DE4423288A1 - Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis - Google Patents
Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem DruckerzeugnisInfo
- Publication number
- DE4423288A1 DE4423288A1 DE19944423288 DE4423288A DE4423288A1 DE 4423288 A1 DE4423288 A1 DE 4423288A1 DE 19944423288 DE19944423288 DE 19944423288 DE 4423288 A DE4423288 A DE 4423288A DE 4423288 A1 DE4423288 A1 DE 4423288A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- measuring
- reflected
- measuring light
- partial
- beam splitter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0641—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of polarization
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Die Erfindung dient zum Messen der Dicke einer transparenten
Beschichtung auf einem Druckerzeugnis, insbesondere zur
Messung der Dicke einer Lackschicht auf einem diffus
reflektierenden Bedruckstoff.
Bekannte, nach dem optischen Triangulationsverfahren
arbeitende Anordnungen für die Messung der Dicke
transparenter Schichten enthalten eine opto-elektronische
Meßeinrichtung für den Abstand der an der Beschichtung und an
der Oberfläche des Meßobjektes reflektierten
Meßlichtstrahlen. Die Meßlichtstrahlen gehen von einer
Beleuchtungsvorrichtung aus, wobei mit Hilfe eines optischen
Systems ein Punkt auf die Oberfläche des Meßobjektes
abgebildet wird. Der Meßlichtstrahl wird sowohl an der
Oberseite der Beschichtung als auch an der Oberfläche des
beschichteten Materials reflektiert bzw. gestreut.
Ein weiteres optisches System bildet die Reflexe auf einem
opto-elektronischen Empfänger ab. Mittels einer
Auswerteeinrichtung kann die Lage der Reflexe in der
Empfängerebene bestimmt werden und die Dicke der Beschichtung
errechnet werden.
Nachteilig bei den bekannten Anordnungen ist, daß die Reflexe
nur einen geringen Abstand in der Empfängerebene aufweisen,
so daß die Reflexe nicht oder nur sehr ungenau separiert
werden können. Bei Bedruckstoffen mit hoher Rauhigkeit
entsteht weiterhin der Nachteil, daß sich in dem auf der
Bedruckstoffoberfläche reflektierten Licht eine Vielzahl
solcher Reflexe überlagern, die die Auswertung noch
erschweren oder unmöglich machen.
Zur Schichtdickenmessung sind desweiteren interferometrische
Verfahren und Einrichtungen bekannt, die polarisiertes
Meßlicht verwenden und die die Intensität im an der
Oberfläche eines Meßobjektes reflektierten Meßlicht auswerten
(DE 31 36 887 A1).
In EP 02 49 235 B1 werden im reflektierten
Meßlichtstrahlengang Strahlenteilereinrichtungen verwendet,
die genau drei Lichtstrahlen mit derselben räumlichen
Verteilung wie der reflektierte Meßlichtstrahl erzeugen. In
den drei Lichtstrahlen angeordnete Analysatoren bewirken eine
Extrahierung von wenigstens drei linear polarisierten
Lichtkomponenten mit jeweils verschiedenen
Polarisationswinkeln, deren Intensitäten mit Hilfe von
separat angeordneten fotoelektrischen
Umwandlungseinrichtungen und einer Recheneinrichtung zur
Messung der Schichtdicke ausgewertet werden.
Derartige Meßvorrichtungen sind nicht ohne weiteres für
Schichtdickenmessungen nach dem Triangulationsmeßverfahren
anwendbar, wobei keine besonderen Vorkehrungen getroffen
sind, die Schichtdicke speziell auf diffus reflektierenden
Oberflächen möglichst genau zu messen.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anordnung zum Messen der
Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem
Druckerzeugnis zu ermitteln, die mit einem einfachen Aufbau
eine hohe Meßgenauigkeit ermöglicht.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß nach den Merkmalen des
Anspruchs 1 gelöst.
Die im reflektierten Meßlichtstrahlengang angeordneten
optischen Elemente bewirken eine Unterscheidung und eine
Separation der Reflexe von der Oberfläche der Beschichtung
und der Oberfläche des Bedruckstoffes. Die Messung der Lage
der Reflexe wird nicht mehr durch Nebenreflexe verfälscht,
die von der im Vergleich zur Beschichtung rauhen Oberfläche
des Bedruckstoffes ausgehen.
Über eine Auswertung der Intensitäten der Teilstrahlen kann
die Auswertung der Lage der Reflexe weitgehend unabhängig von
der Größe der Reflexe gemacht werden, indem die Verschiebung
der Lage eines Maximums durch einen benachbarten Reflex
berechnet und die Position entsprechend korrigiert wird. Die
Lage der Reflexe wird für einen definierten Abstand der
Meßanordnung von der Oberfläche des Bedruckstoffes
ausgewertet. Der Abstand kann angezeigt und/oder bei einer
Veränderung selbsttätig nachgestellt werden. Wenn neben dem
Auswertung der Intensitäten der reflektierten
Meßlichtstrahlen auch die Intensität im einfallenden
Meßlichtstrahl ausgewertet wird, dann kann gleichzeitig einen
Glanzmessung vorgenommen werden. Die Anordnung kann direkt in
einer drucktechnischen Maschine eingesetzt werden, wobei eine
örtliche Mittelung in den Schwankungen der Schichtdicke über
die Steuerung der Integrationszeit eines CCD-Empfängers
erfolgen kann. Bei einer Anordnung, die außerhalb der
drucktechnischen Maschine eingesetzt ist, kann besagte
Mittelung durch eine scannende Abtastung der Oberfläche des
Druckerzeugnisses erreicht werden, wobei Teile der
optoelektronischen Empfangseinrichtung eine Abtastbewegung
ausführen.
Die Erfindung soll anhand eines Ausführungsbeispieles noch
näher erläutert werden:
In der Zeichnung ist ein Schema einer Anordnung nach der
Erfindung dargestellt.
Die Figur zeigt einen Bedruckstoff 1, dessen streuende
Oberfläche 2 mit einer Lackschicht 3 versehen ist, deren
Dicke d ermittelt werden soll. Eine Lichtquelle 4 erzeugt
einen Meßlichtstrahl 5 mit Hilfe einer Blende 6, einer
Beleuchtungsoptik 7 und einem Polarisator 8. Als
Lichtquelle 4 ist eine Weißlichtquelle oder ein Laser im
IR-Bereich einsetzbar. Die Lichtquelle 4 kann Licht nur einer
oder mehrerer Wellenlängen erzeugen. Am Ausgang des linearen
Polarisators 8 entsteht ein Meßlichtstrahl 5 mit einer
Polarisationsrichtung 9, die im wesentlichen senkrecht zur
Einfallsebene des Meßlichtstrahls 5 auf der Oberfläche 2 der
Lackschicht 3 steht. Auf den Polarisator 8 kann verzichtet
werden, wenn der Einfallswinkel des Meßlichtstrahles nahe dem
Brewster-Winkel liegt. In diesem Fall erfolgt die
Polarisation an der Oberfläche 2 der Lackschicht 3. Die
Lichtquelle 4 kann mit einer Einrichtung zur Steuerung der
Lichtintensität verbunden sein. Ein Teilstrahl 10 des
Meßlichtstrahles 5 wird an der Oberfläche der Lackschicht 3
reflektiert und ein weiterer Teilstrahl 11 in die
Lackschicht 3 gebrochen.
Die Polarisationsrichtung 9 der Teilstrahlen 10 und 11 ist
gleich der Polarisationsrichtung 9. Der Teilstrahl 11 wird an
der Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 diffus reflektiert. Der
reflektierte Teilstrahl 12 und ein aus der Lackschicht 3
austretender Teilstrahl 13 enthalten Licht der
Polarisationsrichtung 9 und einer dazu senkrecht stehenden
Polarisationsrichtung 14. Die Teilstrahlen 10, 13 werden mit
einem optischen System 15 auf einen Strahlenteiler 16
geführt. Als Strahlenteiler 16 ist ein halbdurchlässiger
Spiegel vorgesehen, der einen Teil des Teilstrahles 13
hindurchläßt und den Teilstrahl 10 und einen Teil der
Teilstrahles 13 reflektiert. Die am Strahlenteiler 16
reflektierten Teilstrahlen 17, 18 werden mittels eines
weiteren Spiegels 19 nochmals abgelenkt, so daß die am
Spiegel 19 reflektierten Teilstrahlen 20, 21 und der durch
den Strahlenteiler 16 hindurchgehende Teilstrahl 22 parallel
verlaufen. Im Strahlengang der Teilstrahlen 21, 22 ist
optional zur Angleichung der Intensitäten ein Graufilter 23
und ein erster Analysator 24 vorgesehen. Im Strahlengang des
Teilstrahls 22 ist ein zweiter Analysator 25 angeordnet,
dessen Polarisationsrichtung senkrecht zu der des
Analysators 24 steht. Die Polarisationsrichtung des ersten
Analysators 24 steht senkrecht zur Einfallsebene des
Meßlichtsstrahles 5.
Vorteilhaft kann die optische Anordnung für den Tellstrahl 22
nach dem Strahlteiler 16 so gewählt werden, daß die optischen
Weglängen der Strahlen 20, 21 und 16 gleich sind, damit eine
einheitliche Bildebene für beide optische Wege der Strahlen
entsteht. Dies kann z. B. durch zusätzliche Spiegel erfolgen.
Nach Durchgang der Teilstrahlen 20, 21, 22 durch die
Analysatoren 24, 25 trifft das Licht auf Fotoempfänger, die
in einer Empfängerebene 26 angeordnet sind. Als Fotoempfänger
sind alle bekannten Empfänger einsetzbar, die eine Messung
des Abstandes der Intensitätsmaxima oder Schwerpunkte der
Teilstrahlen 20, 21 und des Teilstrahls 22 in der
Empfängerebene 26 gestatten. Als Beispiele seien
CCD-Zeilenempfänger oder Quadrantensensoren genannt. Es kann
genau ein Empfänger zum Detektieren der Intensitätsmaxima
vorgesehen sein oder zwei Empfänger, die einen definierten
Abstand zueinander aufweisen und deren Empfindlichkeit an die
jeweilige Intensität anpaßbar ist.
Wie mit einer derartigen Anordnung die Messung der Dicke der
Lackschicht 3 vorgenommen werden kann, soll nachstehend
beschrieben werden:
Mit Hilfe der Blende 6 und der Beleuchtungsoptik 7, die zur
Verkleinerung der nötigen Empfängerfläche eine Zylinderlinse
enthalten kann, wird der Meßlichtstrahl 5 in Form einer
schmalen Linie auf die Oberfläche der Lackschicht 3
projiziert. Die Linie liegt senkrecht zur Einfallsebene des
Meßlichtstrahles 5. Die Linie bewirkt eine Mittelung der
durch die Rauhigkeit der Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1
bedingten Schwankung der Schichtdicke d und Lage der Reflexe
in der Empfängerebene 22, ohne daß senkrecht dazu die
Auflösung der Reflexe beeinträchtigt wird. Bei Messung der
Schichtdicke d wird die Tatsache ausgenutzt, daß der
Meßlichtstrahl 5 von der Oberfläche der Lackschicht 3 und der
Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 in unterschiedlicher Art
und Weise gestreut bzw. reflektiert wird. Falls der
Meßlichtstrahl 5 unter dem Brewster-Winkel auf die
Oberfläche 2 fällt, dann wird von der glatten,
reflektierenden Oberfläche der Lackschicht nur ein
Teilstrahl 10 mit einer Polarisationsrichtung parallel zur
Oberfläche 2 bzw. senkrecht zur Einfallsebene des
Meßlichtstrahles 5 reflektiert, während der Teilstrahl 11 bei
der Streuung an der Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 seine
Polarisation verliert, so daß in den Teilstrahlen 12 und 13
alle Polarisationsrichtungen enthalten sind. Das auf die
Empfänger fallende Licht enthält somit nach Durchtritt durch
die Analysatoren 24, 25 in den Teilstrahlen 17, 18
bzw. 20, 21 Licht mit einer Polarisationsrichtung 9 senkrecht
zur Einfallsebene des Meßlichtstrahles 5, dessen
überwiegender, in Kurve 27 dargestellter Anteil, von der
Oberfläche der Lackschicht 3 ausgeht und dessen geringerer,
in Kurve 28 dargestellter Anteil, aus dem Streulicht von der
rauhen Oberfläche 2 des Bedruckstoffes 1 stammt. Die
Kurven 27, 28 zeigen die Lichtintensitäten in den
Teilstrahlen 20, 21, wobei die gestrichelt dargestellte
Kurve 29 die Summe der Lichtintensitäten aus den
Teilstrahlen 20, 21 beeinhaltet.
Die Kalibrierung der Anordnung erfolgt durch Messung auf
einer nicht lackierten Fläche des Bedruckstoffes 1. Die
Auswertung der Abstände der Intensitätsmaxima in den
Teilstrahlen 21, 22 ergibt einen Referenzabstand (X₀). Bei
Messung mit einer Lackschicht d verschiebt sich das
Intensitätsmaximum im Strahlengang nach dem ersten
Analysator 24 so, daß sich ein Abstand (X₀ + K * d) ergibt.
Dabei ist k eine Konstante, die aus der Geometrie der
optischen Elemente und der Brechzahl der Lackschicht 3
ermittelt werden kann. Aus dem Referenzabstand (X₀) und dem
Wert (S : X₀ + K * d) läßt sich mittels einer nicht
dargestellten Auswerteeinrichtung die Dicke d bestimmen zu:
Das Graufilter 23 kann dazu verwendet werden, die starken
Intensitätsunterschiede in den Teilstrahlengängen 20, 21 zu
dem Licht im Teilstrahlengang 22 auszugleichen, wodurch sich
eine verbesserte Meßdynamik ergibt. Auch Einrichtungen zur
Beleuchtungsregelung und zur Integrationszeitsteuerung von
CCD-Empfängerelementen können zur Verbesserung der Dynamik
verwendet werden.
Bezugszeichenliste
1 Bedruckstoff
2 Oberfläche
3 Lackschicht
d Dicke
4 Lichtquelle
5 Meßlichtstrahl
6 Blende
7 Beleuchtungsoptik
8 Polarisator
9 Polarisationsrichtung
10 Teilstrahl
11, 12, 13 Teilstrahl
14 Polarisationsrichtung
15 optisches System
16 Strahlenteiler
17, 18 Teilstrahlen
19 Spiegel
20, 21, 22 Teilstrahlen
23 Graufilter
24, 25 Analysator
26 Empfängerebene
27, 28, 29 Kurven
2 Oberfläche
3 Lackschicht
d Dicke
4 Lichtquelle
5 Meßlichtstrahl
6 Blende
7 Beleuchtungsoptik
8 Polarisator
9 Polarisationsrichtung
10 Teilstrahl
11, 12, 13 Teilstrahl
14 Polarisationsrichtung
15 optisches System
16 Strahlenteiler
17, 18 Teilstrahlen
19 Spiegel
20, 21, 22 Teilstrahlen
23 Graufilter
24, 25 Analysator
26 Empfängerebene
27, 28, 29 Kurven
Claims (5)
1. Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten
Beschichtung auf einem Druckerzeugnis,
- - bestehend aus einer Beleuchtungsvorrichtung, die einen schräg einfallenden Meßlichtstrahl an einem definierten Meßort auf der Oberfläche des Druckerzeugnisses erzeugt,
- - und bestehend aus einer opto-elektronischen Meßeinrichtung für den Abstand der an der Beschichtung und an der Oberfläche des Druckerzeugnisses reflektierten Meßlichtstrahlen,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß im einfallenden Meßlichtstrahlengang (5) ein linearer Polarisator (8) vorgesehen ist, dessen Polarisationsrichtung (9) im wesentlichen senkrecht zur Einfallsebene steht,
- - und daß im reflektierten Meßlichtstrahlengang (10, 13) ein Strahlenteiler (16) vorgesehen ist, wobei in einem ersten, am Strahlenteiler (16) reflektierten Teilstrahlengang (17, 18, 20, 21) ein Ablenkspiegel (19) und ein erster Analysator (24) und in einem zweiten, durch den Strahlenteiler (16) hindurchgehenden Teilstrahlengang (22) ein zweiter Analysator (25) installiert sind, wobei die optischen Achsen des am Ablenkspiegel umgelenkten Teilstrahlenganges (20, 21) und des zweiten Teilstrahlenganges (22) parallel zueinander verlaufen, die Polarisationsrichtungen der Analysatoren (24, 25) senkrecht aufeinander stehen und die Polarisationsrichtung des ersten Analysators (24) senkrecht zur Einfallsebene des Meßlichtstrahles (5) liegen.
2. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Strahlenteiler (16) ein halbdurchlässiger ebener
Spiegel vorgesehen ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Strahlenteiler (16) ein
Polarisationsstrahlenteiler, z. B. in Form eines
doppelbrechendes Prismas vorgesehen ist.
4. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die optischen Weglängen im reflektierten
Meßlichtstrahlengang (10, 17, 20; 11, 12, 13, 18, 21) im
wesentlichen gleich sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944423288 DE4423288B4 (de) | 1994-07-02 | 1994-07-02 | Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944423288 DE4423288B4 (de) | 1994-07-02 | 1994-07-02 | Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4423288A1 true DE4423288A1 (de) | 1996-01-04 |
DE4423288B4 DE4423288B4 (de) | 2006-01-26 |
Family
ID=6522135
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19944423288 Expired - Fee Related DE4423288B4 (de) | 1994-07-02 | 1994-07-02 | Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4423288B4 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10206944A1 (de) * | 2002-02-19 | 2003-09-04 | Oce Printing Systems Gmbh | Verfahren und Einrichtung zum Drucken, wobei die Dicke der Feuchtmittelschicht gemessen und reduziert wird |
DE10325942B4 (de) * | 2003-06-07 | 2010-09-16 | Jurca Optoelektronik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Dickenmessung transparanter Körper |
DE102010002249A1 (de) | 2010-02-23 | 2011-08-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle des Auftrags einer eine flüchtige Verbindung enthaltenden Flüssigkeit auf eine Oberfläche |
DE102015103706A1 (de) | 2015-03-13 | 2016-09-15 | CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH | Optische Sensoranordnung zur Bestimmung der Eigenschaften einer dünnen Schicht |
DE102006011692B4 (de) * | 2005-03-15 | 2016-12-01 | Omron Corp. | Abstandssensor mit einer automatischen Einstellungseinheit für einen Messbereich |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007049381A1 (de) | 2007-10-15 | 2009-04-16 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Vorrichtung zur Kontrolle und Regelung einer aufzubringenden Klebstoffschicht bei der Herstellung von Druckerzeugnissen |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1566398A (en) * | 1975-11-07 | 1980-04-30 | Planer Ltd G | Thickness measurements |
DE3136887A1 (de) * | 1981-09-17 | 1983-03-31 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren und einrichtung zur interferometrischen dickenmessung |
EP0248552A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-12-09 | Walter Roland Tole | Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke von Material |
EP0249235A2 (de) * | 1986-06-13 | 1987-12-16 | Nippon Kokan Kabushiki Kaisha | Schichtdickenmessgerät mit linearpolarisiertem Licht |
EP0452665A2 (de) * | 1990-04-20 | 1991-10-23 | Electronic Systems S.P.A. | Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Dicke undurchsichtiger oder durchsichtiger Schichten irgendeines Typs, unter Benutzung eines Lasers |
EP0467763A2 (de) * | 1990-07-17 | 1992-01-22 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Messfühler für einen Wasserfilm auf einer Platte einer Druckmaschine |
-
1994
- 1994-07-02 DE DE19944423288 patent/DE4423288B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1566398A (en) * | 1975-11-07 | 1980-04-30 | Planer Ltd G | Thickness measurements |
DE3136887A1 (de) * | 1981-09-17 | 1983-03-31 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren und einrichtung zur interferometrischen dickenmessung |
EP0248552A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-12-09 | Walter Roland Tole | Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke von Material |
EP0249235A2 (de) * | 1986-06-13 | 1987-12-16 | Nippon Kokan Kabushiki Kaisha | Schichtdickenmessgerät mit linearpolarisiertem Licht |
EP0452665A2 (de) * | 1990-04-20 | 1991-10-23 | Electronic Systems S.P.A. | Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Dicke undurchsichtiger oder durchsichtiger Schichten irgendeines Typs, unter Benutzung eines Lasers |
EP0467763A2 (de) * | 1990-07-17 | 1992-01-22 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Messfühler für einen Wasserfilm auf einer Platte einer Druckmaschine |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP Patents Abstracts of Japan & JP 01270603 A., P-994,Jan.23,1990,Vol.14,No.35 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10206944A1 (de) * | 2002-02-19 | 2003-09-04 | Oce Printing Systems Gmbh | Verfahren und Einrichtung zum Drucken, wobei die Dicke der Feuchtmittelschicht gemessen und reduziert wird |
DE10325942B4 (de) * | 2003-06-07 | 2010-09-16 | Jurca Optoelektronik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Dickenmessung transparanter Körper |
DE102006011692B4 (de) * | 2005-03-15 | 2016-12-01 | Omron Corp. | Abstandssensor mit einer automatischen Einstellungseinheit für einen Messbereich |
DE102010002249A1 (de) | 2010-02-23 | 2011-08-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 | Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle des Auftrags einer eine flüchtige Verbindung enthaltenden Flüssigkeit auf eine Oberfläche |
WO2011104271A1 (de) | 2010-02-23 | 2011-09-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und vorrichtung zur kontrolle des auftrags einer eine flüchtige verbindung enthaltenden flüssigkeit auf eine oberfläche |
DE102015103706A1 (de) | 2015-03-13 | 2016-09-15 | CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH | Optische Sensoranordnung zur Bestimmung der Eigenschaften einer dünnen Schicht |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4423288B4 (de) | 2006-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3021622C2 (de) | Optisches Abbildungssystem mit einem optoelektronischen Detektionssystem zur Bestimmung einer Abweichung zwischen der Bildfläche des Abbildungssystems und einer zweiten Fläche, auf der abgebildet wird | |
EP0011708B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Ebenheit, der Rauhigkeit oder des Krümmungsradius einer Messfläche | |
EP0011723B1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur interferometrischen Messung von sich ändernden Schichtdicken | |
DE102008029459B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung | |
DE2533906A1 (de) | Beruehrungslose oberflaechen-pruefvorrichtung | |
DE3240234C2 (de) | Oberflächenprofil-Interferometer | |
EP0075032B1 (de) | Verfahren zur interferometrischen Oberflächentopographie | |
DE2854057A1 (de) | Ebenheits-messeinrichtung | |
DE10308016A1 (de) | Verschiebungsmessgerät mit Interferenzgitter | |
DE19520305C2 (de) | Verfahren und Meßvorrichtung zur interferometrischen Abstandsmessung | |
DE19734646A1 (de) | Ellipsometer-Meßvorrichtung | |
EP2225531A1 (de) | Schichtdickenmessung an transparenten schichten | |
DE4423288B4 (de) | Anordnung zum Messen der Dicke einer transparenten Beschichtung auf einem Druckerzeugnis | |
EP0585893A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur hochgenauen Abstandsmessung von Oberflächen | |
DE19928171B4 (de) | Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung der optischen Schichtdicke von Beschichtungen | |
DE102019114167A1 (de) | Optische Messvorrichtung und Verfahren | |
DE2853816A1 (de) | Ebenheits-messeinrichtung | |
EP3324149B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von oberflächenmodifikationen auf optisch transparenten bauteilen | |
DE4229349C2 (de) | Verfahren und Anordnung zur Messung der optischen Oberflächengüte von spiegelnden Materialien und der optischen Güte transparenter Materialien | |
DE10026280C2 (de) | Elektro-optisch abtastendes abtastende Sonde und Meßverfahren unter Verwendung der Sonde | |
EP3770546A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur messung von höhenprofilen an einem objekt | |
DE4233336A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Fokusablagen | |
DE102018105319A1 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung einer Fokuslage in einem Laserbearbeitungssystem, Laserbearbeitungssystem mit derselben und Verfahren zur Bestimmung einer Fokuslage in einem Laserbearbeitungssystem | |
DE1920928A1 (de) | Vorrichtung zur Oberflaechenpruefung durch Interferenzmessung | |
DE3341066C2 (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20130201 |