DE4409805C1 - Verfahren und Vorrichtung zum dosierten Zerstäuben von Flüssigkeiten sowie deren Verwendung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum dosierten Zerstäuben von Flüssigkeiten, bei dem die Flüssigkeit Druckstößen ausgesetzt wird, die zeitveränderlich über mindestens eine auf die Flüssigkeit einwirkende Membran ausgeübt werden, die durch Einwirkung eines mittels mindestens eines stromdurchflossenen Leiters erzeugten Magnetfelds bewegt wird, wobei Stromimpulse zur Steuerung der Druckstöße erzeugt werden. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum dosierten Zerstäuben von Flüssigkeiten mit einem die Flüssigkeit aufnehmenden Sammelraum, der teilweise von mindestens einer Membran begrenzt wird, und mit mindestens einer Zerstäubungsöffnung, wobei der Membran ein elektrischer Leiter zu­ geordnet ist, der an eine Stromquelle anschließbar ist. Schließlich be­ trifft die Erfindung die Verwendung einer solchen Vorrichtung.

Solche Verfahren sowie die entsprechenden Vorrichtungen zum dosierten Zerstäuben von Flüssigkeiten sind allgemein bekannt.

Bisher wurden Druckstöße, um Flüssigkeiten dosiert zu Zerstäuben, elek­ tromagnetisch, pneumatisch, hydraulisch oder durch Piezoelemente erzeugt.

Die DE-A1 33 14 900 beschreibt beispielsweise einen Elektromagneten für Ventile, insbesondere zum Einsatz in elektromagnetisch betätigten Ein­ spritzventilen zur Kraftstoffeinspritzung bei Verbrennungsmotoren. Gemäß der angegebenen Aufgabe soll in Verbindung mit solchen Ventilen ein wir­ belstrom- und streufeldarmer Magnet mit gutem Übergangsverhalten und ein­ facher Ankerlagerung, der durch Ausnutzung von hydraulischen Dämpfungs­ kräften eine schnelle Bewegung gestattet, eingesetzt werden. Diese Auf­ gabe soll dadurch gelöst werden, daß ein von der Spule des Elektro­ magneten umfaßter Teil des Magnetkreises rohrförmig und dünnwandig ausge­ führt wird, wobei die maximale Induktion bei Betätigung des Elektro­ magneten in einem Großteil des Magnetkreises die Sättigungsinduktion des Magnetmaterials nur wenig unterschreitet, und daß der von der Spule um­ faßte Teil des Magnetkreises und der die Spule umfassende Teil des Mag­ netkreises durch zwei Arbeitsluftspalte unterbrochen wird, die nicht in einer Ebene liegen, deren magnetisch wirksame Flächen in etwa gleich sind und die so angeordnet werden, daß ein rohrförmiger Teil des Magnet­ kreises, der Teil des Ankers ist, direkt zur Lagerung des Ankers dient und der Anker von dem zu steuernden Medium umspült wird. Wesentlich bei diesem Ventil ist demnach, den Kern und den Anker möglichst dünnwandig auszuführen, um die Wirbelstromverluste möglichst gering zu halten, da diese als sehr nachteilig angesehen werden.

Die DE-A1 40 36 494 beschreibt eine Vorrichtung zum Zuführen von Kraft­ stoff zu einem Verbrennungsmotor, bei der es sich um ein elektro-magne­ tisch betätigtes Kraftstoff-Dosier- und Zerstäuberventil handelt. Da sich diese Druckschrift im wesentlichen auf eine einfachere Montage des Kraft­ stoff-Dosierventils, des verwendeten Druckreglers und eines Temperatur­ sensors bezieht, sind keine wesentlichen Einzelheiten über den konkreten inneren Aufbau des Ventils angegegeben.

Ausgehend von dem vorstehend beschriebenen Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vor­ richtung zum dosierten Zerstäuben von Flüssigkeiten anzugeben, mit dem bzw. mit der kurze Zerstäubungsimpulse unter sehr hoher Krafteinwirkung auf das Zerstäubungsorgan erzeugt werden können.

Die vorstehende Aufgabe wird hinsichtlich des eingangs angegebenen Ver­ fahrens dadurch gelöst, daß in einer zumindest einen elektrisch leit­ fähigen, zusammenhängenden Bereich aufweisenden Membran elektrische Wir­ belströme induziert werden, die über ein zeitveränderliches Magnetfeld erzeugt werden, wobei das von außen einwirkende Magnetfeld über Strom­ impulse in dem elektrischen Leiter verändert wird und wobei aufgrund der Wirbelströme die Kraft für die Bewegung der Membran bewirkt wird. Hin­ sichtlich einer Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art wird die Auf­ gabe dadurch gelöst, daß die Membran zumindest einen elektrisch leit­ fähigen, zusammenhängenden Bereich aufweist und dieser Bereich von den von dem elektrischen Leiter ausgehenden magnetischen Feldlinien ge­ schnitten wird.

Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, Druckstöße mittels eines schnell veränderlichen Magnetfeldes, das hohe Wirbelströme in der elek­ trisch leitfähigen Membran hervorruft, zu erzeugen. Die Kraft, die das Magnetfeld auf diese Ströme bzw. auf die Membran ausübt, wird zur Druck­ erzeugung genutzt. Die Membran wirkt dabei auf ein Flüssigkeitsreservoir ein und die Flüssigkeit wird aufgrund der Druckstöße aus einer oder mehreren Düsen ausgetrieben. Durch die mittels des schnell veränderlichen Magnetfelds in der Oberfläche der Membran erzeugten Wirbelströme können, in Abhängigkeit der Dämpfung der Wirbelströme und damit der elektrischen Leitfähigkeit, Zeitkonstanten im Bereich von 10 bis 100 µs erzielt werden. Infolge der Schwingungen der Membran, die mit der Flüssigkeit in Kontakt steht, die als mit der Magnetkraft beaufschlagter elektrischer Leiter dient, können Druckamplituden in der Flüssigkeit bis zu 1000 bar erzeugt werden, was in Verbindung mit den vorstehend angegebenen Zeit­ konstanten zu einer sehr definierten Zerstäubung einer Flüssigkeit über eine oder mehrere Düsen führt. Durch die definierte Kraftübertragung des Magnetfelds auf die Membran können sehr hohe Zerstäubungsgenauigkeiten erreicht werden.

Bevorzugt werden die Stromimpulse mit einem Impulsgenerator erzeugt, über den Stromimpulse mit Zeitkonstanten von 1 bis 500 µs und Amplituden von 100 A bis 10 kA eingestellt werden können. Der Impulsgenerator sollte hierbei, vorzugsweise über einen Funktionsgenerator, so angesteuert werden, daß er für einen Zerstäubungsvorgang einen einzigen Stromimpuls abgibt. Über eine Stromimpulsfolge kann dann ein Zerstäubungsvorgang zeitlich definiert eingestellt und gesteuert werden. Mit einem solchen Impulsgenerator werden vorzugsweise linear ansteigende Stromimpulse er­ zeugt, die dem elektrischen Leiter bzw. der Spule zugeführt werden. Hier­ durch wird eine konstante Krafteinwirkung erreicht.

In einer weiteren bevorzugten Verfahrensweise wird das Magnetfeld mittels eines massiven Metallformkörpers im magnetischen Schluß derart geführt und geformt, daß die magnetische Induktion B im wesentlichen im Bereich des elektrisch leitfähigen Bereichs der Membran maximal wird. Auf diese Weise können sehr hohe Drücke mit einem hohen Wirkungsgrad erzeugt werden.

In Verbindung mit der angegebenen Vorrichtung wird als elektrischer Lei­ ter eine Spule eingesetzt, wobei in einer bevorzugten Ausführungs­ variante in der Spule ein Feldverdichter für das Magnetfeld mit einer sehr hohen elektrischen Leitfähigkeit angeordnet ist, so daß eine hohe Induktion und niedrige Verluste erzielt werden. Dieser Effekt kann zu­ sätzlich dadurch verstärkt werden, daß der Feldverdichter einen massiven Kern mit einer in Achsrichtung verlaufenden Bohrung aufweist, der darüberhinaus in Achsrichtung einen radial von der Außenseite bis zu der Bohrung verlaufenden, durchgehenden Schlitz aufweist, wobei in einer weiteren Ausbildung der Feldverdichter ein im wesentlichen zylindrischer Körper ist. Durch den Schlitz wird erreicht, daß das Magnetfeld vor­ wiegend in der Bohrung konzentriert wird. Um eine maximale Wirbelstrom­ bildung in der Membran zu induzieren, wird diese vor der einen Stirn­ fläche des Feldverdichters, über einen minimalen Luftspalt davon elek­ trisch isoliert, angeordnet. Um in bezug auf die Membran eine möglichst geringe Masse über die erzeugten Wirbelströme bewegen zu müssen, wird vorzugsweise der elektrisch leitende Bereich der Membran aus einem elek­ trisch gut leitfähigen, massearmen, dia- oder paramagnetischen Material gebildet. Hierfür eignet sich insbesondere Aluminium oder eine Aluminium-Basislegierung oder eine Kupfer oder Kupfer-Basislegierung, aus der der elektrisch leitfähige Bereich der Membran gebildet wird. Um in dieser Hinsicht noch bessere Ergebnisse zu erreichen, wird der elektrisch leitfähige Bereich mit einem hoch leitfähigen Metall, beispielsweise Silber, bedampft. In einer weiteren Ausbildung kann der elektrisch leit­ fähige Bereich der Membran an seinem Rand schwingend gelagert werden, so daß die Membran in dem Bereich, mit dem sie mit der Flüssigkeit, die zer­ stäubt werden soll, in Berührung steht, nicht wesentlich verbogen bzw. ausgelängt werden muß, sondern diese Bewegung, um Druck auf die Flüssig­ keit auszuüben, über den schwingend gelagerten Rand bewirkt wird. Zu die­ sem Zweck kann der elektrisch leitfähige Bereich auch auf einem elasti­ schen Trägermaterial aufgebracht werden.

Bevorzugt wird die Zerstäubungsöffnung mit einem Kugelventil abge­ schlossen; dieses Kugelventil wird durch die Druckstöße geöffnet, so daß die Flüssigkeit aus der Düse austreten kann, während gleichzeitig eine Rückströmung in die Zuführleitung beispielsweise durch ein Rückschlag­ ventil verhindert wird. Weiterhin können mehrere Zerstäubungsöffnungen in Form einer Kapillarplatte gebildet werden; eine solche Kapillarplatte hat den Vorteil, daß die Kapillarkräfte die unter einem Vordruck stehende Flüssigkeit zurückhalten, und daß die Flüssigkeit sehr definiert bei Ein­ wirken der Wirbelströme auf die Membran austritt und daß dieser Zer­ stäubungsvorgang definiert beendet wird. Weiterhin sind für eine solche Düsenanordnung in Form einer Kapillarplatte keine bewegbaren Teile er­ forderlich.

Um die Druckamplituden, die auf die Flüssigkeit ausgeübt werden, noch weiter erhöhen zu können, ist eine Anordnung von Vorteil, bei der die Flüssigkeit aufnehmende Sammelraum auf zwei gegenüberliegenden Seiten jeweils von einer Membran getrennt wird, wobei jeder Membran ein geson­ derter, elektrischer Leiter zugeordnet ist. Hierbei können die beiden Membrane so in Schwingung versetzt werden, daß sie mit gegenläufigen Am­ plituden schwingen. Dies bedeutet, daß die Flüssigkeit in dem Sammelraum über die zwei Leiter, wobei es sich auch hier bevorzugt um entsprechende Spulen, wie vorstehend beschrieben, handelt, mit Druck beaufschlagt wird, so daß sie definiert und dosiert aus einer entsprechenden Düsenöffnung zerstäubt austritt.

Als bevorzugte Verwendung einer solchen Vorrichtung bzw. Anordnung sind die Kraftstoffeinspritzung in Verbrennungsmotoren sowie die Abgabe von Tinte in einer Druckeinrichtung, vorzugsweise in einem Tintenstrahl­ drucker, anzuführen.

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nach­ folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung.

In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 eine Zerstäubungsanordnung mit einer Düse in Form eines Kugelventils,

Fig. 2 eine Zerstäubungsanordnung mit einer Kapillarplatte,

Fig. 3 einen Schnitt entlang der Schnittlinien III-III in den Fig. 1 und 2, und

Fig. 4 eine Anordnung, bei der eine Doppelmembran mit zwei Spulen­ anordnungen eingesetzt wird.

In Fig. 1 ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung in Form einer Zer­ stäubungsanordnung dargestellt, die beispielsweise als Einspritzeinrich­ tung für einen Kraftfahrzeug-Verbrennungsmotor eingesetzt werden kann. Die Anordnung besteht aus einem Ventilgehäuse 1 mit einem Sammelraum 2, dem über eine Kraftstoffzuleitung 3 Kraftstoff aus einem nicht darge­ stellten Kraftstoffvorratstank zugeführt wird. Der Sammelraum 2 ist trichterförmig ausgebildet, wobei an dem spitz zulaufenden Ende 4 eine Düsenöffnung 5 über ein Auslaßventil 6 mit einer Kugel 7 und einer Feder 8 verschlossen ist, indem die Feder 8 die Kugel 7 gegen die Düsen­ öffnung 5 drückt. Auf der der Düsenöffnung 5 gegenüberliegenden Seite des konischen Sammelraums 2 ist eine Membran 9 vorgesehen, mit der der Kraft­ stoff in dem Sammelraum 2 in Berührung steht. Mit ihrer anderen, außen­ liegenden Fläche ist die Membran 9 unter Bildung eines Luftspalts 10 vor der Stirnfläche eines zylindrischen, massiven Metallkerns 11 positioniert. Der Metallkern 11, z. B. ein Aluminium, ist in eine Spule 12 eingesetzt, die über einen schematisch dargestellten Impuls­ generator 15 über eine Anschlußleitung 16 mit Strom versorgt wird. Über die Spule 12 wird ein Magnetfeld erzeugt, das mittels des Metallkerns 11, der einen Feldverdichter bildet, verstärkt und definiert geführt wird. Der massive Metallkern 11 besitzt einen Schlitz 18, der entlang der Achse 14 der Metallkern-Spulenanordnung 11, 12 verläuft, wie dies in Fig. 3 zu erkennen ist. Die Membran 9 besitzt zumindest in dem Bereich ihrer Oberfläche, die der Stirnfläche des Metallkerns 11 zugewandt ist, elektrisch leitfähige Zonen, wobei in der dargestellten Ausführungsform der Fig. 1 die Membran 9 aus Aluminium gebildet ist, die auf ihrer dem Metallkern 11 zugewandten Seite mit einer dünnen Silberschicht bedampft ist. Die Membran 9 weist eine solche Dicke auf, daß sie, an ihrem Außen­ umfang an dem Ventilgehäuse 1 gelagert, in Richtung des Doppelpfeils 19 schwingen kann. Über den Impulsgenerator 15, der von einem Funktions­ generator 17 angesteuert wird, wird die Spule 12 mit kurzen Strom­ impulsen, d. h. mit Stromimpulsen mit einer Impulsdauer im Mikrosekunden­ bereich, beaufschlagt, wodurch in dem Metallkörper ein sich zeitlich ver­ änderndes Magnetfeld erzeugt und verstärkt wird, das in der elektrisch leitfähigen Membran 9 Wirbelströme erzeugt, da die Magnetfeldlinien die Membran 9 unter einem Winkel schneiden. Entsprechend der über den Impuls­ generator 15 erzeugten Stromimpulsen wird die Membran 9 aufgrund der Wir­ belströme zu dem Sammelraum 2 hin, in der sich der Kraftstoff befindet, ausgelenkt und in dem Sammelraum 2 ein kurzzeitiger Druckimpuls erzeugt, wodurch die Düsenöffnung 5 über die Kugel 7 entgegen der Kraft der Feder 8 kurzzeitig freigegeben und eine fein dosierte Menge an Kraftstoff in Richtung der Pfeile 20 abgegeben wird.

Über die Membran 9 können auf den Kraftstoff in dem Sammelraum 2 sehr hohe Drücke, d. h. Drücke bis zu 1000 bar, ausgeübt werden, mit Zeit­ konstanten von 10 µs, wodurch sich eine hohe Zerstäubungsdosierbar­ keit, sowohl mengenmäßig als auch hinsichtlich des Zeitverhaltens, ergibt.

In der Fig. 2 ist eine Ausführungsform der Erfindung in Verbindung mit einer Kapillarplatte 21 dargestellt, die ebenfalls zur Zerstäubung bzw. Einspritzung von Kraftstoff in den Verbrennungsraum einer Brennkraft­ maschine eingesetzt werden kann, die sich aber auch vom Prinzip her für die Düsenplatte eines Tintenstrahldruckkopfs eignet. Die Metallkern-Spulenanordnung 11, 12 ist wiederum dieselbe wie diejenige, die in der Ausführungsform nach Fig. 1 dargestellt ist, weshalb auch entsprechende Bauteile, die Bauteilen der Ausführungsform der Fig. 1 entsprechen, mit denselben Bezugszeichen bezeichnet sind, so daß die vor­ stehenden Ausführungen zu der Fig. 1 analog auf die Fig. 2 übertragen werden können. Wiederum wird in den Sammelraum 2 über die Zuleitung 3 Kraftstoff oder Tinte zugeführt. Der Sammelraum 2 ist auf der einen Seite ebenfalls durch die Membran 9 begrenzt. Der Membran 9 gegenüberliegend sind eine Reihe von Kapillarröhrchen 22 angeordnet, die jeweils eine Düsenöffnung 23 bilden. Wiederum wird durch Beaufschlagung der Spule 12 mit Stromimpulsen ein sich änderndes Magnetfeld in dem Metallkern 11 er­ zeugt, das in der aus leitendem Material gebildeten Membran Wirbelströme erzeugt, so daß die Membran zu den Kapillarröhrchen 22 hin ausgelenkt wird bzw. schwingt, so daß, entsprechend den Druckamplituden, die auf das Fluid in dem Sammelraum 2 ausgeübt werden, aus den Öffnungen 23 der Kapillarröhrchen 22 das Fluid austritt und zerstäubt wird.

Eine weitere Ausführungsform einer Vorrichtung zum Zerstäuben von Flüs­ sigkeiten ist in Fig. 4 schematisch dargestellt. Nach dieser Aus­ führungsform wird einem Sammelraum 2 über eine Zuleitung 3 ein Fluid zu­ geführt. Der Sammelraum 2 nach dieser Ausführungsform wird auf zwei ge­ genüberliegenden Seiten durch jeweils eine Membran 9 begrenzt. Während sich die Zuleitung 3 zu dem Sammelraum 2 in Fig. 4 an der oberen Seite zwischen den Enden der beiden Membranen 9 befindet, ist eine Düsen­ öffnung 5 an der gegenüberliegenden Seite, in der Figur an der unteren Seite, des Sammelraums 2 vorgesehen. Im Bereich dieser Düsenöffnung 5 kann entweder ein Auslaßventil 6 angeordnet werden, wie es die Fig. 1 zeigt, oder es können mehrere Kapillarröhrchen 22 vorgesehen werden, wie sie in der Ausführungsform der Fig. 2 gezeigt sind. Jeder einzelnen Mem­ bran 9 in Fig. 4 ist jeweils auf der Außenseite des Sammelraums 2 unter Belassung eines Luftspalts 10 ein Metallkern 11 angeordnet, die jeweils durch eine Spule 12 umgeben werden. Diese Metallkern-Spulen­ anordnungen 11, 12 sind mit den Ausführungsformen der Fig. 1 und 2 identisch. Die beiden Spulen 12 werden über einen nicht dargestellten Impulsgenerator 14 angesteuert und bevorzugt so mit Strom beaufschlagt, daß in den Membranen 9 gleichzeitig Wirbelströme induziert werden derart, daß sich die beiden Membranen 9 mit gleicher zeitlicher Amplitude auf­ einander zu bewegen und so einen Druck auf das Fluid in dem Sammelraum 2 ausüben. Abgesehen von dem symmetrischen Aufbau dieser Anordnung können die erzielbaren Druckamplituden gegenüber den Ausführungsformen nach den Fig. 1 und 2 noch erhöht werden.

Claims (27)

1. Verfahren zum dosierten Zerstäuben von Flüssigkeiten, bei dem die Flüssigkeit Druckstößen ausgesetzt wird, die zeitveränderlich über mindestens eine auf die Flüssigkeit einwirkende Membran ausgeübt werden, die durch Einwirkung eines mittels mindestens eines strom­ durchflossenen Leiters erzeugten Magnetfelds bewegt wird, wobei Stromimpulse zur Steuerung der Druckstöße erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß in einer zumindest einen elektrisch leitfähigen, zusammenhängenden Bereich aufweisenden Membran elektrische Wirbel­ ströme induziert werden, die über ein zeitveränderliches Magnetfeld erzeugt werden, wobei das von außen einwirkende Magnetfeld über Stromimpulse in dem elektrischen Leiter verändert wird und wobei auf­ grund der Wirbelströme die Kraft zur Bewegung der Membran bewirkt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strom­ impulse über einen Impulsgenerator erzeugt werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromimpulse mit Zeitkonstanten von 1 bis 500 µs und Amplituden von 100 A bis 10 kA eingestellt werden.

4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulsgenerator so angesteuert wird, daß er für einen Zerstäubungs­ vorgang einen einzigen Stromimpuls abgibt.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulsgenerator so angesteuert wird, daß er für einen Zer­ stäubungsvorgang eine Impulsfolge abgibt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Magnetfeld mittels eines Metallformkörpers im magnetischen Schluß derart geführt und geformt wird, daß die magnetische Induktion B im wesentlichen im Bereich des elektrisch leitfähigen Bereichs der Membran maximal wird.

7. Vorrichtung zum dosierten Zerstäuben von Flüssigkeiten mit einem die Flüssigkeit aufnehmenden Sammelraum, der teilweise von mindestens einer Membran begrenzt wird, und mit mindestens einer Zerstäubungs­ öffnung, wobei der Membran ein elektrischer Leiter zugeordnet ist, der an eine Stromquelle anschließbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (9) zumindest einen elektrisch leitfähigen, zusammen­ hängenden Bereich aufweist und dieser Bereich von den von dem elek­ trischen Leiter (12) ausgehenden magnetischen Feldlinien geschnitten wird.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der elek­ trische Leiter eine Spule ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß in der Spule ein Feldverdichter (11) für das Magnetfeld mit einer hohen elektri­ schen Leitfähigkeit angeordnet ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Feldver­ dichter (11) ein Kern mit einer in Achsrichtung verlaufenden Bohrung (13) ist, der in Achsrichtung (14) einen radial von der Außenseite bis zu der Bohrung (13) verlaufenden, durchgehenden Schlitz (17) aufweist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Feldverdichter (11) ein im wesentlichen zylindrischer Körper ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß vor der einen Stirnfläche des Feldverdichters (11) die Membran (9) elektrisch isoliert mit minimalem Luftspalt angeordnet ist.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der elektrisch leitende Bereich der Membran (9) aus einem elektrisch gut leitfähigen, massearmen, dia- oder paramagne­ tischen Material besteht.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der elek­ trisch leitfähige Bereich aus Aluminium oder einer Aluminium-Basis­ legierung besteht.

15. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der elek­ trisch leitfähige Bereich aus Kupfer oder einer Kupfer-Basislegierung besteht.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 15, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der elektrisch leitfähige Bereich mit einem hoch leit­ fähigen Metall bedampft ist.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 16, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der elektrisch leitfähige Bereich der Membran (9) an seinem Rand schwingend gelagert ist.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 17, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der elektrisch leitfähige Bereich Teil eines Flächen­ teils ist.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 18, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der elektrisch leitfähige Bereich auf einem elastischen Trägermaterial aufgebracht ist.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 19, dadurch gekenn­ zeichnet, daß mit dem elektrischen Leiter (12) ein Impuls­ generator (15) verbunden ist, der durch einen Funktionsgenerator (16) angesteuert wird.

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Impuls­ generator (15) vorzugsweise linear ansteigende Stromimpulse abgibt.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 21, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Zerstäubungsöffnung (5) mit einem Kugelventil (7, 8) abgeschlossen ist.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 22, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine Mehrzahl von Zerstäubungsöffnungen durch eine Kapillarplatte (21) gebildet ist.

24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der die Flüssigkeit aufnehmende Sammelraum (2) auf zwei gegenüberliegenden Seiten von jeweils einer Membran (9) begrenzt ist, wobei jeder Membran (9) ein gesonderter, elektrischer Leiter (11) zugeordnet ist.

25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß jede Mem­ bran (9) so in Schwingung versetzt wird, daß die beiden Membrane mit gegenläufigen Amplituden schwingen.

26. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 25 zur Kraftstoffeinspritzung in Verbrennungsmotoren.

27. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 25 zur Ab­ gabe von Tinte oder Farbe in einer Druckeinrichtung, vorzugsweise einem Tintenstrahldrucker.