbereich darstellen, der die Chipsubstrattemperatur umgibt. Die Gatteranordnung 10 ist vorzugsweise in dem Substrat in demselben Gebiet wie die Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung integriert, so dar die Gatteranordnung 10 dieselben thermischen Auswirkungen wie die Erfassungsschaltung 6 erfahren wird. So kann der erwünschte Ausgang bei bestimmten Temperaturen sichergestellt werden. Die Gatteranordnung 10 oder das Ersatzschaltsystem die dieselbe Funktion durchführen, könnten auch außen vorgesehen werden, besonders wenn der Ausgang 14 an einen Außenanschluß der Chippackung gebracht wird, wie schon vorgeschlagen worden ist.
  • Die Gatteranordnung 10 umfasst normale Bibliotheksgatter, einschließlich Inverter 38, NAND-Gatter 40, NAND-Gatter 42, und NAND-Gatter 44. Diese Gatter 38, 40, 42, 44 werden so ausgewählt, dar jedes einen verschiedenen Temperatursollwert hat; das heißt, jedes Gatter wird den Ausgangszustand in Reaktion auf einen verschiedenen Spannungseingang ändern, der einer Temperatur über einem ausgewählten Wert entspricht. Figuren 3, 4, 5 und 6 zeigen Ausgangsreaktion als Funktion der Eingangsspannung und der Temperatur für jeweils einen bevorzugten Satz von Gattern 38, 40, 42 und 44. Die Eingangsspannung zu jedem Gatter in der Gatteranordnung 10 wird in diesem Fall die Ausgangsspannung 14 der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung sein.
  • Beim Betrieb wird sich der Widerstand der Transistoren 20, 28 und 36 der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung zum Flug des Stroms erhöhen, während sich die Temperatur des Chipsubstrats erhöht. Diese Widerstandserhöhung wird die Ausgangsspannung 14 wie in Figur 2 gezeigt erhöhen. Während sich die Temperatur (und daher die Ausgangsspannung 14) erhöht, wird das Gatter 44 seine Ausgangsphase von "hoch" zu "tief", ändern. Wenn sich die Temperatur weiterhin erhöht, werden sich die Ausgangsphasen der Gatter 42, 40 und 38 nacheinander von hoch zu tief ändern, während die Temperatur sich erhöht. Daher liefern die Ausgangsphasen der Gatter 38, 40, 42 und 44 eine Anzeige eines Temperaturbereichs, der die tatsächliche Chipsubstrattemperatur enthält. Ein tiefer Ausgang für eines der Gatter 38, 40, 42 und 44 zeigt an, dar die Substrattemperatur höher als die Sollwerttemperatur des Gatters ist.
  • Die Anschlüsse der Temperatursignalausgänge der Gatter in der Gatteranordnung 10 werden in den Zeichnungen nicht gezeigt, da die Anschlüsse von dem erwünschten Betriebsverfahren abhängen. Diese Ausgänge können benutzt werden, um eine Mannigfaltigkeit von Funktionen durchzuführen. Eine Anzahl von funktionellen Beispielen wird hier geliefert werden, aber Fachleute werden sofort weitere Möglichkeiten sehen, die innerhalb des Erfindungsumfangs liegen. Die Signale könnten zum Beispiel benutzt werden, um einen Erhaltungs- oder Zentralsteuerprozessor zu warnen, der Verarbeitungsfunktionen zu einem Sicherungssystem ableiten könnte, den Chip abstellen könnte, Leistung zum Chip verringern könnte, oder den Arbeitszyklus der Chipbenutzung verringern könnte, indem Systemzugriff zum Chip periodisch gehemmt wird, bis die Chiptemperatur fällt. Die Signale könnten auch als Eingang zu einem Alarmsteuergerät benutzt werden, der in einer wohlbekannten Weise in Reaktion auf die Signalausgänge arbeiten würde, ein Signalmittel aktivieren würde, und dabei Personal warnen würde, daß ein Chip bei übermäßiger Temperatur arbeitet. Chiptemperaturdaten könnten zur Wartungsanzeige und zur Benutzung bei Versagensanalyse registriert werden. Weiterhin könnten die Signale in dem Gegenstandschip benutzt werden, um dieselben Ergebnisse zu erhalten. Der Chip kann zum Beispiel einen inneren Schaltplan haben, der den Betriebsarbeitszyklus verringern würde, oder Chipauswahl hemmen würde, wenn die Substrattemperatur übermäßig ist. Während die vorliegende Beschreibung hauptsächlich Lösungen für das kommerziell bedeutendere Problem der Überhitzung in Chips diskutiert hat, betrachten die Erfinder schließlich auch Anwendung der hier dargestellten Schaltungen und Konzepte, um Fehler oder Schaden von dem Chipbetrieb bei tiefen Temperaturen zu verhindern, wie die, die in polaren Umgebungen oder im Weltall angetroffen werden.
  • Der Wert des Bezugsspannungseingangs 4 und der Gatter 38, 40, 42, 44 werden zusammen ausgewählt, mit Bezug auf die Übertragungsfunktion der Erfassungsschaltung 6 für thermische Beanspruchung wie in Figur 2 gezeigt, und mit Bezug auf die Betriebsfähigkeiten des Chips, so dar die Ausgangszustände der Gatter bei den erwünschten Chiptemperaturen umschalten. Wenn zum Beispiel ein Chip durch Betrieb über 100ºC zerstört wird, sollte eines der Gatter ausgewählt werden, um etwas unter dieser Temperatur umzuschalten, so dar der Chipbetrieb in Reaktion auf den Gatterausgang gehemmt werden kann.
  • Die Gatteranordnung 10 ist ein einfaches Verfahren zur Lieferung eines digitalen Signals, wenn die Temperatur des Substrats aus einem erwünschten Bereich geht. Es wird aber erkannt werden, dar ein einziges Gatter oder irgendeine Anzahl von Gattern innerhalb des Erf indungsumfangs benutzt werden könnte, je nach der Genauigkeit, die für Chiptemperaturinformation gefordert wird. Es könnten auch zahlreiche andere Mittel zur Erzeugung eines digitalen Ausgangs, der die Temperatur reflektiert, innerhalb des Erfindungsumfangs benutzt werden. Wenn es zum Beispiel in einer bestimmten Anwendung notwendig ist, die Substrattemperatur zu wissen, könnte der Ausgang 14 an einen Analog-Digital-Wandler angeschlossen werden, der eine digitale Darstellung des Spannungsausgangs herstellen würde. Diese digitale Darstellung könnte dann in eine genaue Substrattemperaturmessung übersetzt werden.

Claims (8)

1. Integrierte Halbleitereinrichtung der Art, die eine Vielzahl von Halbleitereinrichtungen einschließt, die auf einem gemeinsamen Substrat integriert sind, in der die Leitfähigkeit der Halbleitereinrichtungen sich abhängig von der Temperatur ändert, das eine Erfassungsschaltung (6) für thermische Beanspruchung umfasst, wobei die Schaltung einen Eingang (12) und einen Ausgang (14) hat, und von wenigstens einigen der Halbleitereinrichtungen gebildet ist, die in einer solchen Weise aneinander angeschlossen sind, um die temperaturabhängige Anderung der Leitfähigkeit der Einrichtungen zu verstärken, dadurch gekennzeichnet, dar die Erfassungsschaltung (6) für thermische Beanspruchung eine Transistoranordnung umfasst, der Eingang (12) der Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung an eine feste Spannungsquelle (4) angeschlossen ist, und der Ausgang (14) der Erfassungsschaltung (6) für thermische Beanspruchung an ein Steuermittel (10) angeschlossen ist, das die Leistungsabgabe zum integrierten Halbleiterchip verringert, wenn der Spannungsausgang der Erfassungsschaltung (6) für die Beanspruchung einen ausgewählten Stand erreicht, worin die Anordnung eine gestapelte Vielzahl von Feldeffekttransistoren (20, 36, 28) einschließt, jeder Transistor einen Steuer-, Drain- und Quellenanschluß hat, wobei der Stapel einen ersten Transistor (20) und einen letzten Transistor (28) einschließt, worin das Gatter von jedem Transistor an die feste Spannungsquelle (4) angeschlossen ist, die Quelle von jedem Transistor außer dem letzten Transistor nur an den Drain eines Transistors außer dem ersten Transistor angeschlossen ist, die Quelle (34) des letzten Transistors geerdet ist, und der Drain (24) des ersten Transistors (20) durch ein Spannungsendwiderstandsmittel (8) an eine Spannungsquelle angeschlossen ist, wobei die Ausgangsspannung der Erfassungsschaltung (6) für thermische Beanspruchung an dem Drain (24) des ersten Transistors erfasst wird.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, in der das Steuermittel (10) wirkt, um Leistungsabgabe zur integrierten Halbleitereinrichtung anzuhalten, wenn der Spannungsausgang der Erfassungsschaltung (6) für die Beanspruchung einen ausgewählten Stand erreicht.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, in der das Steuermittel ein Arbeitszyklussteuermittel umfasst, um auf den Spannungsausgang der Erfassungsschaltung für die Beanspruchung zu reagieren, wobei das Arbeitszyklussteuermittel wirkt, um den arbeitenden Arbeitszyklus der integrierten Halbleitereinrichtung zu verringern, wenn der Spannungsausgang einen ausgewählten Stand erreicht.
4. Einrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, in der die Erfassungsschaltung für thermische Beanspruchung eine Transistoranordnung umfasst.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, die ein Alarmsteuermittel umfasst, um auf den Spannungsausgang der Erfassungsschaltung (6) für die Beanspruchung zu reagieren, um die Betätigung eines Alarms zu steuern, wenn der Spannungsausgang einen ausgewählten Stand erreicht.
6. Meßsystem für thermische Beanspruchungen, das eine integrierte Halbleitereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 umfasst, und das ein thermisches Reaktionsmittel integral mit der Halbleitereinrichtung hat, und das angeordnet ist, um eine Spannung in Reaktion auf Temperaturänderungen zu ändern, und Spannungserfassungsmittel, um den Spannungsausgang des thermischen Reaktionsmittels zu erfassen, und ein Signal zu liefern, das auf den Spannungsausgang reagiert, in dem das von dem Spannungserfassungsmittel gelieferte Signal eine Anzeige der Temperatur auf der integrierten Halbleitereinrichtung liefert, und das weiterhin ein Steuermittel umfasst, um auf das Signal zu reagieren, das von dem Spannungserfassungsmittel geliefert wird, wobei das Steuermittel wirkt, um Leitungsabgabe zur integrierten Halbleitereinrichtung zu verringern oder anzuhalten, wenn das Signal anzeigt, dar die Temperatur auf der Einrichtung außerhalb eines definierten Betriebsbereichs liegt.
7. System nach Anspruch 6, in dem das Spannungsrefassungsmittel (10) ein oder mehrere logische Gatter (38, 40, 42, 44) umfasst, die ihren Ausgangsspannungszustand in Reaktion auf bekannte Eingangsspannungen ändern.
8. System nach Anspruch 6, in dem das Spannungserfassungsmittel einen Analog-Digital-Wandler umfasst, der die Spannung erfasst, die von dem thermischen Reaktionsmittel hergestellt wird, und das eine digitale Signaldarstellung der Temperatur der integrierten Halbleitereinrichtung herstellt.
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