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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft Sensoren, und genauer gesagt Sensoren,
die zur kapazitiven Messung des Abstandes zu einem entweder ortsfesten
oder vorüberziehenden
Objekt verwendet werden können.
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Hintergrund
der Erfindung
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In
vielen industriellen Messanwendungen gibt es einen Bedarf für einen
Sensor, der bei hohen Betriebstemperaturen dazu verwendet werden
kann, den Abstand zu einem entweder ortsfesten oder vorüberziehenden
Objekt zu messen. Eine typische Anwendung ist die Messung des Spiels
zwischen der Spitze einer Gasturbinenschaufel und dem sie umgebenden
Gehäuse.
In dieser Situation kann die Betriebstemperatur des Sensors 1500°C erreichen.
Andere Anwendungen, einschließlich
der Messung des Füllstandes
von flüssigem
Metall und flüssigem
Glas, haben ähnliche
Betriebstemperaturerfordernisse.
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US-Patent
5,670,593 (BICC plc) beschreibt einen konventionellen Sensor, der
eine metallische oder metall-beschichtete keramische Elektrode aufweist,
die kapazitiv mit dem ortsfesten oder vorüberziehendem Objekt koppelt.
Die Elektrode ist unmittelbar mit dem innersten Leiter eines gewöhnlichen
triaxialen Übertragungskabels
verbunden und von einer metallischen Abschirmung und einer äußeren Ummantelung
umgeben. Die metallische Abschirmung und die äußere Ummantelung sind unmittelbar
mit dem mittleren Leiter bzw. dem äußeren Leiter des triaxialen Übertragungskabels
verbunden. Eine elektrische Isolierung ist zwischen der Elektrode
und der Abschirmung und ebenfalls zwischen der Abschirmung und der
Ummantelung vorgesehen. Die Isolierung kann in der Form gefräster keramischer
Abstandshalter oder abgeschiedener keramischen Schichten ausgebildet
sein.
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Ein
Problem mit diesen konventionellen Sensoren ist, dass sie eine alternierende
Kombination von Metall und keramischen Materialien verwenden. Steigt
die Betriebstemperatur des Sensors, tendieren die metallischen Komponenten
dazu, sich mehr als die keramischen Komponenten auszudehnen. Dies resultiert
oft in Spannungsrissen, die sich in den keramischen Abstandshaltern
oder Schichten bilden und die ihre elektrische Leistungsfähigkeit
reduzieren und sogar zur Auflösung
oder Schichtentrennung der keramischen Komponenten führen können. Dies
bedingt nicht nur den elektrischen Ausfall des Sensors, die Auflösung oder
Schichtentrennung der keramischen Komponenten ermöglicht es
den metallischen Komponenten auch, zu vibrieren, und dies kann zum mechanischen
Versagen der gesamten Sensorbaugruppe führen.
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Hersteller
von Gasturbinen fordern derzeit eine Betriebslebensdauer von wenigstens
20.000 Stunden für
Sensoren, mit denen produktive Modelle ausgerüstet werden sollen. Obwohl
konventionelle Sensoren erfolgreich bei hohen Betriebstemperaturen über kurze
Zeitspannen eingesetzt worden sind, ist es wegen der durch die unterschiedlichen
Temperaturausdehnungseigenschaften der metallischen und keramischen
Komponenten hervorgerufenen inhärenten
Schwäche
der Sensorbaugruppe unwahrscheinlich, dass sie jemals in der Lage
sein wird, die geforderten Betriebslebensdauer einzuhalten.
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Ein
weiteres Problem liegt in der Weise, in der die Elektrode, die Abschirmung
und die äußere Ummantelung
mit dem Übertragungskabel
verbunden sind. In konventionellen Sensorausführungen werden die Leiter des Übertragungskabels
unmittelbar mit der Elektrode, der Abschirmung und der äußeren Ummantelung
in einer Hochtemperaturzone (d.h. einem Teil des Sensors, der im
Betrieb eine erhöhte
Temperatur erreicht) verbunden. Viele Arten von Übertragungskabeln (insbesondere
solche, bei denen die Leiter mittels mineralischer Verbindungen voneinander
isoliert sind) können
nicht bei hohen Temperaturen verwendet werden und versagen oft nach
einer kurzen Zeitspanne. Weiterhin weisen einige konventionelle
Sensoren keine hermetische Abdichtung zwischen dem Übertragungskabel
und dem Rest der Sensorbaugruppe auf. Dies kann es Feuchtigkeit
ermöglichen,
in den Sensor einzudringen, und die Leistungsfähigkeit des Sensors zu reduzieren.
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Abriss der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung stellt einen Sensor zur kapazitiven Messung
des Abstandes zu einem ortsfesten oder vorüberziehenden Objekt bereit, der
eine Elektrode zur kapazitiven Kopplung mit dem Objekt, eine Abschirmung,
welche die Elektrode umgibt und von der Elektrode durch eine Isolationsschicht
elektrisch isoliert ist, umfasst, wobei die Abschirmung innerhalb
einer Ummantelung angeordnet ist und wobei die Elektrode und die
Abschirmung vollständig
aus einem elektrisch leitfähigen
keramischen Material gebildet sind und die Isolationsschicht und die
Um mantelung vollständig
aus einem elektrisch nicht leitfähigen
keramischen Material gebildet sind und wobei die elektrisch leitfähigen und
elektrisch nicht leitfähigen
keramischen Materialien so gewählt sind,
dass sie ähnliche
thermische Ausdehnungskoeffizienten besitzen.
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Weil
die Elektrode aus einer elektrisch leitfähigen Keramik gebildet ist,
kann der Sensor bei höheren
Betriebstemperaturen als konventionelle Sensoren, die metallische
oder metall-beschichtete keramische Elektroden verwenden, eingesetzt
werden. Die Ummantelung kann von jeder die Installationserfordernisse
erfüllenden
Form oder Größe sein.
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Die
Abschirmung isoliert die Elektrode von jeder externen elektrischen
Interferenz. Die Abschirmung kann aus einem massiven Stück elektrisch
leitfähiger
Keramik gebildet sein. Die Abschirmung kann jedoch auch eine dünne elektrisch
leitfähige
keramische Schicht sein, die auf die Isolationsschicht mittels konventioneller
Beschichtungstechniken abgeschieden ist. Die Verwendung einer abgeschiedenen
keramischen Schicht vereinfacht sowohl die Ausführung des Sensors als auch
die spätere
Montage stark. Die Isolationsschicht ist vorzugsweise als gefräster, elektrisch
nicht leitfähiger
keramischer Abstandshalter ausgebildet. Die Verwendung einer keramischen Schicht
mit einem thermische Ausdehnungskoeffizienten, der sowohl dem der
Isolationsschicht als auch dem der Ummantelung ähnlich ist, bedeutet, dass
die Beschichtung nicht dazu tendiert, sich im Betrieb in ihre Schichten
aufzulösen,
was bei metallischen Ummantelungen, die unterschiedliche thermische
Ausdehnungscharakteristiken aufweisen, möglich ist.
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Weil
die elektrisch leitfähige
Keramik und die elektrisch nicht leitfähige Keramik so gewählt sind, dass
sie ähnliche
thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, bleibt die Sensorbaugruppe
bei hohen Betriebstemperaturen praktisch spannungsfrei. Die Elektrode
und die Abschirmung können
beispielsweise aus SiC und die Isolationsschicht und die Ummantelung
können
aus SiN gebildet sein. Die Elektrode, die Abschirmung und die Ummantelung können mittels
Standard-Diffusions-Bonding oder Vakuum-Schmorverfahren aneinander
gebondet werden, um eine integrale keramische Struktur ausbilden.
Das Bonding stellt eine hermetische Abdichtung zwischen den Komponenten
bereit, die den Eintritt von Feuchtigkeit in die Sensorbaugruppe
und das Übertragungskabel
verhindert.
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Der
Sensor kann „unverlierbar" ausgeführt sein,
so dass, sollte irgendeine der keramischen Komponenten aus irgendeinem
Grund versagen, diese in der übergeordneten
Sensorbaugruppe zurückgehalten
werden.
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Anstatt
die Leiter des Übertragungskabels unmittelbar
an der Elektrode und die Ummantelung in einer Hochtemperaturzone
des Sensors anzuschließen,
werden die Leiter vorzugsweise mit elektrisch leitfähigen Verbindungen
(„Brücken") verbunden, die ihrerseits
mit der Elektrode und der Ummantelung verbunden sind. Die elektrisch
leitfähigen
Verbindungen erstrecken sich von der Stirnfläche der Elektrode (d.h. der
Fläche,
die dem verwendeten Objekt zugewandt ist) weg, so dass die Verbindung
zwischen den Leitern und der elektrisch leitfähigen Verbindung in einer Niedrigtemperaturzone
am hinteren Ende des Sensors stattfindet.
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Wenn
der Sensor keine Abschirmung beinhaltet (wobei ein solcher Sensor
außerhalb
des Geltungsbereichs dieser Erfindung liegt), dann kann ein einen
inneren Leiter und einen äußeren Leiter
aufweisendes Koaxial-Übertragungskabel
verwendet werden. Der innere Leiter wird vorzugsweise mittels einer
ersten elektrisch leitfähigen
Verbindung mit der Elektrode verbunden und der äußere Leiter wird vorzugsweise
mit der Ummantelung mittels einer zweiten elektrisch leitfähigen Verbindung
verbunden. Die erste elektrisch leitfähige Verbindung verläuft vorzugsweise
durch in der Ummantelung und der zweiten elektrisch leitfähigen Verbindung
vorgesehene Aussparungen.
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Die
Verbindung zwischen den Leitern und den elektrisch leitfähigen Verbindungen
wird vorzugsweise mittels eines Adapters hergestellt. Der Adapter
kann so ausgebildet sein, dass er eine Vielzahl verschiedener Arten
und Durchmesser von Übertragungskabeln
aufnehmen kann. Weiterhin kann der Adapter in Abhängigkeit
von den Installationserfordernissen des Sensors die Leiter in einer Vielzahl
verschiedener Ausrichtungen an die elektrisch leitfähigen Verbindungen
anschließen.
Beispielsweise können
die Leiter so verbunden werden, dass das Übertragungskabel sich von der
Stirnfläche der
Elektrode im Wesentlichen parallel zu den elektrisch leitfähigen Verbindungen
weg erstreckt. Alternativ hierzu können die Leiter so verbunden
werden, dass sich das Übertragungskabel
im Wesentlichen im rechten Winkel zu den elektrisch leitfähigen Verbindungen
erstreckt. Andere Ausrichtungen sind ebenfalls möglich.
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In
dem Fall der Erfindung, in dem der Sensor eine Abschirmung beinhaltet,
kann ein einen innersten Leiter, einen mittleren Leiter und einen äußeren Leiter
aufweisendes triaxiales Übertragungskabel verwendet
werden. Der innerste Leiter ist vorzugsweise mittels einer ersten
elektrisch leitfähigen
Verbindung mit der Elektrode verbunden, der äußere Leiter ist vorzugsweise
mittels einer zweiten elektrisch leitfähigen Verbindung mit der Ummantelung verbunden
und der mittlere Leiter ist vorzugsweise mittels einer dritten elektrisch
leitfähigen
Verbindung mit der Abschirmung verbunden. Die erste elektrisch leitfähige Verbindung
verläuft
vorzugsweise durch in der Isolationsschicht, der Abschirmung, der
dritten elektrisch leitfähigen
Verbindung, der Ummantelung und der zweiten elektrisch leitfähigen Verbindung vorgesehene
Aussparungen. Auf ähnliche
Weise verläuft
die dritte elektrisch leitfähige
Verbindung vorzugsweise durch in der Ummantelung und der zweiten
elektrisch leitfähigen
Verbindung vorgesehene Aussparungen.
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Die
elektrisch leitfähigen
Verbindungen können
aus Metall oder elektrisch leitfähiger
Keramik gebildet werden und sind vorzugsweise mit der Elektrode,
der Ummantelung und der Abschirmung mittels Standard-Diffusionsbonding
oder Vakuum-Schmorverfahren
verbunden. Obwohl es allgemein bevorzugt wird, dass die Verbindungen
aus einer elektrisch leitfähigen
Keramik gebildet sind, können
Metallverbindungen verwendet werden, weil sie in einer gemäßigten Temperaturzone
mit der Elektrode, der Abschirmung und der Ummantelung verbunden
sind und daher nicht wesentlich unter den Problemen der thermischen
Ausdehnung leiden. Die elektrisch leitfähigen Verbindungen können in
Abhängigkeit
von der Ausführung
und den Montageerfordernissen des Sensors in jeder Größe oder
Form gefertigt sein.
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Vorzugsweise
wird ein Adapter bereitgestellt, um die zweite und dritte elektrisch
leitfähige
Verbindung an dem äußeren und
mittleren Leiter wie oben beschrieben anzuschließen.
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Die
zweite elektrisch leitfähige
Verbindung kann die Ummantelung im Wesentlichen derart umgeben,
dass sie sich teilweise oder ganz entlang der seitlichen Oberfläche der
Ummantelung erstreckt. Es ist jedoch allgemein bevorzugt, dass sich
die Abschirmung, die Isolationsschicht, die Ummantelung und die
zweite elektrisch leitfähige
Verbindung nicht entlang der Stirnseite der Elektrode erstrecken.
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Die
Verwendung von elektrisch leitfähigen Verbindungen
bedeutet, dass die Sensorbaugruppe hergestellt und getestet werden
kann, bevor sie mittels eines Adapters mit dem Übertragungskabel verbunden
wird. Dies ist nicht möglich
bei konventionellen Sensoren, bei denen das Übertragungskabel während des
Montageprozesses unmittelbar an die Elektrode, die Ummantelung und
die Abschirmung angeschlossen werden muss.
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Die
elektrisch leitfähigen
Verbindungen können
auch mit konventionellen Sensoren und solchen, die Metall-/Keramik-
und Plastik-/Metall-Komponenten verwenden, eingesetzt werden.
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Figuren
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1 ist
eine Schnittansicht eines Sensors ohne Abschirmung;
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2 ist
eine Schnittansicht, die zeigt, wie der Sensor aus 1 mit
einem Koaxial-Übertragungskabel
in einer ersten Ausrichtung verbunden werden kann;
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3 ist
eine Schnittansicht, die zeigt, wie der Sensor aus 1 mit
einem Koaxial-Übertragungskabel
in einer zweiten Ausrichtung verbunden werden kann;
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4a und 4b sind
Schnittansichten, die zeigen, wie die erste elektrisch leitfähige Verbindung
angepasst werden kann, um die Ummantelung des Sensors von 1 im
Wesentlichen zu umgeben;
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5 ist
eine Schnittansicht eines Sensors gemäß einer ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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5a ist
eine Schnittansicht eines Sensors gemäß einer zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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5b ist
eine Schnittansicht eine Sensors gemäß einer dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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6 ist
eine Schnittansicht, die zeigt, wie der Sensor aus 5 mit
einem triaxialen Übertragungskabel
in einer ersten Ausrichtung verbunden werden kann; und
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7 ist
eine Schnittansicht, die zeigt, wie der Sensor aus 5 mit
einem triaxialen Übertragungskabel
in einer zweiten Ausrichtung verbunden werden kann.
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Unter
Bezugnahme auf 1 weist ein „koaxialer" Sensor 1 eine aus einem elektrisch
leitfähigen keramischen
Material gebildete zylindrische Elektrode 2 auf. Eine Stirnseite 3 der
Elektrode 2 zeigt in Richtung eines ortsfesten oder vorüberziehenden Objektes
(nicht gezeigt). Die Elektrode 2 ist in einer Ummantelung 4 angeordnet
und festgebondet, die aus einem elektrisch nicht leitfähigen keramischen Material
gebildet ist. Die elektrisch leitfähigen und elektrisch nicht
leitfähigen
keramischen Materialien sind so gewählt, dass sie ähnliche
thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen und der Sensor 1 bei
hohen Betriebstemperaturen praktisch spannungsfrei bleibt.
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Ein
vorderes Verbindungsstück 5 befindet sich
innerhalb der Ummantelung 4 und ist an einer hinteren Oberfläche 6 der
Elektrode 2 festgebondet. Ein hinteres Verbindungsstück 7 ist
an einer hinteren Oberfläche 8 der
Ummantelung 4 festgebondet. Das vordere Verbindungsstück 5 verläuft durch
in der Ummantelung 4 und dem hinteren Verbindungsstück 7 vorgesehene
Aussparungen, um sich bis hinter das hintere Verbindungsstück zu erstrecken.
Die in dem hinteren Verbindungsstück 7 vorgesehene Aussparung
ist breiter als das vordere Verbindungsstück 5, so dass die
beiden Verbindungsstücke
durch einen ringförmigen
Luftspalt 9 getrennt sind.
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Die
vorderen und hinteren Verbindungsstücke 5, 7 sind
mit den zwei konzentrischen Leitern eines mineralisch isolierten
Koaxial-Übertragungskabels 20 wie
in 2 gezeigt verbunden. Das Übertragungskabel 20 weist
einen inneren Leiter 21 und einen äußeren Leiter 22, die
durch eine mineralische Isolationsschicht 23 voneinander
getrennt sind, auf. Ein elektrisch leitfähiger zylindrischer Adapter 30 wird
verwendet, um das vordere Verbindungsteil 5 an dem inneren
Leiter 21 an einer gemeinsamen Schnittstelle 24 und
das hintere Verbindungsstück 7 an
dem äußeren Leiter 22 anzuschließen. Alternativ hierzu
kann der in 3 gezeigte elektrisch leitfähige Adapter 40 verwendet
werden. Der Adapter 40 ist ausgeführt, das Übertragungskabel 20 so
aufzunehmen, dass die inneren und äußeren Leiter 21, 22 in im
Wesentlichen rechten Winkeln zu den vorderen und hinteren Verbindungsstücken 5, 7 und
der Mittelachse des Sensors 1 befestigt sind.
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Es
kann leicht eingesehen werden, dass die Verwendung des Adapters 30, 40 bedeutet,
dass der „koaxiale" Sensor 1 vollständig montiert
und getestet werden kann, bevor er mit dem Übertragungskabel 20 verbunden
wird. Dies bedeutet außerdem,
dass die vorderen und hinteren Verbindungsstücke 5, 7 und
die inneren und äußeren Leiter 21, 22 in
einer Niedrigtemperaturzone des Sensors 1 miteinander verbunden
werden.
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In
den 1 bis 3 ist das hintere Verbindungsstück 7 ausschließlich an
der hinteren Oberfläche 8 der
Ummantelung 4 ausgebildet. Das hintere Verbindungsstück 7 kann
sich jedoch, wie in 4a und 4b gezeigt,
teilweise oder ganz entlang der Seitenoberfläche 10 der Ummantelung 4 erstrecken.
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Im
Betrieb wird der „koaxiale" Sensor 1 so befestigt,
dass die Stirnfläche 3 der
Elektrode 2 in Richtung des ortsfesten oder vorüberziehenden
Objekts weist. Die Elektrode 2 wird von einem entlang des
inneren Leiters 21 des Übertragungskabels 20 übertragenen
Signal mit Leistung versorgt, so dass die kapazitiv mit dem ortsfesten
oder vorüberziehenden
Objekt koppelt. Die von der Elektrode 2 erfassten Änderungen
der Kapazität
werden entlang des inneren Leiters 21 als Spannungssignale
zurückübertragen
und in Entfernungs-Messungen umgewandelt, so dass der Abstand zwischen
der Elektrode und dem ortsfesten oder vorüberziehenden Objekt berechnet
werden kann.
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Mit
Bezug auf 5 weist ein „triaxialer" Sensor 100 eine
zylindrische, aus einem elektrisch leitfähigen keramischen Material
gebildete Elektrode 102 auf. Eine Stirnfläche 103 der
Elektrode 102 weist in Richtung eines ortsfesten oder vorüberziehenden Objektes
(nicht gezeigt). Die Elektrode 102 ist innerhalb eines
elektrisch nicht leitfähigen
keramischen Abstandhalters 104 angeordnet und an ihm festgebondet.
Die Elektrode 102 und der Abstandshalter 104 sind
in einer elektrisch leitfähigen
keramischen Abschirmung 105, welche die Elektrode von jeder
externen elektrischen Interferenz isoliert, angeordnet und festgebondet.
Die Abschirmung 105 ist in einer Ummantelung 106,
die aus einem elektrisch nicht leitfähigen keramischen Material
gebildet ist, angeordnet und festgebondet. Die elektrisch leitfähigen und elektrisch
nicht leitfähigen
keramischen Materialien sind so gewählt, dass sie einen ähnlichen
thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen.
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Ein
vorderes Verbindungsstück 107 ist
an einer hinteren Oberfläche 108 der
Elektrode 102 festgebondet. Ein Zwischenverbindungsstück 109 ist
an einer hinteren Oberfläche 110 der
Abschirmung 105 festgebondet. Ein hinteres Verbindungsstück 111 ist an
einer hinteren Oberfläche 112 der
Ummantelung 106 festgebondet. Das Zwischenverbindungsstück 109 verläuft durch
in der Ummantelung 106 und dem hinteren Verbindungsstück 111 vorgesehene
Aussparungen, um sich bis hinter das hintere Verbindungsstück zu erstrecken.
Das vordere Verbindungsstück 107 verläuft durch
in dem Abstandshalter 104, der Abschirmung 105,
dem Zwischenverbindungsstück 109 und
dem hinteren Verbindungsstück 111 vorgesehene
Aussparungen, um sich bis hinter das Zwischenverbindungsstück und das
hintere Verbindungsstück
zu erstrecken. Die in dem hinteren Verbindungsstück 111 vorgesehene
Aussparung ist breiter als das Zwischenverbindungsstück 109,
so dass die beiden Verbindungsstücke
durch einen ringförmigen
Luftspalt 113 voneinander getrennt sind. Auf ähnliche
Weise ist die im Zwischenverbindungsstück 109 vorgesehene
Aussparung breiter als das vor dere Verbindungsstück 107, so dass die
beiden Verbindungsstücke
durch einen ringförmigen
Luftspalt 114 voneinander getrennt sind.
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Mit
Bezug auf 5a kann die in 5 gezeigte
elektrisch leitfähige
Abschirmung 105 durch eine dünne elektrisch leitfähige keramische
Schicht 105a ersetzt werden, die auf dem Abstandshalter 104 mittels
konventioneller Techniken abgeschieden ist. Die keramische Schicht 105a berührt das
Zwischenverbindungsstück
und funktioniert in genau derselben Weise wie die Abschirmung 105.
Die Verwendung einer dünnen
abgeschiedenen keramischen Schicht 105a ermöglicht es,
den Abstandhalter 104 zu vergrößern, was zu einer Verbesserung
der Stärke und
Robustheit des Sensors führt.
Der resultierende Sensor ist wegen der Vereinfachung der gesamten Sensorausführung auch
leichter zu montieren.
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Mit
Bezug auf 5b kann die elektrisch leitfähige, in 5 gezeigte
keramische Abschirmung 105 durch eine dünne elektrisch leitfähige keramische
oder metallische Schicht 105b ersetzt werden, die auf die
innere Oberfläche
der elektrisch nicht leitfähigen äußeren Ummantelung 106 mittels
konventioneller Abscheidetechniken abgeschieden ist. Die leitfähige Schicht 105b berührt das
Zwischenverbindungsstück
und funktioniert in genau der gleichen Weise wie die Abschirmung 105.
Die Verwendung einer dünnen
abgeschiedenen keramischen Schicht 105b ermöglicht es,
den Abstandhalter 104 zu vergrößern, was zu einer Verbesserung
der Leistungsfähigkeit
des Sensors führt.
Der Sensor ist außerdem wegen
der Vereinfachung der gesamten Sensorausführung leichter zu montieren.
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Die
vorderen, mittleren und hinteren Verbindungsteile 107, 109, 111 sind
mit den drei konzentrischen Leitern eines mineralisch isolierten
triaxialen Übertragungskabels 50,
wie in 6 gezeigt, verbunden. Das Übertragungskabel 50 weist
einen innersten Leiter 51, einen mittleren Leiter 52 und
einen äußeren Leiter 53 auf,
die durch mineralische Isolationsschichten 54 voneinander
getrennt sind. Ein elektrisch leitfähiger zylindrischer Adapter 60 wird
verwendet, um das vordere Verbindungsteil 107 mit dem innersten
Leiter 51 an einer gemeinsamen Schnittstelle 55,
das Zwischenverbindungsstück 107 an dem
Zwischenleiter 52 und das hintere Verbindungsstück 111 an
dem äußeren Leiter 53 anzuschließen. Alternativ
hierzu kann der in 7 gezeigte elektrisch leitfähige Adapter 70 verwendet
werden. Der Adapter 70 ist ausgeführt, das Übertragungskabel 50 so
zu empfangen, dass die innersten, mittleren und äußeren Leiter 51, 52 53 im
Wesentlichen in rechten Winkeln mit den vorderen, mittleren und
hinteren Verbindungsstücken 107, 109, 111 und
der Symmetrielinie des Sensors 100 verbunden sind.
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Der „triaxiale" Sensor 100 weist
dieselben technischen Vorzüge
auf und kann auf die gleiche Weise wie der „koaxiale" oben beschriebene Sensor 1 betrieben
werden. Es kann leicht eingesehen werden, dass verschiedene Messelektroniken
mit den „koaxialen" und „triaxialen" Sensoren verwendet
werden können.