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Die
Erfindung betrifft eine magnetfeldsensitive Sensoreinrichtung mit
wenigstens einer Array-Anordnung mehrerer Sensoreinheiten in zumindest weitgehend
planarem Aufbau. Eine solche Sensoreinrichtung geht aus der
DE 44 20 241 A1 hervor.
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Zu
einer hochauflösenden
Magnetfeldmessung wurden bisher Dünnfilmsensoreinrichtungen in Form
von SQUID-Magnetometern oder -Gradiometern vorgesehen. Solche Sensoreinrichtungen
weisen eine supraleitende Flußantenne
in Form einer Magnetometerschleife oder Gradiometerschleife auf, an
die ein SQUID (Superconduction QUantum Interference Device) als
ein Fluß-Spannungs-Wandler
induktiv angekoppelt ist oder in die ein derartiges SQUID integriert
ist (vgl. z.B.
DE 42
16 907 A1 bzw.
DE
41 25 087 A1 ). Als supraleitendes Material für eine derartige
SQUID-Sensoreinrichtung ist auch sogenanntes Hoch-T
c-Supraleitermaterial
vorgesehen (vgl. z.B.
DE
44 19 297 A1 oder die eingangs genannte
DE 44 20 241 A1 ). Hierbei
handelt es sich um bekannte oxidische Materialien, insbesondere
auf Cuprat-Basis, deren Sprungtemperaturen im magnetischen Nullfeld über 77 K
liegen und die deshalb prinzipiell eine Kühlung mit flüssigem Stickstoff
(LN
2) zulassen. Es zeigt sich jedoch, daß das Spannungssignal
von solchen Supraleitungseinrichtungen bzw. ihrer SQUIDs keine lineare
Proportionalität
zu dem zu detektierenden Magnetfeld oder Magnetfeldgradienten zeigt
und deshalb eine aufwendige Regelelektronik erforderlich wird.
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Aus
der eingangs genannten
DE
44 20 241 A1 ist auch bekannt, für eine magnetfeldempfindliche Sensoreinrichtung
mehrere ihrer SQUID-Sensoreinheiten zu einem Array in zumindest
weitgehend planarem Aufbau anzuordnen. Hierzu enthält die Sensoreinrichtung
eine ein Gradiometer bildende Antennenschleife zur Erfassung eines
Magnetfeldes, eine mit den Antennenschleifen verbundene supraleitende
Einkoppeleinrichtung und mehrere, zu einer Reihe geschaltete, induktiv
an die Einkoppeleinrichtung angekoppelte Gleichstrom-SQUIDs als
Sensorelemente. Als Supraleitermaterial ist ein Hoch-T
c-Material vorgesehen,
wobei die SQUIDs und zumindest die Einkoppeleinrichtung jeweils
mit einer einlagigen Struktur von Leiterbahnen aus diesem Material
gebildet sind.
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Aus
der
DE 195 09 230
A1 geht ebenfalls eine magnetfeldempfindliche SQUID-Einrichtung hervor,
welche zur Erfassung eines Magnetfeldes als Gradiometer gestaltete
supraleitende Antennenschleifen enthält. Dabei sollen zwei gleiche,
bezüglich
eines Mittelstegs symmetrisch gestaltete Antennenschleifen über diesen
Mittelsteg parallel geschaltet sein. Mit dem Mittelsteg ist mindestens
ein SQUID galvanisch verbunden. Außerdem ist die Gradiometerschleifenanordnung
induktiv mit einer weiteren hochsymmetrischen Schleifenanordnung
in Magnetometer- oder Gradiometer-Gestalt gekoppelt.
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Im
Vergleich zu Flußspannungswandlern
mit SQUIDs sind solche mit Hallsensorelementen extrem linear. Ein
entsprechendes Element ist bei der aus der Literaturstelle „Cryogenics", Vol. 38, No. 6,
1998, Seiten 625 bis 629, zu entnehmenden Sensoreinrichtung vorgesehen.
Die bekannte, in Dünnfilmtechnik erstellte
Sensoreinrichtung weist eine als Magnetometer gestaltete Flußantenne
aus Hoch-Tc-Supraleitermaterial auf, an
welche ein Dünnfilm-Hallsensorelement
als ein Flußspannungswandler
induktiv angekoppelt ist. Bei 77 K ist mit einer derartigen Sensoreinrichtung
eine Auflösung
von etwa 8 pT/√Hz im Bereich des sogenannten
weißen
Rauschens zu erreichen. Es zeigt sich jedoch, daß mit einer derartigen Sensoreinrichtung
in hohem Maße
auch magnetische Störfelder
detektiert werden, die das zu detektierende Magnetfeld in unerwünschter
Weise überlagern.
Mit einer derartigen Sensoreinrichtung ist deshalb eine hochauflösende Magnetfelddetektion
praktisch nicht möglich.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, die aus der eingangs genannten
DE 44 20 241 A1 bekannte
Sensoreinrichtung mit einer Array-Anordnung mehrerer Sensoreinheiten
dahingehend auszugestalten, daß mit
ihr eine hohe Störfeldunterdrückung bei
hochauflösender
Magnetfelddetektion zu gewährleisten
ist. Zugleich soll ein sehr einfacher Dünnfilmaufbau zu realisieren
sein. Als Dünnfilm
wird hierbei jede Schicht mit einer Dicke von unter 100 μm verstanden.
Außerdem
soll im Fall einer Verwendung von supraleitenden Flußantennen
ein Aufbau zu realisieren sein, der durch eine Begrenzung der Anzahl der
erforderlichen elektrischen Verbindungsleitungen eine entsprechende
Begrenzung der Verluste bei einem Warm-kalt-Übergang
ermöglicht.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den
im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst. Diese Merkmale sind darin
zu sehen, daß die
magnetfeldsensitive Sensoreinrichtung wenigstens eine Array-Anordnung
mehrerer Sensoreinheiten in zumindest weitgehend planarem Aufbau
enthält,
wobei die Sensoreinheiten jeweils
- – eine als
Gradiometer wirkende Flussantenne, welche symmetrisch bzgl. eines
Mittelteils gestaltet ist, und
- – einen
der Flußantenne
zugeordneten Flußspannungswandler
mit zwei linearen Sensorelementen, die jeweils symmetrisch zu dem
Mittelteil der Flußantenne
so angeordnet und so hintereinandergeschaltet sind, daß sich ihre
durch die gradientenfreien Anteile des Magnetfeldes hervorgerufenen
Spannungssignale zumindest weitgehend kompensieren,
aufweisen.
Dabei sollen die Sensoreinheiten in mindestens zwei Gruppen unterschiedlicher
Ausrichtung zur Erfassung unterschiedlich gerichteter Magnetfeldgradienten
unterteilt sein.
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Die
mit dieser Ausgestaltung der Sensoreinrichtung verbundenen Vorteile
sind insbesondere darin zu sehen, daß in jeder ihrer Sensoreinheiten
eine hochauflösende
Magnetfeldmessung bei verhältnismäßig hohem
Störpegel
zu gewährleisten
ist. Dies ist in erster Linie auf die Verwendung von zwei Flußspannungswandlern
pro Sensoreinheit in Form von linearen Sensorelementen statt von
SQUIDs und deren Hintereinanderschaltung mit einer antiparallelen Felderfassung
beidseitig an dem Mittelteil des Gradiometers zurückzuführen. Damit
ist – im
Gegensatz zum Stand der Technik gemäß der genannten Literaturstelle
aus „Cryogenics" – eine Berücksichtigung des gradientenfreien
Anteils des detektierten Magnetfeldes zumindest weitgehend durch
Kompensation der diesbezüglichen
Spannungssignale zu unterdrücken
und praktisch nur eine Feldgradientendetektion zu erreichen. Die
Unterteilung der Sensoreinheiten wird im allgemeinen so vorgenommen,
daß die Sensoreinheiten
der einen Gruppe zur Detektion von
-Magnetfeldgradienten
und die Sensoreinheiten der anderen Gruppe zur De tektion von
-Magnetfeldgradienten
vorgesehen sind.
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Unter
einem für
eine erfindungsgemäße Sensoreinrichtung
geeigneten linearen Sensorelement soll ein Sensorelement verstanden
werden, das in einem zu berücksichtigenden
Meßbereich
ein der Feldstärke
eines detektierten Magnetfeld zumindest annähernd (d.h. mit einer Abweichung
von unter 10 %) linear proportionales Spannungssignal erzeugt. Bei
einer Verwendung solcher Sensorelemente sind vorteilhaft sogenannte
Fluxlocked-Loop-Regelschleifen nicht unbedingt erforderlich. Damit
wird die benötigte
Steuerelektronik entsprechend einfach. Falls unter extrem gestörten Bedingungen
dennoch ein Regelkreis notwendig ist, so ist dieser verhältnismäßig einfach
auszugestalten. Im Falle einer geplanten Kühlung der Flußantennen
und der Sensorelemente werden deshalb auch nur wenige eine Wärmeeinleitung
in ein Kühlmedium
verursachende Leitungen benötigt.
Da die thermische Last begrenzt ist, können verhältnismäßig kleine Kryostatengefäße vorgesehen
werden.
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Bevorzugte
Ausführungsformen
solcher linearen Sensorelemente sind Hallsensorelemente oder magnetoresistive
Sensorelemente. Als magnetoresistive Sensorelemente können insbesondere
solche vorgesehen sein, die Dünnschichtsysteme
mit erhöhtem
magnetoresistiven Effekt sind.
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Weitere
vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung gehen
aus den Unteransprüchen
hervor.
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So
ist es besonders vorteilhaft, wenn jede Flußantenne als eine Dreifachschleifenanordnung mit
einer zwischen zwei äußeren Einzelschleifen
befindlichen, von diesen jeweils beabstandeten mittleren Einzelschleife
als dem Mittelteil gestaltet ist und wenn die jeder Flußantenne
zugeordneten zwei linearen Sensorelemente in den Beabstandungen
zwischen den äußeren Einzelschleifen
und der mittleren Einzelschleife angeordnet sind und jeweils eine
galvanische Verbindung zwischen jeweils benachbarten Einzelschleifen
bilden, so dass die Dreischleifenanordnung Gradiometer-Eigenschaft
aufweist. Damit lassen sich jede Flußantenne und ihre Sensorelemente
in wenigen Schichten bzw. Schichtsystemen in Dünnfilmtechnik aufbauen. Der
herstellungsbedingte Aufwand für
die Sensoreinrichtung ist dementsprechend gering. Außerdem können auf
einfache Weise zueinander benachbarte Sensoreinheiten der Array-Anordnung an ihren
einander zugewandten äußeren Einzelschleifen
hintereinandergeschaltet werden.
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Gegebenenfalls
ist es jedoch auch möglich, jede
Flußantenne
als eine achtförmige
Gradiometer-Doppelschleife mit einem gemeinsamen Mittelsteg als
dem Mittelteil zu gestalten und die jeder Flußantenne zuzuordnenden zwei
linearen Sensorelemente beidseitig längs des Mittelstegs anzuordnen. Ein
entsprechendes Gradiometer ist Gegenstand der nicht-vorveröffentlichten
DE 199 44 586 C1 .
Entsprechende Flußantennen
haben in diesem Fall einen besonders einfachen Aufbau.
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Ferner
ist es besonders vorteilhaft, wenn als lineare Sensorelemente Hallsensorelemente
vorgesehen werden. Da nämlich
bei solchen Sensorelementen die Felderfassung senkrecht zur Fläche der Elemente
erfolgt, können
solche Elemente vorteilhaft in der Ebene der Flußantennen liegen. Dies ermöglicht einen
besonders einfachen Aufbau der Sensoreinrichtung.
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Außerdem ist
es von Vorteil, wenn Hallsensorelemente vom 4-Kontakt-Typ vorgesehen sind. Solche
Elemente können
nämlich
insbesondere derart bezüglich
des Mittelteils der jeweiligen Flußantenne angeordnet sein, daß sie diesen
Mittelteil als gemeinsame Kontaktfläche besitzen. Eine derartige
Anordnung zeichnet sich durch einen besonders einfachen Aufbau aus.
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Vorteilhaft
können
Hallsensorelemente aus einem insbesondere halbleitenden Material
mit einem Hallkoeffizienten von mindestens 100 cm3/A·s gebildet
sein. Die Verwendung entsprechender Materialien führt zu hohen
Werten der zu gewinnenden Hallspannungen. Eine weitere diesbezügliche Verbesserung
läßt sich
dadurch erreichen, daß die
Hallsensorelemente gekühlt
werden. Dies ist insbesondere dann leicht vorzunehmen, wenn supraleitende Flußantennen
vorgesehen werden.
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Darüber hinaus
ist für
Hallsensorelemente vorteilhaft eine Streifenform zu wählen. Eine
solche Form, bei der die Ausdehnung in der Hauptausdehnungsrichtung
mindestens doppelt so groß wie
in der Querrichtung sein soll, bringt eine hohes Hallsignal mit
sich.
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Für die Flußantennen
der Sensoreinrichtung können
prinzipiell alle elektrisch gut leitenden Materialien, seien es
normalleitende oder supraleitende Materialien, verwendet werden.
Besonders vorteilhaft kann ein oxidisches Hoch-Tc-Supraleitermaterial vorgesehen
sein. Aus einem derartigen Material kann man nämlich durch Einstellung eines
vorbestimmten Sauerstoffgehalts auch ein Material mit einem hinreichend
großen
Hallkoeffizienten ausbilden, so daß dann im Fall einer Verwendung
von Hallsensorelementen diese Elemente aus einem Material bestehen,
das die metallischen Komponenten des Hoch-Tc-Supraleitermaterials
sowie einen vorbestimmten Anteil der Sauerstoffkomponente aufweist.
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Vorteilhaft
werden alle Sensoreinheiten auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet.
Dies bringt eine entsprechend einfache Herstellungstechnik sowie
eine Begrenzung der erforderlichen Verbindungsleitungen zwischen
den Sensoreinheiten mit sich. Gegebenenfalls ist es jedoch auch
möglich,
daß jede
Gruppe der Sensoreinheiten auf einem eigenen Substrat angeordnet
wird. Beispielsweise können diese
Substrate der Gruppen z.B. mittels einer gemeinsamen Trägerstruktur
auf verschiedene Flächen angeordnet
sein. Dabei ist immer unter einem Substrat auch eine als Substrat
dienende Fläche
oder Flachseite einer Trägerstruktur
zu verstehen.
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Als
besonders vorteilhaft ist es anzusehen, daß zumindest einige der, vorzugsweise
alle Sensorelemente für
einen gemeinsamen Einstellstrom elektrisch hintereinandergeschaltet
sind. Damit kommt man mit einem Minimum an Stromversorgungsleitungen
aus. Dies ist insbesondere dann wichtig, wenn eine Kühlung vorgesehen
werden soll und die Wärmeeinleitungsverluste
in das erforderliche Kühlmedium
zu begrenzen sind.
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Bei
einer gemeinsame Kühlung
der Flußantennen
und der Sensorelemente in einem Kaltbereich und bei in einen Warmbereich
führenden
Anschlüssen
kann vorteilhaft zu einem elektrischen Anschluß der Array-Anordnung ein Flachbandkabel
vorgesehen werden, das sich von dem Warmbereich in den Kaltbereich
erstreckt. Dabei ist es besonders günstig, wenn in dem Kaltbereich
ein Wechselstromtransformator mit kleinerer Windungszahl auf der
Anschlußseite
der Sensorelemente als auf der Seite einer externen Stromversorgung
in dem Warmbereich vorgesehen wird. Wegen der größeren Windungszahl auf der
dem Warmbereich zugewandten Seite lassen sich geringere Leiterquerschnitte
vorsehen, die entsprechend geringere Wärmeeinleitungsverluste in den
Kaltbereich mit sich bringen.
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Für eine Sensoreinrichtung
mit zu kühlenden Flußantennen
kann vorteilhaft ein Kryostatengehäuse vorgesehen werden, das
eine Bewandung in geringem Abstand von unter 1 cm von der Array-Anordnung aufweist.
Das Kryostatengehäuse
erfordert so wenig Raumbedarf und kann nah an der zu detektierenden
Feldquelle angeordnet werden. Restfelder im Kryostatenmaterial bedingen
deshalb auch keine wesentliche Änderung
der Sensorempfindlichkeit.
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Die
Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung noch weiter erläutert. Dabei
zeigen jeweils schematisch deren
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1 eine
bevorzugte Ausführungsform
einer Sensoreinheit für
eine Sensoreinrichtung nach der Erfindung,
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2 eine
Verschaltungsmöglichkeit
mehrerer solcher Sensoreinheiten nach 1,
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3 eine
Array-Anordnung von Sensoreinheiten,
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4 und 5 einen
elektrischen Anschluß der
Array-Anordnung
nach 3,
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6 eine
AC-Stromversorgung der Array-Anordnung nach 3,
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7 und 8 Ausführungsformen
einer Spannungsauslese von Sensoreinheiten,
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9 und 10 Ausführungsformen
einer Signalverarbeitung an einer Sensoreinheit,
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11 die
Unterbringung einer Array-Anordnung in einem Kryostatengefäß und
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12 mehrere,
ein Vektor-Magnetometer bildende Array-Anordnungen von Sensoreinheiten.
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Dabei
sind in den Figuren sich entsprechende Teile mit denselben Bezugszeichen
versehen.
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1 zeigt
in Aufsicht mit nicht-maßstabgetreuen
Abmessungen eine einzelne Sensoreinheit 2 einer Sensoreinrichtung
nach der Erfindung. Diese Sensoreinheit ist neben weiteren solcher
Einheiten nach bekannten Verfahren in Dünnfilmtechnik auf einem Substrat 3 aus
nicht-magnetischem Material zu erstellen. Sie umfaßt als eine
Flußantenne
aus einem elektrisch gut leitenden Material eine Dreifachschleife 4 aus
drei in sich geschlossenen, rechteckförmigen Einzelschleifen 4a bis 4c oder
aus entsprechenden Flächen
mit Innenlochöffnungen.
Die beiden äußeren Einzelschleifen 4a und 4c sind
gegenüber
der zwischen ihnen liegenden mittleren Einzelschleife 4b jeweils
durch einen schmalen Spalt bzw. eine entsprechende Beabstandung 5a bzw. 5b getrennt.
In diesen Beabstandungen ist jeweils als ein linearer Flußspannungswandler
gemäß dem ausgewählten Ausführungsbeispiel
ein vorzugsweise streifenförmiges
Hallsensorelement 6 bzw. 7 angeordnet; insbesondere
wer den die Beabstandungen von diesen Elementen überbrückt. Dabei sind die seitlichen
Ränder
des Hallsensorelementes 6 mit der linken äußeren Einzelschleife 4a und
der mittleren Einzelschleife 4b kontaktiert, während in
entsprechender Weise das Hallsensorelement 7 mit der rechten äußeren Einzelschleife 4c und
der mittleren Einzelschleife 4b verbunden ist. Die Hallsensorelemente
können
dabei jeweils in den Kontaktbereichen die Einzelschleifen geringfügig überlappen
oder auch an diese Schleifen angrenzen.
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Die
Hallsensorelemente 6 und 7 können in Dünnfilm- bzw. Dünnschichttechnik
mit einem für
solche galvanomagnetischen Bauelemente typischen Material aufgebaut
sein. Entsprechende, auch als Hallgeneratoren bezeichnete Hallsensorelemente und
deren Funktionsweise sind allgemein bekannt (vgl. z.B. das Buch
von H. Reichl u.a. mit dem Titel „Halbleitersensoren", Expert-Verlag,
Ehningen (DE), 1989, insbesondere Seiten 243 bis 267, oder das Buch
von U. von Borcke mit dem Titel "Feldplatten und
Hallgeneratoren",
Verlag der Siemens Aktiengesellschaft, Berlin u.a., 1985, insbesondere
Seiten 30 und 76 bis 87). Beispiele solcher Materialien sind Bi, InAs
oder InAsP. Auch Materialien auf Basis von Hoch Tc-Supraleitermaterialien,
die gegenüber
dieses Supraleitermaterialien aufgrund einer Sauerstoffarmut halbleitend
sind, können
verwendet werden. So ist z.B. an sauerstoffarmem Y-Ba-Cu-O-Material ein
hinreichend großer
Hallkoeffizient zu beobachten. Die Hallsensorelemente 6 und 7 sind
vorzugsweise vom sogenannten Vier-Kontakt-Typ in Rechteckform (vgl.
z.B. das genannte Buch von U. von Borcke, Seiten 23 bis 30) und
vorzugsweise als schmale Streifen ausgeführt.
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Über die
Einzelschleifen 4a bis 4c und die Hallsensorelemente 6 und 7 wird
ein Einstell- oder Biasstrom IB an Stromanschlüssen 8a und 8b zu-
bzw. abgeführt.
Zur Abnahme der an den Hallsensorelementen hervorgerufenen Hallspannungen
sind diese Elemente an einer Seite über einen streifenförmigen Verbindungsleiter 9 in
Kontaktbereichen 6b und 7a derart elektrisch in
Reihe geschaltet, daß sich
die Anteile ihrer Hallspannungen, die durch die gradientenfreien
Anteile des detektierten Magnetfeldes bzw. Störfeldes hervorgerufen sind,
zumindest weitgehend, d.h. zu mehr als 90 %, kompensieren. Die Komponenten
EH1 und EH2 weisen
in die gleiche Richtung. Bei einem gradientenfreien Feld sind nämlich EH1 und EH2 gleich
in Amplitude und Richtung. Die Folge davon ist, daß für diesen
Fall VH = VH1 – VH2 ≅ 0
gilt. Dabei sind VH1 und VH2 die
Hallspannungen an den einzelnen Hallsensorelementen 6 bzw. 7 und
VH die resultierende (Gesamt-)Hallspannung.
Die bzgl. des Verbindungsleiters 9 gegenüberliegenden
Enden der Hallsensorelemente sind in Kontaktbereichen 6a und 7b mit
Kontaktflächen 10a bzw. 10b verbunden, die
als Abgriffe für
die gesamte Hallspannung VH dienen. Somit
ist die Netto-Hallspannung
proportional dem Feldgradienten über
der Flußantenne
und ist eine praktisch reine Magnetfeldgradienten-Detektion eines magnetischen
Feldes mit hoher Magnetfeldgradientenauflösung auch bei verhältnismäßig hohem
Störpegel
zu gewährleisten.
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Bei
dem vorstehenden Ausführungsbeispiel wurde
davon ausgegangen, daß auch
für die
Hallsensorelemente ein Bi-Material gewählt wird. Eine weitere Verbesserung
ist zu erreichen, wenn man statt dessen andere Materialien für die Hallsensorelemente
wählt,
die einen größeren Hallkoeffizienten besitzen.
Entsprechende Materialien sind dem vorgenannten Buch von U. von
Borcke, Seite 30, zu entnehmen. So hat z.B. InAs einen Hallkoeffizienten
von etwa 100 cm3/A·s und InAsP einen von 200
cm3/A·s bei
Raumtemperatur. Durch Abkühlung
der Hallsensorelemente, insbesondere bei Verwendung von einer Gradiometerschleife
mit supraleitendem Material, ergeben sich noch größere Hallkoeffizienten.
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Bei
Verwendung eines Hallsensormaterials auf Basis der Komponenten eines
für die
Gradiometer-Dreifachschleife verwendeten Hoch-Tc-Supraleitermaterials
besteht die Möglichkeit,
den Sauerstoffgehalt gegenüber
dem Supraleitermaterial so einzu stellen, daß ein verhältnismäßig hoher Hallkoeffizient zu
erreichen ist. Entsprechende Maßnahmen
haben zusätzlich
den Vorteil, daß man
die Gegeninduktivität zwischen
den Hallsensorelementen und den ihnen jeweils zugeordneten Einzelschleifen
auch noch weiter optimieren kann.
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Zweckmäßig wird
für die
Einzelschleifen 4a bis 4c, für den Verbindungsleiter 9 sowie
für die
Kontaktflächen 10a und 10b dasselbe
Material vorgesehen, so daß diese
Teile in einer ersten Ebene liegend ausgebildet werden können. In
einer zweiten Ebene liegen dann die Hallsensorelemente 6 und 7.
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Eine
entsprechende Sensoreinheit 2 läßt sich neben weiteren solcher
Einheiten beispielsweise dadurch herstellen, daß man auf einem für ein Hoch-Tc-Supraleitermaterial wie Y-Ba-Cu-O geeignete
Substrat, beispielsweise aus Glas, eine Schicht des Supraleitermaterials
und anschließend
in-situ eine Schutzschicht aus SrTiO3 oder
aus Au aufbringt. Als Abscheidungsverfahren kann beispielsweise
eine gepulste Laser-Depositionstechnik
(PLD) gewählt werden.
Anschließend
wird dieser Aufbau mittels Photolithographie und Ionenstrahlätzens zu
der Dreifachschleife 4, dem Verbindungsleiter 9 und
den Kontaktflächen 10a und 10b strukturiert.
Im Bereich der Beabstandungen 5a und 5b wird dann
eine Schicht z.B. aus halbleitendem Bi mittels Elektronenstrahl- oder
thermischen Verdampfens aufgebracht. Diese halbleitende Schicht
wird anschließend
zu den beiden Hallsensorelementen 6 und 7 strukturiert.
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Da
insbesondere Hallsensorelemente lineare Sensorelemente sind, können mit
ihnen vorteilhaft Sensorarrays aufgebaut werden, die nur mit einem gemeinsamen
Einstellstrom IB seriell versorgt werden.
Die den Einstellstrom führenden
Teile der Flußantenne
kann man dann komplett supraleitend ausführen, so daß ohmsche Verluste nicht auftreten. Dies
ist insofern wichtig, da die Empfindlichkeit der Sensoreinrichtungen
proportional mit dem Einstellstrom zunimmt. Darüber hinaus ist durch eine effiziente
Kühlung
ein größerer Einstellstrom durch
die einzelnen Hallsensorelemente zu leiten als es bei Raumtemperatur
wegen dann auftretender Aufheizeffekte möglich wäre.
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Bei
dem vorstehend dargestellten Ausführungsbeispiel wurde davon
ausgegangen, daß als
lineare Flußspannungswandler
Hallsensorelemente vorgesehen sind. Neben solchen Elementen sind
für die
erfindungsgemäße Sensoreinrichtung
jedoch auch andere magnetfeldempfindliche Sensorelemente geeignet,
die eine lineare Charakteristik zeigen. So können insbesondere magnetoresistive
Dünnfilmsensorelemente
eingesetzt werden. Bei entsprechenden Sensorelementen kann es sich
dabei zum einen um solche vom sogenannten „AMR-Typ" oder zum anderen um solche vom „GMR- oder
vom TMR- oder vom CMR- oder vom GMI-Typ" handeln, die gegenüber AMR-Typ-Elementen einen
vergleichsweise erhöhten
magnetoresistiven Effekt zeigen. Diese unter der Bezeichnung „XMR-Technologie" zusammengefaßten Typen
sind beispielsweise aus der Veröffentlichung „XMR-Technologien" des VDI-Technologiezentrums „Physikalische
Technologien", Düsseldorf,
August 1997, Seiten 11 bis 46 zu entnehmen.
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2 zeigt
ebenfalls als Aufsicht in stark schematisierter Darstellung eine
entsprechende Ausführungsform
eine Reihenschaltung 12 mehrere Sensoreinheiten Si, die Teil einer Array-Anordnung einer erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung
sein können. Diese
Reihenschaltung weist n = 4 Untereinheiten Si (mit
1 ≤ i ≤ n) auf, die
jeweils aus einer Sensoreinheit 2 nach 1 bestehen.
Diese Sensoreinheiten S1 bis S4 sind
so in Führungsrichtung
des Einstellstromes IB hintereinandergeschaltet,
daß benachbarte äußere Einzelschleifen 4c und 4a jeweils über streifenförmige Verbindungsleiter 13 miteinander
verbunden sind. Die an den einzelnen Sensoreinrichtungen abnehmbaren
Gesamthallspannungen sind hier mit V1 bis
V4 bezeichnet.
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Aus
3 geht
eine Array-Anordnung
20 einer erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung
hervor. Die in Aufsicht wiedergegebene Array-Anordnung umfaßt mehrere,
hier z.B. in zwei Gruppen G1 und G2 unterteilte Sensoreinheiten
S
i (mit 1 ≤ i ≤ n), wobei n
die Gesamtzahl der einzelnen Sensoreinheiten ist. Gemäß dem stark
schematisiert dargestellten Ausführungsbeispiel
weist die erste Gruppe G1 neun Sensoreinheiten S
1 bis
S
6 und S
11 bis S
13 auf. Dabei sind je drei Sensoreinheiten
quasi in parallelen Zeilen angeordnet. Zwischen zwei dieser Zeilen
liegt eine weitere Zeile mit beispielsweise vier Sensoreinheiten S
7 bis S
10, die der
zweiten Gruppe G2 zugehören.
Mit den Sensoreinheiten der beiden Gruppen werden unterschiedlich
ausgerichtete Magnetfeldgradienten detektiert. Hierzu müssen die
Sensoreinheiten der beiden Gruppen entsprechend unterschiedlich
ausgerichtet sein. So werden beispielsweise mit den Sensoreinheiten
der Gruppe G1 nur
-Magnetfeldgradienten
detektiert, während
die Sensoreinheiten der anderen Gruppe G2 zur Detektion von
-Magnetfeldgradienten
dienen. Dabei wird der Array-Anordnung ein x-y-z-Koordinatensystem zugrundegelegt.
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Alle
Sensoreinheiten Si sind elektrisch hintereinandergeschaltet
gemäß 2. Über sie
wird deshalb ein Einstellstrom IB geführt, der
nur zwei Stromanschlüsse 8a und 8b erfordert.
Außerdem
sind für jede
Sensoreinheit Si zwei Leitungen zur Abnahme der
jeweiligen Hallspannung Vi (mit 1 ≤ i ≤ n) vorzusehen.
Alle Stromleitungen werden vorteilhaft an eine gemeinsame Seite
der Array-Anordnung 20 bzw. eines sie tragenden Substrates
geführt.
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Zur
Herstellung einer entsprechenden Array-Anordnung wird als Unterlage
ein entsprechend großes,
beispielsweise monokristallines und epitaxiefähiges Substrat wie z.B. aus
SrTiO3, MgO, Al2O3 oder LaAlO3 mit
kreisrundem oder rechteckigem Quer schnitt und ebener oder gekrümmter Gestalt vorgesehen.
Die Oberfläche
dieses Substrates wird großflächig mit
einem Hoch-Tc-Supraleitermaterial wie z.B. vom Typ YBa2Cu3Ox (sogenanntes
YBCO) und gegebenenfalls in-situ mit einer Schutzschicht beispielsweise
aus Au oder SrTiO3 mittels eines PVD (Physical
Vapor Deposition)-Verfahrens wie z.B. durch Laserablation beschichtet.
Anschließend
werden über
Fototechnik und Ionenstrahlätzen
die Strukturen für
die Flußantennen
ausgebildet. Darauffolgend wird eine Beschichtung mit dem Material
der Hallsensorelemente, beispielsweise einem halbleitenden Material
vorgenommen. Daran schließt
sich eine Strukturierung zu diesen Elementen beispielsweise durch
eine Lift-Off-Technik oder ein Ätzverfahren
an.
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Die
Array-Anordnung 20 gemäß 3,
die auch auf mehreren Substraten 3 ausgebildet sein kann,
wird anschließend
gemäß der Aufsicht
der 4 auf einem Träger
(bzw. einer Trägerstruktur) 22 montiert.
Der Träger
ist auf einer Seite mit mindestens einer Steckerleiste 23 versehen.
Die elektrische Verbindung zwischen dieser Steckerleiste und der Array-Anordnung erfolgt
durch Drahtbonden.
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Wie
aus der Seitenansicht der 5 hervorgeht,
ist die Steckerleiste 23 beispielsweise mit einem flexiblen
Flachbandkabel 24 verbunden, über welches ein elektrischer
Anschluß mit
einer in der Figur nicht ausgeführten
Elektronik erfolgt. Von dieser Elektronik ist lediglich eine Anschlußleiste 25 ersichtlich.
Bei einer eventuell erforderlichen Kühlung der Array-Anordnung 20 erfolgt
der Temperaturübergang zwischen
einem Warmbereich W z.B. auf Raumtemperatur mit der Anschlußleiste 25 und
einem Kaltbereich K eines Kühlmittels
wie z.B. LN2 oder LHe mit der Steckerleiste 23 über das
Flachbandkabel 24. Dabei sind die Leiterquerschnitte des
Flachbandkabels so konzipiert, daß eine möglichst geringe Wärmeeinleitung
in den Kaltbereich K des Kühlmittels
erfolgt. Dies ist vorzugsweise dadurch zu erreichen, daß man als
flexibles Flachbandkabel 24 eine flexible Kunststoffolie
oder -platte verwendet, auf der die erforderlichen Leiterbahnen
aus latte verwendet, auf der die erforderlichen Leiterbahnen ausgebildet
sind. Dabei ist es besonders vorteilhaft, daß sämtliche Sensoreinheiten von
einer gemeinsamen Stromquelle über
nur zwei Leitungen mit dem Einstellstrom IB versorgt
werden müssen.
In der Figur ist ein entsprechender Warm-Kalt-Übergang
durch eine gestrichelte Linie 26 angedeutet.
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Im
Hinblick auf eine hohe Feldauflösung kann
es erforderlich werden, daß die
Hallsensorelemente der Array-Anordnung 20 mit einem verhältnismäßig hohen
Einstellstrom IB z.B. von mehreren Milliampere
versorgt werden müssen.
Dann müssen
die hierfür
vorzusehenden elektrischen Leiter z.B. des Flachbandkabels 24 dementsprechend
große
Leiterquerschnitte aufweisen, die zu entsprechenden Wärmeeinleitungsverlusten
in den Kaltbereich K der Array-Anordnung führen können. In diesem Falle läßt sich
vorteilhaft eine Wechselstromversorgung für die Array-Anordnung vorsehen. 6 zeigt
ein entsprechendes Ausführungsbeispiel
in Schrägansicht.
Eine Wechselstromversorgung ermöglicht
nämlich
die Verwendung eines Transformators 28 im Kaltbereich K,
der auf seiner in den raumtemperaturseitigen Warmbereich W führenden
Versorgungsseite mit vielen Windungen w1 ausgestattet sein kann.
Diese Windungen ermöglichen
dann dementsprechend geringe Leiterquerschnitte. Auf der Anschlußseite zu der
Array-Anordnung können
dann wenige Windungen w2 mit größerem Querschnitt
vorgesehen werden, um die höheren
Ströme
zu führen.
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Gemäß dem in 7 angedeuteten
Prinzipschaltbild eines Teils einer Array-Anordnung kann vorteilhaft
die Spannungsauslese der einzelnen Sensoreinheiten Si jeweils über einen
Differentialverstärker 30i mit hochohmigem Eingang erfolgen.
Dies erfordert für
den Fall einer Kühlung
der Array-Anordnung zwei Kaltleitungen 31a, 31b pro
Sensoreinheit Si. In den Fällen, z.B.
bei einer sehr großen
Array-Anordnung, wo dies aus kühltechnischen
Gründen
ein Problem ist, kann vorteilhaft statt einer Gleichstromversorgung
(DC-Versorgung) eine Wechselstromversorgung (AC-Versorgung) vorgesehen
werden. In 8 ist in 7 entsprechender
Darstellung ein Ausführungsbeispiel
angedeutet. Hier wird die von der Sensoreinheit Si erzeugte
Sensorspannung Vi bzw. Hallspannung mit
einem kalten Resonanzkreis 32i auf
der Frequenz des Einstellstromes IB ausgelesen.
Ein derartiger Resonanzkreis erfordert nur eine in den Warmbereich
führende
Ausleseleitung 33i , da die andere
im Kaltbereich K auf Erdpotential, auf dem sich z.B. das Gehäuse eines
erforderlichen Kryostaten befindet gelegt werden kann. Auf diese
Weise läßt sich
die Zahl der kalten Ausleseleitungen gegenüber der Ausführungsform
nach 7 um den Faktor 2 reduzieren.
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In 9 sind
alternativ weitere Teile einer signalverarbeitenden Elektronik für die Ausführungsformen
nach den 7 und 8 für eine Sensoreinheit
Si alternativ angedeutet. Die Signalverarbeitungskette
nach dem Verstärker 30i bei einer DC-Stromversorgung besteht
aus einer Filterstufe 35, einem A/D-Wandler 36 und
einer Rechnereinheit 37. Bei der für dieselbe Sensoreinheit gezeigten
alternativen AC-Stromversorgung
wird das amplitudenmodulierte Signal nach dem Resonanzkreis 32i in einem Verstärker 38 verstärkt und
anschließend
phasenempfindlich demoduliert, bevor es wie im Falle der DC-Stromversorgung
digitalisiert wird. Zur phasenempfindlichen Demodulation sind ein
Bandfilter 39 und ein auf die AC-Frequenz ω bezogener
Multiplizierer oder Gleichrichter 40 vorgesehen.
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Für die Fälle, z.B.
bei einer kleinflächigen
Array-Anordnung oder bei extremem Störsignalpegel, in denen ein
Sensorbetrieb in einem bestimmten Einstellpunkt bezüglich eines
Stromes und/oder bzgl. eines Feldes unbedingt erforderlich wird,
können
gegebenenfalls nach der jeweiligen Filterstufe der in 9 alternativ
aufgezeigten beiden Signalverarbeitungsmöglichkeiten noch Rückkopplungen
zu den Sensoreinheiten vorgesehen werden. 10 zeigt
ein entsprechendes Ausführungsbeispiel
für die
in 9 gezeigte alternative Signalauslese. Die jeweilige Rückkopplung
mit Leitungen 42 bzw. 43 weist üblicherweise
eine Serienschaltung von einem nur ohmsche Verluste erzeugenden
Glied 44 bzw. 45 und einer Rückkopplungsspule 46 bzw. 47 auf.
Die Spule ist dabei magnetisch induktiv an die jeweilige Sensoreinheit
bzw. deren Flußantenne
gekoppelt. Auf diese Weise ist am Ort der Flußantenne ein lokales Feld zu generieren,
das unerwünschten
Meß- oder
Störfeldern
entgegenwirkt.
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Ein
Offset-Abgleich eines jeder Sensoreinheit zugeordneten Vorverstärkers (30i , 38) ist mit einer üblichen
Potentiometerschaltung vornehmbar. Gegebenenfalls kann diese auch
dazu genutzt werden, einen Offset der Sensoreinheit einschließlich ihres
Vorverstärkers
abzugleichen. Drift-Erscheinungen, insofern diese in Differentialverstärkern noch eine
Rolle spielen, lassen sich entweder mit einer Temperaturstabilisierung
oder mittels Einsatzes einer AC-Stromversorgung entgegenwirken.
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In 11 ist
ein Querschnitt durch ein für eine
Array-Anordnung
einer erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung
besonders geeignetes Kryostatengefäß 50 angedeutet. Dieses
zur Aufnahme eines Kühlmediums
M in einem Kaltbereich K vorgesehene Gefäß ist dabei so gestaltet, daß z.B. eine
Array-Anordnung 20 gemäß 5 möglichst
nahe, vorzugsweise näher
als 1 cm, an eine zu detektierende Magnetfeldquelle herangebracht
werden kann. Dazu sind zum einen die von einem Träger 22 in
dem Kaltbereich K gehaltenen, auf einem Substrat ausgebildeten Sensoreinheiten
von der Bewandung 51 des Kryostatengefäßes 50 vorteilhaft
in einem entsprechend geringen Abstand a von beispielsweise zwischen
2 und 10 mm anzuordnen; zum anderen läßt sich diese Bewandung dünn ausgestalten.
In der Figur sind ferner mitgekühlte
passive Komponenten 52 auf der Rückseite des Trägers 22 nur
angedeutet. Besonders für
niederfrequente Signale mit einer Frequenz unter 10 kHz eignet sich
ein doppelwandiges Gefäß aus rostfreiem
Stahl, das eine Warm-Kalt-Distanz von
etwa 3 mm erlaubt. Für
höherfrequente
Signale wird beispielsweise ein vergleichsweise schlechter leitendes Material
für das
Gefäß, z.B.
ein Kunststoff, vorgesehen. Die konkrete Ausgestaltung des Kryostatengefäßes hängt von
den spezifischen Anwendungen ab. So wäre z.B. für die Kardiographie eine flache
Array-Anordnung 20 mit einer Fläche von etwa 20 cm × 30 cm
erforderlich. Eine flache Bewandung 51 eines entsprechenden
Kryostatengefäßes 50 hätte dann
etwa dieselben Abmessungen. Für
einen Einsatz zur Prüfung
von Platinen kann ebenfalls eine flache Array-Anordnung vorgesehen
werden, deren Abmessungen an die der zu prüfenden Platine angepaßt sind.
Für eine
Prüfung
von gekrümmten
Flächen in
Großgeräten, z.B.
zur Prüfung
von Turbinenschaufeln von Dampfturbinen oder von Rohrleitungen,
wird eine Array-Anordnung mit einer Flächenkrümmung erforderlich, die an
die Krümmung
des zu prüfenden Teils
angepaßt
ist. Dementsprechend wird auch ein gekrümmtes Kryostatengefäß vorgesehen.
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Falls
nur kleine Flächen
auf kleine Fehler geprüft
werden müßten, kann
eine Array-Anordnung auf wenige Sensoreinheiten reduziert werden,
um damit räumlich
aufgelöst
nahe an der Signalquelle eine Prüfung
zu ermöglichen.
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Bei
den vorstehenden Ausführungsbeispielen
wurde davon ausgegangen, daß mit
zwei Gruppen von Sensoreinheiten mit unterschiedlicher Ausrichtung
unterschiedliche Magnetfeldgradienten erfaßt werden. Gegebenenfalls sind
jedoch mit solchen Array-Anordnungen von Sensoreinheiten auch mindestens
drei Gruppen zu bilden, wenn es um die Erfassung einer räumlichen,
vektoriellen Feldverteilung geht. Ein spezielles Ausführungsbeispiel
eines entsprechenden Vektor-Magnetometers ist in 12 in Schrägansicht
angedeutet.
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Das
mit 60 bezeichnete Magnetometer enthält eine Trägerstruktur 61, die
insbesondere die Gestalt eines Würfels
oder eines Quaders hat. Die sechs beispielsweise gleichgroßen Flachseiten
der Trägerstruktur
sind mit 61a bis 61f bezeichnet und dienen jeweils
als Substrat für
eine planare Array-Anordnung von zwei Gruppen zuordbaren Sensoreinheiten
z.B. gemäß 3.
Ebensogut können
aber auch auf der Trägerstruktur
besonde re, die Array-Anordnungen jeweils tragende Substrate gemäß 4 angeordnet
sein.
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In 12 sind
aus Gründen
der Übersichtlichkeit
lediglich von den einzelnen Array-Anordnungen jeweils nur eine einzige
Sensoreinheit Si oder Si' (mit i = a, b oder
c) angedeutet, obwohl zu jeder Array-Anordnung gemäß 3 auch
dazu senkrecht ausgerichtete, einer weiteren Gruppe zuzuordnende Sensoreinheiten
gehören.
D.h., auf jeder der Flachseiten 61a bis 61f befinden
sich Sensoreinheiten zweier Gruppen, wobei die Sensoreinheiten auf
parallelen, gegenüberliegenden
Flachseiten jeweils zur Erfassung derselben Magnetfeldgradienten
vorgesehen sind. In der Figur sind aus Vereinfachungsgründen die
beiden Gruppen auf jeweils parallel zueinander liegenden Flachseiten
einheitlich mit Gj bzw. Gj' (mit
j = 1, 2 oder 3) bezeichnet. Dabei ist mit der Bezeichnung Gj, Gj' berücksichtigt,
daß parallel
liegende Array-Anordnungen zwar zur selben Gruppe mit dem Index
j gehören,
sich jedoch auf verschiedenen Flachseiten der würfelförmigen Trägerstruktur befinden. In der
Schrägansicht
der Figur sind ferner die Bezugszeichen von verdeckten Flachseiten
in Klammern gesetzt und die auf diesen verdeckten Flachseiten befindlichen
Sensoreinheiten gestrichelt eingezeichnet.
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Dementsprechend
sind bei dem in
12 angedeuteten Vektor-Magnetometer
60 z.B.
mit den auf den gegenüberliegenden
Flachseiten
61a und
61b befindlichen Array-Anordnungen
einer Gruppe G1 bzw. G1' jeweils
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und
-Magnetfeldgradienten zu
erfassen. Von diesen Array-Anordnungen sind lediglich die Sensoreinheiten
S
a und S
a' aus der Gruppe G1,
G1' ersichtlich,
die zur Erfassung der
-Magnetfeldgradienten
vorgesehen sind. In entsprechender Weise können mit den zu einer Gruppe
G2, G2' gehörenden Array-Anordnungen
auf den Flachseiten
61c und
61d -
und
-Magnetfeldgradienten
detektiert werden. Von diesen Array-Anordnungen sind lediglich die
Sensoreinheiten S
b und S
b' für die
-Magnetfeldgradientenerfassung
angedeutet. Die in Array-Anordnungen auf den Flachseiten
61e und
61f befindlichen,
zu einer Gruppe G3, G3' gehörenden Sensoreinheiten
S
c und S
c' erfassen dann
-Magnetfeldgradienten.
Die ferner
-Magnetfeldgradienten detektierenden
Sensoreinheiten dieser letztgenannten Array-Anordnungen sind in der Figur nicht
angedeutet.
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Mit
einer 12 entsprechenden Ausbildung
eines Vektor-Magnetometers 60 ist
dann vorteilhaft eine räumliche,
vektorielle Feldverteilung eines im Volumen des Magnetometers vorhandenen Magnetfeldes
in x-, y- und z-Richtung gemäß dem eingezeichneten
Koordinatensystem erfaßbar.