DE4420241A1 - Magnetfeldempfindliche SQUID-Vorrichtung mit einer Reihenschaltung von DC-SQUIDs - Google Patents
Magnetfeldempfindliche SQUID-Vorrichtung mit einer Reihenschaltung von DC-SQUIDsInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine magnetfeldempfindliche
SQUID-Vorrichtung mit
- supraleitenden Antennenschleifen zur Erfassung eines Ma gnetfeldes,
- einer mit den Antennenschleifen verbundenen supraleitenden Einkoppeleinrichtung und
- mehreren, zu einer Reihe geschalteten, induktiv an die Ein koppeleinrichtung angekoppelten Gleichstrom (DC)-SQUIDs.
Eine derartige SQUID-Vorrichtung geht aus "IBM Techn. Discl. Bull.", Vol, 29, No. 2, July 1986, Seite 510 hervor.
- supraleitenden Antennenschleifen zur Erfassung eines Ma gnetfeldes,
- einer mit den Antennenschleifen verbundenen supraleitenden Einkoppeleinrichtung und
- mehreren, zu einer Reihe geschalteten, induktiv an die Ein koppeleinrichtung angekoppelten Gleichstrom (DC)-SQUIDs.
Eine derartige SQUID-Vorrichtung geht aus "IBM Techn. Discl. Bull.", Vol, 29, No. 2, July 1986, Seite 510 hervor.
Mit supraleitenden Quanten-Interferometern, die auch als
"SQUIDs" bezeichnet werden, lassen sich bekanntlich äußerst
schwache Felder oder Feldgradienten detektieren. Als ein An
wendungsgebiet für SQUIDs wird deshalb die medizinische Dia
gnostik angesehen, da die dort auftretenden biomagnetischen
Feldsignale nur Feldstärken im pT-Bereich hervorrufen. Ferner
ist auch an einen Einsatz von SQUIDs auf dem Gebiet der
zerstörungsfreien Werkstoffprüfung gedacht, insbesondere wenn
metalloxidisches Hoch-Tc-Supraleitermaterial eingesetzt
werden soll.
Eine entsprechende Vorrichtung zur Erfassung und Aufbereitung
derartig schwacher Magnetfelder oder entsprechender Magnet
feldgradienten weist mindestens einen Meß- oder Detektions
kanal auf. Dieser Kanal enthält auf seiner Eingangsseite als
Antenne eine feldsensitive Schleifenanordnung mit mindestens
einer Detektionsschleife. Die in dieser Schleife hervorgeru
fenen magnetischen Flüsse oder Feldgradienten werden dann dem
SQUID zugeführt. Dies kann induktiv über eine Einkoppelein
richtung in die SQUID-Schleife des SQUIDs erfolgen.
Derartige Meßvorrichtungen erfordern wegen der extrem gerin
gen Feldstärken der zu messenden, im allgemeinen verhältnis
mäßig niederfrequenten Felder Maßnahmen zu einer Unter
drückung von Störfeldern beispielsweise um mehrere Größenord
nungen im Vergleich zu den zu detektierenden Feldsignalen.
Hierbei hat man insbesondere die Wahl der Aufteilung dieser
Störfeldunterdrückungsmaßnahmen einerseits auf Abschirmmaß
nahmen wie z. B. mittels einer Abschirmkammer und andererseits
auf Kompensationsmaßnahmen durch Gestaltung der Anten
nenschleifen als Gradiometer.
Mit Gradiometern, die im Gegensatz zu Magnetometern zusätz
lich zu ihrer mindestens einen Detektionsschleife mindestens
noch eine weitere, als Kompensationsschleife bezeichnete An
tennenschleife besitzen, lassen sich nämlich unerwünschte
Hintergrundfelder entfernterer Feldquellen diskriminieren,
während die Feldsensitivität bezüglich näherer Feldquellen
erhalten bleibt (vgl. z. B. "Journal of Magnetism and Magnetic
Materials", Vol. 22, 1981, Seiten 129 bis 201).
Seit Bekanntwerden von metalloxidischen Supraleitermateria
lien mit hohen Sprungtemperaturen Tc, die eine Kühltechnik
mit flüssigem Stickstoff (LN₂) erlauben, wird auch versucht,
mit diesen Materialien SQUIDs auszubilden. Solche SQUIDs er
fordern wegen der starken kristallinen Anisotropie des Supra
leitermaterials epitaktische Herstellungsverfahren. Dann wird
bisher jedoch eine räumliche Trennung zwischen einer feldsen
sitiven Antenne und dem SQUID als nur schwer ausführbar ange
sehen. Man bevorzugt deshalb bei Verwendung von solchen Hoch-
Tc-Supraleitermaterialien Ausführungsformen von SQUIDs mit
integrierter Antenne, d. h. SQUIDs, deren SQUID-Schleife zu
gleich als feldsensitive Antenne ausgebildet ist (vgl. z. B.
EP-B 0 286 891).
Ferner ist aus der eingangs genannten Veröffentlichung "IBM
Techn. Discl. Bull." bekannt, für eine magnetfeldempfindliche
SQUID-Vorrichtung statt nur eines einzigen DC-SQUIDs mehrere
solcher SQUIDs zu einer Reihenschaltung anzuordnen. Diese
SQUIDs sind induktiv an eine entsprechende Anzahl von Koppel
spulen bzw. -elementen angekoppelt, welche ebenfalls in Reihe
geschaltet sind. Diese so erhaltene Einkoppeleinrichtung bil
det zusammen mit der Reihenschaltung von Antennenschleifen
ein Magnetometer. Magnetometer sind jedoch verhältnismäßig
störempfindlich.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es nun, die SQUID-Vor
richtung mit den eingangs genannten Merkmalen dahingehend
auszugestalten, daß ihre Störfeldempfindlichkeit verringert
ist. Außerdem soll die Vorrichtung verhältnismäßig einfach
mit einem der bekannten Hoch-Tc-Supraleitermaterialien aufzu
bauen sein.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zum
einen als Supraleitermaterial ein Hoch-Tc-Supraleitermaterial
vorgesehen ist, wobei die SQUIDs sowie zumindest die
Einkoppeleinrichtung jeweils mit einer einlagigen Struktur
von Leiterbahnen aus diesem Material gebildet sind, und zum
anderen mit den Antennenschleifen ein Gradiometer ausgebildet
ist.
Bei den erfindungsgemäßen Maßnahmen ist die an sich bekannte
Tatsache berücksichtigt, daß die Signalempfindlichkeit eines
SQUIDs nicht beliebig erhöht werden kann, z. B. mit einer
Flußfokussierung oder mittels eines Flußtransformators. Viel
mehr sind durch den detektierten Störpegel Grenzen gesetzt.
Zum einen steigt der Rauschpegel eines SQUIDs mit dem einge
fangenen Störfluß an; und zum anderen verringert sich das von
dem SQUID erzeugte Signal bis auf Null für den Fall von Stör
flüssen, die in etwa die Größenordnung eines Flußquants Φ₀
erreichen. Mit den erfindungsgemäßen Maßnahmen werden diese
Schwierigkeiten vorteilhaft umgangen, indem man mehrere
SQUIDs in Serie schaltet. Hierbei addieren sich die resultie
renden elektrischen Spannungssignale wegen der Reihenschal
tung der SQUIDs. Deshalb kann jedes einzelne SQUID eine ver
hältnismäßig geringe Empfindlichkeit auch bezüglich eines
Störflusses haben. Diese Tatsache ist besonders vorteilhaft
beim Einsatz von SQUIDs aus Hoch-Tc-Supraleitermaterial.
Ferner werden bei der erfindungsgemäßen SQUID-Vorrichtung we
gen der einlagigen Strukturen von Leiterbahnen aus dem Hoch-
Tc-Supraleitermaterial Epitaxie-Probleme, wie sie bei einem
mehrlagigen Aufbau auftreten, vermieden. Die Realisierung
entsprechender SQUID-Vorrichtungen ist deshalb verhältnismä
ßig einfach. Außerdem führt die Gestaltung des mit den An
tennenschleifen und der Einkoppeleinrichtung gebildeten Ein
gangskreises der Vorrichtung als Gradiometer zu einer redu
zierten Störfeldempfindlichkeit. Die erfindungsgemäße SQUID-
Vorrichtung ist deshalb in gestörter Umgebung einzusetzen.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen SQUID-Vor
richtung gehen aus den vom Hauptanspruch abhängigen Unteran
sprüchen hervor.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird nachfolgend auf
die Zeichnung Bezug genommen. Dabei zeigen jeweils schema
tisch in Aufsicht
deren Fig. 1 eine SQUID-Reihenschaltung einer erfindungs gemäßen SQUID-Vorrichtung,
deren Fig. 2 eine zugehörige Einkoppeleinrichtung mit An tennenschleifen und
deren Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsge mäßen SQUID-Vorrichtung.
deren Fig. 1 eine SQUID-Reihenschaltung einer erfindungs gemäßen SQUID-Vorrichtung,
deren Fig. 2 eine zugehörige Einkoppeleinrichtung mit An tennenschleifen und
deren Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsge mäßen SQUID-Vorrichtung.
In den Figuren sind sich entsprechende Teile mit denselben
Bezugszeichen versehen.
Die supraleitenden Teile der SQUID-Vorrichtung nach der Er
findung sollen aus einem der bekannten Hoch-Tc-Supraleiterma
terialien nach geläufigen Verfahren der Dünnfilm-Technik auf
hierfür geeigneten Substraten unter Berücksichtigung der kri
stallinen Anisotropie dieser Materialien hergestellt sein.
Beispiele entsprechender Materialien sind insbesondere Cu
prate mit Hoch-Tc-Phasen auf Basis der aus den Stoffsystemen
Y-Ba-Cu-O oder Bi(Pb)-Sr-Ca-Cu-O bekannten Grundtypen wie
YBa₂Cu₃O7-x oder Bi₂Sr₂CaCu₂O8+y oder (Bi, Pb)₂Sr₂Ca₂Cu₃O10-z.
Die Materialien sollen eine LN₂-Kühlung ermöglichen.
Mit einem solchen Hoch-Tc-Supraleitermaterial wird erfin
dungsgemäß auf einem hierfür geeigneten Substrat, beispiels
weise einem Chip aus SrTiO₃ oder MgO, eine Reihenschaltung
von mehreren DC-SQUIDs erstellt. Vorteilhaft weist die Rei
henschaltung mindestens vier, vorzugsweise mindestens acht
SQUIDs auf. Gemäß dem in Fig. 1 gezeigten Ersatzschaltbild
einer entsprechenden Reihenschaltung 2 sind beispielsweise
acht solcher SQUIDs 2a bis 2h auf einem Substrat 3 als einla
gige Struktur angeordnet. Jedes SQUID enthält wegen seiner
Gestaltung als Gleichstrom (DC)-SQUID in seiner SQUID-Schlei
fe 8 j(hier: a j h) zwei Josephson-Elemente 4a und 4b.
Diese Elemente können vorteilhaft sogenannte Korngrenzen-
Elemente sein. Beispielsweise kann die Korngrenze in einem
solchen Element dadurch ausgebildet werden, daß man an einer
entsprechenden Grenzlinie Leiterbahnbereiche mit unter
schiedlicher kristalliner Orientierung aneinanderstoßen läßt
(vgl. z. B. "Appl. Phys. Lett.", Vol. 59, No. 6, 5. Aug. 1991,
Seiten 733 bis 735 oder DE-A 41 41 228). Oder aber man er
zeugt eine Korngrenze nachträglich in einer Leiterbahn aus
dem Hoch-Tc-Supraleitermaterial dadurch, daß man in diese
Leiterbahn mechanisch eine entsprechende Störzone einarbeitet
(vgl. z. B. EP-A 0 364 101, DE-A 43 15 536 oder den Preprint
von R. Gross und P. Chaudhari: "Status of dc-SQUIDs in the
High Temperature Superconductors", zu veröffentlichen in:
"Principles and Applications of Superconducting Quantum In
terference Devices", Hrsg.: A. Barone, World Scientific, Sin
gapore 1991). Ferner ist es auch möglich, eine Korngrenze in
einer über die Kante einer Stufe hinwegführenden Leiterbahn
auszubilden (vgl. z. B. DE-A 42 19 006). Im allgemeinen sollte
für eine erfindungsgemäße SQUID-Vorrichtung eine kritische
Stromdichte an entsprechend ausgebildeten Korngrenzen-Joseph
son-Elementen von 500 A/cm² ausreichen. Die Reihenschaltung 2
der DC-SQUIDs 2a bis 2h erfolgt über eine Verbindungslei
terbahn 5, die an ihren Enden in Kontaktflächen 6 und 7 über
geht zum elektrischen Anschließen der SQUID-Reihenschaltung.
Zu einer induktiven Einkopplung von magnetischen Flußgradien
ten in die einzelnen SQUIDs der Reihenschaltung 2 ist eine
Einkoppeleinrichtung aus dem Hoch-Tc-Supraleitermaterial vor
gesehen, die jeweils ein jedem SQUID zugeordnetes Koppelele
ment aufweist. Diese Einkoppeleinrichtung wird vorteilhaft
ebenfalls einlagig ausgebildet. Hierzu bestehen zwei Möglich
keiten: Entweder wird auf den in Fig. 1 gezeigten Aufbau aus
Substrat 3 und darauf aufgebracht er SQUID-Reihenschaltung 2
in einer weiteren rage die einlagige Struktur der Einkoppel
einrichtung und gegebenenfalls die zugehörenden Antennen
schleifen abgeschieden. Oder aber man sieht einen getrennten
Trägerkörper zumindest für die Struktur der Einkoppeleinrich
tung vor, die mit diesem Trägerkörper nachträglich an die
SQUID-Reihenschaltung 2 bzw. das Substrat 3 angefügt wird.
Ein Ausführungsbeispiel dieser zweiten Möglichkeit ist in
Fig. 2 angedeutet. Diese dort allgemein mit 10 bezeichnete
Einkoppeleinrichtung ist auf einem eigenen Trägerkörper 11,
beispielsweise einem Chip aus SrTiO₃ oder MgO, einlagig abge
schieden und enthält eine der Anzahl der SQUIDs der SQUID-
Vorrichtung entsprechende Anzahl an hintereinandergeschalte
ten Koppelelementen. Entsprechend dem in Fig. 1 angenommenen
Ausführungsbeispiel mit acht SQUIDs sind acht Koppelelemente
12a bis 12h vorgesehen, die jeweils die Form eines
supraleitenden Leiterbahnstückes haben. Diese in der Figur
durch verstärkte Linien hervorgehobenen, als Koppelelemente
dienenden Leiterbahnstücke sind hinsichtlich ihrer konkreten
Gestalt an die Gestalt der jeweils zugeordneten SQUID-
Schleife angepaßt. Die Leiterbahnstücke sind über senkrecht
zu ihnen verlaufende Leiterbahnteile 13 j so zu einer Mäan
derform angeordnet, daß sie bei einem Aneinanderfügen des
Trägerkörpers 11 an das Substrat 3 gemäß Fig. 1 jeweils im
Bereich eines zugeordneten SQUIDs zu liegen kommen. Die Enden
der Einkoppeleinrichtung 10 sind als Verzweigungsstellen 14
und 15 gestaltet, an denen sich zwei Gradiometerschleifen
(Antennenschleifen, Pick-up-Spulen) 17 und 18 der erfin
dungsgemäßen SQUID-Vorrichtung anschließen. Diese beiden
Schleifen 17 und 18 sind somit über die Einkoppeleinrichtung
10 parallelgeschaltet.
Die Gestaltung der Antennenschleifen der SQUID-Vorrichtung
als Gradiometerschleifen erfolgt entsprechend bekannter Aus
führungsformen, wobei vorteilhaft planare Strukturen mit in
einer Ebene nebeneinanderliegenden Schleifen vorgesehen wer
den. Wie aus Fig. 2 hervorgeht, bilden die Antennenschleifen
17 und 18 zusammen mit der ihnen gemeinsamen Einkoppelein
richtung 10 vorteilhaft eine einzige, planare, einlagige
Struktur. Selbstverständlich sind auch andere mehrlagige
Strukturen, gegebenenfalls mit ausgeprägt dreidimensionaler
Gestalt, einsetzbar, die an die Einkoppeleinrichtung ange
schlossen werden. Die Gradiometerschleifen werden vorteilhaft
aus demselben Hoch-Tc-Supraleitermaterial erstellt, wie es
für die Einkoppeleinrichtung und die SQUIDs der erfindungsge
mäßen SQUID-Vorrichtung vorgesehen wird.
Fig. 3 zeigt eine konkrete Ausbildungsmöglichkeit einer all
gemein mit 20 bezeichneten SQUID-Vorrichtung nach der Erfin
dung. Ihre zu einer Reihe geschalteten DC-SQUIDs 2 j (mit 1
j n) sind jeweils im Bereich einer Kante 21 bzw. 22 einer
Stufe angeordnet. Hierzu sind in das Substrat 3 symmetrisch
zueinander liegende Vertiefungen 23 bzw. 24 in Form von ge
genüber der Substratoberfläche 3a geneigten Flanken eingear
beitet. Diese Flanken bilden mit der Substratoberfläche die
in der Figur durch eine gestrichelte Linie angedeuteten Kan
ten 21 und 22. Über diese Kanten hinweg verlaufen die jeweils
ein Koppelloch 25 j umschließenden Schleifen 8 j der einzelnen
SQUIDs 2 j. In diese Schleifen sind an den Kanten 21 und 22
die Josephson-Elemente 4a und 4b der einzelnen SQUIDs als
Korngrenzen-Josephson-Elemente ausgebildet. Die die einzelnen
Koppelelemente 12 j bildenden Leiterbahnteile einer Einkop
peleinrichtung 30 verlaufen über die außerhalb der Vertiefun
gen 23 und 24 liegenden Teile der einzelnen SQUID-Schleifen
8 j hinweg. Die Einkoppeleinrichtung 30 ist entsprechend der
Einkoppeleinrichtung 10 nach Fig. 1 mäanderförmig gestaltet
und in der Figur im Bereich ihrer Koppelelemente 12 j als
verstärkte Linie veranschaulicht. An ihren Verzwei
gungsstellen 14 und 15 geht sie in die vorzugsweise gleich
großen Gradiometerschleifen 17 und 18 über.
Gemäß den Figuren wurde davon ausgegangen, daß die zu einer
Reihe geschalteten DC-SQUIDs einer erfindungsgemäßen SQUID-
Vorrichtung zusammen mit der Einkoppeleinrichtung und den An
tennenschleifen zumindest weitgehend quasi symmetrisch aufge
baut sind. Symmetrie soll dabei bedeuten, daß in einem homo
genen Magnetfeld mit den beiden parallelgeschalteten Gradio
meterschleifen zwei über die Einkoppeleinrichtung als Quer
verbindung dieser Gradiometerschleifen fließende Strombei
träge erzeugt werden, die sich gerade gegenseitig kompensie
ren. Ein solcher Aufbau ist im Hinblick auf eine erhöhte
Störunempfindlichkeit besonders von Vorteil. Selbstverständ
lich sind jedoch für eine erfindungsgemäße SQUID-Vorrichtung
auch andere Anordnungsmöglichkeiten ihrer einzelnen Komponen
ten denkbar.
Claims (12)
1. Magnetfeldempfindliche SQUID-Vorrichtung mit
- - supraleitenden Antennenschleifen zur Erfassung eines Ma gnetfeldes,
- - einer mit den Antennenschleifen verbundenen supraleitenden Einkoppeleinrichtung und
- - mehreren, zu einer Reihe geschalteten, induktiv an die Ein koppeleinrichtung angekoppelten Gleichstrom(DC)-SQUIDs,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - als Supraleitermaterial ein Hoch-Tc-Supraleitermaterial vorgesehen ist, wobei die SQUIDs (2 j) sowie zumindest die Einkoppeleinrichtung (10, 30) jeweils mit einer einlagigen Struktur von Leiterbahnen aus diesem Material gebildet sind, und
- - mit den Antennenschleifen (17, 18) ein Gradiometer ausge bildet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet
durch eine Ausbildung der Josephson-Elemente (4a, 4b) als
Korngrenzen-Elemente.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß in jedem Josephson-Element
(4a, 4b) die Korngrenze durch eine Grenzlinie zwischen zwei
Leiterbahnbereichen mit unterschiedlicher kristalliner Orien
tierung ausgebildet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß in jedem Josephson-Element
(4a, 4b) die Korngrenze durch eine in einer Leiterbahn mecha
nisch eingearbeitete Störung ausgebildet ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß in jedem Josephson-Element
(4a, 4b) die Korngrenze mit zwei an einer Stufenkante (21,
22) aneinanderstoßenden Leiterbahnbereichen ausgebildet ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß die Reihen
schaltung (2) mindestens vier, vorzugsweise mindestens acht
SQUIDs (2 j) aufweist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da
durch gekennzeichnet, daß die Reihen
schaltung (2) der SQUIDs (2 j) und die Einkoppeleinrichtung
(10) jeweils auf einem eigenen Substrat (3 bzw. 11) einlagig
angeordnet sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da
durch gekennzeichnet, daß auf der ein
lagigen Struktur der Reihenschaltung (2) der SQUIDs (2 j) die
einlagige Struktur der Einkoppeleinrichtung (30) aufgebracht
ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da
durch gekennzeichnet, daß die Antennen
schleifen (17, 18) eine planare Struktur bilden.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Antennenschleifen (17,
18) zusammen mit der ihnen zugeordneten Einkoppeleinrichtung
(10, 30) eine gemeinsame, einlagige Struktur von Leiterbahnen
aus dem Hoch-Tc-Supraleitermaterial bilden.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, ge
k e n n zeichnet durch einen zumindest weitgehend
symmetrischen Aufbau.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944420241 DE4420241A1 (de) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | Magnetfeldempfindliche SQUID-Vorrichtung mit einer Reihenschaltung von DC-SQUIDs |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944420241 DE4420241A1 (de) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | Magnetfeldempfindliche SQUID-Vorrichtung mit einer Reihenschaltung von DC-SQUIDs |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4420241A1 true DE4420241A1 (de) | 1995-12-14 |
Family
ID=6520223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19944420241 Withdrawn DE4420241A1 (de) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | Magnetfeldempfindliche SQUID-Vorrichtung mit einer Reihenschaltung von DC-SQUIDs |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4420241A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19948618A1 (de) * | 1999-10-08 | 2001-05-17 | Siemens Ag | Magnetfeldsensitive Sensoreinrichtung mit einer Array-Anordnung mehrerer Sensoreinheiten |
DE102004044588B4 (de) * | 2004-09-13 | 2011-06-01 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit dieses wiederum vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Braunschweig und Berlin | Stromsensor |
-
1994
- 1994-06-10 DE DE19944420241 patent/DE4420241A1/de not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE19948618A1 (de) * | 1999-10-08 | 2001-05-17 | Siemens Ag | Magnetfeldsensitive Sensoreinrichtung mit einer Array-Anordnung mehrerer Sensoreinheiten |
DE19948618B4 (de) * | 1999-10-08 | 2005-08-25 | Siemens Ag | Magnetfeldsensitive Sensoreinrichtung mit einer Array-Anordnung mehrerer Sensoreinheiten |
DE102004044588B4 (de) * | 2004-09-13 | 2011-06-01 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit dieses wiederum vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt Braunschweig und Berlin | Stromsensor |
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