DE4437690C2 - Polygonspiegel, Vorrichtung und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Polygonspiegel, Vorrichtung und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Polygonspiegel, bestehend aus einem Träger
und mehreren jeweils eine Rückfläche und eine Frontfläche aufweisenden
Spiegelsegmenten, die mit ihrer Rückfläche auf die Mantelfläche des Trä
gers definiert gekittet sind.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Justierung der Bestand
teile des Polygonspiegels bei dessen Herstellung.
Die Erfindung bezieht sich außerdem auf ein Verfahren zur Herstellung
eines Polygonspiegels.
Es sind Polygonspiegel bekannt, die aus einem Stück aus Glas oder Metall
gefertigt sind.
So ist eine Polygonspiegel-Konstruktion bekannt, die aus einem Kühlkörper
teil und aus mehreren jeweils eine Spiegelfläche tragenden peripheren Tei
len besteht, wo bei zwischen dem Kühlkörperteil und den peripheren Teilen
zirkulare Schlitze eingearbeitet sind, die von der Oberfläche in die Tiefe ge
hen, derart, daß eine diese Teile verbindende Materialbrücke verbleibt, die
als Gelenk für die Justage der peripheren Teile mit Hilfe von Schrauben
dient (US 4,691,998). Die peripheren Teile sind dabei ihrerseits durch ra
diale Schlitze voneinander getrennt, um ein unabhängiges Justieren jedes
einzelnen peripheren Teils zu ermöglichen.
Es sind ferner Polygonspiegel bekannt, deren Spiegelelemente als Einzel
teile gefertigt werden, die auf Seitenflächen eines Trägers aufgekittet
werden, dessen Grund- beziehungsweise Deckfläche ein regelmäßiges Viel
eck bildet (US 3,040,627; DE 30 07 784). Aus der DE 30 07 784 ist dar
über hinaus eine Vorrichtung bekannt, mit deren Hilfe die einzelnen auf
dem Träger zu befestigenden Spiegelelemente des Polygonspiegels in ihrer
Lage justiert werden können. Die Vorrichtung weist dabei einen vieleckigen
zylinderförmigen Körper aus Stahl auf, an dessen Umfang Einzelflächen an
geordnet sind, die in ihrer Lage jeweils der Lage der Spiegelflächen der zu
justierenden Spiegelsegmente entsprechen. Der zylinderförmige Körper ist
außerdem mit einer Auflagefläche auf seiner planen Deckfläche versehen,
auf die der Träger des herzustellenden Polygonspiegels aufgelegt wird. An
den genannten Einzelflächen sind Ausrichtplatten befestigt, die über die
Auflagefläche des zylinderförmigen Körpers hervorstehen und Referenzflä
chen bilden, die die Lage der einzelnen auf die Deckfläche aufgelegten
Spiegelelemente vorgeben sollen. Die Spiegelelemente werden dabei über
ein System von den zylinderförmigen Körper sowie die Ausrichtplatten
durchziehenden und in
der Referenzfläche mündenden Bohrungen mit Hilfe von Vakuum gehalten,
während sie mittels Epoxidharz auf den Träger aufgekittet werden.
Zur Realisierung höchster Genauigkeiten ist diese demontierbare Kittvor
richtung jedoch nur bedingt geeignet. Die Montage der Teile, insbesondere
das Verspannen der Ausrichtplatten beziehungsweise Halterungen an den
Einzelflächen kann zu Ungenauigkeiten führen. Außerdem ist diese Vorrich
tung verhältnismäßig kompliziert aufgebaut.
Des weiteren ist ein Polygonspiegel bekannt, der aus mehreren einen Kern
bildenden Elementen besteht, die zusammengesetzt und miteinander ver
klebt werden (JP 58-2162 02). Auf die Vorderseiten der Elemente werden
Spiegelplatten aufgeklebt. Die den Kern bildenden Elemente und die Spie
gelplatten werden zum Zusammenbau des Polygonspiegels in eine Form
eingebracht, die die Anordnung der Spiegelplatten und der Kernelemente
relativ zueinander vorgibt und in die Klebematerial gespritzt wird.
Auch diese Vorrichtung ist zum Erreichen höchster Genauigkeiten nur be
dingt geeignet.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Polygonspiegel, ein Verfahren
zur Herstellung eines solchen Polygonspiegels und eine Vorrichtung zur
Justierung der Bestandteile des Polygonspiegels bei dessen Herstellung an
zugeben, die sich dadurch auszeichnen, daß sie eine vergleichsweise ko
stengünstige Massenfertigung von Polygonspiegeln höchster, kontrollierba
rer Präzision ermöglichen.
Die Aufgabe wird mit einem Polygonspiegel, wie er im Anspruch 1 definiert
ist, erfindungsgemäß gelöst.
Vorzugsweise Ausführungsformen eines solchen Polygonspiegels sind Ge
genstand der Unteransprüche 2 bis 4.
Die vorstehend genannte Aufgabe wird darüber hinaus mit einer Vorrich
tung, wie sie im Anspruch 5 definiert ist, erfindungsgemäß gelöst.
Eine vorteilhafte Ausbildungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht
vor, daß in der Oberfläche der Deckfläche im Bereich der Lage der Rückflä
che eine konzentrisch zur Zylinderachse angeordnete und rinnenförmig
ausgebildete Vertiefung als Kittfalle ausgebildet ist.
Die Aufgabe wird ferner mit einem Verfahren, wie es im Anspruch 7 defi
niert ist, erfindungsgemäß gelöst.
Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich insbesondere dadurch aus,
daß durch Beobachtung der Interferenzerscheinung die Paßgenauigkeit der
einzelnen Spiegelsegmente schon während des Herstellungsprozesses des
Polygonspiegels überwacht werden kann.
Die Erfindung soll nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen und zu
gehörigen Zeichnungen näher erläutert werden.
In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 einen Polygonspiegel in Draufsicht und in einer
Schnittdarstellung,
Fig. 2 ein einzelnes Spiegelsegment in zwei Ansichten,
Fig. 3 eine Vorrichtung zur Justierung der Bestandteile des Poly
gonspiegels bei dessen Herstellung in Draufsicht und in einer
Schnittdarstellung,
Fig. 4 eine Ausrichtplatte in zwei Ansichten,
Fig. 5 den Polygonspiegel gemäß Fig. 1 in der Vorrichtung gemäß
Fig. 3 in Draufsicht und in einer Schnittdarstellung und
Fig. 6 ein weiteres Beispiel eines Polygonspiegels in Draufsicht sowie
in einer geschnittenen Darstellung.
Der in Fig. 1 dargestellte Polygonspiegel besteht aus einem zylinderförmi
gen Träger 4 und sechs Spiegelsegmenten 3. Jedes einzelne Spiegelseg
ment 3 weist eine Rückfläche 9, eine der Rückfläche 9 gegenüberliegende
Frontfläche 10 sowie eine als Ausrichtfläche ausgebildete Deckfläche 11
auf (Fig. 2). Die Frontfläche 10 ist dabei in einen optisch reflektierenden
Bereich 16 und in einen polierten, optisch transparenten Bereich 17 unter
teilt. Die Spiegelsegmente 3 sind mit ihrer einen Radius r₂ aufweisenden
Rückfläche 9 mittels Kitt 14 auf die in der Zeichnung mit 18 bezeichnete
Mantelfläche des Trägers 4 aufgekittet, die einen gegenüber dem Radius r₂
um eine Kittspaltbreite Δr kleineren Radius r1 hat. Die Differenz Δr beträgt
etwa 0,1 mm. Der zylinderförmige Träger 4, der aus
einem Sinterwerkstoff, Glaskeramik oder aus Glas bestehen kann, ist mit
einer konzentrisch zur Zylinderachse 15 angeordneten Zentrierbohrung 22
versehen und verfügt über Deckflächen 13, die im gewählten Beispiel im
inneren zur Achse 15 zulaufenden Bereich kalottenförmig hohl geformt sind
und die einen äußeren Bereich aufweisen, der als Kreisring 19 ausgebildet
ist. Zwischen den benachbarten in Richtung des umlaufenden Durchmes
sers auf der Mantelfläche 18 des Trägers 4 gleichmäßig verteilt angeordne
ten Spiegelsegmenten 3 befindet sich jeweils ein bezüglich der Zylinder
achse 15 radial verlaufender Spalt 24. Diese vorzugsweise gleichfalls mit
Kitt 14 ausgefüllten Spalte 24 sind erforderlich, damit die Spiegelsegmente
3 bei der Herstellung des Polygonspiegels in der nachstehend noch zu be
schreibenden Vorrichtung exakt ausgerichtet werden können, somit eine
Überbestimmung vermieden wird.
Beim in Fig. 2 dargestellten einzelnen Spiegelsegment 3 ist neben dem
optisch transparenten Bereich 17 auch der optisch reflektierende Bereich
16 plan ausgebildet, und beide Bereiche liegen in einer Ebene. Der optisch
reflektierende Bereich 16 kann jedoch bezüglich des optisch transparenten
Bereiches 17 auch einen anderen Winkel einnehmen und/oder eine andere
geometrische Gestalt aufweisen, zum Beispiel konkav oder konvex zylin
drisch oder auch konkav oder konvex sphärisch geformt sein. In jedem Fall
ist das Spiegelsegment 3 so gefertigt, daß der optisch transparente Bereich
17 einen definierten Winkel zur Deckfläche 11 einnimmt. Im Beispiel be
trägt dieser Winkel 90°. Um einen hochgenauen Polygonspiegel zu erhal
ten, muß dieser Winkel bei allen Spiegelsegmenten 3 gleich sein. Die abso
lute Größe des Winkels ist dabei unkritisch, insofern alle Teile den gleichen
Fehler aufweisen.
Fig. 3 zeigt eine Vorrichtung zur Justierung der Spiegelsegmente 3 eines
Polygonspiegels gegenüber dem Träger 4. Die Vorrichtung besteht aus
einer Grundplatte 1 aus Glas, deren Grund- und Deckfläche 20 ein
regelmäßiges Sechseck bildet, sowie aus sechs Ausrichtplatten 2. Die
rechteckigen Seitenflächen 12 der Grundplatte 1 sind als Ansprengflächen
ausgebildet, die exakt die Lage der Frontflächen 10 der Spiegelsegmente 3
des fertigen Polygonspiegels verkörpern. Die Grundplatte 1 ist mit einer
koaxial zur Achse 15
verlaufenden Zentrierbohrung 21 versehen. Im äußeren Bereich bildet die
Deckfläche 20 der Grundplatte 1 eine Auflagefläche 7 für die Spiegelseg
mente 3. Im Bereich der Auflagefläche 7 ist eine konzentrisch zur Achse 15
angeordnete rinnenförmige Vertiefung in die Deckfläche 20 der Grundplatte
1 eingearbeitet. Diese Vertiefung dient als Kittfalle 6 für überschüssigen
Kitt 14. Die Ausrichtplatten 2 sind an die Seitenflächen 12 der Grundplatte
1 angesprengt, derart, daß diese etwa 3 mm über die Auflagefläche 7
überstehen. Der überstehende Teil 8 jeder Ausrichtplatte 2 bildet beim
Ausrichten jedes zugehörigen Spiegelsegmentes 3 mit dessen optisch
transparenten Bereich 17 eine Interferenzkante.
Fig. 4 zeigt eine Ausrichtplatte 2 als Einzelteil. Die aus Glas hergestellte
Ausrichtplatte verfügt über eine ansprengfähige rechteckförmige Seitenflä
che 23. Die Höhe h der Ausrichtplatte 2 ist 3 mm größer als die Höhe der
Grundplatte 1. Die Breite b der Ausrichtplatte 2 ist 1 mm kleiner als die
Breite der Seitenfläche 12 an der Grundplatte 1.
Die die Maßverkörperung für den Polygonspiegel darstellenden Seitenflä
chen 12 der Grundplatte 1 müssen nur einmalig hochgenau gefertigt wer
den. Dabei müssen die Seitenflächen 12 in einem definierten Winkel zur
Auflagefläche 7 auf der Deckfläche 20 der Grundplatte 1 stehen. Im ge
wählten Beispiel beträgt dieser Winkel 90°. Auch hier kommt es nicht auf
die exakte Einhaltung des vorgegebenen Winkels in der absoluten Größe
an, sondern vielmehr darauf, daß alle Seitenflächen 12 zur Auflagefläche 7
einen Winkel gleicher Größe einnehmen.
Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, daß hierbei alle Teile aus Glas
bestehen und keine Metallteile verwendet werden. Es können die in der
Glasbearbeitung üblichen Verfahren eingesetzt werden. Zusätzliche Tech
nologien sind nicht notwendig.
Die Vorrichtung wird einmalig gefertigt und ist für die Herstellung vieler
Polygonspiegel verwendbar.
Fig. 5 zeigt die Vorrichtung mit einem Polygonspiegel, dessen Herstel
lungsprozeß nachfolgend beschrieben wird.
Nachdem die Vorrichtung aus der Grundplatte 1 und den sechs Ausricht
platten 2 aufgebaut worden ist, also die Ausrichtplatten 2 durch das
Ansprengen auf die Seitenflächen 12 fest an der Grundplatte 1
haften, werden die sechs Spiegelsegmente 3 mit ihren Deckflächen 11 auf
die Auflagefläche 7 aufgelegt. Jedes Spiegelsegment 3 wird sodann gegen
den überstehenden Teil 8 einer Ausrichtplatte 2 gedrückt. Die Positionie
rung des Spiegelsegments 3 zur Ausrichtplatte 2 wird an der Kante zwi
schen dem überstehenden Teil 8 der Ausrichtplatte 2 und dem optisch
transparenten Bereich 17 der Frontseite 10 des Spiegelsegmentes 3 beob
achtet. Der Verlauf der sich an dieser Kante bildenden Interferenzlinien
zeigt an, ob das entsprechende Spiegelsegment 3 exakt ausgerichtet
wurde, oder ob Fehler vorhanden sind. Diese während des Herstellungspro
zesses bestehende Kontrollmöglichkeit gewährleistet, daß Polygonspiegel
höchster Qualität hergestellt werden können. Sind alle Spiegelsegmente 3
ausgerichtet, wird der Träger 4 mittels eines einerseits von der Zentrierboh
rung 22 des Trägers 4 sowie andererseits von der Zentrierbohrung 21 der
Grundplatte 1 aufgenommenen Zentrierdornes 5 in die Vorrichtung einge
führt. Der Kreisring 19, der Teil der Deckfläche 13 des Trägers 4 ist,
kommt dabei auf der Auflagefläche 7, die Teil der Deckfläche 20 der
Grundplatte 1 ist, zur Anlage. Danach wird in den zwischen der Mantelflä
che 18 des Trägers 4 und den Rückflächen 9 der Spiegelsegmente 3 ent
standenen ringförmigen Spalt der Kitt 14 eingefüllt. Vorzugsweise wird bei
UV-Strahlung härtender Optikkitt verwendet. Der Kittspalt gleicht gegebe
nenfalls vorhandene Toleranzen der Einzelteile aus. Die Kittfalle 6 nimmt
überschüssige Kittmengen auf und verhindert letztlich, daß der Poly
gonspiegel am Glaskörper 1 haften bleibt. Das Fügen der Spiegelsegmente
3 mit dem Träger 4 durch den Kitt 14 erfolgt spannungsarm. Die Spiegel
segmente 3 und der Träger 4 bleiben solange in der Vorrichtung bis der Kitt
14 ausgehärtet ist. Nach dem Aushärten des Kittes 14 werden der Träger
4 und die dann mit dem Träger 4 verbundenen
Spiegelsegmente 3 aus der Vorrichtung entnommen. Im Ergebnis entsteht
ein Polygonspiegel, der vergleichsweise einfach hergestellt wird und der
dennoch hohen Ansprüchen an seine Funktion gerecht wird.
Fig. 6 zeigt schließlich eine Ausführungsform eines Polygonspiegels mit
zwölf Spiegelsegmenten 3. Die Deckflächen 13 des Trägers 4 sind auch
hier kalottenförmig hohl geformt, was insbesondere dann vorteilhaft ist,
wenn diese als Lagerelemente eines Luftlagers fungieren. Der Zentrierdorn
5 ist hierbei in die Zentrierbohrung 22 eingeklebt und dient als Antriebs
achse des Polygonspiegels. Die Winkel- und Lagetoleranzen betragen
weniger als plus/minus 2′′.
Bezugszeichenliste
1 Grundplatte
2 Ausrichtplatte
3 Spiegelsegment
4 Träger
5 Zentrierdorn
6 Kittfalle
7 Auflagefläche
8 überstehender Teil
9 Rückfläche
10 Frontfläche
11 Deckfläche
12 Seitenfläche
13 Deckfläche
14 Kitt
15 Zylinderachse
16 optisch reflektierender Bereich
17 optisch transparenter Bereich
18 Mantelfläche
19 Kreisring
20 Deckfläche
21 Zentrierbohrung
22 Zentrierbohrung
23 ansprengfähige Seitenfläche
24 Spalt
b Breite der Ausrichtplatte
h Höhe der Ausrichtplatte
r₁ Radius des Trägers
r₂ Radius der Rückfläche
Δr Radiendifferenz.
2 Ausrichtplatte
3 Spiegelsegment
4 Träger
5 Zentrierdorn
6 Kittfalle
7 Auflagefläche
8 überstehender Teil
9 Rückfläche
10 Frontfläche
11 Deckfläche
12 Seitenfläche
13 Deckfläche
14 Kitt
15 Zylinderachse
16 optisch reflektierender Bereich
17 optisch transparenter Bereich
18 Mantelfläche
19 Kreisring
20 Deckfläche
21 Zentrierbohrung
22 Zentrierbohrung
23 ansprengfähige Seitenfläche
24 Spalt
b Breite der Ausrichtplatte
h Höhe der Ausrichtplatte
r₁ Radius des Trägers
r₂ Radius der Rückfläche
Δr Radiendifferenz.
Claims (7)
1. Polygonspiegel mit einem kreiszylinderförmigen Träger (4) mit einer konzentrisch
zur Zylinderachse (15) verlaufenden Zentrierbohrung (22), einer Mantelfläche (18)
und zwei Deckflächen (13), bei dem die Deckflächen (13) im äußeren Bereich einen
ebenen Kreisring (19) bilden, der in einem definierten Winkel zur Mantelfläche (18)
steht, und bei dem der kreiszylinderförmige Träger (4) einen Radius r₁ hat,
und mit einer Mehrzahl von Spiegelsegmenten (3), deren Frontflächen (10) jeweils
in horizontaler Richtung in einen optisch reflektierenden Bereich (16) und einen der
Kontrolle der Ausrichtung der Spiegelsegmente (3) dienenden, optisch
transparenten Bereich (17) unterteilt sind, deren konkav gewölbte Rückflächen (9)
jeweils einen Krümmungsradius r₂ aufweisen, der geringfügig größer ist als der
Radius r₁ des kreiszylinderförmigen Trägers (4), deren eine Deckfläche (11) jeweils
einen für alle Spiegelsegmente gleichen Winkel zum optisch transparenten
Frontflächenbereich (17) einschließt und die mit ihrer konkav gewölbten
Rückfläche (9) unter jeweils gleicher Ausrichtung der Deckflächen (11) auf die
Mantelfläche (18) des kreiszylinderförmigen Trägers (4) gekittet sind.
2. Polygonspiegel nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Kreisring (19) auf der einen Deckfläche (13) des Trägers (4) im rechten
Winkel zur Mantelfläche (18) steht.
3. Polygonspiegel nach Anspruch 1 oder 2
dadurch gekennzeichnet,
daß die Frontfläche (10) eines jeden Spiegelsegmentes (3) im rechten Winkel zur
Deckfläche (11) steht.
4. Polygonspiegel nach Anspruch 1 oder 2
dadurch gekennzeichnet,
daß der optisch transparente Frontflächenbereich (17) eines jeden Spiegelseg
mentes (3) im rechten Winkel zur Deckfläche (11) steht.
5. Vorrichtung zur Justierung von Spiegelsegmenten (3) eines Polygonspiegels
gegenüber einem kreiszylinderförmigen Träger (4), wobei die Spiegelsegmente (3)
jeweils eine Frontfläche (10), eine konkav gewölbte Rückfläche (9) und zwei
Deckflächen aufweisen und zumindest ein optisch transparenter Teilbereich (17)
der Frontfläche in einem vorgegebenen Winkel zu einer der beiden Deckflächen
(11) steht und der kreiszylinderförmige Träger (4) eine Deckfläche (13) aufweist, die
im äußeren Bereich einen ebenen Kreisring (19) bildet, der in einem vorgegebenen
Winkel zur Mantelfläche (18) des Trägers (4) steht, mit
- - einer die Form eines regelmäßigen Vielecks aufweisenden ebenen Grundplatte (1) aus Glas, wobei die Seitenlänge der Seiten (12) des regelmäßigen Vielecks der Seitenlänge der Frontfläche (10) der zu justierenden Spiegelsegmente (3) entspricht und die Deckfläche (20) der Grundplatte (1) eine Auflagefläche (7) für die Deckfläche (11) der Spiegelsegmente (3), die im vorgegebenen Winkel zu mindestens dem optisch transparenten Teilbereich (17) der Frontfläche (10) der Spiegelsegmente (3) stehen, und für den in einem vorgegebenen Winkel zur Mantelfläche (18) angeordneten Kreisring (19) des kreiszylinderförmigen Trägers (4) bildet,
- - an den Seitenflächen der Grundplatte (1) jeweils angesprengten Ausrichtplatten (2) aus Glas, die über die die Auflagefläche (7) bildende Deckfläche (20) der Grundplatte (1) überstehen, so daß die mit der Deckfläche (11), die im vorgegebenen Winkel zu mindestens dem optisch transparenten Teilbereich (17) der Frontfläche (10) angeordnet ist, auf die Auflagefläche (7) der Grundplatte (1) aufgelegten Spiegelsegmente (3) mit ihrer Frontseite (10) in Anlage mit den überstehenden Ausrichtplatten (2) bringbar sind,
- - einer in der Mitte der Grundplatte (1) angeordneten Zentrierbohrung (21), und mit
- - einem Zentrierdorn (5), dessen Durchmesser entsprechend dem Durchmesser einer Zentrierbohrung (22) in dem kreiszylinderförmigen Träger (4) und dem Durchmesser der Zentrierbohrung (21) in der Grundplatte (1) so bemessen ist, daß durch Einbringen des Zentrierdorns (5) in die Zentrierbohrungen (21, 22) im kreiszylinderförmigen Träger (4) und in der Grundplatte (1) der kreiszylinderförmige Träger (4) auf der Grundplatte (1) zentriert wird.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß in der Oberfläche der Deckfläche (20) im Bereich der rage der Rückfläche (9)
eine konzentrisch zur Zylinderachse (15) angeordnete und rinnenförmig
ausgebildete Vertiefung als Kittfalle (6) eingearbeitet ist.
7. Verfahren zur Herstellung eines Polygonspiegels mit folgenden Verfahrensschritten:
- - Herstellen eines kreiszylinderförmigen Trägers (4) mit einer konzentrisch zur Zylinderachse (15) verlaufenden Zentrierbohrung (22), einer Mantelfläche (18) und zwei Deckflächen (13), bei dem die Deckflächen (13) im äußeren Bereich einen ebenen Kreisring (19) bilden, der in einem definierten Winkel zur Mantelfläche (18) steht, und bei dem der kreiszylinderförmige Träger (4) einen Radius r₁ hat,
- - Herstellen von Spiegelsegmenten (3), deren Frontflächen (10) jeweils in horizontaler Richtung in einen optisch reflektierenden Bereich (16) und einen optisch transparenten Bereich (17) unterteilt sind, deren konkav gewölbte Rückflächen (9) jeweils einen Krümmungsradius r₂ aufweisen, der geringfügig größer ist als der Radius r₁ des kreiszylinderförmigen Trägers (4) und deren eine Deckfläche (11) jeweils einen für alle Spiegelsegmente (3) gleichen Winkel zum optisch transparenten Frontflächenbereich (17) einschließt,
- - Auflegen der Spiegelsegmente (3) auf eine ebene Auflagefläche (7) der Deckfläche (20) einer gläsernen Grundplatte (1) einer Justiervorrichtung, wobei die Spiegelsegmente (3) mit derjenigen Deckfläche (11), die jeweils einen für alle Spiegelsegmente gleichen Winkel zum optisch transparenten Frontflächenbereich (17) einschließt auf die Grundplatte (1) aufgelegt werden,
- - Ausrichten der Frontseiten (10) der Spiegelsegmente (3) gegen gläserne Ausrichtplatten (2), die an den Seitenflächen (12) der die Form eines regelmäßigen Vielecks aufweisenden Grundplatte (1) angesprengt sind und die über die Deckfläche (20) der Grundplatte (1) überstehen,
- - Kontrolle der Ausrichtung der Spiegelsegmente (3) durch Kontrolle des Verlaufs von Interferenzlinien an der Kante zwischen dem überstehenden Teil (8) der gläsernen Ausrichtplatten (2) und dem optisch transparenten Teil (17) der Frontseiten (10) der Spiegelsegmente (3),
- - Auflegen der einen ebenen Kreisring (19) bildenden Deckfläche des kreiszylinderförmigen Trägers (4) auf die Auflagefläche (7) der Deckfläche (20) der Grundplatte (1) zwischen die justierten Spiegelsegmente (3) und Zentrieren des Trägers (4) auf der Grundplatte (1) durch Einbringen eines Zentrierdorns (5) in die Zentrierbohrung (22) des kreiszylinderförmigen Trägers (4) und in eine Zentrierbohrung (21) in der Grundplatte (1) der Justiervorrichtung,
- - Verkitten der Spiegelsegmente (3) mit dem Träger (4) in ausgerichteter Position und
- - Entnehmen des Trägers (4) mit den angekitteten Spiegelsegmenten (3) aus der Justiervorrichtung nach dem Aushärten des Kitts.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4437690A DE4437690C2 (de) | 1993-10-26 | 1994-10-21 | Polygonspiegel, Vorrichtung und Verfahren zu seiner Herstellung |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4336481 | 1993-10-26 | ||
DE4437690A DE4437690C2 (de) | 1993-10-26 | 1994-10-21 | Polygonspiegel, Vorrichtung und Verfahren zu seiner Herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4437690A1 DE4437690A1 (de) | 1995-05-04 |
DE4437690C2 true DE4437690C2 (de) | 1996-08-29 |
Family
ID=6501041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4437690A Expired - Fee Related DE4437690C2 (de) | 1993-10-26 | 1994-10-21 | Polygonspiegel, Vorrichtung und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4437690C2 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2133094B1 (es) * | 1997-03-14 | 2000-05-01 | Inst De Astrofisica De Canaria | Alineamiento de superficies opticas usando medidas de gradiente y curvatura local del frente de onda. |
JP2021187037A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | キヤノン株式会社 | ポリゴンミラー、光偏向器、光走査装置、画像形成装置、金型、及び樹脂体の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4277141A (en) * | 1979-03-28 | 1981-07-07 | Tropel, Inc. | Multifaceted mirror and assembly fixture and method of making such mirror |
JPS58216202A (ja) * | 1982-06-10 | 1983-12-15 | Copal Erekutora:Kk | ポリゴンミラ並にその製造法 |
US4691998A (en) * | 1983-09-09 | 1987-09-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Polygon mirror construction |
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1994
- 1994-10-21 DE DE4437690A patent/DE4437690C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4437690A1 (de) | 1995-05-04 |
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