DE60303283T2 - Verfahren für das Auftragen eines mehrschichtigen Systems - Google Patents
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Description
- GEBIET DER ERFINDUNG
- Der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden eines mehrschichtigen MCrAlY-Systems auf der Außenoberfläche eines Gegenstands gemäß Anspruch 1.
- STAND DER TECHNIK
- Komponenten, die zur Anwendung im Hochtemperaturbereich entwickelt wurden, z. B. eine Schaufel oder ein Flügel einer Gasturbine, sind normalerweise mit Umwelteinflüssen gegenüber widerstandsfähigen Überzügen versehen. Der Überzug schützt das Grundmaterial vor Korrosion und Oxidation durch Wärmewirkung aufgrund der warmen Umgebung. Die meisten Turbinenkomponenten sind zum Schutz vor Oxidation und/oder Korrosion mit beispielsweise einem MCrAlY-Überzug (Grundüberzug) beschichtet, einige sind auch zur Wärmeisolierung mit einer Wärmesperrschicht (TBC) überzogen.
- MCrAlY-Schutzschichtüberzüge sind im Stand der Technik bekannt. Es handelt sich hierbei um eine Familie von Hochtemperaturüberzügen, wobei M ausgewählt ist aus Eisen, Nickel und Cobalt oder einer Kombination davon. Beispielsweise offenbaren US-A-3,528,861 oder US-A-4,585,481 derartige oxidationsbeständige Überzüge.
- Ausgehend von der Zusammensetzung und der Mikrostruktur wird zwischen zwei Arten von MCrAlY unterschieden: γ/γ' und γ/β. Das Gebiet der γ/β-Überzüge ist ein aktiver Forschungsbereich, und es wurde eine Reihe von Patenten erteilt. In US-A-3,754,903 wird beispielsweise ein NiCrAlY-Überzug und in US-A-3,676,058 ein CoCrAlY-Überzug beschrieben, während US-A-4,346,137 einen NiCoCrAlY-Überzug mit Hochtemperatur-Dauerfestigkeit offenbart. US-A-4,419,416, US-A-4,585,481, RE-32,121 und US-A-4,743,514 beschreiben MCrAlY-Überzüge, die Si und Hf enthalten. US-A-4,313,760 offenbart eine Superlegierung-Überzugszusammensetzung mit guter Oxidations- und Korrosionsbeständigkeit und Dauerfestigkeit. Weitere Beispiele für die Entwicklung von oxidationsbeständigen MCrAlY-Überzügen sind zitiert in: US-A-5,035,958, US-A-5,154,885, US-A-5,455,119, US-A-6,280,857, US-A-6,207,297 und US-A-6,221,181.
- Im Gegensatz zu den γ/β-Überzügen sind die MCrAlY-Überzüge vom γ/γ'-Typ, beispielsweise aus US-A-4,973,445 bekannt, vergleichsweise neu. Das einmalige Merkmal dieser Art von γ/γ'-Überzügen ist deren Abweichung der Wärmeausdehnung nahe null in Kombination mit einer hohen Verformbarkeit, was die thermische Dauerfestigkeit dieser Überzüge erhöht. Die Beschränkungen sind allerdings der geringe Aluminiumgehalt und damit deren begrenzter Aluminiumspeicher.
- Das Gebiet der MCrAlY-Überzüge vom γ/γ'-Typ, beispielsweise bekannt aus US-A-4,973,445, ist begrenzt. Das interessante Merkmal dieser Art von Überzügen ist ihr geringer Wärmeausdehnungskoeffizient und eine hohe Verformbarkeit, was die thermische Dauerfestigkeit dieser Überzüge erhöht. Die Beschränkung dieser Überzüge ist allerdings der geringe Aluminiumgehalt. Aufgrund von wiederholtem Abplatzen von Oxiden während Hitze-Kälte-Wechselbelastungen ist der γ/γ'-Überzug nicht im Stande, das Wachsen der Aluminiumoxid-Schicht aufrechtzuerhalten.
- Die MCrAlY-Entwicklung in den 1980er Jahren konzentrierte sich in erster Linie auf die Oxidationsbeständigkeit von MCrAlY mittels beispielsweise Überalitieren. Dieser Ansatz bestand in der Abscheidung von MCrAlY mittels Plasmaspritzen, d. h. APS, VPS, LPPS und HVOF, oder mittels EB-PVD mit anschließender Anreicherung der MCrAlY-Oberfläche mittels Alitieren. Gemäß US-A-3,873,347 und US-A-4,080,486 wurde MCrAlY mit einer Dicke im Bereich von 75 bis 125 μm mittels EB-PVD abgeschieden und MCrAlY mit einer Dicke von 25 bis 50 μm alitiert. Gemäß US-A-4,005,989 hingegen wurde das Substrat erst alitiert, dem schloss sich eine MCrAlY-Abscheidung an. Die Dicke des MCrAlY-Überzugs betrug in diesem Fall 25 bis 125 μm, die Dicke der Aluminid-Schicht lag im Bereich von 25 bis 62 μm. Der Al-Gehalt des Aluminids lag im Bereich von 22 bis 36 Prozent.
- In einem weiteren Patent, US-A-4,910,092, wurde erst ein MCrAlY-Überzug mittels Plasmaspritzen abgeschieden, dann mittels eines Packverfahrens eine Überalitierung durchgeführt. Die Dicke des MCrAlY-Überzugs lag im Bereich von etwa 12 bis 75 μm, die Dicke der Aluminid-Schicht lag im Bereich von 25 bis 100 μm. Das mehrschichtige System zeigte eine verbesserte Oxidationsbeständigkeit und thermische Dauerfestigkeit. Die alitierte Schicht wies einen Aluminium-Gehalt im Bereich von 21 bis 35 Prozent auf.
- Gemäß US-A-6,129,991 wird ein Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Gasphase (CVD) zum Alitieren der MCrAlY-Oberfläche verwendet, wobei das CVD-Verfahren Aluminid-Überzüge ausbildet, die frei von P- und S-Verunreinigungen sind, von denen bekannt ist, dass sie die Oxidationsbeständigkeit von Überzügen nachteilig beeinflussen. Der Aluminid-Überzug, der Hf, Zr und Si enthielt, wurde ebenfalls mittels CVD abgeschieden. Die Dicke des Aluminid-Überzugs betrug 12 bis 100 μm.
- In der Literatur finden sich auch Quellen zur Verbesserung der Dauerfestigkeit von Überzügen. Dieser Ansatz besteht in der Modifizierung der Zusammensetzung der Überzüge, um die Abweichung der Wärmeausdehnung zwischen dem Überzug und dem Substrat zu verringern. Gemäß US-A-4,758,480 wurden beispielsweise Überzüge entwickelt, indem die Zusammensetzung des Superlegierungssubstrats modifiziert wurde. Die Überzüge hatten einen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der dem des Substrats ähnlich war und damit eine geringe Abweichung der Wärmeausdehnung und zeigten im Vergleich zu einem typischen MCrAlY-Überzug eine höhere Dauerfestigkeit. In einem getrennten Patent, US-A-4,346,137, wurde MCrAlY mit Pt und/oder Rh angereichert, um die Wärmeausdehnung der Überzüge zu verringern und die modifizierten Überzüge zeigten eine höhere Dauerfestigkeit.
- Die Verringerung der Abweichung der Wärmeausdehnung zwischen dem Überzug und dem Substrat hatte die nützliche Wirkung, dass dadurch die Dauerfestigkeit der Überzüge verbessert wurde; es gibt jedoch einen weiteren Ansatz, die Dauerfestigkeit zu verbessern – und zwar durch Verwendung eines relativ dünnen Überzugs. In Gasturbinentriebwerken für industrielle Zwecke beispielsweise, in denen die Komponenten eine Zeitstandfestigkeit von Tausenden von Stunden haben müssen, liegt die verwendete Dicke des Überzugs im Gegensatz zu den 100 bis 200 μm dicken Überzügen für Turbinenschaufeln und -flügel für flugtechnische Zwecke im Allgemeinen im Bereich von 350 bis 650 μm. Eine geringere Überzugsdicke für Turbinenschaufeln und -flügel für industrielle Zwecke ist für die Grenzlastspielzahl von Vorteil. Bevorzugt ist jedoch ein Verfahren ohne Sichtlinie mit guter Steuerung der Überzugsdicke, mit dem die Vorderkante und Blattprofilübergangsbereiche gleichmäßig beschichtet werden können. Ferner sollten die Überzüge nicht durch einen Sauerstoffüberschuss, von dem bekannt ist, dass er die Grenzlastspielzahl nachteilig beeinflusst, verunreinigt sein.
- Im Gegensatz zum Plasmaspritzen weist das Galvanoverfahren eine gute Steuerung der Überzugsdichte und keine Begrenzung der Sichtlinie auf. In einer Patentreihe, US-A-5,558,758, US-A-5,824,205 und US-A-5,833,829, ist die Abscheidung von MCrAlY-Überzügen mittels eines Galvanoverfahrens beschrieben. Das Verfahren besteht in dem Abscheiden von Überzügen mittels einer Vorstufe, d. h. CrAlM2-Pulver in einem M1-Bad, wobei M2 eines oder mehrere von Si, Ti, Hf, Ga, Nb, Mn, Pt und Seltenerdenelementen ist und M1 aus Ni, Co, Fe alleine oder in Kombination besteht. Der abgeschiedene Überzug wird wärmebehandelt, um die gewünschte Überzugsstruktur zu erhalten. Da keine Sichtlinienbegrenzung vorliegt, kann auch eine Oberfläche mit komplexer Kontur mit guter Steuerung der Dicke mittels des Galvanoverfahrens beschichtet werden. Beschichten mittels des Galvanoverfahrens ist jedoch offenbar der Zusammensetzung gegenüber empfindlich, d. h. nicht alle Überzugszusammensetzungen können in diesem Verfahren wirksam eingesetzt werden.
- An dieser Stelle wird auf die galvanisierten MCrAlY-Überzüge verwiesen, die von der Anmelderin entwickelt wurden; die Patentanmeldung betreffend plattierte MCrAlY-Überzüge wurde im Rahmen der Anmeldung mit der Anmeldenummer
EP02405881.0 - KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
- Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Beschreibung eines Verfahrens zum Abscheiden eines Überzugs, der gegenüber Rissbildung während der Hitze-Kälte-Wechselbelastungen, die in einem Triebwerk mit erhöhter Lebensdauer bei thermomechanischer Ermüdung (TMF) vorherrschen, beständig ist.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung wurde ein Verfahren gefunden, dass die Schritte eines Abscheidens des MCrAlY-Überzugs umfasst, wobei der Überzug aus mehreren Schichten aus γ/β-MCrAlY und/oder γ/γ'-MCrAlY besteht, wobei wenigstens die Außenschicht aller Schichten mittels eines Galvanoverfahrens abgeschieden wird.
- Die vorliegende Offenbarung der Erfindung besteht aus der Bereitstellung mehrerer Grenzflächen in einem Deck- oder Verbundüberzug, um das Risiko einer Rissauslösung und -fortpflanzung zu senken. Die Grenzfläche der Struktur bietet eine Behinderung der Rissauslösung und -fortpflanzung, da Risse an der Grenzfläche neu ausgelöst werden müssen und sich erst dann durch die Überzüge fortpflanzen können. In der offenbarten Erfindung sind die Überzugsschichten zweckmäßig unter Berücksichtigung der chemischen Zusammensetzung, der Module, des Wärmeausdehnungskoeffizienten, d. h. der physikalisch-mechanischen und metallurgischen Eigenschaften, angeordnet. Der denkbare Schichtabstand der Offenbarung beträgt mehrere Zehnereinheiten Mikrometer und basiert auf der chemischen Aktivität und der Diffusionsstabilität des Überzugs.
- Der Überzug kann beispielsweise aus alternierenden Schichten zweier verschiedener Materialien bestehen, wobei eine Schicht aus γ/β-MCrAlY besteht und die andere Schicht aus γ/γ'-MCrAlY besteht. Die Dicke einer der alternierenden Schichten kann wesentlich kleiner als die der anderen sein.
- Vor dem Abscheiden der Überzugsschichten können die Außenfläche des Gegenstands und/oder die Außenfläche der abgeschiedenen Schichten alitiert werden.
- An die Abscheidung der Überzugsschichten kann sich eine 2 bis 20 Stunden lange Wärmebehandlung bei 1100 ºC, z. B. 2 Stunden lang bei 1140 ºC , in einer inerten Atmosphäre, wie Argon, Luft, Wasserstoff oder in Vakuum, anschließen.
- Auf die Oberseite der aufgebrachten Schichten kann eine Schicht einer keramischen Wärmesperrschicht (TBC), wie mit Yttrium stabilisiertes Zirkoniumdioxid (YSZ), mit einer zweckmäßigen Zusammensetzung mittels verschiedener Verfahren (APS, EB-PVD) aufgebracht werden.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
- Bevorzugte Ausführungsformen sind in den beiliegenden Zeichnungen veranschaulicht, wobei:
-
1 eine Gasturbinenschaufel zeigt und -
2 eine erfindungsgemäße Ausführungsform eines mehrschichtigen Überzugs auf der Außenoberfläche des Gegenstands zeigt. - Die Zeichnungen zeigen nur die für die Erfindung wichtigen Teile.
- GENAUE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung ist im Allgemeinen bei Komponenten anwendbar, die in Umgebungen betrieben werden, welche durch eine relativ hohe Temperatur gekennzeichnet sind, und die aus diesem Grund erheblichen thermischen Belastungen und Hitze-Kälte-Wechselbelastungen ausgesetzt sind. Zu bekannten Beispielen derartiger Komponenten gehören die Flügel und Schaufeln, Hauben, Brennkammereinsätze und Nachbrennerhardware auf der Hochdruck- und Niederdruckseite von Gasturbinentriebwerken.
1 zeigt beispielhaft einen solchen Gegenstand1 in Form von Schaufeln oder Flügeln, der eine Schaufel2 , gegen die während des Betriebs des Gasturbinentriebwerks heiße Verbrennungsgase gerichtet sind, einen in1 nicht erkennbaren Hohlraum und Kühlöffnungen4 umfasst, die sich auf der Außenoberfläche5 der Komponente1 sowie auf der Plattform3 der Komponente befinden. Während des Triebwerkbetriebs wird Kühlluft zum Kühlen der Außenoberfläche5 durch die Kühlöffnungen4 geführt. Die Außenoberfläche5 ist aufgrund der heißen Verbrennungsgase schweren Angriffen durch Oxidation, Korrosion und Erosion ausgesetzt. In zahlreichen Fällen besteht der Gegenstand1 aus einer Superlegierung auf Nickel- oder Cobaltbasis, wie beispielhaft in US-A-5,759,301 offenbart. Grundsätzlich kann der Gegenstand1 einkristallin (SX), stängelkristallin (DS) oder mischkristallin sein. - Die Vorteile dieser Erfindung werden zwar unter Bezugnahme auf eine Turbinenschaufel oder einen Turbinenflügel wie in
1 dargestellt beschrieben, die Erfindung ist jedoch allgemein auf jede Komponente anwendbar, auf der ein Überzugssystem zum Schutz der Komponente vor deren Umgebung verwendet werden kann. - Wie aus
2 hervorgeht, wird ein Verfahren zum Abscheiden des geschichteten Überzugs auf der Außenoberfläche5 des Gegenstands1 beschrieben. Der Verbund- oder Deck-MCrAlY-Überzug6 auf der Oberseite der Außenfläche5 des Gegenstands1 besteht aus vier verschiedenen MCrAlY-Schichten61 ,62 ,63 ,64 . Die MCrAlY-Schichten61 ,62 ,63 ,64 können eine γ/β- oder eine γ/γ'-Struktur aufweisen oder eine γ-feste Lösung darstellen. Die Schichten61 ,62 ,63 ,64 können eine Dispersion einer β-Phase enthalten. Die Nummerierung der Schichten61 ,62 ,63 ,64 in2 ist nur beispielhaft und kann entsprechend der jeweiligen Ausführungsform variieren. - Wenigstens die Außenschicht
64 aller Schichten61 ,62 ,63 ,64 wird mittels eines Galvanoverfahrens mit einer Dicke im Bereich von 10 bis 100 μm und vorzugsweise im Bereich 10 bis 50 μm abgeschieden. Eine geringere Dicke der Schicht64 führt mit großer Wahrscheinlichkeit zu einem kürzeren Riss und möglicherweise zu einer langsameren Risswachstumsgeschwindigkeit. Die vorliegende Erfindung besteht aus der Bereitstellung mehrerer Grenzflächen in einer Deck- oder Verbundbeschichtung, um das Risiko einer Rissauslösung und -fortpflanzung zu senken. Die Grenzfläche der Struktur bietet eine Behinderung der Rissauslösung und -fortpflanzung, da Risse an der Grenzfläche neu ausgelöst werden müssen und sich erst dann durch die Beschichtungen fortpflanzen können. Andererseits kann das Galvanoverfahren einen dünnen MCrAlY-Überzug gleichmäßig abscheiden. Das Galvanoverfahren ist ein gangbares Verfahren zum gleichmäßigen Aufbringen eines Überzugs auf eine Turbinenschaufel oder einen Turbinen flügel, wobei die Steuerung der Überzugdicke gut ist und das Verfahren keine Sichtlinienbegrenzung aufweist. Im Verfahren werden die Überzüge auch ohne Verunreinigungen in Form Sauerstoffüberschuss abgeschieden, von dem bekannt ist, dass er die Dauerfestigkeit des Überzugs nachteilig beeinflusst. - Es wird angenommen, dass in einem mehrschichtigen Überzugssystem sowohl die Dicke der einzelnen Schichten
61 ,62 ,63 ,64 als auch die Gesamtdicke des Überzugs wichtig sind, da allgemein bekannt ist, dass ein dünner Überzug eine bessere Dauerfestigkeit zeigt als ein dicker Überzug. Die Überzugsschichten61 ,62 ,63 ,64 sind derart angeordnet, dass durch die Anordnung der Schichten61 ,62 ,63 ,64 Grenzflächen zur Verlangsamung der Rissbildung bereitgestellt werden. Die Dicke und Zusammensetzung jeder Schicht61 ,62 ,63 ,64 kann variieren. In der offenbarten Erfindung sind die Überzugsschichten zweckmäßig unter Berücksichtigung der chemischen Zusammensetzung, der Module, des Wärmeausdehnungskoeffizienten, d. h. der physikalisch-mechanischen und metallurgischen Eigenschaften, angeordnet. Der denkbare Schichtabstand der Offenbarung beträgt mehrere Zehnereinheiten Mikrometer und basiert auf der chemischen Aktivität und der Diffusionsstabilität des Überzugs. - Der Überzug kann beispielsweise aus alternierenden Schichten zweier verschiedener Materialien bestehen, wobei eine Schicht aus γ/β-MCrAlY besteht und die andere Schicht aus γ/γ'-MCrAlY besteht. Die Dicke einer der alternierenden Schichten
61 ,62 ,63 ,64 kann wesentlich kleiner als die der anderen sein. - Nachfolgend sind einige Beispiele für γ/β- und γ/γ'-MCrAlY-Überzüge angeführt, die erfindungsgemäß verwendet werden können.
- Eine MCrAlY-Schicht
61 ,62 ,63 ,64 mit einer γ/β-Struktur kann 0,01 bis 3 % Fe enthalten. Die verschiedenen MCrAlY-Schichten61 ,62 ,63 ,64 können neben Y reaktive Elemente, wie Hf, Zr, Si, Ru und Lanthanide, alleine oder in Kombination enthalten. - Die Schichten des MCrAlY-Überzugs
61 ,62 ,63 ,64 können beispielsweise mittels wenigstens eines der nachstehenden Beschichtungsverfahren, Plasmaspritzen, Drahtlichtbogenspritzen, Hochgeschwindigkeitsflammspritzen (HVOF), atmosphärisches Plasmaspritzen (APS), Niederdruck-Plasmaspritzen (LPPS), Vakuum-Plasmaspritzen (VPS), elektrolytisches oder galvanisches Abscheiden, physikalische Abscheidung aus der Gasphase (PVD), chemische Abscheidung aus der Gasphase (CVD), Aufschlämmung oder Streichen oder Farbspritzen oder Sol-Gel, oder jedes anderen aus dem Stand der Technik bekannten geeigneten Verfahrens aufgebracht werden. - An die Abscheidung der Überzugsschichten kann sich eine 2 bis 20 Stunden lange Wärmebehandlung bei 1100 ºC, z. B. 2 Stunden lang bei 1140 ºC, in einer inerten Atmosphäre, wie Argon, Luft, Wasserstoff oder in Vakuum, anschließen.
- Vor dem Abscheiden der Überzugsschichten
61 ,62 ,63 ,64 können die Außenfläche5 des Gegenstands1 und/oder die Außenfläche64 der abgeschiedenen Schichten61 ,62 ,63 ,64 alitiert werden. - Auf die Oberseite der aufgebrachten Schichten kann, wie in
2 dargestellt, eine Schicht7 einer keramischen Wärmesperrschicht (TBC), wie durch Yttrium stabilisiertes Zirkoniumdioxid (YSZ), aufgebracht werden, obwohl andere keramische Materialien und andere Stabi lisatoren, wie durch Ceriumdioxid (CeO2), Scandiumoxid (Sc2O3) oder andere Oxide stabilisiertes Zirkoniumdioxid, verwendet werden können. Die keramische Schicht wird mit einer Dicke abgeschieden, die zur Bereitstellung des erforderlichen Wärmeschutzes des darunter liegenden Substrats ausreicht und im Allgemeinen in der Größenordnung von etwa 125 bis 800 μm liegt. - Die Erfindung wurde zwar anhand eines Beispiels beschrieben, es ist jedoch offensichtlich, dass ein Fachmann auch andere Formen übernehmen kann. Demgemäß ist der Schutzumfang der Erfindung nur durch die anhängenden Ansprüche beschränkt.
-
- 1
- Gegenstand
- 2
- Schaufel
- 3
- Plattform
- 4
- Kühlöffnungen
- 5
- Außenfläche von
Gegenstand
1 - 6
- Verbund- oder Deck-MCrAlY-Überzug
- 61,62,63,64
- MCrAlY-Schicht
- 7
- Keramische Überzugsschicht
Claims (14)
- Verfahren zum Abscheiden eines MCrAlY-Überzugssystems (
6 ,7 ) auf der Oberseite der Außenoberfläche (5 ) eines Gegenstands (1 ) umfassend den Schritt – des Abscheidens von wenigstens drei Schichten (61 ,62 ,63 ,64 ) , bestehend aus MCrAlY mit einer γ/β- oder einer γ/γ'-Struktur oder als γ-feste Lösung, auf der Außenoberfläche (5 ) des Gegenstands (1 ), wobei – wenigstens die Außenschicht (64 ) aller Schichten (61 ,62 ,63 ,64 ) mittels eines Galvanoverfahrens abgeschieden wird. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach Anspruch 1, umfassend den Schritt des Abscheidens von wenigstens drei Schichten (
61 ,62 ,63 ,64 ) , bestehend aus MCrAlY mit einer γ/β- oder einer γ/γ'-Struktur oder als γ-feste Lösung, mit einer Dispersion einer β-Phase in der MCrAlY-Schicht (61 ,62 ,63 ,64 ). - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach Anspruch 1 oder 2, wobei eine Außenschicht (
64 ) im Bereich von 10 bis 100 μm abgeschieden wird. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach Anspruch 3, wobei eine Außenschicht (
64 ) im Bereich von 10 bis 50 μm abgeschieden wird. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach einem der Ansprüche 1 bis 4, umfassend den Schritt des Abscheidens von alternierenden Schichten aus zwei verschiedenen Materialien auf der Außenoberfläche (
5 ) des Gegenstands (1 ). - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach einem der Ansprüche 1 bis 5, umfassend den Schritt des Abscheidens von alternierenden Schichten aus zwei verschiedenen Materialien auf der Außenoberfläche (
5 ) des Gegenstands (1 ), wobei die Dicke einer der alternierenden Schichten (61 ,62 ,63 ,64 ) kleiner ist als die der anderen. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach Anspruch 5 oder 6, umfassend den Schritt des Abscheidens von alternierenden Schichten (
61 ,62 ,63 ,64 ) auf der Außenoberfläche (5 ) des Gegenstands (1 ), wobei eine Schicht aus γ/β-MCrAlY besteht und die andere Schicht aus γ/γ'-MCrAlY besteht. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach einem der Ansprüche 1 bis 7, umfassend den Schritt des Alitierens der Außenoberfläche (
5 ) des Gegenstands (1 ) vor dem Abscheiden der MCrAlY-Schichten (61 ,62 ,63 ,64 ). - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach einem der Ansprüche 1 bis 7, umfassend den Schritt des Alitierens der abgeschiedenen Schichten (
61 ,62 ,63 ,64 ). - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die abgeschiedenen Überzugsschichten (
61 ,62 ,63 ,64 ) einer 2 bis 20 Stunden langen Wärmebehandlung bei einer Temperatur im Bereich von 1000 bis 1150 ºC in Luft, Argon, Wasserstoff oder Vakuum unterworfen werden. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach Anspruch 10, wobei die abgeschiedenen Überzugsschichten (
61 ,62 ,63 ,64 ) einer 2 Stunden langen Wärmebehandlung bei einer Temperatur von 1140 ºC unterworfen werden. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach einem der Ansprüche 1 bis 11, umfassend den Schritt des Abscheidens einer Schicht (
7 ) einer keramischen Wärmesperrschicht (TBC) auf der Oberseite der MCrAlY-Schichten oder der alitierten Schicht. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach einem der Ansprüche 1 bis 12, umfassend den Schritt des Abscheidens der MCrAlY-Schichten (
61 ,62 ,63 ,64 ) mittels eines oder mehrerer der folgenden Verfahren: Galvanoverfahren, ein Wärmespritzverfahren, physikalische Abscheidung aus der Gasphase (PVD), chemische Abscheidung aus der Gasphase (CVD), Hochgeschwindigkeitsflammspritzen (HVOF), Vakuum-Plasmaspritzen (VPS), Niederdruck-Plasmaspritzen (LPPS), atmosphärisches Plasmaspritzen (APS), Aufschlämmung oder Streichen oder Farbspritzen oder Sol-Gel. - Verfahren zum Abscheiden eines Überzugs nach einem der vorstehenden Ansprüche, umfassend den Schritt des Abscheidens eines Überzugs auf der Oberseite der Außenoberfläche (
5 ) eines einkristallin (SX), stängelkristallin (DS) Gegenstands (1 ) oder eines gleichachsigen Gegenstands (1 ).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP03405464A EP1491650B1 (de) | 2003-06-26 | 2003-06-26 | Verfahren für das Auftragen eines mehrschichtigen Systems |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60303283D1 DE60303283D1 (de) | 2006-04-06 |
DE60303283T2 true DE60303283T2 (de) | 2006-11-02 |
Family
ID=33396107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60303283T Expired - Fee Related DE60303283T2 (de) | 2003-06-26 | 2003-06-26 | Verfahren für das Auftragen eines mehrschichtigen Systems |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1491650B1 (de) |
AT (1) | ATE316160T1 (de) |
DE (1) | DE60303283T2 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1837485B8 (de) | 2006-03-24 | 2010-09-22 | Siemens Aktiengesellschaft | Component mit einer Schutzschicht |
EP1795623A1 (de) * | 2005-11-14 | 2007-06-13 | Sulzer Metco AG | Verfahren zum Beschichten eines Grundkörpers mit platinmodifiziertem Aluminid sowie Werkstück |
EP2236651A1 (de) * | 2009-04-01 | 2010-10-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Wärmesperrenbeschichtungssystem für Superlegierung mit hohem Titangehalt und Verfahren zur Anwendung des Substrats mit dem Wärmesperrenbeschichtungssystem |
DE102018218018A1 (de) * | 2018-10-22 | 2020-04-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Auftragschweißen von Nickelbasis-Superlegierungen mittels zweier Pulver, Pulvermischung und Verfahren |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4095003A (en) * | 1976-09-09 | 1978-06-13 | Union Carbide Corporation | Duplex coating for thermal and corrosion protection |
US5238752A (en) * | 1990-05-07 | 1993-08-24 | General Electric Company | Thermal barrier coating system with intermetallic overlay bond coat |
US20020132132A1 (en) * | 2000-12-12 | 2002-09-19 | Sudhangshu Bose | Method of forming an active-element containing aluminide as stand alone coating and as bond coat and coated article |
EP1327702A1 (de) * | 2002-01-10 | 2003-07-16 | ALSTOM (Switzerland) Ltd | MCrAlY-Haftschicht und Verfahren zur Herstellung einer MCrAlY-Haftschichtbeschichtung |
-
2003
- 2003-06-26 DE DE60303283T patent/DE60303283T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2003-06-26 AT AT03405464T patent/ATE316160T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-06-26 EP EP03405464A patent/EP1491650B1/de not_active Revoked
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60303283D1 (de) | 2006-04-06 |
ATE316160T1 (de) | 2006-02-15 |
EP1491650A1 (de) | 2004-12-29 |
EP1491650B1 (de) | 2006-01-18 |
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