DE4432712C2 - Zur Beschichtung mit einem Hochtemperatur-supraleitenden Material geeignetes keramisches Substrat - Google Patents
Zur Beschichtung mit einem Hochtemperatur-supraleitenden Material geeignetes keramisches SubstratInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein zum Einsatz im Bereich der
Beschichtungstechnik, insbesondere bei Einsatz von
Hochtemperatur-supraleitenden Materialien, vorgesehenes
Substrat mit Vorder- und Rückseite.
Bekanntlich finden Wafer ihre Verwendung als Substrate
im Bereich der Beschichtungstechniken zur Herstellung
von mikroelektronischen, optoelektronischen oder son
stigen Bauelementen. Mit Hilfe zum Teil gegebenenfalls
unterschiedlicher Depositionstechniken wird dabei Ma
terial in Form einer oder mehrerer Schichten auf die
Oberfläche auf einer Seite (Vorderseite) des Substrate
aufgebracht. Teilweise erfolgt diese Deposition bei
Temperaturen, die weit oberhalb Raumtemperatur liegen.
Die Deposition von insbesondere Hochtemperatur-supra
leitenden Materialien (HTSL) verlangt je nach Abschei
deverfahren, Prozeßdruck und Substratmaterial Tempera
turen zwischen 750 und 850°C. Für die Abscheidung opti
maler epitaktischer Pufferschichten, wie z. B. CeO₂,
müssen Temperaturen von bis zu 900°C realisiert werden.
In dem zur Deposition relevanten Druckbereich von weni
ger als 100 Pa wird der größte Teil der thermischen
Energie durch direkte Wärmestrahlung und nur in gerin
gem Umfang durch Konvektion übertragen.
Um eine bessere Ankopplung durch Konvektion und damit
eine bessere Ausnutzung der vom Heizsystem bereitge
stellten thermischen Energie zu erreichen, werden die
zur Abscheidung verwendeten Substrate üblicherweise di
rekt auf die Heizplatte oder den Substratträger, z. B.
mit Silberleitkleber, geklebt. Diese Methode führt bei
gleicher Heizleistung zu deutlich höheren Substrattem
peraturen im Vergleich zu nicht aufgeklebten Substra
ten. Allerdings ist dieses Verfahren nicht, oder nur
schwer, mit einer automatischen Beladung zu vereinba
ren. Des weiteren gehen Substrat und Heizer beim Prozeß
eine oft nur sehr schwer lösbare Verbindung ein, und
bei erhöhtem Sauerstoffpartialdruck ist eine deutliche
Alterung des Klebers schon während des Prozesses zu be
obachten. Eine konstante und homogene Aufwachstempera
tur ist daher über einen längeren Zeitraum nicht ge
währleistet.
Bei der Verwendung großflächiger Substrate hat sich das
Klebeverfahren als vollkommen ungeeignet herausge
stellt. Beim Aushärten des Klebers kann das Lösungs
mittel nicht ungestört entweichen, ohne die Klebung in
den Randbereichen zu zerstören. Es kommt daher nur
stellenweise und nicht reproduzierbar zu einem hinrei
chenderen Kontakt zwischen Heizplatte und Substrat.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Substrat zu schaffen,
bei dem die vorgenannten Nachteile gemindert werden und insbeson
dere eine verbesserte Ausnutzung der Heizenergie, eine
homogenere Heizung sowie eine automatische Beladung des
Substrats erreicht wird.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein Substrat mit einer
aus Kupfer gebildeten Schicht, die mit der Rückseite
des Substrats verbunden ist. Es wurde erkannt, daß die
zur Abscheidung von beispielsweise HTSL-Materialien
verwendeten, gängigen Substratmaterialien, wie bei
spielsweise MgO, SrTiO₃, YSZ, LaAlO₃ und Al₂O₃, nur eine
geringe Absorption der Wärmestrahlung im relevanten
Wellenlängenbereich besitzen. Dadurch ist der durch
Wärmestrahlung sich übertragende Beitrag der Heizung
relativ klein. Es wurde erkannt, daß durch Auftragen
einer rückseitigen Beschichtung des Substrats mit Kup
fer sich dieser Beitrag durch Wärmestrahlung erheblich
vergrößert. Besonders vorteilhaft weist die Kupfer
schicht auf der dem Substrat abgewandten Seite im Ober
flächenbereich eine Kupferoxidschicht auf. Es wurde er
kannt, daß in vorteilhafter Weise das schwarze Kupfer
oxid die Funktion einer optimalen Absorptionsschicht
hinsichtlich der Wärmestrahlung des Heizers übernimmt.
Insoweit die Kupferoxidschicht nur zum Teil in oxidier
ter Form vorliegt, wird zusätzlich in vorteilhafter
Weise erreicht, daß das zwischen der Oxidschicht und
dem Substrat verbleibende Kupfer aufgrund der nicht
durchoxidierten Kupferschicht bis zum Substrat die auf
der Rückseite des Substrats angebotene Temperatur homo
gen über das Substrat verteilte so daß dadurch sehr re
produzierbare und homogen beheizte Depositionsvorgänge
auf diesem Substrat ermöglicht werden, auch dann, wenn
es sich um Substrate größerer Abmessungen handelt. Ins
gesamt eignet sich ein solches Substrat besonders bei
kontaktloser, aber effektiver Ankopplung an das Heiz
system zur Deposition bei erhöhten Temperaturen. Zu
sätzlich wird in vorteilhafter Weise die erforderliche
Heizleistung zur Erreichung einer bestimmten Substrat
temperatur reduziert, was zu einer Energieeinsparung
führt. Schließlich wird dadurch vorteilhaft auch eine
Reduzierung des Abdampfens von auf dem Heizer deponier
tem Material bewirkt.
Gemäß Anspruch 3 kann es dabei zweckmäßig sein, daß die
Kupferschicht eine Schichtdicke im Bereich von 10 µm
bis zu 150 µm aufweist. Schichtdicken außerhalb sind
u. U. aber auch mehr oder weniger geeignet.
Druck: 0,066 mbar
Schichtdicke: 10 µm-150 µm
Prozeßgas: Argon
Verteilung: homogen über das Substrat oder gegebenenfalls zonenmäßig (z. B. zum Ausgleich von In homogenitäten des Heizers)
Schichtdicke: 10 µm-150 µm
Prozeßgas: Argon
Verteilung: homogen über das Substrat oder gegebenenfalls zonenmäßig (z. B. zum Ausgleich von In homogenitäten des Heizers)
Die hier aufgeführten Parameter beziehen sich nur auf
den HTSL-Prozeß. Das Verfahren läßt sich in alle Berei
che der Technik, in denen Temperaturankopplung gefor
dert ist, übertragen. TC-Messung an einem 5,08 cm gro
ßen LaAlO₃-Substrat wurden durchgeführt:
Aufbau LaAlO₃ -Substrat
rückseitig: Cu/CuO-Schicht
vorderseitig: YBaCuO-System
rückseitig: Cu/CuO-Schicht
vorderseitig: YBaCuO-System
Diese HTSL-Schicht war ohne Cu-Beschichtung nicht her
stellbar.
Im übrigen kann an Stelle des Kupfers, ggfs. mit oxi
dierter Schichtoberfläche, ein anderes Material oder ei
ne andere Materialkombination gewählt werden, soweit
das Material eine möglichst hohe Wärmeleitfähigkeit zur
Übertragung der vom Heizer abgestrahlten Wärme auf die
Rückseite des Substrats gewährleistet, gegebenenfalls in Kombination
mit einer Oberflächenbeschichtung dieses Materials, die
hinsichtlich der Absorption der vom Heizer abgestrahl
ten Wärme möglichst dem Verhalten eines schwarzen Kör
pers nahekommt. Dabei sollte die Materialwahl so vor
genommen werden, daß diese nach Möglichkeit keine er
heblichen Nachteile in Bezug auf die auf der Vorderseite
des Substrats vorgesehenen Schicht(-en-)bildung und
Schicht(-en-)eigenschaften bewirkt.
Insoweit die Rückseite mit Cu oder Cu/CuO oder einem
anderen geeigneten Material beschichtet ist, kann es
sich zur Erzielung einer homogenen Wärmeverteilung über
die gesamten Rückseite als vorteilhaft erweisen, die
gesamte Rückseite zu beschichten. Nicht ausgeschlossen
ist jedoch, zu bestimmten Anwendungszwecken eine late
ral partielle und/oder eine lateral unterschiedlich
dicke Beschichtung der Rückseite des Substrats vorzuse
hen (Anspruch 2).
Beispielsweise dann, wenn der Heizer als Wider
standsheizsystem mäanderförmig ausgebildet ist, ist es
denkbar, die rückseitige Beschichtung des Substrats zur
Erzielung einer homogenen Wärmeverteilung daraufhin an
zupassen.
Insofern das Substrat zur vorderseitigen Beschichtung
von HTSL-Materialien oder anderen bei Anwesenheit von
O₂ in der Atmosphäre der Depositionskammer abzuschei
denden Materialien vorgesehen ist, kann ein zunächst
nur mit rückseitiger Cu-Beschichtung versehenes
Substrat in die Depositionskammer eingebracht und so
dann in O₂ durch Erhöhung der Substrattemperatur bis
auf die beabsichtigte Depositionstemperatur vor Anfang
der Deposition im rückseitigen Oberflächenbereich oxi
diert werden.
Claims (4)
1. Zur Beschichtung mit einem Hochtemperatur
supraleitenden Material geeignetes keramisches
Substrat mit Vorder- und Rückseite,
welches auf seiner Rückseite eine Kupfer-Schicht und
auf der dem Substrat abgewandten Seite der Kupfer
schicht im Oberflächenbereich eine schwarze Kupfer
oxid-Schicht aufweist.
2. Substrat nach Anspruch 1, mit einer auf den jeweili
gen Anwendungszweck gerichteten, lateral partiellen
oder lateral unterschiedlich dick ausgebildeten,
rückseitigen Schicht.
3. Substrat nach Anspruch 1 oder 2,
bei dem die Dicke der Kupfer-Schicht im Bereich von
10 µm bis 150 µm liegt.
4. Substrat nach Anspruch 1, 2 oder 3,
bei dem das keramische Substrat aus MgO, SrTiO₃,
YSZ, LaAlO₃ oder Al₂O₃ besteht.
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