DE4429857A1 - Detektor für Magnetposition - Google Patents

Detektor für Magnetposition

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Description

Die Erfindung betrifft einen Detektor zum Erfassen der Po­ sition eines sich längs einer Bahn bewegenden Magneten, umfassend einen Magnetfeldsensor mit einem magnetfeld­ empfindlichen Sensorelement und mit einer mit dem Sensor­ element verbundenen Auswerteschaltung, welche einen ein von der Magnetfeldstärke abhängiges Signal erzeugenden Signalgenerator und einen Schwellwertschalter, umfaßt, welcher je nachdem, ob das Signal einen Schwellwert über­ schreitet oder nicht, ein Schaltsignal generiert.
Das Problem derartiger Detektoren besteht darin, daß dann, wenn der Magnet auf seiner Bahn das magnetfeldempfindliche Sensorelement passiert, das erzeugte Signal aufgrund des Feldlinienverlaufs des Magneten zunächst ein Nebenmaximum, dann das Hauptmaximum und anschließend wieder ein Neben­ maximum durchläuft. Um bei diesem Verlauf des Signals ein eindeutiges Positionssignal, nämlich nur beim Auftreten des Hauptmaximums, zu erhalten und zu vermeiden, daß auch ein Nebenmaximum den Schwellwert überschreitet und damit ein dem Hauptmaximum entsprechendes Schaltsignal generiert wird, ist entweder je nach Einbauort des Detektors eine Anpassung des Schwellwertes vorzunehmen, oder es ist der Einbauort, insbesondere der Abstand von der Bahn des Mag­ neten, so zu variieren, daß das Nebenmaximum unterhalb des Schwellwertes liegt und kein dem Hauptmaximum entsprechen­ des Schaltsignal auslöst.
Üblicherweise wird für jede Anwendung, d. h. je nach Art des sich längs einer Bahn bewegenden Magneten und je nach Einbauort des Detektors ein entsprechend angepaßter Detek­ tor hergestellt.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Detektor der gattungsgemäßen Art derart zu verbessern, daß dieser unempfindlicher gegenüber den Nebenmaxima und somit einbaufreundlicher und universeller einsetzbar wird.
Diese Aufgabe wird bei einem Detektor der eingangs be­ schriebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß nahe des Sensorelements ein Abschirmelement vorgesehen ist und daß das Abschirmelement im wesentlichen eine Durchdringung des Sensorelements bei den Magnetfeldlinien zuläßt, die parallel zu einer Vorzugsrichtung verlaufen und die ande­ ren Magnetfeldlinien unterdrückt.
Ein derartiges erfindungsgemäßes Abschirmelement erlaubt es, die das Sensorelement durchdringenden Magnetfeldlinien zu einem großen Teil auf diejenigen Magnetfeldlinien einzu­ schränken, die beim Durchdringen des Sensorelements im wesentlichen nur parallel zur Vorzugsrichtung oder zu einer die Vorzugsrichtung umfassenden Vorzugsebene verlau­ fen und somit die für die Ausbildung der Nebenmaxima ver­ antwortlichen Feldlinien zu einem erheblichen Teil an ei­ ner Durchdringung des Sensorelements zu hindern, so daß die Nebenmaxima signifikant reduziert werden.
Damit zeigt das Signal bei einem einmal ausgerichteten und entsprechend angeordneten Abschirmelement in einer Stel­ lung des Magneten auf seiner Bahn ein Hauptmaximum, wel­ ches gegenüber den Nebenmaxima wesentlich größer ist als ohne Abschirmelement, so daß der Schwellwert so vor­ eingestellt werden kann, daß unabhängig von der räumlichen Lage des Sensorelements relativ zur Bahn des Magneten die Nebenmaxima nie so groß werden, daß sie außerhalb des Schwellwerts liegen, so daß damit die Anpassungsprobleme eines derartigen Detektors geringer sind oder entfallen.
Das Sensorelement kann prinzipiell beliebig ausgebildet sein. Eine besonders vorteilhafte Unterdrückung der Neben­ maxima ist dann erhältlich, wenn das Sensorelement eine von der Magnetfeldstärke in Richtung einer Vorzugsrichtung desselben abhängige Magnetfeldempfindlichkeit aufweist.
Prinzipiell können die Vorzugsrichtung des Sensorelements und die Vorzugsrichtung, in welcher das Abschirmelement wirksam ist beliebig schräg zueinander verlaufen. Eine besonders gute Unterdrückung der Nebenmaxima ist dann erhältlich, wenn die Vorzugsrichtung des Sensorelements und die Vorzugsrichtung, in welcher das Abschirmelement wirksam ist, parallel zueinander verlaufen.
Das Sensorelement selbst kann in beliebiger Art und Weise ausgebildet sein. Ein besonders vorteilhaftes Ausführungs­ beispiel sieht vor, daß das Sensorelement eine ihr elek­ trisches Verhalten in Abhängigkeit von der Magnetfeld­ stärke ändernde Materialschicht aufweist. Eine derartige Ausbildung des Sensorelements läßt insbesondere in vorteil­ hafter Weise die Festlegung einer Vorzugsrichtung für die Magnetfeldempfindlichkeit des Sensorelements realisieren.
Beispielsweise kann in diesem Fall das Sensorelement als magnetoresistives Element, beispielsweise als sogenannte Feldplatte oder Permalloyschicht, oder als Hallsensor arbeiten.
Bei Verwendung eines eine Vorzugsrichtung aufweisenden Sensorelements kann die Vorzugsrichtung prinzipiell zur Bahn des Magneten beliebig ausgerichtet sein. Eine beson­ ders günstige Unterdrückung der Nebenmaxima relativ zum Hauptmaximum läßt sich dann erreichen, wenn die Vorzugs­ richtung des Sensorelements im wesentlichen parallel zur Bahn des Magneten verläuft.
Hinsichtlich der Ausbildung des Schwellwertschalters wurde bislang lediglich davon ausgegangen, daß dieser ein Über­ schreiten eines Schwellwertes feststellt. Als besonders vorteilhaft hat sich jedoch ein Schwellwertschalter er­ wiesen, welcher erkennt, ob das Signal zwischen zwei Schwellwerten liegt oder nicht und entsprechend ein Schaltsignal erzeugt.
Das Abschirmelement kann prinzipiell in unterschied­ lichster Art und Weise ausgebildet und angeordnet sein, solange es die unerwünschten Magnetfeldlinien unterdrückt.
Eine besonders einfache Ausbildung und Anordnung des Ab­ schirmelements ist dann möglich, wenn dies auf einer der Bahn des Magneten zugewandten Seite des Sensorelements angeordnet ist, da dann das Abschirmelement die uner­ wünschten Magnetfeldlinien um das Sensorelement herum­ führen kann.
Konstruktiv besonders einfach kann das Abschirmelement dann ausgebildet sein, wenn es sich in einer zur Vorzugsrichtung parallelen Ebene erstreckt, so daß eine optimale Unterdrückung der unerwünschten Magnetfeldlinien bei geringer Bauhöhe von Sensorelement und Abschirmelement möglich wird.
Um eine genügend große Abschirmwirkung für die unerwünsch­ ten Magnetfeldlinien zu erreichen, ist vorteilhafterweise vorgesehen, daß das Abschirmelement in Richtung der Vor­ zugsrichtung mindestens das Sensorelement überdeckt. Noch vorteilhafter ist es, wenn das Abschirmelement sich in Richtung der Vorzugsrichtung zumindest auf einer Seite über das Sensorelement hinauserstreckt.
Noch besser ist es, wenn sich das Abschirmelement in Rich­ tung der Vorzugsrichtung beiderseits über das Sensor­ element hinauserstreckt.
Besonders gute Abschirmwerte sind insbesondere dann er­ reichbar, wenn das Abschirmelement in Vorzugsrichtung eine Ausdehnung aufweist, welche mindestens dem 1,5-fachen, noch besser dem 2-fachen der Ausdehnung des Sensorelements in dieser Richtung entspricht.
Hinsichtlich der einzelnen Formen des Abschirmelements sind bislang keine näheren Angaben gemacht. So sieht ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel vor, daß das Abschirm­ element plattenähnlich ausgebildet ist und vorzugsweise eine Dicke von mindestens 0,01 mm aufweist, wobei diese Dicke einige mm erreichen kann.
Darüber hinaus ist vorteilhafterweise vorgesehen, daß sich das Abschirmelement auch quer zur Vorzugsrichtung über die Breite des Sensorelements, noch besser über dieses hinaus erstreckt.
Eine besonders vorteilhafte konkrete Realisierung des erfindungsgemäßen Detektors sieht vor, daß das Abschirm­ element auf einem Gehäuse des Sensorelements aufliegt und somit eine besonders kompakte Einheit aus Abschirmelement und Sensorelement herstellbar ist.
Hinsichtlich des für das Abschirmelement vorgesehenen Materials wurden ebenfalls bislang keine weiteren Angaben gemacht. So sieht ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel vor, daß das Abschirmelement aus ferromagnetischem Mate­ rial, z. B. aus Ferrit, Metallglas, Mu-Metall oder amorphem Metall hergestellt ist.
Bei einem kompakten Ausführungsbeispiel eines erfindungs­ gemäßen Detektors ist ferner vorgesehen, daß das Abschirm­ element in das Gehäuse des Detektors auf einer der Bahn zugewandten Frontseite angeordnet ist und vorzugsweise einen der Bahn zugewandten Abschluß des Gehäuses bildet.
Ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Auswerte­ schaltung könnte beispielsweise diskret aufgebaut sein. Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn das Sensor­ element, der Signalgenerator und der Schwellwertschalter auf einem Chip integriert sind.
Weitere Merkmale und Vorteile sind Gegenstand der nach­ folgenden Beschreibung sowie der zeichnerischen Darstel­ lung einiger Ausführungsbeispiele. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine ein Blockdiagramm einer Schaltung eines er­ findungsgemäßen Detektors mit einem erfindungs­ gemäßen Sensorelement;
Fig. 2 und 3 die bei unterschiedlichen Stellungen des Magneten das Sensorelement bei herkömmlicher Anordnung durchsetzenden Magnetfeldlinien;
Fig. 4 den durch die Magnetfeldlinien gemäß Fig. 2 und 3 erzeugten Verlauf des Signals S über den einzelnen Bahnpositionen des Magneten und die beispielhaft erzeugten Schaltsignale (0,1);
Fig. 5 einen Längsschnitt durch einen erfindungsgemäßen Detektor;
Fig. 6 einen Schnitt längs Linie VI-VI in Fig. 5;
Fig. 7 und 8 den Verlauf von Magnetfeldlinien bei unterschied­ lichen Stellungen des Magneten durch einen erfin­ dungsgemäßen Detektor; und
Fig. 9 den Verlauf des Signals mit (durchgezogen) und ohne (gestrichelt) Abschirmelement in Abhängigkeit von unterschiedlichen Bahnpositionen des Magneten sowie das korrespondierende Schaltsignal (0,1).
Ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Detektors umfaßt, wie in Fig. 1 schematisch dargestellt, ein als Ganzes mit 10 bezeichnetes magnetfeldempfindliches Sensor­ element, welches aus mehreren magnetfeldempfindlichen Schichtbereichen aus Permalloy aufgebaut ist, die in Fig. 1 in Form einzelner Widerstände 12a, 12b, 12c und 12d dargestellt sind, welche ihren Widerstandswert magnetfeld­ abhängig ändern. Diese einzelnen Schichten 12a bis 12d sind in Form einer in Fig. 1 mit 14 bezeichneten Wheat­ stone-Brücke zusammengeschaltet, wobei zwei einander gegen­ überliegende Anschlüsse 16 und 18 mit einer Speisespannung U verbunden sind und die zwei anderen, ebenfalls einander gegenüberliegenden Anschlüsse 20 und 22 zu einer als Gan­ zes mit 24 bezeichneten Auswerteschaltung geführt sind, welche mit einem Signalgenerator 25 eine an diesen An­ schlüssen 20 und 22 anliegende Spannung verstärkt und ein Signal S generiert, die einem Schwellwertschalter 26 der Auswerteschaltung 24 zugeführt ist, der je nach dem, ob das Signal S zwischen einem oberen und einem unteren Schwellwert SW+, SW- liegt, einen Schalter 28 schließt oder öffnet, welcher mit Ausgängen 30 und 32 des Detektors verbunden ist.
Ein nach diesem Prinzip arbeitender Detektor ist beispiels­ weise aus der EP-A-0 179 384 oder der WO 88/02579 bekannt, auf welche hiermit Bezug genommen wird.
Das magnetfeldempfindliche Sensorelement 10 detektiert da­ bei im wesentlichen nur Magnetfeldlinien 44, welche paral­ lel zu einer Vorzugsrichtung 34- die magnetfeldempfindlichen Schichtbereiche 12a bis 12d durchsetzen.
Wird das magnetfeldempfindliche Sensorelement 10, wie in Fig. 2 und 3 dargestellt, in bisher bekannter üblicher Art und Weise zur Detektion eines längs einer Bahn 36 sich be­ wegenden Magneten 38, vorzugsweise eines Magneten 38, wel­ cher in einem Kolben 40 eines nicht ferromagnetischen Zylindergehäuses 42 sitzt und sich mit diesem mitbewegt, so erfolgt die Ausrichtung der Vorzugsrichtung 34 vorzugs­ weise parallel zur Bahn 36 und die Anordnung des Sensor­ elements 10 außerhalb des Zylindergehäuses 42.
Von dem Magnet 38 ausgehende Magnetfeldlinien 44 durch­ setzen nun das magnetfeldempfindliche Element 10, wenn der Magnet 38 auf der Bewegung längs der Bahn 36 in dessen Nähe steht.
Steht der Magnet 38, wie in Fig. 2 dargestellt, bezogen auf die Bahn 36, in gleicher Position wie das magnetfeld­ empfindliche Sensorelement 10, so weisen die das magnet­ feldempfindliche Sensorelement 10 durchsetzenden Magnet­ feldlinien 44 im wesentlichen nur eine parallel zur Vor­ zugsrichtung 34 verlaufende Komponente FP auf. In dieser Stellung detektiert das magnetfeldempfindliche Sensor­ element 10 die maximale Feldstärke und das Signal S zeigt, wie in Fig. 4 dargestellt, ein Maximum, welches über dem des Schwellwertes SW+ liegt.
Bewegt sich der Magnet 38 in Richtung der Bahn 36 von dem magnetfeldempfindlichen Sensorelement 10 weg, so durch­ setzen äußere Feldlinien 44′ das magnetfeldempfindliche Sensorelement, wobei diese Feldlinien 44′ eine Komponente FQ′ quer zur Vorzugsrichtung 34 und eine Komponente FP′ parallel zur Vorzugsrichtung 34 aufweisen. Zusätzlich ist die lediglich vom magnetfeldempfindlichen Sensorelement 10 detektierte Komponente FP′ entgegengesetzt zur Komponente FP gerichtet, so daß in dieser Stellung ein in Fig. 4 dar­ gestelltes Nebenmaximum NM entsteht, allerdings mit umge­ kehrtem Vorzeichen bezüglich des Maximums M.
Insgesamt wird vom magnetfeldempfindlichen Sensorelement und der Auswerteschaltung 24 beim Passieren eines sich längs der Bahn 36 bewegten Magneten 38 der in Fig. 4 dar­ gestellte Signalverlauf erzeugt, welcher sowohl beim Annähern des Magneten 38 an die Position des magnetfeld­ empfindlichen Sensors 10 zunächst ein Nebenmaximum NM, dann das Maximum M und sich schließlich beim Entfernen wiederum ein weiteres Maximum NM zeigt und bei weiterer Entfernung des Magneten 38 jeweils gegen Null geht.
Wenn der Schwellwertschalter 36 mit zwei symmetrischen Schwellwerten SW+ und SW- das Signal S auswertet und bei­ spielsweise bei Überschreiten der Schwellwerte SW+ und SW- den Schalter 28 schließt, so tritt ein Schließen des Schalters 28 nicht nur im Bereich des Maximums M auf, son­ dern auch noch ein Schließen des Schalters 28 im Bereich der Nebenmaxima NM, wenn die Nebenmaxima NM stark genug sind und über die Schwelle SW- hinausreichen.
Bei der erfindungsgemäßen Lösung ist nun, wie in Fig. 5 und 6 dargestellt, das Sensorelement 10 in einem Gehäuse 50 angeordnet, wobei die Vorzugsrichtung 34 vorzugsweise parallel zu Flachseiten 52 und 54 des Gehäuses verläuft. Von diesem Gehäuse 50 sind Anschlüsse 56 zu einer elek­ trischen Schaltung 58 geführt, welche vorzugsweise eine senkrecht zu den Flachseiten 52 und 54 ausgerichtete Pla­ tine 60 umfaßt. Die elektrische Schaltung 58 umfaßt dabei ihrerseits die Auswerteschaltung 24 mit dem Schwellwert­ schalter 26 und dem Schalter 28.
Eine bevorzugte Ausführung sieht vor, daß das Sensor­ element 10 und der Signalgenerator 25 sowie der Schwell­ wertschalter 26 auf einem Chip in Form eines IC integriert und in dem Gehäuse 50 angeordnet sind, so daß die Schal­ tung 58 nur noch die Leistungsbauteile, insbesondere des Schalters 28, umfaßt.
Die elektrische Schaltung 58 und das das magnetfeldempfind­ liche Sensorelement 10 umfassende Gehäuse 50 sind ihrer­ seits in einem Detektorgehäuse 52 angeordnet, wobei das Gehäuse 50 stirnseitig des Detektorgehäuses 62 angeordnet ist.
Ferner wird das Detektorgehäuse 62 noch durch ein als Gan­ zes mit 64 bezeichnetes Abschirmelement in Form einer Platte aus ferromagnetischem Material, z. B. Mu-Metall, stirnseitig abgeschlossen, welche das Gehäuse 50 und ins­ besondere auch das magnetfeldempfindliche Sensorelement 10 innerhalb des Gehäuses 50 parallel zur Vorzugsrichtung 34 beidseitig übergreift.
Beim Einsatz eines erfindungsgemäßen Detektors führt nun, wie in Fig. 7 und 8 dargestellt, das Abschirmelement 64 dazu, daß dann, wenn der Magnet 38 bezogen auf die Bahn 36 in gleicher Position steht, wie das magnetfeldempfindliche Sensorelement 10, diejenigen Feldlinien 44, die ausschließ­ lich eine Komponente FP parallel zur Vorzugsrichtung 34 aufweisen, im wesentlichen unbeeinflußt bleiben, daß al­ lerdings, wie insbesondere in Fig. 8 dargestellt, dann, wenn sich der Magnet 38 vom magnetfeldempfindlichen Sensor­ element 10 wegbewegt, die Feldlinien 44′, welche schräg zur Vorzugsrichtung 44 verlaufen und eine nennenswerte Komponente FQ′ im Vergleich zu ihrer Komponente FP′ auf­ weisen, von dem magnetfeldempfindlichen Sensorelement auf­ grund des Abschirmelements 64 abgeschirmt werden und somit nicht zum Signal S* beitragen, so daß, wie in Fig. 9 dar­ gestellt, die Nebenmaxima NM* weit stärker unterdrückt werden als das Maximum M*, wie sich aus einem Vergleich der gestrichelt dargestellten und ohne Abschirmelement 64 aufgenommenen Kurve ergibt.
Damit ist es möglich, die durch die Nebenmaxima NM* ausge­ lösten Schaltvorgänge zu unterdrücken und somit lediglich ein Schalten des Schalters 28 im Bereich des Maximums M* zu erreichen, ohne daß für dieses Schalten beim Maximum M* eine Anpassung des Detektors an den jeweiligen Magnet 38 im jeweiligen Zylindergehäuse 42 erforderlich ist.
Ferner ist in Fig. 9 zu erkennen, daß das Nebenmaximum NM*r kleiner ist als das Nebenmaximum NM*1. Dies ist dar­ auf zurückzuführen, daß sich, wie in Fig. 5 und 6 deutlich dargestellt, das Abschirmelement 64 auf der rechten Seite des Sensorelements 10 um ein mehrfaches über dieses hinaus­ erstreckt als auf der linken Seite, so daß die Abschirm­ wirkung des Abschirmelements 64 für die unerwünschten Mag­ netfeldlinien 44′ dann, wenn sich der Magnet 38, wie in Fig. 8 dargestellt nach rechts bewegt, umfassender ist als bei einer Bewegung des Magneten 38 nach links, bezogen auf das magnetfeldempfindliche Sensorelement 10.
Ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel sieht ferner vor, daß der erfindungsgemäße Detektor, wie in Fig. 7 und 8 dargestellt, unmittelbar an dem Zylindergehäuse 42 eines Betätigungszylinders gehalten ist, wobei er vorzugsweise mit dem Abschirmelement 64 unmittelbar auf einer Außenman­ telfläche 46 des Zylindergehäuses 42 sitzt, um den vom Kolben 40 mitgeführten Magnet 38 zu detektieren.

Claims (22)

1. Detektor zum Erfassen der Position eines sich längs einer Bahn bewegenden Magneten, umfassend einen Mag­ netfeldsensor mit einem magnetfeldempfindlichen Sen­ sorelement und mit einer mit dem Sensorelement ver­ bundenen Auswerteschaltung, welche einen ein von der Magnetfeldstärke abhängiges Signal erzeugenden Signal­ generator und einen Schwellwertschalter umfaßt, wel­ cher je nachdem, ob das Signal einen Schwellwert überschreitet oder nicht, ein Schaltsignal generiert, dadurch gekennzeichnet, daß nahe des magnetfeldempfindlichen Sensorelements (10) ein Abschirmelement (64) vorgesehen ist und daß das Abschirmelement (64) im wesentlichen eine Durch­ dringung des Sensorelements (10) bei den Magnetfeld­ linien (44) zuläßt, die parallel zu einer Vorzugs­ richtung (FP) verlaufen.
2. Detektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement (10) eine von der Magnetfeldstärke (44) in Richtung einer Vorzugsrichtung (34) desselben abhängige Magnetfeldempfindlichkeit aufweist.
3. Detektor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorzugsrichtung (34) des Sensorelements (10) und die Vorzugsrichtung (FP), in welcher das Abschirm­ element (64) wirksam ist, parallel zueinander ver­ laufen.
4. Detektor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement (10) eine ihr elektrisches Verhalten in Abhängigkeit von der Magnet­ feldstärke (44) ändernde Materialschicht (12) aufweist.
5. Detektor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement (10) als magnetoresistives Element oder als Hallsensor arbeitet.
6. Detektor nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement (10) so ange­ ordnet ist, daß die Vorzugsrichtung (34) desselben im wesentlichen parallel zur Bahn (36) des Magneten (38) verläuft.
7. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwellwertschalter (26) je nach dem, ob das Signal zwischen zwei Schwellwerten liegt oder nicht, ein Schaltsignal generiert.
8. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) auf einer der Bahn (36) des Magneten (38) zugewandten Seite des Sensorelements (10) angeordnet ist.
9. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) sich in einer zur Vorzugsrichtung (FP) parallelen Ebene erstreckt.
10. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) in Richtung der Vorzugsrichtung (FP) mindestens das Sensorelement (10) überdeckt.
11. Detektor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) in Richtung der Vorzugs­ richtung (FP) zumindest auf einer Seite über das Sensorelement (10) hinauserstreckt.
12. Detektor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) sich beiderseits über das Sensorelement (10) hinauserstreckt.
13. Detektor nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Abschirmelement (64) in Vorzugs­ richtung (FP) eine Ausdehnung aufweist, die minde­ stens der 1,5-fachen Ausdehnung des Sensorelements (10) in der Vorzugsrichtung (34) entspricht.
14. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) plattenähnlich ausgebildet ist.
15. Detektor nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Abschirmelement (64) quer zur Vorzugsrichtung (FP) erstreckt.
16. Detektor nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Abschirmelement (64) quer zur Vorzugs­ richtung (FP) mindestens über die Breite des Sensor­ elements (10) erstreckt.
17. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) auf einem Gehäuse (50) für das Sensorelement (10) aufliegt.
18. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) plattenähnlich ausgebildet ist.
19. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) aus ferromagnetischem Material ist.
20. Detektor nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) aus Ferrit oder Metall­ glas, Mu-Metall oder amorphem Metall ist.
21. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Abschirmelement (64) in einem Detektorgehäuse (62) auf einer der Bahn (36) zugewandten Frontseite desselben angeordnet ist.
22. Detektor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement (10), der Signalgenerator (25) und der Schwellwertschalter (26) auf einem Chip integriert sind.
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