DE60019483D1 - Schüsselförmiger DRAM-Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Schüsselförmiger DRAM-Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung

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shaped dram
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Jerome Ciavatti
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STMicroelectronics SA
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
    • H10B12/01—Manufacture or treatment
    • H10B12/02—Manufacture or treatment for one transistor one-capacitor [1T-1C] memory cells
    • H10B12/03—Making the capacitor or connections thereto
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