-
Technisches
Gebiet
-
Die
vorliegende Erfindung betrifft Fluidsteuereinrichtungen, zum Beispiel
für die
Verwendung in Halbleiter-Herstellungseinrichtungen
mit dem Zweck, selektiv verschiedene Arten von Materialgasen einer Prozesskammer
bei einer Umschaltung zuzuleiten.
-
Stand der
Technik
-
5 zeigt
eine bekannte Fluidsteuereinrichtung 31 für die Verwendung
zum selektiven Zuführen
von verschiedenen Arten von Materialgasen zu einer Prozesskammer über eine
Umschaltung. Die Einrichtung 31 weist einen rechteckigen
parallelepidalen Körper 32,
zwei Hauptgas-Einlass/Auslass-Elemente 33, die jeweils
an der Länge
nach gegenüberliegenden
Enden des Körpers 32 angeordnet sind,
zwei Lüftungsgas-Einlass/Auslass-Elemente (nicht
gezeigt), die ähnlich
angeordnet und jeweils von dem entsprechenden Element 33 der
Breite des Körpers 32 nach
beabstandet sind, einen Hauptgaskanal 41, um die Hauptgas-Einlass/Auslass-Elemente 33 in
Kommunikation miteinander zu halten, einen Belüftungsgaskanal (nicht gezeigt),
um die Lüftungsgas-Einlass/Auslass-Elemente
in Kommunikation miteinander zu halten, einer Vielzahl von Nebengas-Einlässen 42,
die auf einer Seite des Körpers 32 beab standet
angeordnet sind, Absperrventilen 35, 36, die in
Paaren angeordnet sind, wobei sie mit den jeweiligen Nebengaseinlässen 42 in
Position korrespondieren und jeweils allgemein in zwei Reihen angeordnet
sind, ersten Nebengas-Einströmkanälen 43,
die sich von den jeweiligen Nebengaseinlässen 42 zu den Einlässen der
jeweiligen Absperrventile 35 der ersten der Reihen erstrecken,
Hauptkanal-Kommunikationsdurchgängen 44,
die sich von den Auslässen
der jeweiligen Absperrventile 35 in der ersten Reihe zu
dem Hauptgaskanal 41 erstrecken, zweiten Nebengas-Einströmkanälen 45,
die sich von den jeweiligen Nebengas-Einlässen 42 zu den Einlässen der
jeweiligen Absperrventile 36 in der zweiten der Reihen
erstrecken, und Belüftungskanal-Kommunikationsdurchgängen 46,
die sich von den Auslässen der
jeweiligen Absperrventile 36 in der zweiten Reihe zu dem
Belüftungskanal 43 erstrecken.
-
Die
Publikation der JP-A Nummer 10-205636 offenbart, dass ein Absperrventil,
das einen mit Flanschen versehenen Körper aufweist, entfernbar an
zwei Kanalblöcken
mit Schraubenelementen befestigt ist, welche sich durch den Flansch
strecken. Die selbe Publikation offenbart die Kombination eines
Blockes, der einen V-förmigen
Kanal und zwei Absperrventile aufweist, die jeweils zwei oder drei Öffnungen
haben, um einen Gaskanal bereitzustellen.
-
Wenn
die beschriebene und illustrierte Fluidsteuereinrichtung in einem
ihrer Bereiche nicht richtig arbeitet, muss die Einrichtung in ihrer
Gänze ersetzt werden.
Die Einrichtung muss daher in Bezug auf die Einfachheit der Reparatur
verbessert werden. Weiterhin hat die Einrichtung Probleme darin,
dass sie für eine
unmittelbare Umschaltung von einem Gas auf ein anderes mit einer
guten Stabilität
ausgebildet sein muss, ohne dass Druckvariationen auftreten, und
sie muss im toten Raum reduziert werden. Die Einrichtung kann einfach
zu reparieren gemacht werden, wenn jedes Absperrventil entfernbar
unter Verwendung von Schrauben, wie dies in der Publikation der JP-A
Nummer 10-205636 offenbart ist, befestigt ist, wohingegen selbst
wenn die Einrichtung so gebaut ist, die übrigen Probleme zu lösen bleiben.
Der Gaskanal, der durch die Kombination eines V-förmigen Kanals
und eines Dreiöffnungsventils
gebildet wird, weist viele mit Winkeln versehene Bereiche und einen
reduzierten Querschnitt auf und hat damit einen größeren Druckverlust,
folglich besteht damit das Problem, dass der Kanal nicht dazu geeignet
ist, ein Fluid, zum Beispiel mit einer großen Fließgeschwindigkeit von mehr als
ungefähr
100 Liter pro Minute zu leiten.
-
In
Hinblick auf die oben beschriebene Situation ist es eine Aufgabe
der vorliegenden Erfindung, eine Fluidsteuereinrichtung bereitzustellen,
die so ausgebildet ist, dass sie einfacher zu reparieren ist und
für eine
unmittelbare Umschaltung von einem Gas auf ein anderes mit einer
guten Stabilität
und ohne Druckvariationen mit sich zu bringen ausgelegt ist, wobei
sie im toten Raum redu ziert ist und geeignet ist, ein Fluid mit
einer großen
Fließgeschwindigkeit
zu leiten.
-
Offenbarung
der Erfindung
-
Die
vorliegende Erfindung stellt eine Fluidsteuereinrichtung bereit,
die einen rechteckigen parallelepidalen Körper, zwei Hauptgas-Einlass/Auslass-Öffnungen,
die jeweils an der Länge
nach gegenüberliegen
Enden des Körpers
angeordnet sind, zwei Lüftungsgas-Einlass/Auslass-Öffnungen,
die ähnlich
angeordnet sind und jeweils von den entsprechenden Hauptgas-Einlass/Auslass-Öffnungen
der Breite des Körpers
nach beabstandet sind, einen Hauptgaskanal, der dafür ausgelegt
ist, dass die Hauptgas-Einlass/Auslass-Öffnungen
durch ihn miteinander kommunizieren, einen Lüftungskanal, der dafür ausgelegt
ist, dass die Lüftungsgas-Einlass/Auslass-Öffnungen
miteinander durch ihn kommunizieren, einer Vielzahl von Nebengaseinlässen, die
auf einer Seite des Körpers
beabstandet angeordnet sind, Absperrventilen, die in Paaren angeordnet
sind, wobei sie mit den jeweiligen Nebengaseinlässen in Position korrespondieren
und jeweils allgemein in zwei Reihen angeordnet sind, ersten Nebengas-Einlasskanälen, die
sich von dem jeweiligen Nebengaseinlässen zu den Einlässen der
jeweiligen Absperrventile der ersten der Reihen erstrecken, Hauptkanal-Kommunikationsdurchgängen, die
sich von den Auslässen
der jeweiligen Absperrventile in der ersten Reihe zu dem Hauptgaskanal
erstrecken, und zweiten Nebengas-Einströmkanälen, die sich von den jeweiligen
Nebenga seinlässen
zu den Einlässen der
jeweiligen Absperrventile in der zweiten der Reihen erstrecken,
und Belüftungskanal-Kommunikationsdurchgängen, die
sich von den Auslässen
der jeweiligen Absperrventile der zweiten Reihe zu dem Lüftungskanal
erstrecken, wobei verschiedene Arten von Materialgasen, die von
den jeweiligen Nebengaseinlässen
eingelassen werden, zu einer Bearbeitungskammer, welche stromabwärts von
der Einrichtung positioniert ist, von einem Auslass des Hauptgaskanales
bei einem geeigneten Umschaltvorgang zugeteilt werden kann, wobei
ein Gas innerhalb des Körpers
durch den Lüftungsgaskanal
auslassbar ist, und wobei die Fluidsteuereinrichtung dadurch gekennzeichnet
ist, dass der Körper
einen mittleren Kanalblock und zwei seitliche Kanalblöcke aufweist, welche
an der Länge
nach gegenüberliegenden
Seiten des mittleren Kanalblocks angeordnet sind, dass jedes der
Absperrventile entfernbar an dem mittleren Kanalblock und an einem
der seitlichen Kanalblöcke befestigt
ist, wobei sein Einlass für
den mittleren Kanalblock positioniert ist und sein Auslass für den seitlichen
Kanalblock positioniert ist, und dass der mittlere Kanalblock Y-förmige Kanäle aufweist,
die in ihrer Anzahl identisch mit der Anzahl der Nebengaseinlässe ist
und die jeweils einen gemeinsamen Kanal und zwei verzweigte Kanäle aufweisen,
die in einer Y-Form angeordnet sind, wenn sie von der Längsrichtung
des mittleren Kanalblocks aus betrachtet werden, wobei der gemeinsame
Kanal des Y-förmigen
Kanals eine Öffnung
aufweist, die als der Subgaseinlass wirkt, und die verzweigten Kanäle des Y-förmigen Kanals
mit den Einlässen des
korrespondierenden Paars von Absperrventilen kommunizieren, um dadurch
die ersten und zweiten Nebengas-Einströmkanäle bereitzustellen,
und dass der Hauptgaskanal und die Hauptkanal-Kommunikationsdurchgänge in einem
der seitlichen Kanalblöcke
ausgebildet sind und der Lüftungsgaskanal
und die Lüftungsgaskanal-Kommunikationsdurchgänge an dem
anderen seitlichen Kanalblock ausgebildet sind.
-
Jeder
der seitlichen Kanalblöcke
weist zum Beispiel einen Block auf, der einen durchsichtigen Kanal
hat, der als Hauptgaskanal fungiert. Der Hauptkanalblock weist zum
Beispiel eine Mehrzahl von Blöcken
auf, die jeweils einen Y-förmigen
Kanal haben. Jeder seitliche Kanalblock kann durch die Verbindung
einer Mehrzahl von Blöcken,
die einen T-förmigen
Kanal aufweisen, gebildet werden. Der mittlere Kanalblock kann die
Form eines Blockes haben.
-
Bei
der Fluidsteuereinrichtung gemäß der Erfindung
ist jedes Absperrventil abnehmbar an beiden Kanalblöcken befestigt,
so dass für
den Fall, dass eines der Absperrventile nicht funktioniert, das fehlerhafte
Ventil einzeln auswechselbar ist, um so eine einfache Reparatur
zu gewährleisten.
Da das Materialgas in den Gaskanal des Seitenkanalblocks durch den
Y-förmigen
Kanal in dem mittleren Kanalblock geliefert wird, ist die Länge des
Kanals für
ein Gas, das von dem Nebengaseinlass zu dem Hauptgaskanal strömt, gleich
der Länge
des Kanals für
ein Gas, das von dem Nebengaseinlass zu den Belüftungsgaskanal strömt. Dies
reduziert die Druckdifferenz, die zwischen dem Hauptgas und dem
Belüftungsgas
erzeugt wird, was zu einer Reduzierung der Druckvariationen führt. Weil
der Einrichtungskörper drei
Kanalblöcke
aufweist, können
die Kanäle
in den Kanalblöcken
mit einer einfachen Struktur versehen werden, demzufolge ist der
Vorrichtungskörper
einfacher und weniger kostenintensiv herzustellen und weiterhin
wird der tote Raum im größtmöglichen
Ausmaß reduziert.
Der Hauptgaskanal und der Lüftungsgaskanal
können
einfach frei von V-förmigen
oder mit Winkeln versehenen Bereichen hergestellt werden. Demzufolge
ist die Einrichtung zum Beispiel als eine MOCVD Gasversorgungseinrichtung
für das
Durchleiten von Gasen hierdurch mit einer hohen Strömungsgeschwindigkeit
verwendbar.
-
Kurze Beschreibung
der Zeichnung
-
1 ist
eine Seitenansicht, die eine Ausführungsform der Fluidsteuereinrichtung
gemäß der Erfindung
zeigt.
-
2 ist
eine Vorderansicht derselben.
-
3 ist
eine Schnittansicht entlang der Linie III-III in 1.
-
4 ist
ein Flußdiagramm
der Fluidsteuereinrichtung gemäß der Erfindung.
-
5 ist
eine Seitenansicht, die eine konventionelle Fluidsteuereinrichtung
zeigt.
-
Die beste
Art zur Ausführung
der Erfindung
-
Eine
Ausführungsform
der Erfindung wird unten mit Bezug auf die Zeichnung beschrieben.
In der nachfolgenden Beschreibung bezieht sich der Begriff „vorne" auf die rechte Seite
von 1 und der Begriff „hinten" auf die linke Seite von 1.
Die Begriffe „links" und „rechts" werden für die Einrichtung verwendet,
wenn sie von vorne nach hinten gesehen wird. Die Begriffe „oberer" und „unterer" beziehen sich jeweils
auf die oberen und unteren Seiten von 1.
-
1 bis 4 zeigen
eine Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Fluidsteuereinrichtung.
-
Die
Fluidsteuereinrichtung 1 dieser Ausführungsform wird beispielsweise
für die
selektive Zuführung
von verschiedenen Arten von Gasen über eine Umschaltung in dem
MOCVD-Prozess verwendet.
Die Einrichtung weist einen Körper 2,
linksreihige Einlass/Auslass-Anschlüsse 3 und rechtsreihige
Einlass/Auslass-Anschlüsse 4,
die an den vorderen und hinteren Enden des Körpers ausgebildet sind, linksreihige
Absperrventile 5 und rechtsreihige Absperrventile 6,
die in zwei Reihen links und rechts oben auf dem Körper 2 angeordnet
sind, wobei die Absperrventile in jeder Reihe der Anzahl nach sieben
sind und sieben Materialgas- Einlassanschlüsse 7,
die an den Boden des Körpers 2 angeordnet
sind, auf.
-
Der
Körper 2 weist
einen mittleren Kanalblock 11, einen linksseitigen Kanalblock 12,
der parallel zu und auf der linken Seite des mittleren Kanalblocks 11 und
mit einem vorgegebenen Abstand zu diesem beabstandet angeordnet
ist, und einen rechtsseitigen Kanalblock 13, der parallel
zu und auf der rechten Seite des mittleren Kanalblocks 11 und mit
einem vorgegebenen Abstand zu diesem beabstandet angeordnet ist,
auf, wobei der mittlere Block 11 eine größere Breite
als die anderen zwei Kanalblöcke 12, 13 hat.
Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
weist jeder der seitlichen Kanalblöcke 12, 13 einen
Kanalblock auf, der in der Vorwärts-
oder Rückwärts-Richtung
verlängert
ist, und der Mittelkanalblock 11 weist eine Anordnung von
sieben Kanalblöcken
(bezeichnet mit 11) auf.
-
Die
linksreihigen Einlass/Auslass-Anschlüsse 3 sind jeweils
an den vorderen und hinteren Enden des linksseitigen Kanalblocks 12 angebracht,
und die rechtsreihigen Einlass/Auslass-Anschlüsse 4 sind jeweils
an den vorderen und hinteren Enden des rechtsseitigen Kanalblocks 13 angebracht.
Die Materialgas-Einlassauschlüsse 7 sind
an den Unterseiten der jeweiligen mittleren Kanalblöcke 11 befestigt.
-
Jedes
der linksreihigen Absperrventile 5 ist sowohl an der Oberseite
des linksseitigen Kanalblocks 12 als auch an der Oberseite
der linken Hälfte von
jedem mittleren Kanalblock angebracht. Jedes der rechtsreihigen
Absperrventile 6 ist sowohl an der Oberseite des rechtsseitigen
Kanalblocks 13, als auch an der Oberseite der rechten Hälfte von
jedem mittleren Kanalblock 11 angebracht. Jedes der Absperrventile 5, 6 weist
an seinem unteren Ende einen quadratischen bis rechteckigen Flansch 5a (6a)
auf, und vier Ecken des Flansches 5a (6a) sind
lösbar
mit dem entsprechenden Kanalblock 11 und 12 oder 13 über Schraubenelementen 8,
die von oben hier durch eingeführt
werden, verbunden.
-
Jedes
Paar von aneinanderstoßenden
Enden der Absperrventile 5 oder 6 und die Kanalblöcke 11 und 12 oder 13 sind
mit einer Versiegelung 9 versehen, um die korrespondierenden
gegenüberliegenden
Paare der Kanäle 14, 15, 16 oder 17 und 19, 21 oder 22 flüssigkeitsdicht
in Verbindung zu halten.
-
Das
Absperrventil 5 in der linken Reihe hat einen Einlasskanal 14,
der eine untere Endöffnung aufweist,
und einen Auslasskanal 15, der eine untere Endöffnung aufweist.
Ein Einlass für
den Einlasskanal 14 ist fest in dem mittleren Kanalblock 11 vorgesehen
und ein Auslass des Auslasskanals 15 ist in dem linksseitigen
Kanalblock 12 bereitgestellt. Das Absperrventil 6 in
der rechten Reihe hat einen Einlasskanal 16, der eine untere
Endöffnung
aufweist, und einen Auslasskanal 17, der eine untere End-öffnung aufweist.
Ein Einlass für
den Einlasskanal 16 ist fest in dem mittleren Kanalblock 11 bereitgestellt,
und ein Auslass für
den Auslasskanal 17 ist in dem rechtsseitigen Kanalblock 13 bereitgestellt.
Der Einlass und der Auslass des linksreihigen Absperrventils 5 und
der Einlass und der Auslass des rechtsreihigen Absperrventils 6 sind
Seite an Seite in der links nach rechts Richtung an der selben Position
mit Bezug auf die Längsrichtung
des Einrichtungskörpers 2 angeordnet.
-
Der
linksseitige Kanalblock 12 ist mit einem Hauptgaskanal 18,
der sich gerade dadurch in der Vorne/Hinten-Richtung erstreckt, und außerdem mit sieben
Hauptkanal-Kommunikationsdurchgängen 19,
die sich nach oben von dem Hauptgaskanal verzweigen und die mit
den Auslässen
der Auslasskanäle 15 der
jeweiligen linksreihigen Absperrventile 5 kommunizieren,
versehen. Der rechtsseitige Kanalblock 13 ist mit einem
Lüftungsgaskanal 20,
der sich gerade dadurch in der Vorne/Hinten-Richtung erstreckt und
mit sieben Lüftungskanal-Kommunikationsdurchgängen 21,
die sich nach oben von den Lüftungsgaskanal 20 verzweigen
und die mit den Auslässen
der Auslasskanäle 17 der
jeweiligen rechtsseitigen Absperrventile 6 kommunizieren,
versehen. Gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
weist jeder Gaskanal einen Einlass an den hinterem Ende des Blockes
und einen Auslass an dem vorderen Ende hiervon auf. Der Einlass
des Hauptgaskanals 18 ist mit 3a bezeichnet, der
Auslass hiervon mit 3b, der Einlass des Lüftungsgaskanal
mit 4a und der Auslass hiervon mit 4b.
-
Jeder
mittlere Kanalblock ist mit einem Y-förmigen Kanal 22 versehen,
der in korrespondierenden Relationen mit den Einlässen der
Paare der Absperrventile 5, 6 positioniert ist
und der einen gemeinsamen Kanal 22a und verzweigte linke
und rechte Kanäle 22b, 22c aufweist,
die in einer Y-Form angeordnet sind, wenn sie in der Längsrichtung
des Blockes 11 gesehen werden. Der gemeinsame Kanal 22a des Y-förmigen Kanals 22 erstreckt
sich nach unten von dem ungefähren
Mittelpunkt des Blockes 11 mit Bezug auf die Höhe und die
Breite hiervon und hat eine Öffnung
in der Unterseite des Blockes 11. Diese Öffnung dient
als ein Nebengaseinlass 23. Der Materialgas-Einlassausschluss 7 ist
in diesem Nebengaseinlass 23 angebracht. Der verzweigte
linke Kanal 22b des Y-förmigen
Kanals 22 erstreckt sich schräg links aufwärts von
dem oberen Ende des gemeinsamen Kanals 22a und kommuniziert
mit dem Einlass des Einlasskanals 14 des linksreihigen
Absperrventils 5 und der verzweigte Kanal 22c erstreckt
sich schräg rechts
aufwärts
von dem oberen Ende des gemeinsamen Kanal 22a und kommuniziert
mit dem Einlass des Einlasskanals 16 des rechtsreihigen
Absperrventils 6. Daher stellen der gemeinsame Kanal 22a und der
linke Kanal 22b des Y-förmigen Kanal 22 einen ersten
Nebengas-Einlasskanal 22a, 22b bereit, der sich
von dem Nebengas-Einlass 23 zu dem Einlass des Einlasskanals 14 des
linksreihigen Absperrventils 5 erstreckt, und der gemeinsame
Kanal 22a und der rechte Kanal 22c des Y-förmigen Kanals 22 stellen
einen zweiten Nebengas-Einströmkanal 22a, 22c bereit,
der sich von dem Nebengas-Einlass 23 zu dem Einlasskanal 16 des
rechtsreihigen Absperrventils 6 erstreckt.
-
Der
Y-förmige
Kanal 22 des mittleren Kanalblocks 11 kann beispielsweise
erhalten werden, indem zuerst zwei verzweigten Kanälen 22b, 22c und danach
ein gemeinsamer Kanal 22a ausgebildet werden. Jeder seitliche
Kanalblock 12, 13 kann erhalten werden, indem
beispielsweise erst Kommunikationsdurchgänge ausgebildet werden und
danach ein gerader Kanal. Auf diese Weise kann jeder der Blöcke 12, 13 einfach
hergestellt werden ohne, dass irgendwelcher toter Raum geschaffen
wird.
-
Mit
der Fluidsteuereinrichtung 1 können verschiedene Arten von
Materialgasen, welche von den jeweiligen Nebengas-Einlässen 23 eingelassen
werden, einer Prozesskammer, die hinter der Einrichtung angeordnet
ist, durch den Auslass 3b des Hauptgaskanals 18 über eine
geeignete Umschaltung zugeführt
werden, und das Gas innerhalb des Einrichtungskörpers kann durch den Auslass 4b des
Lüftungsgaskanals 20 abgegeben
werden, wie dies in 4 gezeigt wird. Wie dies aus
den 1 bis 3 hervorgeht, sind die linken
und rechten Bereiche der Fluidsteuereinrichtung symmetrisch und
jede der Einlass/Auslassöffnungen 3a, 3b, 4a, 4b kann
als irgendeine von dem Hauptgaseinlass, Hauptgasauslass, Belüftungsgaseinlass
und Belüftungsgasauslass
verwendet werden.
-
Von
einem Gas wird zum anderen Gas durch die Fluidsteuereinrichtung 1 in
der folgenden Art umgeschaltet. Zuerst wird eines der linksreihigen
Absperrventile 5 geöffnet,
das in korrespondierender Relation mit dem Materialgas-Einlass-Anschluß 7 positioniert
ist, mit dem ein Rohr für
das Gas, das als erstes Materialgas eingelassen werden soll, verbunden
ist, und das andere linksreihige Absperrventil 5 wird geschlossen,
wodurch das erste Materialgas in den Hauptgaskanal 18 eingelassen
wird und durch den Hauptgasauslass 3b zusammen mit dem
Hauptgas in die Prozesskammer geschickt wird. Gleichzeitig wird
das Belüftungsgas
in den Belüftungsgaskanal 20 eingelassen
und von dem Belüftungsgasauslass 4b abgegeben.
Der Hauptgaskanal 18 und der Belüftungsgaskanal 20 haben
beide die Form eines geraden Kanals und sind deshalb in der Lage
Gase mit einer großen
Strömungsgeschwindigkeit
zu leiten. Anschließend
wird ein weiteres linksreihiges Absperrventil 5 geöffnet, das
in korrespondierender Relationen mit dem Materialgas-Einlassausschluss 7 positioniert
ist, mit der ein Rohr für
das Gas, das als zweites Materialgas eingelassen wird, verbunden
ist, und die anderen linksreihigen Absperrventile 5 werden
geschlossen, wodurch das erste Materialgas auf das zweite Materialgas
umgeschaltet wird. Da der erste Nebengas-Einströmkanal 22a, 22b für die Leitung
des Materialgases zu dem Hauptgaskanal 18 zu dieser Zeit
symmetrisch zu dem zweiten Nebengas-Einströmkanal 22a, 22b für die Leitung
des Materialgases zu dem Nebengaskanal 20 zu dieser Zeit ist,
kann das erste Materialgas auch auf das zweite unmittelbar mit einer
guten Sta bilität
und mit unterdrückten
Druckvariationen umgeschaltet werden. Auf diese Weise können bis
zu sieben Arten von Materialgasen selektiv dem Hauptgaskanal 18 zugeführt werden.
-
Obwohl
die oben beschriebene Fluidsteuereinrichtung 1 sieben Nebengaseinlässe 23 hat,
kann die Einrichtung so angepasst werden, das sie jeder andere Zahl
von Nebengaseinlässen
als sieben aufweisen kann. Es ist ebenfalls möglich zwei Einrichtungen, die
jeweils sieben Nebengaseinlässe
in den Einlass/Auslass-Ausschlußbereichen 3, 4 aufweisen, zu
verbinden, um dieses als eine Einrichtung zu verwenden, die vierzehn
Nebengaseinlässe
aufweist.
-
Industrielle
Anwendung
-
Die
Fluidsteuereinrichtung gemäß der Erfindung
ist einfacher zu reparieren, für
eine unmittelbare Umstellung von einem Gas auf ein anderes mit einer guten
Stabilität
und ohne Druckvariationen mit sich zu bringen ausgelegt, und ist
daher geeignet, beispielsweise in Halbleiter-Herstellungseinrichtungen mit
der Aufgabe verwendet zu werden, verschiedene Arten von Materialgasen
einer Prozesskammer bei geeigneter Umschaltung zuzuführen.