DE4435016A1 - Elektrolumineszenzdisplay mit einem Blau/Grün-Strahler, Verfahren zu dessen Herstellung und Vorrichtungen zur Verfahrensdurchführung - Google Patents

Elektrolumineszenzdisplay mit einem Blau/Grün-Strahler, Verfahren zu dessen Herstellung und Vorrichtungen zur Verfahrensdurchführung

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Dünnfilm-Elektrolumineszenz (TFEL) Display mit einer mehrlagigen aktiven Schicht für Weißlichtemission, in der ein Blau/Grün-Strahler aus einer stöchiometrisch aufgewachsenen Erdalkaliverbindung, dotiert mit einem Seltenerdmaterial, besteht, auf Verfahren zur Herstellung derartiger Blau/Grün-Strahler sowie auf Vorrichtungen zur Ausführung dieser Verfahren.
In voll farbtüchtigen Elektrolumineszenzdisplays bilden chemisch und/oder physikalisch spezifisch zusammengesetzte bzw. spezifisch angeordnete elektrolumineszierende Werkstoffe die elektrolumineszierenden Lichtquellen mit im wesentlichen zweidimensional ausstrahlenden Flächen. Werden z. B. die drei Primärfarben - Rot/Grün/Blau - mit farbreinen Strahlern erzeugt, befinden sich die einzelnen Strahler nebeneinander in einer Ebene, geordnet z. B. in Farbtripelmustern. Mit Farbfiltern kombinierte Weißlichtstrahler müssen besonders hohe Leuchtdichten liefern und werden im allgemeinen aus mehreren übereinanderliegenden Schichten zusammengesetzt.
Für Rot-Strahler werden z. B. ZnS : Sm, CaS : Eu oder - in Kombination mit Farbfiltern - auch ZnS : Mn als elektrolumineszierende Werkstoffe verwendet, für Grün-Strahler eignet sich ZnS : Tb oder - mit Filterung - SrS : Ce. Übliche Blau- Strahler bestehen aus SrS : Ce oder aus SrSe : Ce - mit Filterung - , liefern aber im Vergleich zu den zuvor genannten Rot- und Grün-Strahlern nur dann ihr Licht mit entsprechend gutem Wirkungsgrad und hoher Leuchtdichte, wenn diese Werkstoffe besonders hohe Anforderungen bezüglich ihrer Kristallinität und ihrer chemischen und physikalischen Zusammensetzung erfüllen.
In der wissenschaftlich-technischen Fachliteratur befassen sich seit fast einem Jahrzehnt die Veröffentlichungen mehrerer auf dem Gebiet der Elektrolumineszenz tätiger Forschergruppen mit diesen Problemen elektrolumineszierender Werkstoffe und geben Hinweise und Anregungen vielfältiger Art zur Verbesserung von Luminanzeigenschaften von Farb- und Weißlichemittern. Die seither erzielten Ergebnisse sind beachtlich.
In "SID 88 DIGEST", Seiten 293 bis 296 weisen Tanaka et al noch darauf hin, daß bei elektrolumineszierenden Werkstoffen auf der Basis von SrS eine Verbesserung der erzeugbaren Leuchtdichten um den Faktor 10 erfolgen müsse, um Werte zu erreichen, die mit Standard-Weißlichtemittern vergleichbar sind.
Tsurumaki et al, vgl. "Proc. SID", Bd. 32/4 (1991), Seiten 325 bis 329, sehen in einer Optimierung der Depositions- und Temperungsbedingungen eines Rot/Grün-Strahlers auf ZnS-Basis die Möglichkeiten für einflußreiche Maßnahmen zur Verbesserung der Luminanzwerte.
Ando und Ono, vgl. "Journal of Crystal Growth 117 (1992)", Seiten 969 bis 974, weisen bezüglich thermischer Emission auf den Zusammenhang zwischen Photolumineszenz und Elektrolumineszenz und den dominierenden Einfluß der Kristallinität eines CaS-Werkstoffs gegenüber dem der Konzentration seiner Eu- Dotierung hin und sehen hierin den wichtigsten Faktor, die Emissionseigenschaften des polykristallinen Werkstoffs denen eines Einkristalls anzunähern.
Tanaka, Morita, Yamada und Kobayashi (vgl. "Conference Record of the 1991 International Display Research Conference", San Diego, CA, USA, 15.-17. Okt. 1991, Seiten 137 bis 140) tempern zur Luminanz- und Effizienzverbesserung den mit Seltenerdmaterialien dotierten SrS-Werkstoff nachträglich in einer Ar-S Atmosphäre. Die durch diese Maßnahme erzielten Ergebnisse lassen darauf schließen, daß Gitterdefekte, vermutlich S-Fehlstellen, verringert, d. h. die Kristallinität und damit die Emissionseigenschaften verbessert werden. Eine ähnlich geartete Verbesserung der Kristallinität und der Stöchiometrie bei CaS-Werkstoffen führen Yoshino et al, (vgl. "SID DIGEST 93", Seiten 720 bis 723) mittels Herstellung in einer H₂S-Atmosphäre herbei.
Bei einer ähnlichen Klasse elektrolumineszierender Werkstoffe - ternären Sulfiden der Formel MGa₂S₄: Ce, mit M = Ca, Sr oder Ba - wird durch Tempern das durch Sputtern als amorpher Film auf dem Substrat bei 50°C bis 300°C abgelagerte Material erst bei Temperaturen über 650°C kristallin. Barrow et al sehen derartiges ternäres Material für Blau-Strahler vor (vgl.: "SID DIGEST 93", Seiten 761 bis 764).
Der Stand der Technik, von dem die Erfindung ausgeht, ist aus zwei, in unmittelbarem Zusammenhang miteinander stehenden Veröffentlichungen zu entnehmen: "SID Proceedings", 13. Internat. Display Research Conf. (31. August bis 3. September 1993, Strasbourg FR), EL-3 (Seiten 229 bis 232) und EL-4 (Seiten 233 bis 236). Diese Berichte von Läppenen et al: "Broadband double layer phosphor for an inverted filtered RGB electroluminescent display" und von Soininen et al: "Bright and stable blue electroluminescent device based on SrS : Ce" beziehen sich auf die Kombination der Emissionsspektren eines Blau/Grün emittierenden SrS : Ce-Werkstoffs als Komplementärfarbstrahler zu einem Rot/Gelb/Grün emittierenden ZnS : Mn-Werkstoff in Anordnungen für Mehrfarbendisplays. Für voll farbtüchtige Displays wird ein stärker gesättigtes Blau benötigt. Zur Herstellung der beiden Lumineszenzschichten wurde die Atomlagenepitaxie (atomic layer epitaxy - ALE) angewendet. Die ZnS : Mn-Schicht läßt sich auf die auch für monochrome Displays übliche Weise herstellen. Ms Materialquellen für die SrS : Ce-Schicht werden H₂S sowie sehr leichtflüchtige organische Komplexe des Sr und des Ce eingesetzt ( Sr(thd)₂ und Ce(thd)₄, mit thd = 2,3,6,6,-tetramethyl-3,5-heptanedione). Der bei 380°C Substrattemperatur aufwachsende Film zeigt bei Rutherford-Rückstreumessung keine Abweichungen der Stöchiometrie von Sr : S = 1 : 1, enthält jedoch die Ce-Dotierung nicht völlig homogen verteilt. Eine Vergleichmäßigung findet z. B. durch eine Temperung bei 600°C statt, wenn eine Verschiebung des Emissionsspektrums in Richtung zu einem tiefer gesättigten Blau herbeigeführt werden soll.
Voll farbtüchtige Elektrolumineszenzdisplays haben bislang, trotz aller Fortschritte in der Entwicklung, hinsichtlich Chrominanz und insbesondere Luminanz noch nicht den Standard erreicht, den Farbbild-Kathodenstrahlröhren erfüllen. Der Erfindung liegt das technische Problem zugrunde, einen elektrolumineszierenden, auf der Grundlage bisher bekannter und bewährter chemischer und physikalischer Zusammensetzungen gebildeten Werkstoff bereitzustellen, dessen Emissionsspektrum hauptsächlich Blau liefert und der als Komplementärfarbstrahler mit einem hauptsächlich Rot emittierenden ZnS-Werkstoff kombinierbar ist, wobei die Luminanzeigenschaften eine signifikante Verbesserung gegenüber bisher verfügbaren elektrolumineszierenden Werkstoffen aufweisen sollen. Anzustreben ist der von Kathodenstrahlröhren vorgegebene Standard.
Die erfindungsgemäße Lösung sieht hierfür vor, daß der Blau/Grün-Strahler einen Wirtskristallfilm aus Erdalkalimaterial mit Spuren mindestens eines Elements der Gruppe IIb oder VIIa und das Seltenerdmaterial in homogener Verteilung aufweist und die erzeugbare Leuchtdichte der Weißlichtemission bei 1 kHz Anregungsfrequenz oberhalb von 4.000 cd/m² mit einem Wirkungsgrad von besser als 1 lm/W liegt.
Diese chemische und physikalische Zusammensetzung läßt sich erfindungsgemäß dadurch herstellen, daß während des Aufwachsens eines Wirtskristallfilms des Blau/Grün-Strahlers neben den Komponenten der Erdalkaliverbindung und dem dotierenden Seltenerdmaterial simultan ein Zusatzmaterial beigegeben wird, das aus mindestens einem Metall der IIb- oder VIIa- Gruppe oder dessen Verbindung mit demjenigen Chalkogenmaterial besteht, welches auch in der Erdalkaliverbindung vertreten ist.
Die wesentliche Bedeutung der Erfindung besteht darin, daß sowohl ein stöchiometrisches Wachstum gewährleistet wird als auch eine sich in überraschender Weise vorteilhaft auf die Luminanzeigenschaften des Werkstoffs auswirkende Einlagerung einer "Verunreinigung" stattfindet. Beide Wirkungen werden vom selben Zusatzmaterial herbeigeführt, das im Wirtskristall M-Fehlstellen besetzt. Der Anteil von im elektrolumineszierenden Material eingelagertem IIb- oder VIIa- Metall kann etwa so groß sein, wie der des dotierenden Seltenerdmaterials.
Welche Stoffe in welcher Weise zu den bei Ausführungsformen der Erfindung vorgesehenen elektrolumineszierenden Werkstoffen führen, ist in Unteransprüchen angegeben. Diese Ausführungsformen lassen sich tabellarisch wie folgt zusammenfassen:
Effusionsquellen
Die elektrolumineszierenden Werkstoffe entstehen aus den Quellenmaterialien durch reaktives Aufdampfen. Die bei den Ausführungsformen der Erfindung zur Verwendung gelangenden Zusatzmaterialien erlauben auch, die Elektronenstrahlverdampfung oder reaktives Sputtern anzuwenden. Vorrichtungen zur Ausführung der Herstellungsverfahren für reaktives Aufdampfen, in deren Präparationskammer ein Hochvakuum herrscht, können mit selektiv beheizbaren Effusionszellen für die Materialien M, X, Y, N, D, D₂X3,D₂Y3,Z, ZX und ZY ausgerüstet sein, von denen die jeweils benötigten in Betrieb zu nehmen sind. Es läßt sich ohne Unterbrechung eine aus einem Rot-Strahler - ZnS : Mn - und einem Blau/Grün-Strahler bestehende mehrlagige Schicht für Weißlichtemission ausbilden.
Entsprechende Ergebnisse sind in einer Präparationskammer zu erzielen, die mit Targets beschickbar sind, welche die jeweils benötigten Quellenmaterialien, qualitativ und quantitativ, enthalten.
Der Prozeß eines reaktiven Aufdampfens kann beispielsweise wie folgt ablaufen:
  • 1. Evakuieren der Präparationskammer
  • 2. Hochheizen des Substrats auf T 400°C
  • 3. Hochheizen der Effusionsquellen für z. B.:
    Sr: auf T≈690°
    S: auf T≈200°C
    CeCl₃: auf T≈640°C
    ZnS: auf T≈970°C
  • 4. Starten des Aufdampfvorganges durch Öffnen von Blenden an den Effusionsquellen
  • 5. Schließen der Blenden nach t≈ 1 h zur Beendigung des Aufdampfvorganges
  • 6. Abkühlen der Quellen und des Substrats
  • 7. Entnahme des Substrats mit fertigem Film des elektrolumineszierenden Werkstoffs.
Das reaktive Aufdampfen zeichnet sich dadurch aus, daß der Wirtskristallfilm aus reinen Elementen, z. B. Sr und S, wächst und die Quellenmaterialien bezüglich des Materialflusses und des Partialdruckes unabhängig voneinander gesteuert werden können. Dies gilt auch für das Zusatzmaterial, so daß der Einfluß des Partialdrucks z. B. von S, besonders bei höheren Substrattemperaturen, gemäß der technischen Lehre der Erfindung auf einfache Weise kompensierbar ist. Der Partialdruck des S kann somit von beispielsweise 1 × 10-6 mbar (= 10-4Pa) auf 5 × 10-6 mbar (= 5 × 10-4Pa) erhöht werden. Dadurch läßt sich die Luminanz und die Effizienz verdoppeln! Nicht zu unterschätzen ist dabei der Vorzug der Erfindung gegenüber einem Einsatz von H₂S oder gar von H₂Se, daß hohe Wasserstoff-Restgasdrücke und überdies toxische Stoffe vermieden werden.
In der Zeichnung sind Ausführungs- und Anwendungsformen der Erfindung dargestellt. Dabei zeigen:
Fig. 1 ein Schaubild der L-V-Kennlinien eines bekannten und eines erfindungsgemäßen Blau/Grün-Strahlers
Fig. 2 einen Querschnitt durch ein TFEL-Display mit einer mehrlagigen Schicht für Weißlichtemission;
Fig. 3 eine Präparationskammer für reaktives Aufdampfen und
Fig. 4 eine Präparationskammer für Elektronenstrahlverdampfung.
Das in Fig. 1 gezeigte Schaubild der bei 1 kHz aufgenommenen Luminanz/Spannungs- Kennlinien (L/V-Kennlinien) zweier SrS : CeCl₃-Strahler soll die mit der erfindungsgemäßen technischen Lehre erzielbaren Ergebnisse verdeutlichen. Die Kennlinie a) gehört zu einem Blau/Grün-Strahler, bei dem der Wirtskristallfilm mit elementarem S ausgebildet worden ist (Stand der Technik), die Kennlinie b) zu einem B/G-Strahler gemäß der Erfindung. Es wurden die Luminanzniveaus bei 1 µC/cm² für Vergleichszwecke benutzt. Die Ausführungsform der Erfindung (b) zeigt einen um den Faktor 1,7 höheren Luminanzwert (cd/m²) als die gemäß dem Stand der Technik (a). In diesem Faktor ist nicht berücksichtigt, daß bei (b) die Emission etwas mehr Blau enthält als die von (a). Die Effizienz (Wirkungsgrad) bei (b) liegt über 1 lm/W.
Ein Weißlichtstrahler, bestehend aus ZnS : Mn/SrS : Ce gemäß einer Ausführungsform der Erfindung, erzeugte eine Leuchtdichte von 4.000 cd/m²bei 1 kHz Anregungsfrequenz.
Über die Ergebnisse der Arbeiten, mit denen die vorliegende Erfindung im Zusammenhang steht, berichten K.-O. Velthaus, U. Troppenz, B. Huttl, R. Herrmann und R.H. Mauch: "Novel Anion Precursors for Akaline-Earth Based Thin Film Electroluminescence" anläßlich des 7th Workshops on Electroluminescence vom 10. bis 13. Oktober 1994 in Beÿing, China.
Bei dem in Fig. 2 schematisch dargestellten Querschnitt durch ein Dünnfilm- Elektrolumineszenz (TFEL)-Display befindet sich auf einem Substrat S eine erste Elektrode E1, die aus Aluminium - Al - mit einer Schichtdicke von 150 nm besteht. Darüber liegt eine erste Isolatorschicht I1 aus Si₃N₄ mit einer Dicke von 200 nm.
Die aktiven Schichten AL1 für einen Blau/Grün-Strahler, z. B. aus Mx : D (Erklärungen für M, X, D: siehe weiter vorstehend) und einer Dicke von 700 nm sowie AL2 für einen Rot/Gelb/Grün-Strahler aus ZnS : Mn mit einer Dicke von 200 nm sind abgedeckt mit einer zweiten Isolatorschicht I2 aus Ta₂O₅/Si₃N₄ einer Dicke von 250 nm. Die Gegenelektroden E2 bestehen aus Indiumzinnoxid -ITO-.
Der Pfeil gibt die Blickrichtung an. Dies bedeutet im vorliegenden Fall, daß die Schichten in der vorstehend genannten Reihenfolge ausgebildet werden, das kürzerwelligere Blau/Grün-Licht das langwelligere Rotlicht durchdringt und das durch Überlagerung dieser Spektren entstehende Weißlicht mit Farbfiltern in Primärfarben zerlegt werden kann, die sich - nicht dargestellt - auf den Indiumzinnoxid-Elektroden E2, die die Frontseite des Displays bilden, befinden.
Die in den Fig. 3 und 4 schematisch dargestellten Präparationskammern 1 enthalten ein Substrat 2, das mittels einer Heizung 3 auf die gewünschte Temperatur erwärmt wird.
Für die bei reaktivem Aufdampfen elektrolumineszierender Werkstoffe benötigten Quellenmaterialien sind in Fig. 3 mehrere einzeln beheizbare Effusionsquellen 4.1, 4.2, 4.(n-1), 4.n vorgesehen. Diese enthalten z. B. Sr, S, CeCl₃ und ZnS. Der sich auf dem Substrat 2 bildende Film besteht dann aus SrS: Ce und weist außerdem Spuren von Zn auf. Der Wirtskristallfilm enthält Sr und S in stöchiometrischem Verhältnis, die Ce- Dotierung sowie die sich auf die Luminanz vorteilhaft auswirkende Zn- "Verunreinigung" in den gewünschten Konzentrationen.
Entsprechende Ergebnisse lassen sich mit Elektronenstrahlverdampfung erzielen. Dazu ist gemäß Fig. 4 ein Target 5 in die Präparationskammer 1 einzusetzen, das die erforderlichen Quellenmaterialien qualitativ und quantitativ vorherbestimmt enthält. Von einer Elektronenstrahlquelle 6 wird das Target 5 gleichmäßig so lange bestrahlt, bis der elektrolumineszierende Werkstoff auf dem Substrat 2 als Film die gewünschte Dicke erreicht hat.
Die Präparationskammern 1 enthalten im Bereich zwischen dem Substrat 2 und den Materialquellen 4 bzw. 5 noch eine Kühlfalle 7, an der sich überschüssiges Material, z. B. IIb- bzw. VIIa-Metall des Zusatzmaterials Z, ZX und/oder ZY, niederschlägt.

Claims (16)

1. Dünnfilm-Elektrolumineszenz (TFEL) Display mit einer mehrlagigen aktiven Schicht für Weißlichtemission, in der ein Blau/Grün-Strahler aus einer stöchiometrisch aufgewachsenen Erdalkaliverbindung, dotiert mit einem Seltenerdmaterial, besteht, dadurch gekennzeichnet, daß der Blau/Grün-Strahler einen Wirtskristallfilm aus Erdalkalimaterial mit Spuren mindestens eines Metalls der Gruppe IIb oder VIla und das Seltenerdmaterial in homogener Verteilung aufweist und die erzeugbare Leuchtdichte der Weißlichtemission bei 1 kHz Anregungsfrequenz oberhalb von 4.000 cd/m² mit einem Wirkungsgrad von besser als 1 lm/W liegt.
2. TFEL-Display nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wirtskristallfilm des Blau/Grün- Strahlers aus einer Erdalkaliverbindung der Zusammensetzung Mx, mit M = Sr oder Ca und X = S, besteht.
3. TFEL-Display nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wirtskristallfilm des Blau/Grün- Strahlers aus einer Erdalkaliverbindung der Zusammensetzung MY, mit M = Sr oder Ca und Y = Se, besteht.
4. TFEL-Display nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wirtskristallfilm des Blau/Grün- Strahlers aus einer Erdalkaliverbindung der Zusammensetzung MXY, mit M = Sr oder Ca, X= SundY= Se, besteht.
5. TFEL-Display nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wirtskristallfilm des Blau/Grün- Strahlers aus einer Erdalkaliverbindung der Zusammensetzung MN₂X₄, mit M = Sr oder Ca, N = Ga und X = S, besteht.
6. TFEL-Display nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wirtskristallfilm des Blau/Grün- Strahlers aus einer Erdalkaliverbindung der Zusammensetzung MN₂X₄, mit M = Sr oder Ca, N = Ga und X = Se, besteht.
7. TFEL-Display nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das dotierende Seltenerdmaterial D = Ce oder Eu ist.
8. TFEL-Display nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das dotierende Seltenerdmaterial die Zusammensetzung DH₃, mit D = Ce oder Eu und H = Cl oder F, aufweist.
9. TFEL-Display nach einem der Ansprüche 2, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das dotierende Seltenerdmaterial die Zusammensetzung D₂X₃ mit D = Ce oder Eu und X = S, aufweist.
10. TFEL-Display nach einem der Ansprüche 3, 4 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das dotierende Seltenerdmaterial die Zusammensetzung D₂Y₃, mit D = Ce oder Eu und Y = Se, aufweist.
11. Verfahren zur Herstellung eines Blau/Grün-Strahlers aus einer stöchiometrisch aufgewachsenen Erdalkaliverbindung, dotiert mit einem Seltenerdmaterial, in einer mehrlagigen aktiven Schicht für Weißlichtemission eines Dünnfilm-Elektrolumineszenz (TFEL) Displays, dadurch gekennzeichnet, daß während des Aufwachsens eines Wirtskristallfilms des Blau/Grün-Strahlers neben den Komponenten der Erdalkaliverbindung und dem dotierenden Seltenerdmaterial simultan ein Zusatzmaterial beigegeben wird, das aus mindestens einem Metall der Gruppe IIb oder VIIa oder dessen Verbindung mit demjenigen Chalkogenmaterial besteht, welches auch in der Erdalkaliverbindung vertreten ist.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß einer Erdalkaliverbindung der Zusammensetzung Mx, mit M = Sr oder Ca und X = S oder MXY, mit M = Sr oder Ca, X = S und Y = Se oder MN₂X₄, mit M = Sr oder Ca, N = Ga und X = S das Zusatzmaterial aus Z oder einer Zusammensetzung ZX, mit Z = Zn, Cd oder Mn und X = S, zugegeben wird.
13. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß einer Erdalkaliverbindung der Zusammensetzung MY, mit M = Sr oder Ca und Y = Se oder MN₂Y₄, mit M = Sr oder Ca, N = Ga und Y = Se das Zusatzmaterial aus Z oder einer Zusammensetzung ZY, mit Z = Zn, Cd oder Mn und Y = Se zugegeben wird.
14. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß einer Erdalkaliverbindung der Zusammensetzung MxY, mit M = Sr oder Ca, X = S und Y = Se, das Zusatzmaterial einer Zusammensetzung ZY, mit Z = Zn oder Cd und Y = Se zugegeben wird und dieses Zusatzmaterial als alleinige Quelle für die Komponente Y der Erdalkaliverbindung dient.
15. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß eine Präparationskammer mit selektiv beheizbaren Effusionszellen für die Materialien M (Sr, Ca), X (S), Y (Se), N (Ga), D (Ce, Eu)/D₂X₃ (Ce₂S₃, Eu₂, S₃)/D₂Y₃ (Ce₂Se₃, Eu₂Se₃), Z (Zn, Cd, Mn) und ZX (ZnS, CdS, MnS) sowie ZY (ZnSe, CdSe, MnSe) ausgerüstet ist.
16. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß eine Präparationskammer mit Targets beschickbar ist, welche jeweils die Quellenmaterialien der Erdalkaliverbindung in stöchiometrischem Verhältnis, des Dotierungsmaterials und des Zusatzmaterials in der gewünschten Konzentration enthalten.
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