DE60012473T2 - System und Verfahren zur Temperaturregelung für einen thermisch gesteuerten optischen Schalter mit konstanter Gesamtleistung - Google Patents

System und Verfahren zur Temperaturregelung für einen thermisch gesteuerten optischen Schalter mit konstanter Gesamtleistung Download PDF

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Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die Erfindung bezieht sich allgemein auf optische Schalter und insbesondere auf einen thermisch aktivierten optischen Schalter.
  • HINTERGRUND
  • Fortlaufende Entwicklungen in dem Gebiet der Faseroptiktechnologie haben zu einem verstärkten Gebrauch von optischen Fasern in Telekommunikations- und Datenkommunikationsnetzen geführt. Durch die verstärkte Verwendung der optischen Fasern besteht ein Bedarf an effizienten Peripherieeinrichtungen, die beim Übertragen der Daten durch diese optischen Fasern helfen, wie z.B. optische Schalter. Ein optischer Schalter funktioniert dadurch, daß selektiv eine optische Faser mit einer von zwei oder mehreren alternativen optischen Fasern gekoppelt wird, so daß die zwei gekoppelten optischen Fasern in Kommunikationsverbindung zueinander stehen.
  • Das Koppeln der optischen Fasern, das von einem optischen Schalter ausgeführt wird, kann durch verschiedene Techniken herbeigeführt werden. Bei einer Technik, die von Interesse ist, werden Mikrospiegel verwendet, um selektiv optische Signale von einer optischen Eingangsfaser zu einer ausgewählten optischen Ausgangsfaser zu leiten. In der einfachsten Implementation der Mikrospiegeltechnik ist die optische Eingangsfaser zu einer der zwei optischen Ausgangsfasern ausgerichtet, so daß, wenn der Mikrospiegel nicht im optischen Weg zwischen den zwei ausgerichteten optischen Fasern plaziert ist, die zwei ausgerichteten optischen Fasern sich in einem Kommunikationszustand befinden. Wenn jedoch der Mikrospiegel zwischen die zwei ausgerichteten optischen Fasern eingefügt wird, steuert, d.h. reflektiert, der Mikrospiegel die optischen Signale von der optischen Eingangsfaser zu der anderen optischen Ausgangsfaser. Die Positionierung des Mikrospiegels in und aus dem optischen Weg zwischen den zwei ausgerichteten optischen Fasern kann unter Verwendung eines mikrobearbeiteten Aktuators ausgeführt werden, der mechanisch den Mikrospiegel in die gewünschte Position verlagert.
  • Bei einer anderen Technik, die von Interesse ist, werden thermisch erzeugte Blasen anstelle von Mikrospiegeln verwendet, um selektiv optische Signale von Eingangsfasern zu optischen Zielausgangsfasern zu lenken. Diese Technik wird in einem thermisch aktivierten optischen Schalter implementiert, der in dem US Patent Nr. 5,699,462 von Fouquet et al. offenbart ist, das auf den Inhaber der vorliegenden Erfindung übertragen ist. Ein herkömmlicher thermisch aktivierter optischer Schalter 10 ist schematisch in den 1 und 2 gezeigt. Wie in 1 gezeigt ist, umfaßt der optische Schalter einen Waveguide-Chip 12, einen Heizer-Chip 14 und ein Metallsubstrat 16. Der Waveguide-Chip enthält planare Waveguides 18, wie in 2 gezeigt, die als Medien zum Übertragen optischer Signale dienen. Diese Waveguides bilden eine Matrix von optischen Wegen. Die optischen Wege 20, 22, 24 und 26 dienen zur lateralen Übertragung von optischen Signalen, während die optischen Wege 28, 30, 32 und 34 zur vertikalen Übertragen von optischen Signalen dienen. Der Waveguide-Chip enthält außerdem eine Anzahl von Gräben 36, die an den Schnittstellen der optischen Wege angeordnet sind. Jeder Graben ist so positioniert, daß ein eingehendes optisches Signal aus einem der optischen Wege 20 bis 26 auf den Graben mit einem Einfallswinkel auftrifft, der größer ist, als der kritische Winkel der inneren Totalreflexion (TIR). Wenn ein Graben mit einer Flüssigkeit gefüllt ist, die einen Brechungsindex aufweist, der zu dem des Waveguides paßt, werden optische Signale, die entlang des lateralen optischen Weges propagieren, der sich quer über den Graben erstreckt, durch diesen Graben transmittiert. Wenn jedoch eine Blase in dem Graben gebildet wird, werden die optischen Signale von der Wand des Grabens von dem lateralen optischen Weg in einen vertikalen optischen Weg reflektiert, der den lateralen optischen Weg an dem Ort des Grabens schneidet.
  • Der Heizer-Chip 14 des optischen Schalters 10 umfaßt Heizelemente 38, d.h. Widerstände, und andere elektrische Elemente, wie z.B. Transistoren, um die einzelnen Widerstände zu adressieren. Zur Vereinfachung sind in der 2 nur die Widerstände gezeigt. Der Heizer-Chip ist mit dem Waveguide-Chip 12 so ausgerichtet, daß jeder Widerstand des Heizer-Chips unterhalb eines Grabens 36 des Waveguide-Chips angeordnet ist, wo sich zwei optische Wege schneiden. Die Widerstand stellen die thermische Energie zur Verfügung, um Blasen in den Gräben zu erzeugen. Dadurch kann durch selektives Aktivieren der Widerstände ein heliebiges optisches Signal, das ursprünglich durch die lateralen optischen Wege 20 bis 26 propagiert, zu den vertikalen optischen Wegen 28 bis 34 umgeleitet werden. Der Heizer-Chip ist an einem Metallsubstrat 16 des optischen Schalters angebracht, wie in 1 gezeigt ist. Das Metallsubstrat enthält ein Reservoir 40 der brechungsindexanpassenden Flüssigkeit. Das Re servoir ist mit dem Graben des Waveguide-Chips über Durchgangslöcher (nicht gezeigt) verbunden, die sich durch den Heizer-Chip erstrecken.
  • Um für eine optimierte und gleichbleibende Leistung des thermisch aktivierten optischen Schalters 10 zu sorgen, muß der Heizer-Chip 14 auf einer nahezu konstanten und gleichbleibenden Temperatur gehalten werden. Große Temperaturvariationen an den Schnittbereichen der optischen Wege oder den Kreuzungspunkten, an denen die Blasen erzeugt werden, um optische Signale zu reflektieren, erzeugen erhöhte optische Verluste und ein Übersprechen, sowie Störungen in dem Verhalten der Blasen. Außerdem ist bei Veränderungen der Umgebung eine akkurate und präzise Temperatursteuerung eines thermisch aktivierten optischen N×N-Schalters, wenn N signifikant groß ist, schwierig, weil N Widerstände gleichzeitig aktiviert werden können. Daher kann sich die Gesamtwärmebelastung des Heizer-Chips um bis zu dem N-fachen der Leistung ändern, die an jedem Kreuzungspunkt benötigt wird, was zu großen Temperaturvariationen führt.
  • Eine aktive Temperatursteuereinrichtung 42, wie in 1 gezeigt, kann benutzt werden, um zu versuchen, die Temperaturfluktuationen in dem optischen Schalter 10 zu steuern. Aus konstruktiven Gründen ist jedoch die Temperatursteuereinrichtung mit einem erheblichen Abstand zu dem Heizer-Chip 14 angeordnet, wo die plötzlichen Änderungen der Wärmebelastung erzeugt werden. Wie in 1 gezeigt ist, ist die Temperatursteuereinrichtung unterhalb des optischen Schalters angeordnet. Dadurch sind die Temperatursteuereinrichtung und der Heizer-Chip durch das Metallsubstrat 16 getrennt. Dies impliziert, daß (i) ein Temperaturgradient zwischen dem Heizer-Chip und der Temperatursteuereinrichtung existiert und (ii) jegliche Änderungen in der lokalen Temperatur des Schalters auf einer Zeitskala stattfinden, die durch die Wärmeleitung zwischen den wärmeerzeugenden Widerständen und der aktiven Temperatursteuereinrichtung begrenzt ist. Die Amplitude der Temperaturfluktuationen hängt sowohl von der Leistung ab, die für jeden Widerstand benötigt wird, als auch von dem thermischen Widerstand des Weges zwischen den wärmeerzeugenden Widerständen und der Temperatursteuereinrichtung. Wenn daher die Materialien entlang des Wärmeweges eine geringe thermische Leitfähigkeit aufweisen, ist die Antwortzeit der Temperatursteuereinrichtung langsam. Es folgt, daß die Temperatursteuerung auf dem Chip vom Verringern der Leistungserfordernissen der Widerstände und vom Entwickeln von Konstruktionslösungen profitiert, welche den Wärmeübertrag zwischen den Bereichen der Wärmeerzeugung und der Wärmeableitung maximieren.
  • Obgleich die vorhergehenden Ansätze zu einer verbesserten Temperatursteuerung auf dem Chip für einen thermisch aktivierten optischen Schalter führen, ist eine weitere Verbesserungen einer Temperatursteuerung erstrebenswert. Daher besteht ein Bedarf an einer thermisch aktivierten optischen Schaltereinrichtung und an einem Verfahren zum Verbessern der Temperatursteuerung der Schaltereinrichtung.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung ist durch die unabhängigen Ansprüche 1 und 6 definiert.
  • Eine optische Schaltereinrichtung und ein Verfahren zum Bereitstellen einer Temperatursteuerung für die Vorrichtung benutzen eine thermische Kompensationsenergie, um eine gleichbleibende Betriebstemperatur zu erhalten. Die optische Schaltereinrichtung kann ein thermisch aktivierter optischer Schalter sein, der optische Signale unter Verwendung von Blasen leitet, die strategisch entlang der optischen Wege in der Vorrichtung erzeugt oder manipuliert werden. Die Blasen werden durch eine thermische Energie erzeugt, die durch Schaltheizelemente generiert wird. Die thermische Kompensationsenergie kann durch wenigstens ein Kompensationsheizelement oder durch wenigstens ein Schaltheizelement erzeugt werden, das nicht aktuell für eine optische Schaltung, d.h. zum Erzeugen von Blasen, benutzt wird. Die thermische Kompensationsenergie wird so variiert, daß die von der Vorrichtung erzeugte thermische Gesamtenergie konstant ist, was zu einer gleichbleibenden Betriebstemperatur führt.
  • Die Vorrichtung umfaßt einen Waveguide-Chip, einen Heizer-Chip, ein Metallsubstrat und eine Steuereinheit. Der Waveguide-Chip umfaßt mehrere Waveguides, die überschneidende optische Wege festlegen. Damit kann die Vorrichtung eine optische N×M-Schalteinrichtung sein, wobei N optische Eingangswege M optische Ausgangswege schneiden. Der Waveguide-Chip umfaßt außerdem Gräben, in denen Blasen erzeugt werden. Jeder Graben ist an einem Schnittpunkt von optischen Wegen angeordnet, so daß optische Signale entlang eines optischen Eingangsweges zu einem optischen Ausgangsweg an dem Schnittpunkt reflektiert werden, wenn eine Blase in dem Graben vorhanden ist. Der Waveguide-Chip kann aus Silika aufgebaut sein. Der Heizer-Chip umfaßt mehrere Schaltheizelemente, z.B. Schaltwiderstände, und kann ein oder mehrere Kompensationsheizelemente umfassen, z.B. Kompensationswider stände. Diese Schalt- und Kompensationswiderstände werden durch die Steuereinheit gesteuert. Die Steuereinheit umfaßt eine Schaltung, um selektiv elektrische Leistung an diese Widerstände abzugeben. Der Heizer-Chip umfaßt außerdem Fluid-Fülllöcher, die sich durch den Heizer-Chip erstrecken. Diese Fluid-Fülllöcher liefern eine brechungsindexanpassende Flüssigkeit zu den Gräben von einem Reservoir in dem Metallsubstrat.
  • In einer ersten Ausführungsform umfaßt der Heizer-Chip N×M Schaltwiderstände. Der Heizer-Chip umaßt außerdem zusätzliche N Widerstände, die als Kompensationswiderstände wirken. Die Kompensationswiderstände sind über den Heizer-Chip verteilt, um die Quelle der Wärmeerzeugung zu verteilen und um die Wahrscheinlichkeit von lokalen Temperaturgradienten zu verringern. In dieser Ausführungsform ist die Steuereinheit so konfiguriert, daß gleichbleibend N Schalt- und/oder Kompensationswiderstände aktiviert werden, unabhängig von der optischen Schaltkonfiguration der Vorrichtung. Die Kompensationswiderstände erzeugen eine variable thermische Kompensationsenergie, so daß die thermische Gesamtenergie, die von der Vorrichtung erzeugt wird, für verschiedene Schaltkonfigurationen konstant bleibt.
  • Im Betrieb werden X (0≤X≤N) Schaltwiderstände selektiv durch die Steuerschaltung aktiviert, um Blasen in den Gräben zu erzeugen, an denen für die aktuelle optische Schaltkonfiguration eine Reflexion notwendig ist. Falls X gleich N ist, entspricht die thermische Energie, die durch die aktivierten Schaltwiderstände erzeugt wird, der gewünschten thermischen Gesamtenergie. In diesem Fall brauchen keine Kompensationswiderstände aktiviert zu werden. Falls jedoch X kleiner als N ist, ist die thermische Energie, die von den Widerständen erzeugt wird, kleiner als die gewünschte thermische Energie. In diesem Fall aktiviert die Steuereinheit N-X Kompensationswiderstände, wobei für jeden Kompensationswiderstand die gleiche elektrische Leistung verwendet wird, die an jeden Schaltwiderstand abgegeben wird. Das heißt, in jeder Spalte von Schaltwiderständen, in der kein Schaltwiderstand aktiviert ist, wird statt dessen ein Kompensationswiderstand aktiviert. Da N Widerstände für jede beliebige optische Schaltkonfiguration aktiviert werden, bleibt die thermische Gesamtenergie, die von der Vorrichtung erzeugt wird, konstant. Daher wird die Betriebstemperatur der Vorrichtung genauer und einfacher gesteuert. Die elektrische Gesamtleistung, mit der die Schaltwiderstände und/oder die Kompensationswiderstände versorgt werden, ist für jede optische Schaltkonfiguration die gleiche.
  • In einer zweiten Ausführungsform umfaßt der Heizer-Chip immer noch N×M Schaltwiderstände, enthält jedoch keine Kompensationswiderstände. In dieser Ausführungsform wird die thermische Kompensationsenergie durch die Schaltwiderstände entlang jeder Spalte erzeugt, in der keine Schaltwiderstände zum optischen Schalten aktiviert sind. Für jede dieser Spalten wird die elektrische Energie, die für die Schaltzustände benötigt wird, auf jeden Widerstand entlang der Spalte verteilt. Damit ist die gesamte thermische Energie, die von den Widerständen einer dieser Spalten erzeugt wird, gleich zur thermischen Energie, die von einem einzelnen aktivierten Widerstand erzeugt wird. Wenn zur gleichen Zeit N ausreichend groß ist, ist die Leistung, die an jedem Widerstand erzeugt wird, gering und unterhalb der Minimalschwelle zum thermischen Aktivieren einer Blase. Demzufolge wird die thermische Gesamtenergie, die von der Vorrichtung erzeugt wird, auf einem konstanten Wert für verschiedene Schaltkonfigurationen gehalten, was an einer gleichbleibenden Betriebstemperatur entspricht. Die elektrische Gesamtleistung, mit der die Schaltwiderstände versorgt werden, bleibt wieder für jede optische Schaltkonfiguration gleich.
  • In der dritten Ausführungsform umfaßt der Heizer-Chip N×M Schaltwiderstände und einen einzelnen großen Kompensationswiderstand. In dieser Ausführungsform ist die Steuereinheit so konstruiert, daß der Kompensationswiderstand mit einer variablen elektrischen Leistung versorgt wird, um die thermische Kompensationsenergie zu erzeugen. Die Stärke der elektrischen Leistung, mit der der Kompensationswiderstand versorgt wird, hängt von der Zahl der aktivierten Schaltwiderstände für die aktuelle optische Schaltkonfiguration ab, was die thermische Energie bestimmt, die durch die aktivierten Schaltwiderstände erzeugt wird. Dadurch bleibt die thermische Gesamtenergie, die von der Vorrichtung erzeugt wird, für verschiedene Schaltkonfigurationen konstant, wodurch für eine beständige Betriebstemperatur gesorgt wird.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Querschnittsansicht eines thermisch aktivierten optischen Schalters gemäß dem Stand der Technik.
  • 2 ist eine Aufsicht auf den optischen Schalter der 1.
  • 3 ist eine Querschnittsansicht eines thermisch aktivierten optischen Schalters gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 4 ist eine Aufsicht des thermisch aktivierten optischen Schalters der 3.
  • 5 ist eine Aufsicht eines thermisch aktivierten optischen Schalters gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung.
  • 6 ist eine Aufsicht eines thermisch aktivierten optischen Schalters gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung.
  • 7 ist ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zum Bereitstellen einer Temperatursteuerung für einen thermisch aktivierten Schalter gemäß der Erfindung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • Kurzfristige Temperaturfluktuationen in einem thermisch aktivierten optischen Schalter, wieder optische Schalter der 1, beruhen in erster Linie auf der Aktivierung und Deaktivierung von Heizelementen zum Bilden von Blasen, um optische Signale selektiv zu leiten, wobei die Zahl der aktivierten Heizelemente beim Betrieb erheblich variieren kann. Für einen optischen N×M-Schalter kann die Zahl der Heizelemente, die zu einem gegebenen Zeitpunkt aktiviert sind, zwischen 0 und N liegen, abhängig von der aktuellen optischen Kopplungskonfiguration des Schalters. N ist typischerweise die Maximalzahl von Heizelementen, die zu einem gegebenen Zeitpunkt aktiviert sind, da nur ein Heizelement zum Aktivieren für jede Spalte von Heizelementen benötigt wird, die einem optischen Eingangsweg des Schalters entspricht. Die Gesamtmenge der thermischen Energie, die in dem optischen Schalter durch das Aktivieren der Heizelemente zu einem gegebenen Zeitpunkt erzeugt wird, hängt von der Zahl der aktivierten Heizelemente multipliziert mit der Leistung ab, die von jedem Heizelement benötigt wird, um eine Blase zu erzeugen.
  • Die grundlegende Idee der Erfindung ist es, den thermisch aktivierten optischen Schalter mit einer konstanten thermischen Leistung, d.h. einer festen elektrischen Leistung, zu betreiben, so daß der optischen Schalter im wesentlichen auf einer gleichbleibenden Betriebstemperatur gehalten werden kann. Für einen optischen N×M-Schalter ist diese konstante elektrische Leistung das N-fache der zum Aktivieren eines Heizelements benötigten Leistung. Da die meisten optischen Kopplungskonfigurationen des Schalters die Aktivierung von weniger als N Heizelementen erfordern, ist die Stärke der elektrischen Leistung, die von diesen Heizelementen verwenden wird, geringer als die konstante elektrische Leistung. Demzufolge erbringt die thermische Energie, die von den aktivierten Heizelementen erzeugt wird, eine Betriebstemperatur für den optischen Chip, die geringer ist als die gewünschte Temperatur. Die gewünschte Betriebstemperatur kann jedoch erreicht werden, indem die fehlende elektrische Leistung, d.h. die konstante elektrische Leistung weniger der Leistung, die von den aktivierten Heizelementen verwendet wird, auf jene Heizelemente verteilt wird, die nicht aktiviert sind, und/oder auf andere wärmeerzeugende Elemente, um eine thermische Kompensationsenergie zu erzeugen. Die thermische Kompensationsenergie erhöht die Temperatur des Schalters auf die gewünschte Betriebstemperatur. Auf diese Weise kann der optische Schalter auf einer gleichbleibenden Betriebstemperatur gehalten werden. Nachfolgend werden drei Ausführungsformen der Erfindung beschrieben, welche diese Idee der Erzeugung einer thermischen Kompensationsenergie zum Erhalten einer gleichbleibenden Betriebstemperatur benutzen.
  • Mit Bezug auf die 3 und 4 wird ein thermisch aktivierter optischer Schalter 46 gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Der optische Schalter umfaßt einen Waveguide-Chip 48, einen Heizer-Chip 50 und ein Metallsubstrat 52. Der Waveguide-Chip ist vorzugsweise aus Silika hergestellt. Der Waveguide-Chip umfaßt 16 planare Waveguides 54 und 24 zwischenliegende Waveguides 56, welche sich schneidende optische Wege 58, 60, 62, 64, 66, 68, 70 und 72 festlegen, wie in 4 dargestellt ist. Obgleich der optische Schalter als ein 4×4-Schalter gezeigt ist, kann der optische Schalter auch als ein N×M-Schalter konstruiert sein, wobei N und M ganzzahlig sind. Der optische Schalter ist an vier Sätzen optischer Fasern 74, 76, 78 und 80 angebracht, wobei jeder Satz vier optische Fasern umfaßt. Üblicherweise sind die interessantesten Funktionen des optischen Schalters die Funktionen, welche die optische Kopplung der optischen Fasern 76A, 76B, 76C und 76D mit den optischen Fasern 78A, 78B, 78C und 78D bestimmen. Die verbleibenden optischen Fasern können für Add-and-drop-Operationen verwendet werden, oder zur Verbindung mit anderen Schaltern, um größere Schaltmatrizen zu bilden. Der Waveguide-Chip umfaßt außerdem Gräben 82, die mit der brechungsindexanpassenden Flüssigkeit gefüllt werden können und welche die Formierung einer Blase an jedem Schnittpunkt von optischen Wegen ermöglichen. Wie vorhergehend im Zusammenhang mit 1 beschrieben wurde, hängt die optische Kopplung der Waveguides von der Präsenz der brechungsindexanpassenden Flüssigkeit oder einer Blase an einem Waveguide-Schnittpunkt ab.
  • Der Heizer-Chip 50 des optischen Schalters 46 umfaßt 16 Schaltheizelemente 84 und vier Kompensationsheizelemente 86, die auf einem Substrat ausgebildet sind, das aus Silizium hergestellt sein kann. Beide Arten von Heizelementen sind Widerstände, die so konstruiert sind, daß jeder Widerstand die gleiche Menge von thermischer Energie erzeugt, wenn er mit einer vordefinierten Spannung oder einem Strom aktiviert wird. Die Schaltwiderstände wer den benutzt, um Blasen in den Gräben 82 auf dem Waveguide-Chip 48 zu erzeugen, während die Kompensationswiderstände zur Erzeugung einer variablen thermischen Kompensationsenergie verwendet werden, um eine gleichmäßige Betriebstemperatur zu erhalten. Die Art und Weise, in der die Kompensationswiderstände zur Temperatursteuerung verwendet werden, wird nachfolgend beschrieben. Wie in 4 dargestellt, ist jedes Schaltheizelement 84 zu einem Schnittpunkt von optischen Wegen so ausgerichtet, daß eine Blase in dem Graben an dem Schnittpunkt erzeugt werden kann. Die Kompensationswiderstände 86 sind an verschiedenen Orten über den Heizer-Chip verteilt. Die exakten Positionen der Kompensationswiderstände sind für die Erfindung nicht kritisch, fördern jedoch vorzugsweise eine gleichmäßige Wärmeverteilung. Die Kompensationswiderstände sind in 4 gezeigt, um eine mögliche Verteilung der Kompensationswiderstände auf dem Heizer-Chip 50 darzustellen. Der Heizer-Chip umfaßt weiterhin elektrische Wege (nicht gezeigt) und andere elektrische Komponenten (nicht gezeigt), wie Transistoren, die eine selektive Aktivierung der Schalt- und Kompensationswiderstände ermöglichen. Der Heizer-Chip umfaßt außerdem mehrere Fluidzuführungslöcher 88, die sich vollständig durch den Heizer-Chip erstrecken. Diese Fluidzuführungslöcher liefern die brechungsindexanpassende Flüssigkeit zu den Gräben des Waveguide-Chips von einem Reservoir 90 der brechungsindexanpassenden Flüssigkeit, das sich in dem Metallsubstrat 52 befindet.
  • Die elektrischen Komponenten des Heizer-Chips 50, einschließlich der Schalt- und Kompensationswiderstände 84 und 86, sind mit einer Steuereinheit 92 verbunden. Die Steuereinheit umfaßt eine Schaltung, um die elektrischen Komponenten auf dem Chip anzutreiben. Die Steuereinheit kann eine Einheit außerhalb des Chips sein, die mit dem Heizer-Chip über elektrische Zuleitungen verbunden ist. Die Steuereinheit kann jedoch auch teilweise oder vollständig auf dem Heizer-Chip hergestellt sein. Die Steuereinheit dient zur selektiven Aktivierung eines oder mehrerer Schaltwiderstände 84, so daß der optische Schalter 46 eine bestimmte Schaltkonfiguration einnimmt. Zusätzlich aktiviert die Steuereinheit selektiv einen oder mehrere Kompensationswiderstände 86 abhängig von der Zahl der Schaltwiderstände, die aktiviert sind.
  • Das Metallsubstrat 52 des optischen Schalters 46 umfaßt ein Reservoir 90 einer indexanpassenden Flüssigkeit. Vorzugsweise ist das Metallsubstrat aus einem Material hergestellt, das eine hohe thermische Leitfähigkeit besitzt, so daß die aktive Temperatursteuereinrichtung 42 die Temperatur des optischen Schalters regulieren kann. Die Temperatursteuereinrichtung kann ein thermoelektrischer Festkörperkonverter sein. Die Temperatursteuereinrichtung ist thermisch mit dem optischen Schalter 46 gekoppelt.
  • Im Betrieb werden X Schaltwiderstände 84 durch die Steuereinheit 92 aktiviert, um Blasen in ausgewählten Gräben gemäß einer aktuellen Schaltkonfiguration des optischen Schalters zu erzeugen. Die Aktivierung der Schaltwiderstände schließt das Abgeben einer vordefinierten Stärke elektrischer Leistung P ein, um Blasen in einem Graben zu erzeugen, der zu dem Schaltwiderstand ausgerichtet ist. Für den optischen Schalter 46 der 3 und 4 ist X eine ganze Zahl zwischen null und vier, da der optische Schalter selektiv optische Signale aus vier optischen Eingangsfasern 76A, 76B, 76C und 76D zu den optischen Ausgangsfasern 78A, 78B, 78C und 78D leiten kann. Wenn X gleich N ist, werden die Kompensationswiderstände 86 nicht aktiviert. Wenn jedoch X kleiner als N ist, werden außerdem N-X Kompensationswiderstände von der Steuereinheit 92 aktiviert. Dadurch bleibt die Zahl der Schaltwiderstände und Kompensationswiderstände, die aktiviert sind, unabhängig von der Schaltkonfiguration des Schalters 46N. Für eine nachfolgende Schaltkonfiguration des Schalters kann sich die Zahl der Schaltwiderstände und die Zahl der Kompensationswiderstände, die aktiviert sind, ändern, die Gesamtzahl der aktivierten Widerstände, d.h. Schalt- und/oder Kompensationswiderstände, bleibt jedoch die gleiche. Da die Gesamtzahl der aktivierten Widerstände für verschiedene Konfigurationen die gleiche ist, bleibt die thermische Gesamtenergie, die von den aktivierten Widerständen erzeugt wird, für jede mögliche Schaltkonfiguration im wesentlichen die gleiche. Demzufolge ist die elektrische Gesamtleistung, die an die Schalt- und/oder Kompensationswiderstände abgegeben wird, konstant. Damit kann die Betriebstemperatur des optischen Schalters auf einer gleichbleibenden Temperatur gehalten werden.
  • Wenn ein oder mehrere Kompensationswiderstände 86A, 86B, 86C und 86D aktiviert sind, um die thermische Kompensationsenergie zu erzeugen, sollten die ausgewählten Kompensationswiderstände jene sein, die in enger Nachbarschaft zu den optischen Wegen liegen, die in einem Durchleitungszustand sind. Das heißt, es werden Kompensationswiderstände nahe einem oder mehrerer optischer Eingangswege 58, 60, 62 und 64 aktiviert, für die kein Schaltwiderstand 84 aktiviert ist, so daß die optischen Signale über die Fasern 80A, 80B, 80C und 80D übertragen werden, ohne von einer Blase reflektiert zu werden. Wenn umgekehrt der optische Weg 58, 60, 62 oder 64 in einem Reflexionszustand ist, ist einer der Schaltwiderstände entlang dieses optischen Weges zur Erzeugung einer Blase aktiviert, um die optischen Signale auf diesen optischen Eingangsweg zu einem der optischen Ausgangswege 66, 68, 70 und 72 zu reflektieren. Beispielsweise kann der Kompensationswiderstand 86A geheizt werden, wenn der optische Weg 58 in dem Durchleitungszustand ist. Genauso können die Kompensationswiderstände 86B, 86C und 86D individuell beheizt werden, wenn die optischen Wege 60, 62 oder 64 jeweils in einem Durchleitungszustand sind. Auf diese Weise wird die thermische Kompensationsenergie, die von den Kompensationswiderständen erzeugt wird, auf dem Heizer-Chip 50 verteilt, um die Wahrscheinlichkeit zu verringern, daß ein lokalisierter Wärmepunkt auf dem Waveguide-Chip 48 erzeugt wird.
  • Mit Bezug auf 5 ist ein thermisch aktivierter optischer Schalter 94 gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Der thermisch aktivierte optische Schalter 94 umfaßt alle Komponenten des thermisch aktivierten optischen Schalters 46 der 3 und 4 mit Ausnahme der Kompensationswiderstände 86A, 86B, 86C und 86D. Zusätzlich umfaßt der optische Schalter 94 eine Steuerschaltung 96, welche die Steuerschaltung 92 des optischen Schalters 46 ersetzt. Die Steuerschaltung 96 ist ähnlich zu der Steuerschaltung 94. Die Steuerschaltung 96 ist jedoch dafür eingerichtet, einige der Schaltwiderstände 84, die für eine Schaltfunktion nicht aktiviert sind, zur Erzeugung der thermischen Kompensationsenergie zu verwenden. Der Betrieb der Steuereinheit 94 wird nachfolgend beschrieben. Die thermische Kompensationsenergie und die thermische Energie, die von den aktivierten Widerständen erzeugt wird, führt zu der gewünschten thermischen Gesamtenergie zum Erhalten der gleichbleibenden Betriebstemperatur des optischen Schalters 94.
  • Im Betrieb werden X Schaltwiderstände 84, falls notwendig, durch die Steuereinheit 96 zum Erzeugen von Blasen in den Gräben, die zu den aktivierten Widerständen ausgerichtet sind, für die aktuelle optische Kopplungskonfiguration des optischen Schalters aktiviert. Wenn X gleich N (die Zahl der optischen Eingangsfasern, z.B. 76A, 76B, 76C und 76D, die an dem optischen Schalter 94 angebracht sind) ist, entspricht die thermische Energie, die von den aktivierten Schaltwiderständen erzeugt wird, der gewünschten thermischen Gesamtenergie. Daher besteht keine Notwendigkeit, irgendeine thermische Kompensationsenergie in dieser Schaltkonfiguration zu erzeugen. Wenn jedoch X kleiner als N ist, sind ein oder mehrere optische Eingangswege 58; 60, 62 und 64 in dem Durchleitungszustand. Für jeden dieser optischen Wege verteilt die Steuereinheit 96 die Leistung P unter allen Schaltwiderständen entlang dieses optischen Weges. Wie vorhergehend erwähnt, ist P die vordefinierte Stärke der elektrischen Leistung, die an einen einzelnen Schaltwiderstand 84 abgegeben wird, um eine Blase in einem entsprechenden Graben 82 zu erzeugen. Die Steuereinheit kann so konfiguriert sein, um gleichzeitig eine Leistung von P/M an jeden Schaltwiderstand auf einem optischen Eingangsweg abzugeben, der in dem Durchleitungszustand ist. Alternativ kann die Steuerschaltung so konfiguriert sein, daß die elektrische Leistung P über jeden Schaltwiderstand auf diesem optischen Eingangsweg zyklisch verteilt wird, indem die Widerstände sequentiell adressiert werden. Da an jeden Schaltwiderstand eine elektrische Leistung abgegeben wird, die geringer als die Leistung P ist, werden diese Schaltwiderstände nicht genug thermische Energie erzeugen, um Blasen zu bilden. Dadurch wird der Durchleitungszustand des optischen Weges nicht beeinträchtigt.
  • In jeder beliebigen Schaltkonfiguration ist die elektrische Gesamtleistung, welche an die Schaltwiderstände 84 des optischen Schalters 94 abgegeben wird, P mal N. Wenn alle optischen Eingangswege 58, 60, 62 und 64 im Reflexionszustand sind, sind N Schaltwiderstände, einer für jeden optischen Weg, aktiviert. Dadurch ist die elektrische Gesamtleistung, die an die aktivierten Widerstände abgegeben wird, P×N. Wenn jedoch ein oder mehrere optische Weg nicht in dem Durchleitungszustand sind, ist die Leistung P unter allen Widerständen entlang dieser optischen Wege verteilt. Demzufolge bleibt die elektrische Gesamtenergie, die an alle Schaltwiderstände abgegeben wird, immer noch P×N. Im Ergebnis ist die thermische Gesamtenergie, die in dem optischen Schalter 94 erzeugt wird, unabhängig von der Schaltkonfiguration des optischen Schalters konstant. Wenn sich die Schaltkonfiguration ändert, bleibt die thermische Gesamtenergie, die für die Konfiguration erzeugt wird, die gleiche wie bei der vorherigen Konfiguration. Daher bleibt die Betriebstemperatur des optischen Schalters, die von der erzeugten thermischen Energie abhängt, gleichbleibend.
  • Mit Bezug auf 6, wird ein thermisch aktivierter optischer Schalter 98 gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. In diese Figur ist der thermisch aktivierte optische Schalter 98 ohne den Waveguide-Chip 48 gezeigt. Obgleich es nicht gezeigt ist, umfaßt der Waveguide-Chip die Waveguides, die zwischenliegenden Waveguides und die Gräben, wie vorhergehend beschriebenen. Ebenfalls nicht dargestellt ist die Tatsache, daß der Heizer-Chip die Fluidfülllöcher enthält, welche das Fluidreservoir in dem Metallsubstrat mit den Gräben des Waveguide-Chips verbinden. Diese Merkmale des optischen Schalters 98 sind jedoch identisch zu jenen der vorhergehenden Ausführungsformen. Der Heizer-Chip umfaßt auch die Schaltwiderstände 84. In dieser Ausführungsform umfaßt der Heizer-Chip jedoch weiterhin einen großen Serpentinenkompensationswiderstand 100. In einer bevorzugten Konstruktion wird der große Kompensationswiderstand in dem Heizer-Chip unterhalb der Fläche, auf der die Schaltwiderstände angeordnet sind, hergestellt. Das Material und die Form des Kompensationswiderstands können so ausgewählt werden, um einen gewünschten Bereich von thermischer Energie zu erzeugen und um die erzeugte thermische Energie so gleichmäßig wie möglich über den Heizer-Chip zu verteilen. Der Kompensationswiderstand und die Schaltwiderstände des Heizer-Chips sind elektrisch mit einer Steuereinheit 102 verbunden. Die Steuereinheit umfaßt eine Schaltung zum selektiven Betreiben der Schaltwiderstände. Zusätzlich ist die Schaltung des Steuerchips so konfiguriert, um selektiv den Kompensationswiderstand mit einer variablen elektrischen Leistung zu aktivieren, die von der benötigten thermischen Kompensationsenergie abhängt, die von dem Kompensationswiderstand erzeugt werden soll. Die Steuereinheit kann eine Einheit außerhalb des Chips sein, die mit dem Heizer-Chip über elektrische Zuleitungen verbunden ist. Die Steuereinheit kann jedoch auch teilweise oder vollständig auf dem Heizer-Chip hergestellt sein.
  • Im Betrieb werden X Schaltwiderstände 84 durch die Steuereinheit 102 selektiv aktiviert, um Blasen in den Gräben zu erzeugen, die zu den aktivierten Widerständen ausgerichtet sind, um eine aktuelle Schaltkonfiguration des optischen Schalters 89 zu erlangen. Wenn X gleich N ist, entspricht die thermische Energie, die von den aktivierten Schaltwiderständen erzeugt wird, der gewünschten thermischen Gesamtenergie. Somit braucht keine Kompensationsenergie erzeugt zu werden. Wenn jedoch X geringer als N ist, ist die thermische Energie, die von den aktivierten Widerständen erzeugt wird, geringer als die gewünschte thermische Energie. In diesem Fall versorgt die Steuerschaltung den Kompensationswiderstand 100 mit elektrischer Leistung, um eine thermische Kompensationsenergie zu erzeugen, die dem Unterschied zwischen der gewünschten thermischen Gesamtenergie und der thermischen Energie, die von den aktivierten Widerständen erzeugt wird, entspricht. Im Ergebnis bleibt die thermische Gesamtenergie, die in dem optischen Schalter 98 erzeugt wird, unabhängig von der Schaltkonfiguration des optischen Schalters konstant. Wenn sich die thermische Energie, die von den Schaltwiderständen erzeugt wird, für verschiedene Schaltkonfigurationen ändert, wird der Kompensationswiderstand von der Steuerschaltung angeregt, um eine thermische Kompensationsenergie zu erzeugen, die zu der gewünschten thermischen Gesamtenergie führt. Damit bleibt die Betriebstemperatur des optischen Schalters 98 gleichbleibend. Die Konstruktion des Kompensationswiderstands kann so gewählt werden, daß die elektrische Gesamtenergie, die an die Schaltwiderstände und/oder den Kompensationswiderstand abgegeben wird, immer gleich der Leistung P mal N unabhängig von der Schaltkonfiguration des optischen Schalters bleibt. In alternativen Anordnungen kann der optische Schalter 98 zusätzliche Kompensati onswiderstände aufweist, die mit einer variablen elektrischen Leistung versorgt werden, um die gewünschte thermische Kompensationsenergie zu erzeugen.
  • Ein Verfahren zum Bereitstellen einer Temperatursteuerung für einen thermisch aktivierten optischen N×M-Schalter gemäß der Erfindung wird in bezug auf das Ablaufdiagramm der 7 beschrieben. Beim Schritt 104 werden X Schaltwiderstände selektiv mit einer elektrischen Leistung versorgt, um den optischen Schalter in einem bestimmten Schaltzustand zu konfigurieren, wobei 0≤X≤N gilt. Als ein Ergebnis erzeugen diese Schaltwiderstände eine thermische Schaltenergie. Die thermische Schaltenergie hängt von der Anzahl der Schaltwiderstände ab, die aktiviert sind, und von der elektrischen Leistung, die an jeden Schaltwiderstand abgegeben wird. In einem bevorzugten Verfahren werden die Schaltwiderstände mit einer vorbestimmten Stärke elektrischer Leistung versorgt, um in entsprechenden Gräben in einem Waveguide-Chip des optischen Schalters Blasen zu erzeugen. Daher hängt bei diesem bevorzugten Verfahren die thermische Schaltenergie nur von der Zahl der Schaltwiderstände ab, die aktiviert sind. Im nächsten Schritt 106 wird bestimmt, ob X gleich N ist. Falls X gleich N ist, führt das Verfahren zu einem Ende. Wenn jedoch X kleiner als N ist, führt das Verfahren mit dem Schritt 108 fort. Beim Schritt 108 wird eine thermische Kompensationsenergie erzeugt, um eine gewünschte thermische Gesamtenergie zu erzeugen, wobei die thermische Gesamtenergie gleich der Summe der thermischen Schaltenergie und der thermischen Kompensationsenergie ist. Abhängig von der thermischen Schaltenergie wird die thermische Kompensationsenergie variiert, um die gewünschte thermische Energie unabhängig von der aktuellen Schaltkonfiguration des optischen Schalters zu erzeugen. Da die thermische Gesamtenergie bei verschiedenen Schaltkonfigurationen konstant bleibt, wird die Betriebstemperatur des optischen Schalters auf einer im wesentlichen gleichbleibenden Temperatur gehalten.
  • In einer ersten Ausführungsform wird die thermische Kompensationsenergie von einem oder mehreren Kompensationswiderständen erzeugt. In dieser Ausführungsform sind die Kompensationswiderstände strukturell identisch mit den Schaltwiderständen. Die Kompensationswiderstände sind so angeordnet, um jegliche Beeinflussung der Schaltvorgänge zu minimieren. Vorzugsweise sind die Kompensationswiderstände über einem Heizer-Chip des optischen Schalters verteilt, auf dem die Schalt- und Kompensationswiderstände ausgebildet sind. Wenn X Schaltwiderstände aktiviert sind, werden N-X Kompensationswiderstände aktiviert, um die thermische Kompensationsenergie zu erzeugen, wobei N die Zahl der optischen Eingangswe ge des optischen Schalters ist. Damit sind bei jeder Schaltkonfiguration des optischen Schalters N Widerstände aktiviert. Demzufolge wird eine erwünschte thermische Gesamtenergie für verschiedene Schaltkonfigurationen erzeugt, um den optischen Schalter auf einer im wesentlichen gleichbleibenden Betriebstemperatur zu halten.
  • In einer zweiten Ausführungsform wird die thermische Kompensationsenergie von allen Schaltwiderständen entlang einer oder mehrerer Spalten von Widerständen erzeugt, die für das optische Schalten nicht verwenden werden, d.h. den optischen Eingangswegen des Schalters, die in dem Durchleitungszustand sind. In dieser Ausführungsform wird für jede Spalte eine elektrische Leistung P an diese Spalte abgegeben. Die Leistung P ist die benötigte elektrische Leistung für einen Schaltwiderstand, um eine Blase in einem entsprechenden Graben zu erzeugen. Wenn diese Spalte für eine optische Schaltung benutzt wird, wird einer der Schaltwiderstände auf der Spalte mit einer Leistung P versorgt, die diesen Schaltwiderstand aktiviert. Wenn jedoch diese Spalte nicht für eine optische Schaltung benutzt wird, wird die Leistung P über jeden Schaltwiderstand in dieser Spalte verteilt. Dadurch wird an jeden Widerstand eine elektrische Leistung von P/M abgegeben. Da jeder der Schaltwiderstände mit einer Leistung von weniger als P versorgt wird, sind diese Widerstände nicht aktiviert, d.h. sie verursachen keine Erzeugung von Blasen in den entsprechenden Gräben. Im Ergebnis bleibt die thermische Gesamtenergie, die von den aktivierten Widerständen und den Widerständen, die mit der Leistung P/M versorgt werden, für unterschiedliche optische Schaltkonfigurationen konstant. Demzufolge wird der optische Schalter auf einer gleichbleibenden Betriebstemperatur gehalten.
  • In einer dritten Ausführungsform wird die thermische Kompensationsenergie von einem einzelnen großen Kompensationswiderstand erzeugt. In dieser Ausführungsform wird an den einzelnen Kompensationswiderstand eine variable elektrische Leistung abgegeben, um eine thermische Energie zu erzeugen, die gleich der Differenz zwischen der gewünschten thermischen Gesamtenergie und der thermischen Schaltenergie ist, die von den aktivierten Schaltwiderständen erzeugt wird. Damit kann die gewünschte thermische Gesamtenergie für verschiedene Schaltkonfigurationen des optischen Schalters erzeugt werden, was zu einer gleichbleibenden Betriebstemperatur führt.

Claims (10)

  1. Verfahren zur Temperaturregelung für einen thermisch aktivierten Schalter (46; 94; 98) mit mehreren Heizelementen (84, 86A, 86B, 86C, 86D und 100), welches folgende Schritte umfaßt: selektives Versorgen (104) erster Heizelemente (84) mit elektrischer Leistung, um den thermisch aktivierten Schalter in eine aktuelle Schaltkonfiguration zu bringen, die mehrere optische Wege festlegt, wobei die ersten Heizelemente (84) eine thermische Schaltenergie erzeugten, wenn die elektrische Leistung angelegt wird, und Erzeugen (108) einer thermischen Kompensationsenergie, wenn die thermische Schaltenergie unterhalb eines Soll-Energieniveaus liegt, durch Versorgen wenigstens eines anderen Heizelements (84, 86A, 86B, 86C, 86D und 100) mit elektrischer Leistung, ohne die aktuelle Schaltkonfiguration zu beeinflussen, wobei ein Niveau der thermischen Kompensationsenergie auf der thermischen Schaltenergie abgestimmt wird, um eine im wesentlichen konstante thermische Gesamtenergie unabhängig von der Wahl der aktuellen Schaltkonfiguration zu erzeugen, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugung der thermischen Kompensationsenergie entweder: (a) ein Abgeben der elektrischen Leistung an wenigstens ein Kompensationsheizelement (86A, 86B, 86C, 86D und 100) umfaßt, welches nicht in der Lage ist, die Schaltfunktion hinsichtlich des Festlegens der optischen Wege auszuführen, oder (b) ein Abgeben der elektrischen Leistung an das wenigstens ein anderes Heizelement (84) in einer Stärke, die kleiner ist als eine vorgegebene Stärke elektrischer Leistung, die benötigt wird, um die Schaltfunktion auszuführen.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt (a) zum Abgeben der elektrischen Leistung an wenigstens ein Kompensationsheizelement (84, 86A, 86B, 86C, 86D und 100) einen Schritt umfaßt, bei dem das eine Kompensationsheizelement (100) mit einer variablen Menge elektrischer Energie versorgt wird, um die thermische Kompensationsenergie zu erzeugen, wobei das Kompensationsheizelement dazu bestimmt ist, die thermische Kompensationsenergie abzugeben, und nicht in der Lage ist, die opti schen Wege aufzubauen, wobei die Stärke der elektrischen Leistung von der erzeugten thermischen Schaltenergie abhängt.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt zum selektiven Versorgen (104) der ersten Heizelemente (84) mit der elektrischen Leistung einen Schritt umfaßt, bei dem jedes erste Heizelement (84) mit einer vorgegebenen Stärke elektrischer Leistung versorgt wird, und wobei der Schritt (a) zum Abgeben der elektrischen Leistung an wenigstens ein Kompensationsheizelement (84, 86A, 86B, 86C und 86D) einen Schritt umfaßt, bei dem jedes Kompensationsheizelement (86A, 86B, 86C und 86D) mit einer vorgegebenen Stärke elektrischer Leistung versorgt wird, wobei jedes erste Heizelement ein Schaltheizelement ist und jedes Kompensationsheizelement dazu bestimmt ist, die thermische Kompensationsenergie zu erzeugen.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem der Schritt zum Versorgen jedes ersten Heizelements (84) ein Schritt ist, bei dem X Schaltheizelemente (84) mit der elektrischen Leistung versorgt werden, wobei X ganzzahlig ist, und bei dem der Schritt (a) zum Versorgen jedes Kompensationsheizelements (86A, 86B, 86C und 86D) ein Schritt ist, bei dem N-X Kompensationsheizelemente (86A, 86B, 86C und 86D) mit der elektrischen Leistung versorgt werden, wobei N größer als Null ist.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt (b) zum Abgeben der elektrischen Leistung an wenigstens ein anderes Heizelement (84, 86A, 86B, 86C, 86D und 100) einen Schritt umfaßt, bei dem ausgewählte Heizelemente (84) mit der elektrischen Leistung versorgt werden, so daß jedes ausgewählte Heizelement mit der Stärke an elektrischer Leistung versorgt wird, die geringer als die vorgegebene Stärke elektrische Leistung ist.
  6. Schaltsystem (46; 94; 98), welches Folgendes umfaßt: ein Wellenleitersubstrat (48) mit mehreren Datenwegen (58, 60, 62, 64, 66, 68, 70 und 72), welche durch Wellenleiter (74A, 74B, 74C, 74D, 76A, 76B, 76C, 76D, 78A, 78B, 78C, 78D, 80A, 80B, 80C und 80D) festgelegt sind, wobei jeder Datenweg einen ersten Wellenleiter und einen zweiten, durch eine Lücke getrennten Wellenleiter umfaßt; ein Heizsubstrat (50) mit mehreren Heizelementen (84, 86A, 86B, 86C, 86D und 100) und eine Steuerschaltung (92; 96; 102), die funktionell mit den Heizelementen des Heizsubstrats verbunden ist, um die Heizelemente mit elektrischer Leistung zu versorgen, wobei die Steuerschaltung dazu eingerichtet ist, wenigstens ein Heizelement (84) selektiv mit der elektrischen Leistung zu versorgen, um eine gewünschte Schaltkonfiguration zu erlangen, die zu einer Erzeugung einer thermischen Schaltenergie führt, und wobei die Steuerschaltung weiterhin dazu eingerichtet ist, für eine thermische Kompensation zu sorgen, wenn die thermische Schaltenergie unterhalb eines Soll-Energieniveaus liegt, um eine im wesentlichen konstante Gesamtenergie zu erzeugen, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerschaltung dazu eingerichtet ist, die thermische Kompensation in einer Weise aufzubauen, welche getrennt davon ist, die gewünschte Schaltkonfiguration zu erlagen, entweder: (a) durch Abgeben elektrischer Leistung an wenigstens ein Kompensationsheizelement (86A, 86B, 86C, 86D und 100), welches nicht in der Lage ist, die Schaltfunktion hinsichtlich des Festlegens der Datenwege auszuführen, oder (b) durch Abgeben eines verringerten Niveaus von elektrischer Leistung an wenigstens eines der Heizelemente (84), welches ein anderes ist, als die Heizelemente, die benutzt werden, um die gewünschte Schaltkonfiguration zu erlagen, wobei das verringerte Niveau eine Stärke ist, die geringer ist, als eine vorgegebene Stärke elektrischer Leistung, welche benötigt wird, um die Schaltfunktion auszuführen.
  7. System nach Anspruch 6, bei dem das Heizsubstrat (50) eines der Kompensationsheizelemente (100) umfaßt, welches dazu bestimmt ist, für die thermische Kompensation zu sorgen, und bei dem die Steuerschaltung (102) dazu eingerichtet ist, das Kompensationsheizelement mit einer variablen Stärke elektrischer Leistung zu versorgen, wobei das elektrische Heizelement dazu eingerichtet ist, eine thermische Kompensationsenergie zu erzeugen, wenn es mit der variablen Stärke elektrischer Leistung versorgt wird.
  8. System nach Anspruch 7, bei dem das Kompensationsheizelement (100) unterhalb einer Oberfläche des Heizsubstrats (50) angeordnet ist.
  9. System nach Anspruch 6, bei dem das Heizsubstrat (50) mehrere der Kompensationsheizelemente umfaßt, welche dafür bestimmt sind, für die thermische Kompensation (86A, 86B, 86C und 86D) zu sorgen, und bei dem die Steuerschaltung (92) dazu eingerichtet ist, eine ausgewählte Anzahl der Kompensationsheizelemente selektiv mit der elektrischen Leistung zu versorgen, um eine thermische Kompensationsenergie zu erzeugen, wobei die ausgewählte Anzahl von der thermischen Kompensation abhängt, die benötigt wird, um das Soll-Energieniveau zu erreichen.
  10. System nach Anspruch 6, bei dem das Heizsubstrat (50) N×M Schaltheizelemente (84) umfaßt, wobei N und M ganzzahlig sind, und bei dem die Steuerschaltung (96) dazu eingerichtet ist, ausgewählte Schaltheizelemente mit dem verringerten Niveau von elektrischer Leistung zu versorgen, um eine thermische Kompensationsenergie zu erzeugen, um für die thermische Kompensation zu sorgen.
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