DE68907522T2 - Vorrichtung zum Realisieren der genau ebenen und zu einer gegebenen Achse parallelen Lichtstrahlabtastung. - Google Patents

Vorrichtung zum Realisieren der genau ebenen und zu einer gegebenen Achse parallelen Lichtstrahlabtastung.

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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Realisieren des Durchrasterns eines Lichtstrahls genau eben und parallel zu einer gegebenen Achse, spezieller eine derartige Vorrichtung, die einen Durchrasterspiegel, der auf einer im wesentlichen rechtwinklig zur gegebenen Achse stehenden Drehachse angebracht ist und dessen Ebene die Drehachse im wesentlichen enthält, und eine optische Vorrichtung entweder als Lichtquelle oder als lichtempfindlicher Empfänger aufweist, die im wesentlichen in der die gegebene Achse enthaltenden Ebene und rechtwinklig zur genannten Drehachse angeordnet ist.
  • Derartige Vorrichtungen sind iin Stand der Technik bereits wohlbekannt. So beschreibt die französische Patentanmeldung, die am 04. Februar 1987 unter der Nr. 87.01360 eingereicht wurde, eine Vorrichtung, bei der eine beobachtete Szene mit aufeinanderfolgenden Zeilen mit Hilfe eines Laserstrahls abgerastert wird, der von einem Spiegel reflektiert wird, der unter der Wirkung eines Galvanometers um eine Achse schwenkt.
  • Es kommt häufig vor, daß es erforderlich ist, daß der Lichtstrahl während des Durchrasterns in einer einzigen Ebene parallel zu einer vorgegebenen Achse bleibt.
  • Dies ist insbesondere bei der oben genannten Patentanmeldung der Fall, wo der Laserstrahl an einem gegebenen Ort der Szene einen Lichtfleck ausbildet und wo das Bild dieses Flecks auf eine Leiste photoempfindlicher Elemente abgebildet wird. Es ist daher wichtig, daß das Bild dieses Flecks genau auf jedes Element der Leiste zentriert ist, und demgemäß muß die Durchrasterung vollständig eben sein und die Ebene der Durchrasterung muß parallel zur Achse der Leiste sein.
  • Die gewünschte Genauigkeit für diese Vorrichtung liegt in der Größenordnung einiger Bogensekunden für den Ortswinkel des reflektierten Strahls.
  • Umgekehrt kann es erwünscht sein, über eine Vorrichtung zu verfügen, die einen photoempfindlichen Empfänger aufweist, und auf diesem Empfänger nur dasjenige Licht zu empfangen, das von einer festgelegten Ebene parallel zu einer vorgegebenen Achse herrührt, indem das Durchrastern dieser Ebene mit Hilfe eines Schwenkspiegels realisiert wird, der das von dieser Ebene herrührende Licht auf den photoempfindlichen Empfänger reflektiert.
  • Nun sind bei einer Vorrichtung, die aufgebaut ist wie die oben beschriebene, drei Quellen für eine Krümmung der Durchrasterebene möglich.
  • Zunächst können sich die Lichtquelle oder der photoempfindliche Empfänger leicht über oder unter der Ebene befinden, die die vorgegebene Achse enthält, und rechtwinklig zur Drehachse, d.h., daß der Lichtstrahl in bezug auf diese Ebene nicht den Einfallswinkel null aufweist.
  • Es sei darauf hingewiesen, daß die Ablenkspiegel so auf ihre Rotationsachse geklebt sind, daß die Spiegelebene theoretisch durch diese Achse geht. In der Praxis erweist es sich als unmöglich, Spiegel zu finden, die dieser Bedingung mit der gewünschten Genauigkeit genügen, die einige Bogensekunden erreichen kann: die käuflich erhältlichen Galvanospiegel zeigen tatsächlich Fehler hinsichtlich der Parallelität zur Achse, die 20 Bogenminuten überschreiten können.
  • Schließlich kann die Drehachse des Spiegels selbst nicht genau rechtwinklig zur vorgegebenen Achse sein.
  • Es ist ersichtlich, daß dann, wenn der erste und der dritte vorstehend genannte Mangel durch eine sorgfältige Konstruktion der Vorrichtung eingegrenzt werden, nur noch der zweite Mangel vorliegt, der dem Spiegel selbst innewohnt.
  • Die Erfindung zielt darauf hin, eine Vorrichtung anzugeben, die es erlaubt, diesen drei Mängeln, insbesondere dem zweiten, abzuhelfen, d.h. eine Durchrasterung in einer Ebene parallel zu einer vorgegebenen Achse zu erhalten, obwohl ein Spiegel verwendet wird, der ungenau auf seine Rotationsachse geklebt ist.
  • Zu diesem Zweck hat die Erfindung eine Vorrichtung zum Realisieren des Durchrasterns eines Lichtstrahls quasi genau eben und parallel zu einer vorgegebenen Achse zum Gegenstand zur Aufgabe, welche Vorrichtung einen Durchrasterspiegel, der auf einer im wesentlichen rechtwinklig zur gegebenen Achse stehenden Drehachse angebracht ist und dessen Ebene die Drehachse im wesentlichen enthält, und eine optische Vorrichtung entweder als Lichtquelle oder als lichtempfindlicher Empfänger aufweist, die im wesentlichen in der die gegebene Achse enthaltenden Ebene und rechtwinklig zur genannten Drehachse angeordnet ist, welche Vorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, daß sie eine erste Einstelleinrichtung für die optische Vorrichtung aufweist, um den Neigungswinkel des Lichtstrahls in Bezug auf eine vorgegebene Ebene einzustellen, die durch die gegebene Achse geht und im wesentlichen rechtwinklig zur Spiegeldrehachse steht, und eine zweite Einstelleinrichtung aufweist, um die Neigung der Spiegeldrehachse in Bezug auf die vorgegebene Ebene einzustellen.
  • Es ist erkennbar, daß die erste und die zweite Einstellung in erster Näherung Korrekturen betreffen, die in bezug auf den vorstehend genannten ersten und zweiten Mangel auszuführen sind.
  • Nun haben die Anmelder festgestellt, daß, in überraschender Weise, diese zwei Einstellungen, insbesondere die zweite, es für sich alleine erlauben, den dritten Mangel beinahe vollständig zu beheben, d.h. denjenigen, der mit dem Aufkleben des Spiegels auf seiner Rotationsachse verbunden ist.
  • Bei einer speziellen Ausführungsform der Erfindung weist die erste Einstelleinrichtung eine erste schwenkbare Struktur mit um die gegebene Achse einstellbarer Neigung auf, wobei die optische Vorrichtung auf dieser ersten schwenkbaren Struktur angebracht ist.
  • Auch weist bei einer speziellen Ausführungsform der Erfindung die zweite Einstelleinrichtung eine zweite schwenkbare Struktur auf, die um eine im wesentlichen in der vorgegebenen Ebene liegende Einstellachse schwenkbar ist, wobei die Spiegeldrehachse auf dieser zweiten schwenkbaren Struktur angebracht ist.
  • Spezieller kann diese Einstellachse im wesentlichen rechtwinklig auf der vorgegebenen Achse stehen.
  • Es wird nun beispielhaft und nicht beschränkend ein spezielles Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten schematischen Zeichnungen beschrieben, in denen:
  • - die Fig. 1A, 2A und 3A jeweils einen der drei vorstehend genannten Mängel der Vorrichtungen aus dem Stand der Technik veranschaulichen;
  • - die Fig. 1B, 2B und 3B das Ergebnis jeder dieser drei Mängel auf einem Schirm zeigen, der in einer bestimmten Entfernung von der Vorrichtung parallel zur vorgegebenen Achse und der Drehachse des Spiegels angeordnet ist;
  • - Fig. 4 eine teilgeschnitte Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist; und
  • - Fig. 5 eine ebenfalls teilgeschnitte Draufsicht ist.
  • In den Fig. 1A, 2A und 3A sind die folgenden Bezugszeichen verwendet:
  • - M: Ablenkspiegel;
  • - MXYZ: ein Bezugsachsenkreuz mit drei rechten Winkeln, das der Vorrichtung so zugeordnet ist, daß MX die vorgegebene Achse ist, parallel zu der die Ablenkung bewirkt werden soll, die Ebene XMY die theoretische Ablenkebene ist und MZ die theoretische Rotationsachse des Spiegels ist;
  • - IM: einfallender Strahl;
  • - MR: reflektierter Strahl;
  • - MN: Normale auf dem Spiegel;
  • - IM: Projektion, gegebenenfalls, des einfallenden Strahls IM auf die Ebene XMY;
  • - Mr: Projektion, gegebenenfalls, des reflektierten Strahls MR auf die Ebene XMY;
  • - Mn: Projektion, gegebenenfalls, der Normale des Spiegels MN auf die Ebene XMY;
  • - Φ: Azimutwinkel des einfallenden Strahls IM;
  • - α: Komplementärwinkel zum Azimutwinkel des reflektierten Strahls MN;
  • - n: Winkel zwischen dem einfallenden Strahl IM (oder seiner Projektion IM) und der Normalen auf dem Spiegel MN (oder deren Projektion Mn);
  • - i: Winkel am Ort des einfallenden Strahls IM in bezug auf die Ebene XMY;
  • - j: Winkel, der zwischen der Normalen auf dem Spiegel Mn und der Ebene XMY besteht;
  • - Θ: Winkel, der von der Rotationsachse des Spiegels in der Ebene XMZ zur Achse MZ gebildet wird.
  • Fig. 1 veranschaulicht den ersten möglichen Mangel, d.h. einen Einfallswinkel i ungleich null des einfallenden Strahls IM in bezug auf die ebene XMY. Der sich ergebende Fehler ist ein Störwinkel r&sub1; für den Ort des reflektierten Strahls MR.
  • Fig. 2A veranschaulicht den zweiten Mangel, d.h. einen Winkel j ungleich null zwischen der Ebene des Spiegels und dessen Rotationsachse (durch die Klebung verursachter Mangel). Der sich ergebende Fehler ist ein Störwinkel r&sub2; für den Ort des reflektierten Strahls MR.
  • Fig. 3A veranschaulicht den dritten Mangel, d.h. einen Winkel Θ ungleich null zwischen der Rotationsachse des Spiegels und der Achse MZ. Der sich ergebende Fehler ist ein Störwinkel r&sub3; für den Ort des reflektierten Strahls MR.
  • Die Fig. 1B, 2B, 3B zeigen Kurven, denen ein Lichtfleck folgt, der davon herrührt, daß der reflektierte Strahl MR einen rechtwinklig zur Achse MY stehenden Schirm schneidet, der in einer bestimmten Entfernung vom Spiegel M aufgestellt ist, d.h., denen die Spur des reflektierten Strahls MR in der Ebene dieses Schirms folgt, wenn sich der Spiegel um seine Rotationsachse dreht, d.h., wenn sich α ändert. Die Achse OH ist die in der Ebene YMZ enthaltene Schirmachse.
  • Die Kurve 10a in Fig. 1B veranschaulicht den Mangel in der Ebenheit der Durchrasterung herrührend von einem Winkel i ungleich null, wenn sich der Winkel α (entsprechend Θ + 2n -90 º) ändert. Es läßt sich zeigen, daß diese Kurve eine Hyperbel ist, deren Achse vertikal steht und in der Ebene YMZ liegt.
  • Die Kurve 10b i Fig. 2B veranschaulicht den Mangel der Ebenheit aufgrund eines Winkels j ungleich null, wenn sich der Winkel α ändert. Es läßt sich zeigen, daß diese Kurve ein sinusförmiger Bogen ist, der seinen Maximalwert für n = 0 erreicht, d.h. ein Bogen, der für normale Werte des Winkels n "geneigt" ist.
  • Schließlich veranschaulicht die Kurve 10c der Fig. 3B den Mangel der Ebenheit, der von einem Winkel Θ ungleich null herrührt. Es läßt sich zeigen, daß diese Kurve eine Hyperbel ist, deren Achse unter dem Winkel E gegen die Ebene XMZ geneigt ist.
  • Die Erfindung besteht im wesentlichen darin, daß die Winkel i und Θ auf einen beliebigen unbestimmten Wert einstellbar gemacht sind, anstatt daß versucht wird, sie durch den Aufbau der Vorrichtung auf einen festen Wert zu verringern, der so dicht wie möglich bei null liegt.
  • Die in den Fig. 4 und 5 dargestellte erfindungsgemäße Vorrichtung weist ein Gestell 20 aus einem Sockel 21 und einem hochstehenden Schenkel 22 auf.
  • Der Sockel 21 nimmt mit nichtdargestellten Lagern die Drehachsen 23 einer Schwenkstruktur 24 auf, die im vorliegenden Fall in Form eines Rohrs mit quadratischen Querschnitt gebildet wird. Die Achse 30 der Lager steht im wesentlichen parallel zur vorgegebenen Achse, parallel zu der die Ablenkung ausgeführt werden soll.
  • Eine Einstellschraube 25, die mit einem Gewinde zusammenwirkt, das in einem mit dem Sockel 21 festverbundenen Träger 26 angebracht ist, erlaubt es, den Neigungswinkel der Struktur 24 um die Achsen 23 einzustellen.
  • Der Schenkel 22 nimmt an einem Träger 27 eine zweite Struktur 28 auf, die um eine Achse 29 schwenkbar ist, die im wesentlichen koplanar ist und rechtwinklig zur Achse 30 der Lagerachsen 23 steht.
  • Die Schwenkstruktur 28 nimmt die Drehachse 21 eines Spiegels 32 auf, der durch ein (nicht dargestelltes) Galvanometer in Drehung versetzt werden kann, das ebenfalls an der Struktur 28 angebracht ist.
  • Der Neigungswinkel der Struktur 28 um die Achse 29 kann mit Hilfe einer Regelschraube 23 eingestellt werden, die Anschläge bildet, die an mit dem Sockel 21 fest verbundenen
  • Bauteilen 34 angebracht sind, und die mit einer Verlängerung 35 der Schwenkstruktur 28 zusammenwirken.
  • Die Rotationsachse 31 ist durch einen Mittelwert der Einstellschraube 33 im wesentlichen rechtwinklig zur Achse 30 eingestellt.
  • Eine Laserlichtquelle 36 ist im Rohr 24 angebracht, und zwar durch einen Mittelwert der Einstellschrauben 25 und 33 im wesentlichen in der durch die Achse 30 gehenden Ebene und rechtwinklig zur Rotationsachse 31 des Spiegels. Ein im Rohr ausgebildetes Fenster 37 erlaubt es, den Spiegel 32 durch diese Lichtquelle zu beleuchten.
  • Wenn sich der Spiegel 32 unter der Wirkung des Galvanometers verdreht, wird der von der aus einer Diode 36 bestehenden Laserlichtquelle emittierte Lichtstrahl 38 an einem Ort 39 auf dem Spiegel 32 reflektiert und erfährt eine Ablenkung zwischen zwei Feldgrenzen 40 und 41. Diese Ablenkung findet ungefährt in einer Ebene parallel zur Achse 30 statt, vorbehaltlich einer geeigneten Einstellung über die Schrauben und 33.
  • In der Achse 30 ist in etwa die Achse MX der Fig. 1A, 2A und 3A erkennbar, und in der Achse 29 in etwa die Achse MY. Die Achse 31 wird nur ungefähr mit der Achse MX zur Übereinstimmung gebracht, und zwar durch einen durch Einstellen der Schraube 33 gegebenen Wert.
  • Jedoch ist der wesentliche Unterschied zu dem zuvor beschriebenen der, die Drehwinkel der Strukturen 24 und 28 um die Achsen 29 und 30 keine Fehler sind, wie es die Winkel i und Θ in den Fig. 1A und 3A waren, sondern daß es Einstellwerte für die Vorrichtung sind.
  • Es ist auch zu erkennen, daß keinerlei Bezugsgröße oder Nullwert für die Drehwinkel existiert, die nur durch ihre Änderungen in der einen oder anderen Richtung festgelegt werden. Die Relativpositionierungen der Achsen 29 und 30, die alleine einen Bezug bilden können, ist tatsächlich viel zu grob für die gewünschte Genauigkeit.
  • Die Einstellung erfolgt durch schrittweise Annäherung unter Verwendung eines Lineals, das in einer bestimmten Entfernung von der Vorrichtung parallel zur Achse 30 angeordnet ist, und auf dem ein in zwei Richtungen messender Aufnehmer angeordnet ist, der dem Lineal entlang verschiebbar ist. Der Aufnehmer erlaubt es, an verschiedenen Punkten des Lineals die Höhe des Strahls über und unter der durch die Achsen 29 und 30 festgelegten Ebene zu messen.
  • Die folgenden Tabellen 1 bis 4 zeigen die Simulationsergebnisse für eine solche Einstellung.
  • Für diese Simulation wurde angenommen, daß der Fehler aufgrund der Verklebung des Spiegels auf der Achse, d.h. der Winkel j 25 Bogenminuten ist, der Winkel Φ, d.h. der Winkel zwischen dem Strahl 38 und der Achse 30, 45 ist und daß das vorstehend genannte Lineal in einer Entfernung von D = 4,60 m von der Achse 30 entfernt ist.
  • Es wurde angenommen, daß der Bereich für die Ablenkung zwischen +15 º und -35 º liegt, d.h., daß die Grenzen 40 und 41 zur Achse 29 Winkel von 15 º bzw. 35 º bilden.
  • Diese Tabellen geben aufeinanderfolgend für verschiedene Werte des Winkels in Grad folgendes an:
  • - n entsprechende Werte in Grad und Radian;
  • - Werte für die Winkel r&sub1;, r&sub2; und r&sub3; in Milliradian;
  • - den Wert der Summe r&sub1; + r&sub2; + r&sub3; in Milliradian;
  • - die Höhe rD/cos α des Lichtstrahls über dem Lineal in Millimeter;
  • - die entsprechende Höhe r&sub0;D/cos α nach der Umdrehung der Vorrichtung um die Achse 30, um diese Höhe in der Mitte des Feldes auf null zu stellen, in Mikrometer;
  • - und den Wert des Winkels r&sub0;, wie er für den Fehler im ebenen Verlauf des Strahls charakteristisch ist, in Bogensekunden.
  • Es wurde willkürlich angenommen, daß die Ausgangswinkel i und Θ den Wert null aufweisen, so daß in Tabelle 1 die Winkel r&sub1; und r&sub3; ebenfalls den Wert null einnehmen.
  • Aus dieser Tabelle 1 ist erkennbar, daß der Klebefehler des Spiegels einen sehr wesentlichen Fehler des ebenen Verlaufs zur Folge hat, da sich nämlich der Lichtstrahl an einem der Enden des Felds um -108,42 Bogensekunden von seinem als Bezugswert verwendeten Mittelwert entfernt, und am anderen Ende des Felds um +609,30 Bogensekunden entfernt, was mehr als 2 Zentimetern Höhenabstand auf Höhe des Lineals entspricht.
  • Die Tabelle 5 zeigt, nach welchen Parametern auf i oder Θ einzuwirken ist, und in welcher Richtung, als Funktion der Richtung des Fehlers an jedem Ende des Felds, nachdem der Fehler in der Mitte des Felds auf null gestellt wurde.
  • Im Fall der Tabelle 1 ändert sich r&sub0; von einem negativen auf einen positiven Wert in solcher Weise, daß eine negative Korrektur für den Winkel Θ vorzunehmen ist.
  • Es wurde demgemäß für Θ eine Korrektur von -10 Bogenminuten ausgeführt.
  • Es ist bereits aus Tabelle 2 erkennbar, daß daraus eine Nettoverbesserung des ebenen Verlaufs resultiert, da sich der Strahl nicht mehr um mehr als 280,13 Bogensekunden von seinem Mittel- oder Medianwert entfernt, was einer Höhe von weniger als 8 Millimetern auf Höhe des Lineals entspricht.
  • Da sich r&sub0; in diesem Fall von einem positiven auf einen negativen Wert ändert, zeigt die Tabelle 5, daß für den Winkel i eine positive Korrektur vorzunehmen ist.
  • Tabelle 3 zeigt das Ergebnis, wie es bei einer Korrektur des Winkels i von +28 Bogenminuten erhalten wurde.
  • Der Fehler in der Ebenheit liegt jetzt nur noch in der Größenordnung von 13 Bogensekunden, was auf Höhe des Lineals etwa 300 Mikrometer sind.
  • Da sich r&sub0; jetzt von einem positiven auf einen negativen Wert ändert, gibt Tabelle 5 an, daß es erforderlich ist, eine Positive Korrektur von Θ vorzunehmen.
  • Die folgenden Stadien sind nicht veranschaulicht, jedoch zeigt Tabelle 4 das Endergebnis mit einer positiven Korrektur von 28,80 Bogenminuten für den Winkel i und einer negativen Korrektur von 9,64 Bogenminuten für den Winkel Θ an.
  • Der Winkelfehler liegt nur noch in der Größenordnung von 2 Bogensekunden oder etwa 50 Mikrometer auf Höhe des Lineals.
  • Diese Simulation zeigt, daß es demgemäß Dank der Erfindung möglich ist, den Fehler im ebenen Verlauf auf einen Fehler in der Größenordnung einiger Bogensekunden zurückzuführen, trotz eines Fehlers beim Aufkleben des Spiegels von 25 Bogenminuten. Tabelle 1 Tabelle 2 Tabelle 3 Tabelle 4 Tabelle 5 Korrektur von i

Claims (4)

1. Vorrichtung zum Realisieren des Durchrasterns eines Lichtstrahls quasigenau eben und parallel zu einer gegebenen Achse (30), welche Vorrichtung einen Durchrasterspiegel (32), der auf einer im wesentlichen rechtwinklig zur gegebenen Achse stehenden Drehachse (31) angebracht ist und dessen Ebene die Drehachse im wesentlichen enthält, und eine optische Vorrichtung (36) entweder als Lichtquelle oder als lichtempfindlicher Empfänger aufweist, die im wesentlichen in der die gegebene Achse enthaltenden Ebene und rechtwinklig zur genannten Drehachse angeordnet ist, welche Vorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, daß sie eine erste Einstelleinrichtung (25) tür die optische Vorrichtung aufweist, um den Neigungswinkel des Lichtstrahls in Bezug auf eine vorgegebene Ebene einzustellen, die durch die gegebene Achse geht und im wesentlichen rechtwinklig zur Spiegeldrehachse steht, und eine zweite Einstelleinrichtung (33) aufweist, um die Neigung der Spiegeldrehachse in Bezug auf die vorgegebene Ebene einzustellen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Einstelleinrichtung eine erste schwenkbare Struktur mit um die gegebene Achse einstellbarer Neigung aufweist, wobei die optische Vorrichtung auf dieser ersten schwenkbaren Struktur angebracht ist.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Einstelleinrichtung eine zweite schwenkbare Struktur (28) aufweist, die um eine im wesentlichen in der vorgegebenen Ebene liegende Einstellachse (29) schwenkbar ist, wobei die Spiegeldrehachse auf dieser zweiten schwenkbaren Struktur angebracht ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellachse im wesentlichen rechtwinklig auf der gegebenen Achse steht.
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