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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Laser-Belichtungsgerät für eine Platte,
insbesondere eine gedruckte Leiterplatte.
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Man
kennt gegenwärtig
eine bestimmte Anzahl von Techniken, die Laserstrahlen für die Ausführung gedruckter
Schaltungen, genauer gesagt zur Umsetzung eines der Schritte dieses
Verfahrens, das in der Definition der Leiterbahnen der gedruckten Schaltung
mittels der auf ihrem Isolierträger
realisierten Metallisierungsschicht besteht, einsetzen. Diese Techniken
können
darauf beruhen, daß sie
entweder den Zustand einer Reserveschicht mit Hilfe des Laserstrahls ändern oder
eine direkte Ablation der Reserveschicht zur Freilegung der Metallisierungsschicht
ausführen
oder schließlich
keine Reserveschicht verwenden und eine direkte Ablation der Metallisierungsschicht
mit Hilfe des Laserstrahls vornehmen. Die vorliegende Erfindung
betrifft diese drei Verfahren, die einen Laserstrahl einsetzen.
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Bei
einer solchen Technik wird selbstverständlich jeder Punkt oder jedes
Pixel der Oberfläche der
Nutzzone der gedruckten Leiterplatte durch den Laserstrahl abgetastet,
der entweder im aktiven Zustand oder im unterbrochenen Zustand ist,
je nachdem, ob der entsprechende Punkt gedruckt werden soll oder
nicht. Der Abtastbefehl ist EDV-Mitteln
zugeordnet, die im Speicher Informationen enthalten, die für jedes
Pixel mit seinen Koordinaten den auszuführenden gedruckten oder nicht
gedruckten Zustand geben können.
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Bekannte
Techniken führen
das Abtasten mit Hilfe eines einzigen Laserstrahls aus, der folglich
die vollständige
Oberfläche
der Platte abtasten muß.
Genauer gesagt führt
der Laserstrahl fortlaufende Abtastungen in einer der Richtungen
der Platte aus, wobei diese in die andere Richtung verschoben wird.
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Es
versteht sich, daß bei
großen
gedruckten Schaltungen der Abtastvorgang mit Hilfe eines einzigen
Laserstrahls gemäß den bekannten
Techniken sehr zeitaufwendig sein kann. Es wäre folglich interessant, ein
Belichtungsgerät
zu schaffen, in welchem die Abtastung gleichzeitig durch mehrere
Laserstrahlen ausgeführt
wird, wobei jeder Laserstrahl eine Zone der gedruckten Schaltung
abtastet.
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Es
ist leicht verständlich,
daß die
gleichzeitige Verwendung mehrerer Abtastlaserstrahlen nicht aus
einer einfachen Aneinanderreihung von Vorrichtungen, die jeweils
einen einzigen Abtastlaserstrahl verwenden, hervorgehen kann. Man
versucht, daß die
Erzielung einer Kontinuität
der Ausführung
der gedruckten Schaltung von einer Abastzone zur anderen Abtastzone
spezifische Probleme aufwirft.
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Daneben
ist hervorzuheben, daß zur
Erzielung einer sehr genauen Definition der Leiterbahngeometrie
Laserstrahlen eingesetzt werden, deren Auftreffdurchmesser auf den
Platten 20 μm
beträgt.
Jedoch aufgrund der ungleichmäßigen Energieverteilung
in diesem Kreis einerseits und der Verschachtelung der Auftreffstellen
beim Abtasten andererseits, läuft
alles ab, als ob die durch eine Auftreffstelle gedruckte Oberfläche der
Platte ein Quadrat von 12,7 mal 12,7 μm wäre. Die Länge von 12,7 μm bildet
folglich die Definitionseinheit der verschiedenen Motive, die auf
der Platte in den zwei orthogonalen Richtungen der Platte auszuführen sind.
Um die Genauigkeit der Definitionen zu bewahren, muß der Laserstrahl, der
die gedruckte Leiterplatte prägt,
senkrecht zu ihr sein. Außerdem
muß man
für jede
Zone über
eine Einstellungsbreite in der Richtung der Abtastung des Laserstrahls
verfügen,
um die Positionierabweichungen der verschiedenen Bauteile, die zur
Herstellung und Steuerung des Laserstrahls dienen, zu korrigieren.
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Eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Laser-Belichtungsgerät für Platten zu
schaffen, das mehrere gleichzeitig wirkende Laserstrahlen einsetzt
und dabei dieselbe Definitionsqualität der gedruckten Schaltung
wie beim Einsatz eines einzigen Laserstrahls erzielt.
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Um
diese Aufgabe gemäß der Erfindung
zu erfüllen,
ist das Belichtungsgerät
für eine
Platte, welche eine Nutzlänge
L in einer ersten Richtung Y aufweist, wobei die Länge L in
N fortlaufende Segmente aufgeteilt ist mit einer Länge L/N,
dadurch gekennzeichnet, daß es
folgendes umfaßt:
- – ein
festes Gestell,
- – einen
horizontalen Plattenhalter zur Aufnahme der Platte,
- – Mittel
zum Verschieben des Halters bezogen auf das Gestell in einer zur
Richtung Y der Platte orthogonalen Richtung X
- – Mittel
zur Erstellung von N Hauptlaserstrahlen,
- – Mittel
zur zeitlichen Modulation jedes Hauptlaserstrahls und
- – N
feste optische Blöcke
bezogen auf das Gestell mit einer optischen Achse gemäß einer
Richtung, welche im wesentlichen orthogonal zur Richtung Y ist,
wobei jeder optische Block umfaßt:
- – durch
Ablenkung wirkende Mittel, um anhand eines Hauptstrahls periodisch
einen kontinuierlich abgeleiteten und zeitlich modulierten Strahl
zu erstellen, der entlang der optischen Achse des optischen Blocks
gelenkt wird,
- – einen
Ablenkspiegel, um den Laserstrahl, der in einer orthogonalen Richtung
zur Fläche
X, Y zum Plattenhalter abgelenkt wird, zu lenken, wobei die Länge l1 des
Ablenkspiegels in der orthogonalen Richtung zur optischen Achse
des Blocks, die vom Strahl in jeder Periode getroffen werden kann,
größer als
L/N ist,
- – wobei
die optischen Blöcke
in zwei Einheiten optischer Blöcke
verteilt sind, wobei jede Einheit N/2 Blöcke umfaßt, wenn N gerade ist und Blöcke, wenn N ungerade ist, wobei
die Blöcke
einer gleichen Einheit in Richtung Y in einer weise nebeneinanderliegen,
daß ihre
Ablenkspiegel im wesentlichen in Richtung Y ausgerichtet sind, wobei
der Abstand in Richtung X zwischen dem Ablenkspiegel der zwei Einheiten
gleich D ist, wobei der Abstand in Richtung Y zwischen den optischen
Achsen von zwei nebeneinanderliegenden optischen Blöcken einer
gleichen Einheit gleich 2L/N ist und der Abstand in Richtung Y zwischen der
optischen Achse eines Blocks einer Einheit und der optischen Achse
eines optischen Blocks der anderen Einheit, die ihm am nächsten liegt, gleich
L/N ist, wobei der abgelenkte Laserstrahl, der durch einen optischen
Block abgestrahlt wird, eine Länge
l1 abtasten kann, die größer ist
als die Länge
des effektiv abzutastenden Segments, so daß der abgelenkte Laserstrahl
gesteuert werden kann, um das Segment der Platte von seinem ersten
Ende bis zu seinem zweiten Ende abzutasten.
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Insbesondere
besteht dank der besonderen Anordnung der optischen Blöcke, die
entlang von zwei parallelen Linien angeordnet sind, wobei die optischen
Blöcke
einer Einheit um einen „halben Schritt" bezogen auf jene
der anderen Einheit verschoben sind, wenn man mit „Schritt" den Abstand zwischen
den optischen Achsen von zwei nebeneinanderliegenden Blöcken derselben
Einheit bezeichnet, eine Möglichkeit
zur Überlappung
der Abtastzonen der verschiedenen optischen Blöcke. Infolge dieser Möglichkeit
zur Überlappung
der Abtastzonen lassen sich Korrekturen durchführen, die den Positionierabweichungen
der verschiedenen Bauteile, die die optischen Blöcke bilden, eigen sind, um
die gewünschte
Genauigkeit hinsichtlich der fortlaufenden Auftreffstellen der Laserstrahlen,
die jede Zone in wirksamer Weise abtasten, effektiv zu erreichen.
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Vorzugsweise
umfassen die durch Ablenkung wirkenden Mittel jedes optischen Blocks:
- – einen
drehbaren Polygonalspiegel mit n Facetten, um den Strahl während der
fortlaufenden festen Perioden, die den Facetten entsprechen, auf kontinuierliche
Weise in einer gleichen Ebene abzulenken, und
- – ein
Objektiv bildende Mittel zur Fokussierung und Lenkung des Strahls,
der fortlaufend durch jede Facette des Polygonalspiegels in Richtung der
optischen Achse und in einer gleichen Ebene, welche die Richtung
Y einschließt,
abgelenkt wird.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform umfassen
die Mittel zur Modulation einen akusto-optischen Modulator, der
den Hauptstrahl empfängt
und an seinem Ausgang die fortlaufenden Strahlen zeitlich während der
festen Perioden bereitstellt.
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Man
sieht, daß der
Befehl des Durchlaß- oder
Nichtdurchlaßzustands
des akusto-optischen Modulators neben der Modulation des Laserstrahls eine
Synchronisation des Zustands des Modulators mit der Drehung des
Polygonalspiegels und damit mit der Position jeder seiner reflektierenden
Flächen
ermöglicht.
Dadurch lassen sich insbesondere Korrekturen, so wie anschließend erläutert, einführen, um die
genaue Positionierung der Enden jedes Abtastsegments zu gewährleisten.
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In
einer bevorzugten Ausführungsform
ist das Gerät
dadurch gekennzeichnet, daß
- – die
Mittel zum Verschieben des Plattenhalters in Richtung X den Halter
auf kontinuierliche Weise mit einer konstanten Geschwindigkeit verschieben,
und
- – die
Richtung der optischen Achse jedes Blocks einen Winkel a mit einer
orthogonalen Richtung Y zum Ausgleich der Wirkung der kontinuierlichen Verschiebung
des Halters in Richtung X bildet.
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Beim
Verschieben des Plattenhalters mit konstanter Geschwindigkeit, was
gegenwärtig
der optimalen Lösung
entspricht, kann durch die Einführung
eines Winkels a die Kontinuität
der durch die Laserstrahlen gleichzeitig abgetasteten Segmente erzielt
werden.
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Andere
Kennzeichen und Vorteile der Erfindung werden beim Lesen der folgenden
Beschreibung mehrerer Ausführungsformen
gemäß der Erfindung,
die als nicht-einschränkende
Beispiele gegeben werden, deutlich. Die Beschreibung nimmt Bezug
auf die beiliegenden Figuren. Es zeigen:
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1 einen
schematischen Aufriss der Einheit des Belichtungsgeräts;
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2 eine
vereinfachte Ansicht des optischen Teils des Belichtungsgeräts;
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3 eine
schematische Ansicht, welche das Abtasten einer Platte durch die
Laserstrahlen zeigt;
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4 eine
Draufsicht der Einheit der optischen Blöcke des Belichtungsgeräts;
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5 eine
Draufsicht eines optischen Blocks;
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6 eine
Seitenansicht desselben optischen Blocks und
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7 die
Möglichkeiten
zur Einstellung der abgetasteten Bereiche durch die verschiedenen
Laserstrahlen.
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Zunächst wird
unter Bezugnahme auf 1 die Einheit des Belichtungsgeräts beschrieben.
Diese umfasst ein Gestell, das ein unteres Teil 12 und ein
oberes Teil 14 aufweist, wobei dieses Gestell selbstverständlich fest
angebracht ist. Das untere Teil 12 des Gestells trägt eine
bewegliche Scheibe 16 zur Aufnahme einer Platte 20.
Die Platte 16 kann in einer Richtung X verschoben werden,
das heißt
in einer zur Ebene der Figur orthogonalen Richtung. Zu diesem Zweck
sind motorangetriebene Kugelumlaufspindelsysteme 18, 19 schematisch
dargestellt. Der Plattenhalter 16 dient zur Aufnahme der
Platte der gedruckten Schaltung 20, die dem Laserstrahl
ausgesetzt werden muß,
um die auf der gedruckten Leiterplatte auszuführenden Leiterbahnen zu definieren.
Das obere Teil 14 des Gestells trägt optische Blöcke, die schematisch
durch Rechtecke 221 bis 226 dargestellt sind. Jeder optische Block
gibt an seinem Ausgang einen Laserstrahl ab, wobei dieser Laserstrahl
eine orthogonale Richtung zur Ebene der Platte 20 hat, das
heißt
eine vertikale Richtung. Die Abtastzonen jedes Laserstrahls sind
symbolisch durch gestrichelte Linien 24 dargestellt, wobei
das Abtasten in der zur Richtung X orthogonalen Richtung Y erfolgt.
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Beim
Gerät,
das als Beispiel im Zusammenhang mit 3 dargestellt
ist, wird das Abtasten des Nutzteils 26 der Platte 20 gleichzeitig
durch sechs Laserstrahlen ausgeführt,
die jeweils in Richtung Y der Zonen Z1,
Z2, Z3, Z4, Z5, Z6 des
Nutzteils der Platte abtasten. Unter Abtasten ist das Verschieben
des Laserstrahls auf kontinuierliche Weise in Richtung Y zu verstehen.
Die Einheit der Verschiebung ist das Pixel, das heißt das kleinste
durch den Laserstrahl auszuführende
Motiv. Im Sonderbeispiel ist das Pixel ein gleichseitiges Viereck
von, wie bereits angegeben, gleich 12,7 μm. In Wirklichkeit hat man während des Abtastens
des Segments S Untersegmente, die einer effektiven Auftreffstelle
des Laserstrahls und den Untersegmenten, wo der Laserstrahl unterbrochen
wird, entsprechen. Die „Einheit" der Breite dieser
Untersegmente ist selbstverständlich
das Pixel. Das Abtasten in der zur Richtung Y orthogonalen Richtung
X wird, wie bereits angesprochen, durch das Verschieben dieser Platte
in Richtung X erhalten. Wenn man mit L die Länge in Richtung Y des Nutzteils 26 der Platte
bezeichnet, muß folglich
jeder Laserstrahl ein Segment S1, S2, usw. mit einer Länge l2 abtasten, wobei
l2 gleich L/N ist. Selbstverständlich
ließe
sich eine andere Anzahl N der Strahlen verwenden.
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Man
sieht, daß zur
Gewährleistung
der Kontinuität
des auszuführenden
Motivs von einer Zone zur benachbarten Zone die letzte Auftreffstelle
des Abtastens, zum Beispiel des Segments S1, um ein Pixel von der
ersten Auftreffstelle des Segments S2 entfernt ist.
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Nun
werden anhand der 2 die wesentlichen Elemente
des optischen Teils des Belichtungsgeräts beschrieben, welche das
gleichzeitige Abtasten der Platte durch die sechs Laserstrahlen
im betrachteten Sonderfall ermöglichen.
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Die
optische Anordnung umfaßt
einen Laser 40, vorzugsweise vom Argontyp, der eine Leistung von
7 W abgibt, falls das Gerät
den Zustand der Reserveschicht ändern
soll. Der vom Laser 40 abgegebene Strahl F wird am Eingang
eines Strahlteilers 42, der diesen Strahl in 6 Strahlen
FD1, FD2, FD3, FD4, FD5, FD6 teilt, angelegt. Vorzugsweise haben
alle geteilten Strahlen FD Leistungen derselben Größenordnung
und weisen eine begrenzte Anzahl von Wellenlängen auf, die außerdem sehr
nahe aneinander liegen sollen.
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Jeder
geteilte Strahl FD wird am Eingang eines akustooptischen Modulators 46 angelegt,
der einer Befehlsschaltung 47 zugeordnet ist. Es ist bekannt,
daß der
Modulator einen Durchlaßzustand oder
einen Nichtdurchlaßzustand,
der die Übertragung
des Laserstrahls unterbricht, annehmen kann. Jeder Strahl, der aus
einem Modulator tritt, wird am Eingang eines optischen Blocks 22 angelegt.
Der optische Block umfaßt
einen optischen Eingang 44 und ein optisches System 48,
das den Strahl in Richtung eines drehbaren Polygonalspiegels 50 lenken
soll. Es ist bekannt, daß sich
der Polygonalspiegel 50 aus mehreren reflektierenden Flächen zusammensetzt. Der
Sonderfall der 2 weist sechs reflektierende Flächen auf.
Bei anderen Ausführungsformen
könnte der
Spiegel zehn Flächen
aufweisen. Der Spiegel 50 wird durch einen Motor 54,
der einer Befehlsschaltung 56 und Positionssensoren zugeordnet
ist, drehangetrieben.
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Es
ist bekannt, daß der
aus dem optischen System 48 austretende Laserstrahl auf
eine Facette 52 des Polygonalspiegels mit einem Einfall,
der kontinuierlich in Abhängigkeit
von der Spiegeldrehung schwankt, auftrifft. Man erhält somit
eine kontinuierliche Ablenkung des durch die Fläche reflektierten Strahls.
Der Winkel, in welchem der reflektierte Strahl durch die Drehung
der Facette des Polygonalspiegels abgelenkt wird, ist symbolisch
durch 58 dargestellt. Die Ablenkung des Strahls durch eine
Facette des drehbaren Spiegels entspricht dem Abtasten eines Segments
S der Platte. Die Definition des Beginns des Abtastens und des Endes
des Abtastens durch den Laserstrahl wird durch die Synchronisierung
des Befehls des Durchlaß-
oder Nichtdurchlaßzustands
des Modulators mit der Drehung des Polygonalspiegels ausgeführt. Dieser
Modulator ist selbstverständlich
während
der Zeitspanne, wo der Laserstrahleinfall von einer Facette des
Spiegels auf die nächste
wechseln sollte, nicht durchlassend. Jede Facette definiert also
eine Abtastperiode, die einem Segment entspricht. Der Strahl wird
am Eingang eines Objektivs 60 angelegt. Das Objektiv 60 hat
die Doppelfunktion, den Laserstrahl zu fokussieren, damit sein Durchmesser
im betrachteten Sonderfall gleich 20 μm ist, das heißt größer als
ein Pixel, und den Strahl in Richtung X'X' der
optischen Achse des optischen Blocks zu lenken.
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Schließlich umfaßt der optische
Block 22 für diese
wesentlichen Elemente einen Ablenkspiegel 62, der orthogonal
zur optischen Achse X'-X' des optischen Blocks
ist. Der Spiegel 62 reflektiert den in einer vertikalen
Richtung abgelenkten Laserstrahl, das heißt in Richtung des Plattenhalters 16 und
damit in Richtung der Platte selber und orthogonal zu ihr. Die Ablenkung
des Strahls ist derart, daß der
abgeleitete Strahl den Spiegel 62 an Punkten trifft, die
sich über eine
Länge l1,
die auf der optischen Achse X'X' zentriert ist, erstreckt.
Die optischen Bauteile sind derart ausgeführt, daß die Länge l1 größer als die Länge l2 ist,
die der Abtastzone Z, welche dem betrachteten Laserstrahl zugeordnet
ist, entspricht.
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Nun
wird anhand von 4 die relative Anordnung der
optischen Blöcke 22,
die im oberen Teil 14 des Gerätegestells befestigt sind,
beschrieben. Im betrachteten Sonderbeispiel gibt es sechs Laserstrahlen
und folglich sechs optische Blöcke 22.
Diese optischen Blöcke
sind in zwei Einheiten von drei nebeneinanderliegenden Blöcken in
zur Richtung X'-X' der optischen Blöcke orthogonaler
Richtung Y'-Y' verteilt. Die optischen
Blöcke
einer gleichen Einheit sind mit einem Abstand von gleich L1 voneinander entfernt, wobei L1 gleich
2L/N ist. Die optischen Blöcke
der zwei Einheiten von jeweils 221 bis 223 und 224 bis 226 sind verschachtelt, das heißt, daß der Abstand
zwischen der optischen Achse eines Blocks einer ersten Einheit zur
optischen Achse eines Blocks der am nächsten liegenden zweiten Einheit
gleich L1/2 ist, das heißt L/N. In dieser Figur ist
ebenfalls die Länge
l1 dargestellt, die der möglichen
Abtastzone durch den Strahl, der durch eine gleiche Fläche des drehbaren
Spiegels abgelenkt wird, entspricht. Man sieht, daß beim Wechsel
von einem optischen Block einer Einheit zum nächsten optischen Block der
anderen Einheit eine Überlappung
zwischen den Längen
l1 der Abtastung durch die entsprechenden Laserstrahlen besteht.
Ebenso besteht aufgrund der Geometrie der optischen Blöcke ein
Abstand D zwischen den Auftreffstellen der Strahlen auf den Ausgangsspiegeln 62 der
optischen Blöcke,
wobei diese Spiegel Blöcken
angehören,
die jeweils zu verschiedenen Einheiten gehören.
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Nun
werden anhand von 7 die Möglichkeiten zur Einstellung
der sechs Laserstrahlen, die dank der erfindungsgemäßen Anordnungen
erhalten wurden, beschrieben. In dieser Figur sind die Zonen Z1 bis Z6, die durch
jeden Laserstrahl effektiv abgetastet werden müssen, gestrichelt dargestellt,
wobei diese Zonen peinlich genau in Richtung Y der Platte nebeneinander
liegen. Die Zonen Z'1 bis Z'6, die jeweils durch die Laserstrahlen abgetastet
werden können,
sind durch Vollstriche dargestellt. Man sieht, daß diese
Zonen die Breite l1 darstellen, die größer als l2 ist, und man sieht
ferner, daß zwischen
der Zone Z'1, die durch den optischen Block 221 der ersten Einheit optischer Blöcke abgetastet
werden kann, und der Zone Z'2, die durch den optischen Block 224 abgetastet werden kann, eine Verschiebung
D in Richtung X der Platte besteht.
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Es
ist somit möglich,
anhand eines geeigneten Befehls des akusto-optischen Modulators 46 jedes
optischen Blocks für
jede Facette 52 des Polygonalspiegels den Augenblick des
Abtastbeginns einer Zone Zi derart zu definieren, daß sie, trotz
der Positionierabweichungen der verschiedenen optischen Systeme,
effektiv dieser Zone entspricht. Man sieht ferner, daß zur effektiven
Erzielung der Abtastung der Zonen Z in Richtung X die akusto-optischen
Modulatoren 46 der optischen Blöcke der ersten Einheit nach den
optischen Modulatoren der optischen Blöcke der zweiten Einheit gesteuert
werden müssen,
damit die Verschiebung D in Richtung X berücksichtigt wird.
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Man
sieht also, daß es
dank der Erfindung möglich
ist, ein kontinuierliches Abtasten der gesamten Nutzzone der Platte
effektiv zu erzielen, obwohl dieses Abtasten durch sechs verschiedene
Laserstrahlen gleichzeitig ausgeführt wird.
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Vorzugsweise
soll das Verschieben der Platte in Richtung X durch die Spindelsysteme 18 und 19 auf
kontinuierliche Weise erfolgen. Dies hätte für jede Abtastung einer Zone
durch einen Laserstrahl zur Folge, daß dieses Abtasten nicht in
Richtung Y, sondern in einer Richtung Y', die einen Winkel a mit dieser Richtung
aufgrund der Zusammensetzung der Verschiebungen in den zwei Richtungen
bildet, stattfinden würde.
Die Tangente des Winkels a entspricht der Beziehung zwischen dem
Abstand in Richtung X mit dem Bezugsbuchstaben r einer Abtastung
zur nächsten
Abtastung und der Länge
l2 der Abtastung einer Zone. Dieser Abstand r entspricht dem Maß des Auftreffens
des Laserstrahls auf die Platte, das 12,7 μm beträgt. Die Tangente des Winkels
a entspricht daher r/l2. Dieser Winkel ist folglich gering. Um dieses
Phänomen
zu vermeiden, werden die optischen Achsen X'X' jedes
optischen Blocks nicht in Richtung X des Gestells gelenkt, sondern
bilden den Winkel a mit dieser Richtung. Selbstverständlich ist
der Winkel a für
die optischen Blöcke
der ersten Einheit und die optischen Blöcke der zweiten Einheit entgegengesetzt
angetragen.
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In 5 und 6 ist
die Ausführungsform eines
optischen Blocks 22 dargestellt. Bei dieser in 4 bis 6 dargestellten
Ausführungsform
ist der akusto-optische Modulator nicht auf dem Sockel des optischen
Blocks angeordnet. Die sechs Modulatoren sind auf einer getrennten
Platine angeordnet, auf welcher auch der Teiler des Strahls befestigt
ist. Mittels dieser Lösung
kann eine peinlich genaue Positionierung der akusto-optischen Modulatoren
bezogen auf die geteilten Laserstrahlen gewährleistet werden. Der optische
Block 22 umfaßt
einen Sockel 80, der auf dem oberen Teil 14 des
Gestells der Maschine durch Organe zur mechanischen Einstellung wie 82 und 84 befestigt
ist. Diese Organe erlauben eine Nachprüfung der Montagetoleranzen
und eine Einführung
des Winkels a, den die optische Achse X'X' des
optischen Blocks mit der Richtung X des Gestells bilden muß. Diese
Mittel zur Einstellung ermöglichen
ferner eine Fehlerkorrektur in der Verschiebungsrichtung X des Halters
bezogen auf die Richtung Y der Platte. In diesem Fall ist der zwischen
der zur Richtung Y der Platte orthogonalen Richtung und der optischen
Achse XX' eingeführte Winkel
gleich b und berücksichtigt
die zwei Korrekturen. Der Ablenkungsspiegel 62 wird auf
dem Sockel 80 mit Hilfe einer Platine 86 angeordnet,
welche die Einstellung der Position des Spiegels 62 bezogen
auf den Sockel mit einer hohen Genauigkeit erlaubt. Ebenso wird
der drehbare Polygonalspiegel 50 mit seinem Motor 54 auf
einer bezogen auf den Sockel 80 einstellbaren Platine 88 befestigt.
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In
diesen Figuren sind ferner das Objektiv 60 und der Spiegel 48,
der den Laserstrahl in Richtung des drehbaren Spiegels 50 ablenkt,
dargestellt.
