DE64352T1 - Strahlbearbeitungsverfahren und apparat sowie ein dadurch hergestelltes produkt. - Google Patents

Strahlbearbeitungsverfahren und apparat sowie ein dadurch hergestelltes produkt.

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DE64352T1
DE64352T1 DE198282302005T DE82302005T DE64352T1 DE 64352 T1 DE64352 T1 DE 64352T1 DE 198282302005 T DE198282302005 T DE 198282302005T DE 82302005 T DE82302005 T DE 82302005T DE 64352 T1 DE64352 T1 DE 64352T1
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energy
workpiece
controlling
particles
generator
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DE198282302005T
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Inventor
Kiyoshi Setagayaku Tokyo Inoue
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Inoue Japax Research Inc
Original Assignee
Inoue Japax Research Inc
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Publication date
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
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    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece

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  • Laser Beam Processing (AREA)

Claims (15)

82 302 005.2 Inoue-Japax Research Inc. DET-2.5 917 13. Dezember 1982
1. Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks, mit einem Energiestrahl> Umfassend die Schritte: ΐ ΐ : :
Verschieben des Energiestrahls und des Werkstücks ...:!·..:.,„. .,·.. relativ zueinander, um zu bewirken, daß sich der Strahl längs einer vorgeschriebenen Bahn auf der Werkstückoberfläche bewegt, um das Werkstück zu bearbeiten; :.. . ...,',..,·:
Aufnehmen einer akustischen Emission von dem bearbei-, teten Werkstück zur Erzeugung eines Steuersignals; und
Steuern der Energie und/oder der Energiedichte des Strahls und/oder der Geschwindigkeit der Relativverschiebung zwischen Strahl und Werkzeug in Abhängigkeit von dem Steuersignal.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Strahl ein Strahl von energiereichen Partikeln ist und die Strahlenergie durch Steuern der Geschwindigkeit der auf die Werkstückoberfläche auftreffenden energiereichen Partikel gesteuert
Wird. ■··■:■ ■■■ '; ■:■-.-■ · ' - ■■■■-; ■■■■■■■ -■:■':-:" :■:■■.-,:■. ■:■ -,,-.^ ·■■.■.,, :■··. iv,-....-:v ;. λ;;,;;, ■;.;.■ ίι;..·;;
3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die energiereichen Partikel mindestens teilweise geladene Partikel umfassen, die aus Elektronen und/oder Ionen bestehen, und wobei die Geschwindigkeit durch Steuern der Beschleunigungsspannung für die geladenen Partikel gesteuert wird.
4. Verfahren nach Anspruch X1 wobei der Strahl ein Strahl von energiereichen Partikeln ist, die mindestens teilweise geladene Partikel umfassen, die Elektronen und/oder Ionen sind, und wobei die Energiedichte durch Steuerung der Ausziehspannung zum Ausziehen der geladenen Partikel aus einer Quelle gesteuert wird.
5. Verfahren nach Anspruch V, wobei der Strahl ein laserstrahl -ist und die Energie durch Steuern der Pumpenergie zur Erzeugung· des Lasers gesteuert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Strahl ein Laserstrahl ist und die Energiedichte durch Steuern des Könvergenzvernältnisses des Lasers gesteuert wird.
7.Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Werkstück schrittweise relativ zu dem Strahl in Abhängigkeit von einer Folge von Antriebsimpulsen verschoben wird und die Geschwindigkeit der relativen Verschiebung durch Steuern der Frequenz der Antriebsimpulse gesteuert wird.
8.Vorrichtung zürn Bearbeiten eines Werkstücks mit einem Energiestrahl, umfassend
einen Strählgenerator;
eine Schlitteneinrichtung zur Positionierung des Werkstücks im Weg des Energiestrahls von dem Generator;
Mittel zur relativen Verschiebung des Strahlgenerators und der Schlitteneinrichtung, um zu bewirken, daß der Energiestrahl sich längs einer vorgeschriebenen Bahn auf der Werkstückoberfläche bewegt;
Detektormittel zur Aufnahme einer akustischen Emission von dem bearbeiteten Werkstück zur Erzeugung eines Steuersignals; und
006A352
auf das Steuersignal ansprechende Steuermittel zur Steuerung der Energie und/oder der Energiedichte des Strahls und/ oder der Geschwindigkeit der relativen Verschiebung zwischen dem Generator und der Schlitteneinrichtung.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, wobei der Strahlgenerator so ausgelegt ist, daß er einen den Energiestrahl bildenden Strahl von energiereichen Partikeln erzeugt, und Mittel zum Beschleunigen des Energiestrahls zum Auftreffen auf die Werkstückoberfläche enthält, und wobei das Steuermittel zur Steuerung der kinetischen Energie der energiereichen Partikeln an das Beschleunigungsmittel angeschlossen ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, wobei die energiereichen Partikel geladene Partikel, wie etwa Elektronen oder Ionen, umfassen, wobei das Beschleunigungsmittel eine Spannungsversorgung zum Anlegen einer Beschleunigungsspannung an die geladenen Partikel umfaßt, und wobei das Steuermittel zur Steuerung der Größe der Beschleunigungsspannung mit der Spannungsversorgung verbunden ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 8, wobei der Generator so ausgelegt ist, daß er einen Strahl von geladenen Partikeln erzeugt> und eine Energieversorgung zum Ausziehen der geladenen Partikel aus einer Quelle enthält, und wobei das Steuermittel zur Steuerung der Dichte der geladenen Partikel in dem Strahl mit der Energieversorgung verbunden ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 8, wobei der Generator so ausgelegt ist, daß er einen den Energiestrahl bildenden Laserstrahl erzeugt, und eine Pumpenergieversörgung für den Laser enthält, und wobei das Steuermittel zur
Steuerung der Strahlenergie mit der Pumpenergieversorgung verbunden ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 8f wobei das Verschiebungsmittel eine durch eine Folge von Antriebsimpulsen angetriebene Motoreinrichtung zur Verschiebung des Werkstücks relativ zu dem Generator enthält und die Steuereinrichtung in Abhängigkeit von dem Steuersignal die Frequenz der Antriebsimpulse steuert.
14. Erzeugnis, hergestellt nach einem Verfahren entsprechend einem der Ansprüche 1. bis 7.
15. Erzeugnis, hergestellt, unter Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 13.
DE198282302005T 1981-04-20 1982-04-20 Strahlbearbeitungsverfahren und apparat sowie ein dadurch hergestelltes produkt. Pending DE64352T1 (de)

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