DE60317642D1 - Gaszufuhrvorrichtung, Ventilanordnung und Verfahren zur Erzeugung von Reaktantpulsen mit einer Ventilanordnung - Google Patents

Gaszufuhrvorrichtung, Ventilanordnung und Verfahren zur Erzeugung von Reaktantpulsen mit einer Ventilanordnung

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5202101B2 (ja) * 2008-05-21 2013-06-05 旭有機材工業株式会社 ミキシングバルブ及びそれを用いたミキシング装置
US8524322B2 (en) 2010-12-28 2013-09-03 Asm International N.V. Combination CVD/ALD method and source
US9790594B2 (en) 2010-12-28 2017-10-17 Asm Ip Holding B.V. Combination CVD/ALD method, source and pulse profile modification
US9512519B2 (en) 2012-12-03 2016-12-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Atomic layer deposition apparatus and method
US9920844B2 (en) * 2014-11-26 2018-03-20 Lam Research Corporation Valve manifold deadleg elimination via reentrant flow path
US9631276B2 (en) 2014-11-26 2017-04-25 Lam Research Corporation Systems and methods enabling low defect processing via controlled separation and delivery of chemicals during atomic layer deposition
DE102016204956B4 (de) 2016-03-24 2023-01-12 Festo Se & Co. Kg Membranventil
DE102016206784B3 (de) * 2016-04-21 2017-10-26 Festo Ag & Co. Kg Fluidverteilervorrichtung
US10927459B2 (en) * 2017-10-16 2021-02-23 Asm Ip Holding B.V. Systems and methods for atomic layer deposition
JP7325793B2 (ja) * 2018-02-28 2023-08-15 株式会社フジキン バルブ、流体制御装置、および、パージガスラインの変更方法
US11661654B2 (en) * 2018-04-18 2023-05-30 Lam Research Corporation Substrate processing systems including gas delivery system with reduced dead legs
CN113357216B (zh) * 2021-07-08 2022-11-15 哈尔滨碧研科技有限公司 一种气路集成装置及阀块系统

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3739811A (en) * 1970-06-01 1973-06-19 F Gross Four-way valve
JPS63268244A (ja) * 1987-04-25 1988-11-04 Hamamatsu Photonics Kk 有機金属気相成長装置
JPS64268A (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Hamamatsu Photonics Kk Valve for vapor growth
US5048563A (en) * 1990-03-14 1991-09-17 Itt Corporation Steam and fuel oil supply and purge valve with cooling steam feature
JPH04145619A (ja) * 1990-10-08 1992-05-19 Nec Corp 気相成長装置
US5131627A (en) 1990-10-17 1992-07-21 Nupro Company Diaphragm valve
US5520001A (en) * 1994-02-20 1996-05-28 Stec, Inc. Vapor controller
US5542452A (en) 1995-02-07 1996-08-06 Cdc Technologies, Inc. Valve assembly
FR2749924B1 (fr) * 1996-06-18 1998-08-21 Air Liquide Dispositif pour fournir a un appareil l'un quelconque de plusieurs gaz
US5922286A (en) * 1996-06-18 1999-07-13 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'atude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Device for delivering any one of a plurality of gases to an apparatus
JP3997338B2 (ja) * 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
JPH10242059A (ja) * 1997-03-03 1998-09-11 Sony Corp 半導体膜形成方法
SE510074C2 (sv) * 1997-04-04 1999-04-19 Robovalve Ab Membranventil av flervägstyp
JP2000282241A (ja) * 1999-04-01 2000-10-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多層薄膜の製造方法
JP2001235099A (ja) * 2000-02-21 2001-08-31 Ckd Corp プロセスガス供給ユニットの載せ替えシステム
JP2001280595A (ja) * 2000-03-29 2001-10-10 Air Water Inc 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック
JP4002060B2 (ja) * 2000-09-26 2007-10-31 株式会社島津製作所 液体材料供給装置
US6644348B2 (en) * 2001-11-28 2003-11-11 Eastman Kodak Company Purgable multiport valve

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US20040250853A1 (en) 2004-12-16
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JP2005051205A (ja) 2005-02-24
JP4568032B2 (ja) 2010-10-27

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