DE4437690C2 - Polygonspiegel, Vorrichtung und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Polygonspiegel, Vorrichtung und Verfahren zu seiner Herstellung

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Description

Die Erfindung betrifft einen Polygonspiegel, bestehend aus einem Träger und mehreren jeweils eine Rückfläche und eine Frontfläche aufweisenden Spiegelsegmenten, die mit ihrer Rückfläche auf die Mantelfläche des Trä­ gers definiert gekittet sind.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Justierung der Bestand­ teile des Polygonspiegels bei dessen Herstellung.
Die Erfindung bezieht sich außerdem auf ein Verfahren zur Herstellung eines Polygonspiegels.
Es sind Polygonspiegel bekannt, die aus einem Stück aus Glas oder Metall gefertigt sind.
So ist eine Polygonspiegel-Konstruktion bekannt, die aus einem Kühlkörper­ teil und aus mehreren jeweils eine Spiegelfläche tragenden peripheren Tei­ len besteht, wo bei zwischen dem Kühlkörperteil und den peripheren Teilen zirkulare Schlitze eingearbeitet sind, die von der Oberfläche in die Tiefe ge­ hen, derart, daß eine diese Teile verbindende Materialbrücke verbleibt, die als Gelenk für die Justage der peripheren Teile mit Hilfe von Schrauben dient (US 4,691,998). Die peripheren Teile sind dabei ihrerseits durch ra­ diale Schlitze voneinander getrennt, um ein unabhängiges Justieren jedes einzelnen peripheren Teils zu ermöglichen.
Es sind ferner Polygonspiegel bekannt, deren Spiegelelemente als Einzel­ teile gefertigt werden, die auf Seitenflächen eines Trägers aufgekittet werden, dessen Grund- beziehungsweise Deckfläche ein regelmäßiges Viel­ eck bildet (US 3,040,627; DE 30 07 784). Aus der DE 30 07 784 ist dar­ über hinaus eine Vorrichtung bekannt, mit deren Hilfe die einzelnen auf dem Träger zu befestigenden Spiegelelemente des Polygonspiegels in ihrer Lage justiert werden können. Die Vorrichtung weist dabei einen vieleckigen zylinderförmigen Körper aus Stahl auf, an dessen Umfang Einzelflächen an­ geordnet sind, die in ihrer Lage jeweils der Lage der Spiegelflächen der zu justierenden Spiegelsegmente entsprechen. Der zylinderförmige Körper ist außerdem mit einer Auflagefläche auf seiner planen Deckfläche versehen, auf die der Träger des herzustellenden Polygonspiegels aufgelegt wird. An den genannten Einzelflächen sind Ausrichtplatten befestigt, die über die Auflagefläche des zylinderförmigen Körpers hervorstehen und Referenzflä­ chen bilden, die die Lage der einzelnen auf die Deckfläche aufgelegten Spiegelelemente vorgeben sollen. Die Spiegelelemente werden dabei über ein System von den zylinderförmigen Körper sowie die Ausrichtplatten durchziehenden und in der Referenzfläche mündenden Bohrungen mit Hilfe von Vakuum gehalten, während sie mittels Epoxidharz auf den Träger aufgekittet werden.
Zur Realisierung höchster Genauigkeiten ist diese demontierbare Kittvor­ richtung jedoch nur bedingt geeignet. Die Montage der Teile, insbesondere das Verspannen der Ausrichtplatten beziehungsweise Halterungen an den Einzelflächen kann zu Ungenauigkeiten führen. Außerdem ist diese Vorrich­ tung verhältnismäßig kompliziert aufgebaut.
Des weiteren ist ein Polygonspiegel bekannt, der aus mehreren einen Kern bildenden Elementen besteht, die zusammengesetzt und miteinander ver­ klebt werden (JP 58-2162 02). Auf die Vorderseiten der Elemente werden Spiegelplatten aufgeklebt. Die den Kern bildenden Elemente und die Spie­ gelplatten werden zum Zusammenbau des Polygonspiegels in eine Form eingebracht, die die Anordnung der Spiegelplatten und der Kernelemente relativ zueinander vorgibt und in die Klebematerial gespritzt wird.
Auch diese Vorrichtung ist zum Erreichen höchster Genauigkeiten nur be­ dingt geeignet.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Polygonspiegel, ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Polygonspiegels und eine Vorrichtung zur Justierung der Bestandteile des Polygonspiegels bei dessen Herstellung an­ zugeben, die sich dadurch auszeichnen, daß sie eine vergleichsweise ko­ stengünstige Massenfertigung von Polygonspiegeln höchster, kontrollierba­ rer Präzision ermöglichen.
Die Aufgabe wird mit einem Polygonspiegel, wie er im Anspruch 1 definiert ist, erfindungsgemäß gelöst.
Vorzugsweise Ausführungsformen eines solchen Polygonspiegels sind Ge­ genstand der Unteransprüche 2 bis 4.
Die vorstehend genannte Aufgabe wird darüber hinaus mit einer Vorrich­ tung, wie sie im Anspruch 5 definiert ist, erfindungsgemäß gelöst.
Eine vorteilhafte Ausbildungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, daß in der Oberfläche der Deckfläche im Bereich der Lage der Rückflä­ che eine konzentrisch zur Zylinderachse angeordnete und rinnenförmig ausgebildete Vertiefung als Kittfalle ausgebildet ist.
Die Aufgabe wird ferner mit einem Verfahren, wie es im Anspruch 7 defi­ niert ist, erfindungsgemäß gelöst.
Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich insbesondere dadurch aus, daß durch Beobachtung der Interferenzerscheinung die Paßgenauigkeit der einzelnen Spiegelsegmente schon während des Herstellungsprozesses des Polygonspiegels überwacht werden kann.
Die Erfindung soll nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen und zu­ gehörigen Zeichnungen näher erläutert werden.
In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 einen Polygonspiegel in Draufsicht und in einer Schnittdarstellung,
Fig. 2 ein einzelnes Spiegelsegment in zwei Ansichten,
Fig. 3 eine Vorrichtung zur Justierung der Bestandteile des Poly­ gonspiegels bei dessen Herstellung in Draufsicht und in einer Schnittdarstellung,
Fig. 4 eine Ausrichtplatte in zwei Ansichten,
Fig. 5 den Polygonspiegel gemäß Fig. 1 in der Vorrichtung gemäß Fig. 3 in Draufsicht und in einer Schnittdarstellung und
Fig. 6 ein weiteres Beispiel eines Polygonspiegels in Draufsicht sowie in einer geschnittenen Darstellung.
Der in Fig. 1 dargestellte Polygonspiegel besteht aus einem zylinderförmi­ gen Träger 4 und sechs Spiegelsegmenten 3. Jedes einzelne Spiegelseg­ ment 3 weist eine Rückfläche 9, eine der Rückfläche 9 gegenüberliegende Frontfläche 10 sowie eine als Ausrichtfläche ausgebildete Deckfläche 11 auf (Fig. 2). Die Frontfläche 10 ist dabei in einen optisch reflektierenden Bereich 16 und in einen polierten, optisch transparenten Bereich 17 unter­ teilt. Die Spiegelsegmente 3 sind mit ihrer einen Radius r₂ aufweisenden Rückfläche 9 mittels Kitt 14 auf die in der Zeichnung mit 18 bezeichnete Mantelfläche des Trägers 4 aufgekittet, die einen gegenüber dem Radius r₂ um eine Kittspaltbreite Δr kleineren Radius r1 hat. Die Differenz Δr beträgt etwa 0,1 mm. Der zylinderförmige Träger 4, der aus einem Sinterwerkstoff, Glaskeramik oder aus Glas bestehen kann, ist mit einer konzentrisch zur Zylinderachse 15 angeordneten Zentrierbohrung 22 versehen und verfügt über Deckflächen 13, die im gewählten Beispiel im inneren zur Achse 15 zulaufenden Bereich kalottenförmig hohl geformt sind und die einen äußeren Bereich aufweisen, der als Kreisring 19 ausgebildet ist. Zwischen den benachbarten in Richtung des umlaufenden Durchmes­ sers auf der Mantelfläche 18 des Trägers 4 gleichmäßig verteilt angeordne­ ten Spiegelsegmenten 3 befindet sich jeweils ein bezüglich der Zylinder­ achse 15 radial verlaufender Spalt 24. Diese vorzugsweise gleichfalls mit Kitt 14 ausgefüllten Spalte 24 sind erforderlich, damit die Spiegelsegmente 3 bei der Herstellung des Polygonspiegels in der nachstehend noch zu be­ schreibenden Vorrichtung exakt ausgerichtet werden können, somit eine Überbestimmung vermieden wird.
Beim in Fig. 2 dargestellten einzelnen Spiegelsegment 3 ist neben dem optisch transparenten Bereich 17 auch der optisch reflektierende Bereich 16 plan ausgebildet, und beide Bereiche liegen in einer Ebene. Der optisch reflektierende Bereich 16 kann jedoch bezüglich des optisch transparenten Bereiches 17 auch einen anderen Winkel einnehmen und/oder eine andere geometrische Gestalt aufweisen, zum Beispiel konkav oder konvex zylin­ drisch oder auch konkav oder konvex sphärisch geformt sein. In jedem Fall ist das Spiegelsegment 3 so gefertigt, daß der optisch transparente Bereich 17 einen definierten Winkel zur Deckfläche 11 einnimmt. Im Beispiel be­ trägt dieser Winkel 90°. Um einen hochgenauen Polygonspiegel zu erhal­ ten, muß dieser Winkel bei allen Spiegelsegmenten 3 gleich sein. Die abso­ lute Größe des Winkels ist dabei unkritisch, insofern alle Teile den gleichen Fehler aufweisen.
Fig. 3 zeigt eine Vorrichtung zur Justierung der Spiegelsegmente 3 eines Polygonspiegels gegenüber dem Träger 4. Die Vorrichtung besteht aus einer Grundplatte 1 aus Glas, deren Grund- und Deckfläche 20 ein regelmäßiges Sechseck bildet, sowie aus sechs Ausrichtplatten 2. Die rechteckigen Seitenflächen 12 der Grundplatte 1 sind als Ansprengflächen ausgebildet, die exakt die Lage der Frontflächen 10 der Spiegelsegmente 3 des fertigen Polygonspiegels verkörpern. Die Grundplatte 1 ist mit einer koaxial zur Achse 15 verlaufenden Zentrierbohrung 21 versehen. Im äußeren Bereich bildet die Deckfläche 20 der Grundplatte 1 eine Auflagefläche 7 für die Spiegelseg­ mente 3. Im Bereich der Auflagefläche 7 ist eine konzentrisch zur Achse 15 angeordnete rinnenförmige Vertiefung in die Deckfläche 20 der Grundplatte 1 eingearbeitet. Diese Vertiefung dient als Kittfalle 6 für überschüssigen Kitt 14. Die Ausrichtplatten 2 sind an die Seitenflächen 12 der Grundplatte 1 angesprengt, derart, daß diese etwa 3 mm über die Auflagefläche 7 überstehen. Der überstehende Teil 8 jeder Ausrichtplatte 2 bildet beim Ausrichten jedes zugehörigen Spiegelsegmentes 3 mit dessen optisch transparenten Bereich 17 eine Interferenzkante.
Fig. 4 zeigt eine Ausrichtplatte 2 als Einzelteil. Die aus Glas hergestellte Ausrichtplatte verfügt über eine ansprengfähige rechteckförmige Seitenflä­ che 23. Die Höhe h der Ausrichtplatte 2 ist 3 mm größer als die Höhe der Grundplatte 1. Die Breite b der Ausrichtplatte 2 ist 1 mm kleiner als die Breite der Seitenfläche 12 an der Grundplatte 1.
Die die Maßverkörperung für den Polygonspiegel darstellenden Seitenflä­ chen 12 der Grundplatte 1 müssen nur einmalig hochgenau gefertigt wer­ den. Dabei müssen die Seitenflächen 12 in einem definierten Winkel zur Auflagefläche 7 auf der Deckfläche 20 der Grundplatte 1 stehen. Im ge­ wählten Beispiel beträgt dieser Winkel 90°. Auch hier kommt es nicht auf die exakte Einhaltung des vorgegebenen Winkels in der absoluten Größe an, sondern vielmehr darauf, daß alle Seitenflächen 12 zur Auflagefläche 7 einen Winkel gleicher Größe einnehmen.
Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, daß hierbei alle Teile aus Glas bestehen und keine Metallteile verwendet werden. Es können die in der Glasbearbeitung üblichen Verfahren eingesetzt werden. Zusätzliche Tech­ nologien sind nicht notwendig.
Die Vorrichtung wird einmalig gefertigt und ist für die Herstellung vieler Polygonspiegel verwendbar.
Fig. 5 zeigt die Vorrichtung mit einem Polygonspiegel, dessen Herstel­ lungsprozeß nachfolgend beschrieben wird.
Nachdem die Vorrichtung aus der Grundplatte 1 und den sechs Ausricht­ platten 2 aufgebaut worden ist, also die Ausrichtplatten 2 durch das Ansprengen auf die Seitenflächen 12 fest an der Grundplatte 1 haften, werden die sechs Spiegelsegmente 3 mit ihren Deckflächen 11 auf die Auflagefläche 7 aufgelegt. Jedes Spiegelsegment 3 wird sodann gegen den überstehenden Teil 8 einer Ausrichtplatte 2 gedrückt. Die Positionie­ rung des Spiegelsegments 3 zur Ausrichtplatte 2 wird an der Kante zwi­ schen dem überstehenden Teil 8 der Ausrichtplatte 2 und dem optisch transparenten Bereich 17 der Frontseite 10 des Spiegelsegmentes 3 beob­ achtet. Der Verlauf der sich an dieser Kante bildenden Interferenzlinien zeigt an, ob das entsprechende Spiegelsegment 3 exakt ausgerichtet wurde, oder ob Fehler vorhanden sind. Diese während des Herstellungspro­ zesses bestehende Kontrollmöglichkeit gewährleistet, daß Polygonspiegel höchster Qualität hergestellt werden können. Sind alle Spiegelsegmente 3 ausgerichtet, wird der Träger 4 mittels eines einerseits von der Zentrierboh­ rung 22 des Trägers 4 sowie andererseits von der Zentrierbohrung 21 der Grundplatte 1 aufgenommenen Zentrierdornes 5 in die Vorrichtung einge­ führt. Der Kreisring 19, der Teil der Deckfläche 13 des Trägers 4 ist, kommt dabei auf der Auflagefläche 7, die Teil der Deckfläche 20 der Grundplatte 1 ist, zur Anlage. Danach wird in den zwischen der Mantelflä­ che 18 des Trägers 4 und den Rückflächen 9 der Spiegelsegmente 3 ent­ standenen ringförmigen Spalt der Kitt 14 eingefüllt. Vorzugsweise wird bei UV-Strahlung härtender Optikkitt verwendet. Der Kittspalt gleicht gegebe­ nenfalls vorhandene Toleranzen der Einzelteile aus. Die Kittfalle 6 nimmt überschüssige Kittmengen auf und verhindert letztlich, daß der Poly­ gonspiegel am Glaskörper 1 haften bleibt. Das Fügen der Spiegelsegmente 3 mit dem Träger 4 durch den Kitt 14 erfolgt spannungsarm. Die Spiegel­ segmente 3 und der Träger 4 bleiben solange in der Vorrichtung bis der Kitt 14 ausgehärtet ist. Nach dem Aushärten des Kittes 14 werden der Träger 4 und die dann mit dem Träger 4 verbundenen Spiegelsegmente 3 aus der Vorrichtung entnommen. Im Ergebnis entsteht ein Polygonspiegel, der vergleichsweise einfach hergestellt wird und der dennoch hohen Ansprüchen an seine Funktion gerecht wird.
Fig. 6 zeigt schließlich eine Ausführungsform eines Polygonspiegels mit zwölf Spiegelsegmenten 3. Die Deckflächen 13 des Trägers 4 sind auch hier kalottenförmig hohl geformt, was insbesondere dann vorteilhaft ist, wenn diese als Lagerelemente eines Luftlagers fungieren. Der Zentrierdorn 5 ist hierbei in die Zentrierbohrung 22 eingeklebt und dient als Antriebs­ achse des Polygonspiegels. Die Winkel- und Lagetoleranzen betragen weniger als plus/minus 2′′.
Bezugszeichenliste
1 Grundplatte
2 Ausrichtplatte
3 Spiegelsegment
4 Träger
5 Zentrierdorn
6 Kittfalle
7 Auflagefläche
8 überstehender Teil
9 Rückfläche
10 Frontfläche
11 Deckfläche
12 Seitenfläche
13 Deckfläche
14 Kitt
15 Zylinderachse
16 optisch reflektierender Bereich
17 optisch transparenter Bereich
18 Mantelfläche
19 Kreisring
20 Deckfläche
21 Zentrierbohrung
22 Zentrierbohrung
23 ansprengfähige Seitenfläche
24 Spalt
b Breite der Ausrichtplatte
h Höhe der Ausrichtplatte
r₁ Radius des Trägers
r₂ Radius der Rückfläche
Δr Radiendifferenz.

Claims (7)

1. Polygonspiegel mit einem kreiszylinderförmigen Träger (4) mit einer konzentrisch zur Zylinderachse (15) verlaufenden Zentrierbohrung (22), einer Mantelfläche (18) und zwei Deckflächen (13), bei dem die Deckflächen (13) im äußeren Bereich einen ebenen Kreisring (19) bilden, der in einem definierten Winkel zur Mantelfläche (18) steht, und bei dem der kreiszylinderförmige Träger (4) einen Radius r₁ hat, und mit einer Mehrzahl von Spiegelsegmenten (3), deren Frontflächen (10) jeweils in horizontaler Richtung in einen optisch reflektierenden Bereich (16) und einen der Kontrolle der Ausrichtung der Spiegelsegmente (3) dienenden, optisch transparenten Bereich (17) unterteilt sind, deren konkav gewölbte Rückflächen (9) jeweils einen Krümmungsradius r₂ aufweisen, der geringfügig größer ist als der Radius r₁ des kreiszylinderförmigen Trägers (4), deren eine Deckfläche (11) jeweils einen für alle Spiegelsegmente gleichen Winkel zum optisch transparenten Frontflächenbereich (17) einschließt und die mit ihrer konkav gewölbten Rückfläche (9) unter jeweils gleicher Ausrichtung der Deckflächen (11) auf die Mantelfläche (18) des kreiszylinderförmigen Trägers (4) gekittet sind.
2. Polygonspiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kreisring (19) auf der einen Deckfläche (13) des Trägers (4) im rechten Winkel zur Mantelfläche (18) steht.
3. Polygonspiegel nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, daß die Frontfläche (10) eines jeden Spiegelsegmentes (3) im rechten Winkel zur Deckfläche (11) steht.
4. Polygonspiegel nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, daß der optisch transparente Frontflächenbereich (17) eines jeden Spiegelseg­ mentes (3) im rechten Winkel zur Deckfläche (11) steht.
5. Vorrichtung zur Justierung von Spiegelsegmenten (3) eines Polygonspiegels gegenüber einem kreiszylinderförmigen Träger (4), wobei die Spiegelsegmente (3) jeweils eine Frontfläche (10), eine konkav gewölbte Rückfläche (9) und zwei Deckflächen aufweisen und zumindest ein optisch transparenter Teilbereich (17) der Frontfläche in einem vorgegebenen Winkel zu einer der beiden Deckflächen (11) steht und der kreiszylinderförmige Träger (4) eine Deckfläche (13) aufweist, die im äußeren Bereich einen ebenen Kreisring (19) bildet, der in einem vorgegebenen Winkel zur Mantelfläche (18) des Trägers (4) steht, mit
  • - einer die Form eines regelmäßigen Vielecks aufweisenden ebenen Grundplatte (1) aus Glas, wobei die Seitenlänge der Seiten (12) des regelmäßigen Vielecks der Seitenlänge der Frontfläche (10) der zu justierenden Spiegelsegmente (3) entspricht und die Deckfläche (20) der Grundplatte (1) eine Auflagefläche (7) für die Deckfläche (11) der Spiegelsegmente (3), die im vorgegebenen Winkel zu mindestens dem optisch transparenten Teilbereich (17) der Frontfläche (10) der Spiegelsegmente (3) stehen, und für den in einem vorgegebenen Winkel zur Mantelfläche (18) angeordneten Kreisring (19) des kreiszylinderförmigen Trägers (4) bildet,
  • - an den Seitenflächen der Grundplatte (1) jeweils angesprengten Ausrichtplatten (2) aus Glas, die über die die Auflagefläche (7) bildende Deckfläche (20) der Grundplatte (1) überstehen, so daß die mit der Deckfläche (11), die im vorgegebenen Winkel zu mindestens dem optisch transparenten Teilbereich (17) der Frontfläche (10) angeordnet ist, auf die Auflagefläche (7) der Grundplatte (1) aufgelegten Spiegelsegmente (3) mit ihrer Frontseite (10) in Anlage mit den überstehenden Ausrichtplatten (2) bringbar sind,
  • - einer in der Mitte der Grundplatte (1) angeordneten Zentrierbohrung (21), und mit
  • - einem Zentrierdorn (5), dessen Durchmesser entsprechend dem Durchmesser einer Zentrierbohrung (22) in dem kreiszylinderförmigen Träger (4) und dem Durchmesser der Zentrierbohrung (21) in der Grundplatte (1) so bemessen ist, daß durch Einbringen des Zentrierdorns (5) in die Zentrierbohrungen (21, 22) im kreiszylinderförmigen Träger (4) und in der Grundplatte (1) der kreiszylinderförmige Träger (4) auf der Grundplatte (1) zentriert wird.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß in der Oberfläche der Deckfläche (20) im Bereich der rage der Rückfläche (9) eine konzentrisch zur Zylinderachse (15) angeordnete und rinnenförmig ausgebildete Vertiefung als Kittfalle (6) eingearbeitet ist.
7. Verfahren zur Herstellung eines Polygonspiegels mit folgenden Verfahrensschritten:
  • - Herstellen eines kreiszylinderförmigen Trägers (4) mit einer konzentrisch zur Zylinderachse (15) verlaufenden Zentrierbohrung (22), einer Mantelfläche (18) und zwei Deckflächen (13), bei dem die Deckflächen (13) im äußeren Bereich einen ebenen Kreisring (19) bilden, der in einem definierten Winkel zur Mantelfläche (18) steht, und bei dem der kreiszylinderförmige Träger (4) einen Radius r₁ hat,
  • - Herstellen von Spiegelsegmenten (3), deren Frontflächen (10) jeweils in horizontaler Richtung in einen optisch reflektierenden Bereich (16) und einen optisch transparenten Bereich (17) unterteilt sind, deren konkav gewölbte Rückflächen (9) jeweils einen Krümmungsradius r₂ aufweisen, der geringfügig größer ist als der Radius r₁ des kreiszylinderförmigen Trägers (4) und deren eine Deckfläche (11) jeweils einen für alle Spiegelsegmente (3) gleichen Winkel zum optisch transparenten Frontflächenbereich (17) einschließt,
  • - Auflegen der Spiegelsegmente (3) auf eine ebene Auflagefläche (7) der Deckfläche (20) einer gläsernen Grundplatte (1) einer Justiervorrichtung, wobei die Spiegelsegmente (3) mit derjenigen Deckfläche (11), die jeweils einen für alle Spiegelsegmente gleichen Winkel zum optisch transparenten Frontflächenbereich (17) einschließt auf die Grundplatte (1) aufgelegt werden,
  • - Ausrichten der Frontseiten (10) der Spiegelsegmente (3) gegen gläserne Ausrichtplatten (2), die an den Seitenflächen (12) der die Form eines regelmäßigen Vielecks aufweisenden Grundplatte (1) angesprengt sind und die über die Deckfläche (20) der Grundplatte (1) überstehen,
  • - Kontrolle der Ausrichtung der Spiegelsegmente (3) durch Kontrolle des Verlaufs von Interferenzlinien an der Kante zwischen dem überstehenden Teil (8) der gläsernen Ausrichtplatten (2) und dem optisch transparenten Teil (17) der Frontseiten (10) der Spiegelsegmente (3),
  • - Auflegen der einen ebenen Kreisring (19) bildenden Deckfläche des kreiszylinderförmigen Trägers (4) auf die Auflagefläche (7) der Deckfläche (20) der Grundplatte (1) zwischen die justierten Spiegelsegmente (3) und Zentrieren des Trägers (4) auf der Grundplatte (1) durch Einbringen eines Zentrierdorns (5) in die Zentrierbohrung (22) des kreiszylinderförmigen Trägers (4) und in eine Zentrierbohrung (21) in der Grundplatte (1) der Justiervorrichtung,
  • - Verkitten der Spiegelsegmente (3) mit dem Träger (4) in ausgerichteter Position und
  • - Entnehmen des Trägers (4) mit den angekitteten Spiegelsegmenten (3) aus der Justiervorrichtung nach dem Aushärten des Kitts.
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