DE60210010T2 - Kollimationssystem für Laserdiode - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Kollimationssystem für eine Laserdiode.
  • Laserstrahlmodule, die einen kreisartig geformten, kollimierten Laserausgang mit Hilfe einer Laserdiode erzeugen, eignen sich insbesondere für Violettplatten-Aufzeichnungsmaschinen (Computer-to-plate-Maschinen), die einen kreisförmigen Strahl, einen hohen Wirkungsgrad bei hoher Qualität (einen kleinen Brennpunktfehler, geringen Astigmatismus und einen kleinen Seitenzipfel) von einer Violettlaserdiode benötigen. Zur Formung von Laserdiodenstrahlen wurden viele Verfahren vorgeschlagen, jedoch erfüllen keine davon die Anforderung für diesen Zweck.
  • Bei einem Verfahren werden eine Kollimationslinse und nur eine Apertur zur kreisartigen Formung des Laserstrahls verwendet. Die Apertur vermindert den Durchlassgrad und erzeugt große Seitenzipfel, die durch Beugungswirkungen verursacht werden. Manche Lieferer stellen fast kreisartig geformte Laserdioden her, indem sie mikrooptische Elemente in das "Gehäuse" der Laserdiode einbringen, und solche Laserdioden sind für das Verfahren gut geeignet. Wenn auch der Durchlassgrad kein Thema ist, so ist doch die Position der Kollimationslinse dermaßen empfindlich für die Lage des Brennpunkts, dass sie sehr genau gesteuert werden muss. Weiterhin sind zur Korrektur des Laserdioden, der bei Laserdioden natürlich auftritt, weitere Elemente oder Mittel notwendig.
  • Bei einem zweiten Verfahren werden eine Kollimationslinse und ein Prismenpaar verwendet. Prismen können den Strahl von verschiedenen Laserdioden kreisartig formen, jedoch wird die Kollimation von der Linse bestimmt, und diese muss deshalb sehr genau ausgerichtet werden. Des Weiteren müssen zur Korrektur des Laserdioden einige weitere Mittel verwendet werden. Zur Verkleinerung der Strahlgröße sind weitere optische Elemente erforderlich. Bei Anwendungzwecken, für welche kleine kollimierte Strahlgrößen, beispielsweise von 1mm Durchmesser, notwendig sind, sind Prismen nicht unbedingt die bevorzugte Wahl, da sie im wesentlichen zur Erweiterung (nicht zur Verminderung) von Strahlgrößen verwendet werden, um einen angemessenen optischen Wirkungsgrad sicherzustellen. Daher werden die erforderlichen optischen Elemente wahrscheinlich kompliziert.
  • Bei einem anderen Verfahren werden eine Kollimationslinse und zwei zylindrische Linsen verwendet. Die Linsen lassen sich zur Umwandlung von Strahlengrößen mit lichtschwacher Achsenrichtung verwenden, sie können jedoch bei kleinem, kollimiertem Strahlausgang, beispielsweise von 1mm Durchmesser, auch zur Umwandlung von Strahlengrößen mit lichtstarker Achsenrichtung verwendet werden. Dieses Verfahren eignet sich zur Kollimation und zur Strahlbemessung bei Laserdioden mit begrenztem Aspektverhältnis, bei denen der Umlauf des Strahls durch Anbringen einer Apertur in dem Strahlengang bei geringem oder keinem eingebrachten Verlust des optischen Wirkungsgrades unterstützt werden kann. Ein Beispiel ist in US-A-6044096 beschrieben.
  • Zwar lässt sich der Astigmatismus entlang der zylindrischen Linsen einfach korrigieren, die Ausrichtung der Kollimationslinsen ist jedoch nicht so einfach. Das liegt daran, dass die Laserstrahldivergenz für die lichtschwache Achse von der Position der Kollimationslinse bestimmt wird und sehr empfindlich für diese Lage des Brennpunkts ist und mithin genau ausgerichtet werden muss. Obwohl diese Konstruktion eine angemessene Eignung aufzuweisen scheint, besteht nicht nur die Sorge um die Empfindlichkeit der Kollimationslinsen, sondern auch keine Funktion zur Korrektur des außeraxialen Astigmatismus, der durch einen Oberflächenformfehler oder einen Ausrichtfehler sehr wohl erzeugt werden kann.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst ein Kollimationssystem für eine Laserdiode eine Kollimationslinse zum Empfangen eines Laserstrahls von einer Laserdiode bei Gebrauch; erste und zweite rechtwinkelig angeordnete zylindrische Linsen, die der Laserstrahl durchläuft, wobei die Linsen derart positioniert sind, dass sie eine im wesentlichen gemeinsame Fokalebene aufweisen und im wesentlichen unabhängig von der Divergenz und/oder Konvergenz des Laserstrahls in seiner lichtstarken Achsenrichtung bzw. seiner lichtschwachen Achsenrichtung wirken; und eine konvexe Linse, die der Laserstrahl durchläuft, wobei die konvexe Linse einen Brennpunkt aufweist, der in der gemeinsamen Fokalebene liegt.
  • Mit der vorliegenden Erfindung werden die oben genannten Probleme beseitigt und ein kreisartig geformter, kollimierter Strahl hoher Qualität mit guter optischer Durchlassleistung erzeugt.
  • Die zylindrischen Linsen und konvexen Linsen können in einer Anzahl verschiedener Konfigurationen angeordnet werden, jedoch liegen bei den bevorzugten Anordnungen entweder die zylindrischen Linsen zwischen der Kollimationslinse und der konvexen Linse, oder die zylindrischen Linsen liegen stromabwärts von den Kollimationslinsen und der konvexen Linse.
  • In vielen Fällen wird die erforderliche Kreisform mit den Linsen allein zustande gebracht, jedoch kann in manchen Fällen stromabwärts von sämtlichen Linsen eine Apertur vorgesehen sein, so dass für eine abschließende Korrektur gesorgt ist.
  • Eine Apertur kann auch in der gemeinsamen Fokalebene positioniert sein, um als räumliches Filter zu wirken und die Menge des unerwünschten Lichts, beispielsweise Fluoreszenz oder (Lambertsches) Streulicht von der Laserdiode, zu vermindern.
  • Im Folgenden werden einige Beispiele für Kollimationssysteme gemäß der Erfindung für eine Laserdiode an Hand der anliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen:
  • die 1A, 1B bis 6A, 6B sechs verschiedene Beispiele für Systeme gemäß der Erfindung darstellen;
  • die 7A und 7B eine Draufsicht und eine Seitenansicht einer Montagezeichnung für die Konfiguration gemäß 6 sind; und
  • 8 ein Querschnitt durch die Halteanordnung für die Laserdiode ist.
  • In jeder der 1 bis 7 zeigt das Schema "A" die Teile in der lichtstarken Achsenrichtung und das Schema "B" dieselben in der lichtschwachen Achsenrichtung, wobei sich die lichtstarken und die lichtschwachen Achsen in herkömmlicher Weise auf die betroffene Laserdiode beziehen.
  • Wie in den 1A und 1B zu sehen ist, erzeugt eine Laserdiode LD mithin einen Laserstrahl, der zu einer Kollimationslinse L1 mit hoher numerischer Apertur geführt wird, die derart positioniert und ausgerichtet ist, dass man einen fast kollimierten Strahl von der Laserdiode erhält. Eine sphärische Linse L2 mit niedriger numerischer Apertur und eine Zylinderlinse CYL1 bilden eine optische Erweiterungsvorrichtung zur Korrektur der lichtstarken Achse der Laserdiode L2, und eine weitere Zylinderlinse CYL2 bildet eine optische Erweiterungsvorrichtung zur Korrektur der lichtschwachen Achse. Am Ende des Strahlengangs ist eine Apertur A1 zur Kompensierung einer Restellipzitität angeordnet und formt deshalb den Laserstrahl rund. Die Zylinderachsen der zylindrischen Linsen CYL1 und CYL2 sind rechtwinkelig zueinander angeordnet.
  • Wie in 1 zu erkennen ist, stimmt die Fokalebene der zylindrischen Linsen CYL1 und CYL2 in der bei F gezeigten Weise im wesentlichen überein.
  • In dem Beispiel gemäß 2 ist die Linse L2 stromaufwärts von den zylindrischen Linsen CYL1 und CYL2 angeordnet, ansonsten jedoch ist die optische Anordnung die gleiche, mit einer gemeinsamen Fokalebene F für die zylindrischen Linsen.
  • Diese Konfigurationen besitzen mehrere Vorteile. L1 allein legt nicht die Divergenz des Ausgangsstrahls fest, und deshalb braucht sie nur grob ausgerichtet zu werden. Mit Hilfe von L2 kann eine Divergenz einfach gesteuert werden. Der Durchmesser des kollimierten Laserstrahls lässt sich durch Steuerung der Divergenz (oder Konvergenz) des Ausgangs von L1 einstellen. Mit Hilfe dieses Verfahrens kann die lichtstarke oder lichtschwache Achse des Laserstrahls auf die gewünschte Größe von verschiedenen Laserdioden eingestellt werden.
  • Bei einer anderen Ausgestaltung ist L1 auf Grund der hohen numerischen Apertur für Abweichungen von dem ideal konstruierten Zustand empfindlich. Beispielsweise führt eine Änderung der Wellenlänge oder der Gehäusefensterdicke einer Laserdiode zu Aberration. Solche Aberrationen lassen sich mit der bevorzugten Ausrichtung von L1 und L2 minimieren. Eine von einer Laserdiode erzeugte Divergenz der lichtschwachen und der lichtstarken Achse kann mit Hilfe einer unabhängigen Ausrichtung von CYL1 und CYL gesteuert werden, und daher kann ein Astigmatismus vollständig kompensiert werden. Die Achsen der Elemente CYL1 und CYL2 sind nominell rechtwinkelig. Jeder Fehler in dieser Rechtwinkeligkeit führt zu Astigmatismus von 45°. Der Betrag dieses Astigmatismus ist eine Funktion des Drehwinkels. Mithin kann dieser Astigmatismus von 45° durch Einstellung des Drehwinkels der zylindrischen Linsen vollständig gelöscht werden.
  • Die zylindrischen Linsen sind auf Grund der schwierigen Herstellung vorzugsweise Einzellinsen und müssen deshalb mit kleiner numerischer Apertur verwendet werden, um damit jede eingebrachte Aberration zu minimieren. Durch diese Lösung wird jedoch die Brennweite jeder Linse vergrößert, und daher wird die Gesamtlänge des Lasermoduls größer. Die sphärische Linse L2 kann viellinsig oder eine asphärische Linse sein, und daher kann die Linse die von den Elementen der zylindrischen Linsen erzeugte Aberration kompensieren oder sogar die von der ersten Kollimationslinse L1 erzeugte Aberration kompensieren. Diese Lösung führt zu einem kompakteren Laserdiodenmodul. An der Brennpunktposition in dem Lasermodul kann eine Apertur A2 positioniert werden, die als räumliches Filter wirkt und die Menge des unerwünschten Lichts, d.h. Fluoreszenz oder (Lambertsches) Streulicht von dem Laser, vermindert. Die Apertur A2 führt zu einem verbesserten Löschungsverhältnis des Lasermoduls, wenn die Laserdiode LD auf Ein/Aus moduliert ist. Weiterhin wird zum Rundformung des Strahls eine abschließende Apertur A1 verwendet, da der Strahl jedoch an diesem Punkt in jedem Falle fast rund geformt ist, sind Energieverlust und Beugungswirkungen an dieser Apertur klein.
  • Die 3 bis 6 stellen vier weitere Konfigurationen dar, bei denen eine oder beide von den zylindrischen Linsen CYL1, CYL2 eine negative Krümmung aufweisen.
  • Eine ausführlicheres mechanisches Schema des Beispiels gemäß 6 ist in den 7A und 7B gezeigt. Die Teile sind auf einer Grundplatte 1 angebracht. In eine Laserhalterung 2 wird eine Laserdiode LD geschoben. In einen Linsenhalter 4 ist eine Kollimationslinse 3, vorzugsweise eine aus Glas geformte asphärische Linse, mit hoher numerischer Apertur pressgepasst. Zum Steuern der Temperatur der Laserdiode und der Kollimationslinse wird ein thermoelektrischer Kühler 5 verwendet. Zur Ausrichtung der Polarisierungsachse lässt sich die Laserdiode drehen und kann in den Richtungen X und Y positionsmäßig verschoben werden, um den Emissionspunkt der Diode auf die Achse der Kollimationslinse auszurichten. Zur Einstellung des Divergenzzustands lässt sich die Kollimationslinse 3 nach hinten und nach vorn in Bezug auf die Position der Diode stellen.
  • Zur Korrektur der Verschiebung und des Brennpunktfehlers können die Linsen L2 (sphärisch), CYL1 und CYL2 (zylindrische Linsenelemente) auf ihren jeweiligen Halterungen 68 in den Richtungen X, Y und Z in Bezug auf die Position der Laserdiode verschoben werden. Die Linsenelemente CYL1 und CYL2 lassen sich parallel zu der Laserstrahlachse drehen, um ihre Achsen auf die Laserdivergenzachse auszurichten. Zum Kompensieren des außerachsigen Astigmatismus können weitere, kleine Einstellungen von CYL1 oder CYL2 vorgenommen werden.
  • Zur Beseitigung von unerwünschtem Licht wird eine erste Apertur 10 an der Brennpunktposition angebracht. Eine zweite Apertur 11 wird am Ende des Moduls angebracht. Die Größe der Apertur wird vorgewählt, um die gewünschte Strahlgröße zu erhalten. Die Apertur ist an einer Kardanaufhängung 12 befestigt, so dass sie bei einer Restelliptizität in zwei Achsen gekippt werden kann. Nahe dem Brewsterschen Winkel ist eine Glasplatte 13 angebracht, die einen Strahlteiler bildet, um einen Teil des kollimierten Lichts in Richtung zu einem (nicht gezeigten) Fotodetektor zu reflektieren, der zur Stabilisierung der Leistung mit Rückkopplungssteuerung verwendet wird.
  • Wie in 8 zu sehen ist, besteht der Linsenhalter 4 aus zwei Teilen 4A, 4B, wobei das Halterteil 4A in das Halterteil 4B geschoben ist. Sobald der Abstand zwischen der Linse und der Laserdiode eingestellt ist, wird er mit Schrauben fixiert.
  • Wenn auch die meisten Teile des Halters 4 auf Grund der guten Wärmeleitfähigkeit und der Kosten aus Aluminium sind, besteht das Halterteil 4A aus einem anderen Material, um den Kollimationszustand durchweg in einem. Arbeitstemperaturbereich zu halten. Das lässt sich folgendermaßen erläutern:
    Wenn die Halterteile 4A, 4B beide aus Aluminium wären, würde die Änderung der Brennpunktposition df mit der Temperatur folgendermaßen erfolgen: Df = (ft – f × a) × t
  • f:
    Brennweite der Linse
    a:
    Wärmedehnung des Halterteils 4A und des Halterteils 4B
    ft:
    Brennweitenänderung der Linse pro Grad C
    t:
    Temperaturdifferenz (Grad C)
  • Wenn nicht f × a = ft, würde sich der Kollimationszustand sehr stark ändern. Wenn beispielsweise a = 23 × 10e-6, f = 4mm und ft = 150 × 10e-6mm/Grad, dann df = 58 × 10e-6mm/Grad.
  • Wenn für das Halterteil 4A ein anderes Material verwendet wird, würde die Formel folgendermaßen lauten: df = (ft – f × a – l × (a – b)) × t
  • b:
    Wärmedehnung des Materials des Halterteils 4A
    l:
    Länge des Halterteils 4A
  • In diesem Fall können Material und Länge des Materials des Halterteils 4A derart gewählt werden, dass ft – f × a = l × (a – b). Wenn das Halterteil 4A beispielsweise aus Silberstahl (b = 1l × 10e-6) bestände und l = 5mm, dann df = –2 × 10e-6mm/Grad.

Claims (11)

  1. Kollimationssystem für eine Laserdiode, mit einer Kollimationslinse (L1) zum Empfangen eines Laserstrahls von einer Laserdiode (LD) bei Gebrauch; ersten und zweiten rechtwinkelig angeordneten zylindrischen Linsen (CYL1, CYL2), die der Laserstrahl durchläuft; und eine konvexe Linse (L2), die der Strahl durchläuft, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten zylindrischen Linsen (CYL1, CYL2) derart positioniert sind, dass sie eine im wesentlichen gemeinsame Fokalebene (F) aufweisen und im wesentlichen unabhängig von der Divergenz und/oder Konvergenz des Laserstrahls in seiner lichtstarker Achsenrichtung bzw. seiner lichtschwachen Achsenrichtung wirken; und dass die konvexe Linse (L2) einen Brennpunkt aufweist, der in der gemeinsamen Fokalebene (F) liegt.
  2. System nach Anspruch 1, wobei die zylindrischen Linsen (CYL1, CYL2) jeweils eine Fokussierleistung mit dem gleichen Vorzeichen aufweisen.
  3. System nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei die zylindrischen Linsen (CYL1, CYL2) zwischen der Kollimationslinse und der konvexen Linse angeordnet sind.
  4. System nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei die zylindrischen Linsen (CYL1, CYL2) stromabwärts von der Kollimationslinse und der konvexen Linse angeordnet sind.
  5. System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kollimationslinse (L1) eine größere numerische Apertur (NA) als die konvexe Linse (L2) aufweist.
  6. System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, des weiteren mit einer ersten Apertur (A2), die sich in der gemeinsamen Fokalebene oder angrenzend an diese befindet.
  7. System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, des weiteren mit einer zweiten Apertur (A1) stromabwärts von allen Linsen, so dass eine abschließende Korrektur der elliptischen Form bereitgestellt wird.
  8. System nach Anspruch 7, wobei die zweite Apertur (A1) auf einer Halterung angebracht ist, so dass die Apertur in zwei Querachsen gekippt werden kann.
  9. System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kollimationslinse (L1) eine NA von mehr als 0,25 aufweist.
  10. System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die konvexe Linse (L2) eine NA von weniger als 0,1 aufweist.
  11. System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kollimationslinse (L1) auf einer Lagerung mit zwei verschiedenen Teilen abgestützt ist, die derart gewählt sind, dass bei Gebrauch der Abstand zwischen der Laserdiode (LD) und der Kollimationslinse innerhalb eines Arbeitstemperaturbereichs konstant gehalten werden kann.
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EP1331709A1 (de) 2003-07-30

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