DE4340522A1 - Vorrichtung und Verfahren zum schrittweisen und automatischen Be- und Entladen einer Beschichtungsanlage - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum schrittweisen und automatischen Be- und Entladen einer Beschichtungsanlage

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DE4340522A1
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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum schrittweisen und automatischen Be- und Entladen einer Be­ schichtungsanlage mit scheibenförmigen Substraten, insbesondere für die Datenspeichertechnik. Diese Vorrichtung besteht im we­ sentlichen aus einem Magazin mit einem ersten Drehteller, auf dem eine Vielzahl von Haltedornen zur Aufnahme der Substrate angeordnet sind.
Die zu beschichtenden Substrate werden mittels einer Übergabe­ einrichtung einzeln in die Beschichtungszone einer Vakuumkammer eingeschleust und nach dem Beschichten wieder mittels der Über­ gabeeinrichtung auf einen Haltedorn des Magazins zurückgelegt.
Die Arbeitsweise einer solchen Vorrichtung kann wegen des Stillstandes zwischen den einzelnen Schritten, bedingt durch die Ein- und Ausschleusvorgänge, sowie durch den stationären Beschichtungsvorgang als quasi-kontinuierlich bezeichnet wer­ den.
Bekannt ist beispielsweise eine Vorrichtung nach dem Karussell Prinzip zum Beschichten von Substraten (EP 0 312 694). Hierbei ist in einer Vakuumkammer ein drehbarer Substrathalter angeord­ net, auf dem mehrere Substrataufnahmen vorgesehen sind. Durch einen Antrieb ist eine entsprechende Anzahl von Substraten schrittweise auf einer Kreisbahn von einer Schleusenstation über mindestens eine Beschichtungsstation zur Schleusenstation transportierbar. Diese Vakuumkammer besitzt in Umfangsrichtung des drehbaren Substrathalters zwei Schleusenstationen und zwei Beschichtungsstationen jeweils hintereinander. Die Schrittweite des Antriebs einerseits und die Winkelstellung jeder Beschich­ tungsstation zu der ihr zugeordneten Schleusenstation in Bezug auf die Drehachse des Substrathalters andererseits sind so ge­ wählt, daß ein und dieselbe Beschichtungsstation über die schrittweise Bewegung jeweils einer bestimmten Substrataufnahme und derselben Schleusenstation zugeordnet ist.
Beim Betrieb derartiger Vorrichtungen sind die sogenannten Be­ ladestationen von Bedeutung, mit denen eine automatische Be- und Entladung solcher Vorrichtungen möglich ist. Derartige Be­ ladestationen sind in Verbindung mit den zugehörigen Magazinen verhältnismäßig aufwendig und ihre Taktfrequenz ist für den wirtschaftlichen Betrieb der Beschichtungsanlage, beispielswei­ se zur Herstellung von Compact-Discs, im folgenden CD genannt, von größter wirtschaftlicher Bedeutung.
Im Stand der Technik sind daher einerseits solche Be- und Ent­ ladevorrichtungen bekannt, die Substratmagazine mit zwei Dreh­ tellern vorsehen und welche daher einen großen Raumbedarf er­ forderlichen machen.
Andererseits besteht ein Problem darin, daß die Transportarme der Übergabeeinrichtung ein Substrat von einem Magazin aufneh­ men und der Beschichtungsanlage übergeben und gleichzeitig ein zweiter Transportarm ein Substrat von der Beschichtungsanlage auf ein anderes Magazin zurücklegt. Dabei können diese beiden Transportarme jeweils nur zwei Stationen, nämlich eine Be- und eine Entladestation der Magazine bedienen. Sobald alle Substrate von dem- Haltedorn, welcher sich gerade auf der Bela­ destation befindet, entnommen sind, wird der Drehteller üb­ licherweise um eine Station weitergedreht, so daß der entladene Haltedorn nun von Hand entnommen und auf der Entladestation des anderen Drehtellers abgesetzt wird. Anschließend wird dieser Haltedorn wieder mit Substraten beladen, welche von der Beschichtungsanlage zurückkehren.
Da auf ein und derselben Beschichtungsanlage nicht nur CD′s, beispielsweise desselben Musik-Titels behandelt werden, ergibt sich beim Wechsel von einem Titel A auf einen Titel B zwangs­ weise ein Maschinenleerlauf; sobald die letzte CD, mit dem Ti­ tel A von dem Drehteller des Magazins entnommen wurde, wird üb­ licherweise die Beschichtungsanlage zunächst "leergefahren". Andernfalls werden die von der Beschichtungsanlage zum Magazin zurückkehrenden CD′s unterschiedlicher Titel A und B auf ein und demselben Haltedorn abgelegt.
Um diese oben genannten Nachteile zu vermeiden, liegt der Er­ findung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs be­ schriebenen Gattung dahingehend zu verbessern, daß zum einen ein hoher Durchsatz an zu beschichtenden Substraten bei langer Maschinenlauf zeit ohne Personaleingriff gewährleistet ist, zum anderen ein möglichst geringer Raumbedarf der Gesamtanlage be­ nötigt wird, daß weiterhin die kontinuierliche Behandlung bei­ spielsweise unterschiedlicher CD-Titel ermöglicht wird und daß vor allem die Investitionskosten nicht wesentlich gesteigert werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine Vorrichtung zum schrittweisen und automatischen Be- und Entla­ den einer Beschichtungsanlage mit scheibenförmigen Substraten, insbesondere für die Datenspeichertechnik, verwendet wird, wel­ che im wesentlichen aus einem Magazin mit einem ersten Drehtel­ ler besteht, der schrittweise um eine ortsfeste Rotationsachse drehbar ist und eine Vielzahl von Haltedornen in äqui-distanter Verteilung und in Kreisform auf dem Drehteller angeordnet sind. Dabei sind auf jedem einzelnen Dorn mehrere Substrate stapelbar und für das Magazin sind ortsfeste Belade- und Entlade-Statio­ nen vorgesehen. Diese Vorrichtung besteht weiterhin aus einer Übergabeeinrichtung mit einem zweiten Drehteller, der schritt­ weise um eine ortsfeste Rotationsachse drehbar ist und der min­ destens drei Stationen zur Aufnahme je eines Substrates auf­ weist; mit mindestens drei Transportarmen, welche mit je einer Station des zweiten Drehtellers korrespondieren, wobei der Be­ ladearm jeweils ein Substrat von dem Dorn aufnimmt, welcher sich gerade auf der Beladestation des Magazins befindet und das Substrat auf der Beladestation der Übergabeeinrichtung ablegt und wobei der Entladearm gleichzeitig ein Substrat von der Ent­ ladestation der Übergabeeinrichtung aufnimmt und dieses auf ei­ nem von zwei möglichen Haltedornen zurücklegt, welche sich ge­ rade auf den beiden Entladestationen des Magazins befinden. Er­ findungswesentlich ist eine Steuereinrichtung, welche insbeson­ dere aus einem Sensor, einem Zählwerk und einem Stellmotor be­ steht, wobei der Stellmotor den Entladearm antreibt und der zu beladende Dorn des Magazins durch die Steuereinrichtung vorher bestimmbar ist.
Mit Vorteil hat die oben beschriebene Vorrichtung einen wesent­ lich geringeren Raumbedarf als die bisherige Version mit einem Magazin bestehend aus zwei Drehtellern. Der wesentliche Vorteil der hier beschriebenen Erfindung ist jedoch, daß die Vorrich­ tung mit unterschiedlichen Substraten, beispielsweise CD′s der Titel A und B beladen werden kann, und daß diese kontinuierlich durch die Beschichtungsanlage behandelt und wieder zum Magazin zurückgeführt werden können, ohne daß es einer Maschinenleer­ laufzeit bedarf und daß die leeren Haltedorne automatisch von der Belade- zur Entladestation transportiert werden.
Weitere Einzelheiten und Merkmale sind in den Patentansprüchen näher beschrieben und gekennzeichnet.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsmöglichkeiten zu; eine davon ist beispielhaft in den anhängenden Zeichnungen schematisch dargestellt, und zwar zeigen:
Fig. 1 die erfindungsgemäße Vorrichtung in der Draufsicht und in schematischer Darstellung,
Fig. 2 ein Detail aus Fig. 1, insbesondere die Entlade­ station, in vergrößerter Darstellung und
Fig. 3A bis 3I einen Be- und Entladevorgang mit verschiedenen Substraten A und B in sequentieller Darstellung.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung (Fig. 1) ist in drei wesent­ liche Baugruppen unterteilbar; die Beschichtungsanlage 1, das Magazin 2 und die Übergabeeinrichtung 3. Das Magazin 2 besteht aus einem kreisscheibenförmigen Drehteller 4, welcher um die Rotationsachse 8 in Drehrichtung 5 bewegbar ist. Auf dem Dreh­ teller sind mehrere Haltedorne 6, 6′, . . . vorgesehen, welche in Kreisform und in gleichen Abständen zueinander angeordnet sind. Die Hauptachsen dieser Haltedorne 6, 6′, . . . sind dabei lot­ recht auf der Oberfläche des Drehtellers 4 ausgerichtet. Die zu behandelnden kreisscheibenförmigen Substrate 7, 7′, . . . weisen eine zentrische Bohrung auf und sind somit in Gruppen zu je­ weils mehreren Substraten auf einem Haltedorn 6, 6′, . . . gesta­ pelt.
An der Stelle, an welcher das Magazin 2 der Übergabeeinrichtung 3 am nächsten zugeordnet ist, sind für das Magazin 2 ortsfeste Stationen eingerichtet. Dies ist eine Belade-Station 9, eine erste Entlade-Station 10 und eine zweite Entlade-Station 11. Die Abstände zwischen zwei benachbarten Stationen entsprechen dabei gerade dem Abstand zwischen benachbarten Haltedornen 6, 6′, . . . . Durch die schrittweise Drehbewegung des Tellers 4 ist somit jeder Haltedorn 6, 6′, . . . über die drei ortsfesten Sta­ tionen 9, 10 und 11 hinweg bewegbar.
Die Übergabeeinrichtung 3 besteht im wesentlichen aus einem Drehteller 12, welcher um die Rotationsachse 13 in Drehrichtung 14 bewegt wird. Auf dem Drehteller 12 sind, im Gegensatz zum Drehteller 4 des Magazins 2, drei äquidistante Ausnehmungen vorgesehen, welche sich mit dem Drehteller 12 um die Achse 13 bewegen. Diese werden als Belade-Station 15, als Übergabe-Sta­ tion 16 und als Entlade-Station 17 bezeichnet. Die Begriffe Be­ laden und Entladen beziehen sich jeweils auf die Beschichtungs­ anlage 1.
Der Weg eines Substrates 7, 7′, . . . von dem Magazin 2 zur Be­ schichtungsanlage 1 und wieder zurück zum Magazin 2 ist nun der folgende: Ein Substrat wird mittels des Transportarms 19 von der Belade-Station 9 des Magazins 2 aufgenommen und zur Überga­ beeinrichtung 3 transportiert und dort auf der Beladestation 15 abgelegt. Durch Drehung des Tellers 12 wird das Substrat 18 zur Übergabestation 16 weitertransportiert. Von dort nimmt ein Transportarm 20 das Substrat 18′ und legt es in der Beschich­ tungsanlage 1 ab. Das Substrat 28 wird nun über mehrere Statio­ nen, die der Einfachheit halber nicht dargestellt sind, inner­ halb der Beschichtungsanlage 1 weiterbefördert. Das beschich­ tete Substrat wird anschließend wieder von dem Transportarm 20 aufgenommen und zur Übergabestation 16 zurückgelegt. Durch schrittweise Drehung des Tellers 12 in Drehrichtung 14 wird das Substrat nun zur Entlade-Station 17 der Übergabeeinrichtung 3 weiter transportiert. Dort übernimmt ein Transportarm 21 das Substrat 18′′ und legt es anschließend auf einem der beiden Hal­ tedorne des Magazins 2 ab, welche sich gerade auf den Entlade- Stationen 10, bzw. 11 befinden. Das Entladen des Magazins 2, genauso wie natürlich das Beladen, wird von einer weiteren Vor­ richtung, oder auch durch Bedienpersonal durchgeführt.
Der Beladearm 19 ist an seinem einen Ende um die Schwenkachse 22 drehbar gelagert und führt eine Schwenkbewegung 25 im Be­ reich des bogenförmigen Pfeils aus. Der Übergabearm 20 ist mit­ tig in der Schwenkachse 23 gelagert und führt eine Schwenkbewe­ gung 26 um 180 Grad aus. Der Entladearm 21 besitzt an seinem einen Ende eine Schwenkachse 24, um welche er eine Schwenkbewe­ gung 27 innerhalb des kreisbogenförmigen Pfeils ausführt.
Eine Steuereinrichtung 33 besteht aus einem, beispielsweise op­ tischen Sensor 29, welcher auf den Haltedorn der Belade-Station 9 des Magazins 2 ausgerichtet ist. Dieser Sensor 29 regi­ striert, wenn alle Substrate 6, 6′, . . . von diesem Dorn entnom­ men sind, bzw. wenn ein mit Substraten 7, 7′, . . . beladener Haltedorn an der Beladeposition 9 angekommen ist. Die Signale des Sensors 29 werden in ein Zählwerk 30 geleitet und von dort über ein Steuerkabel 32 an den Stellmotor 31 übermittelt. Der Stellmotor 31 ist zum Antrieb des Entladearms 21 der Übergabe­ einrichtung 3 vorgesehen.
Der Entladearm 21 (Fig. 2) ist an seinem einen Ende um die Schwenkachse 24 drehbar gelagert. Für das andere Ende des Ent­ ladearms 21 sind drei ortsfeste Haltepunkte vorgesehen; dies ist zum einen die Entladestation 17 auf dem Drehteller 12 der Übergabeeinrichtung 3, zum anderen die Entlade-Station 10 sowie die Entladestation 11 des Magazins 2. Verbindet man die Schwenkachse 24 mit den jeweiligen Haltepunkten 17, 10 und 11, so ergeben sich drei strahlenförmig zueinander angeordnete Li­ nien. Zwischen den Haltepunkten 17 und 10 ergibt sich somit ein Schwenkwinkel α, welcher rein zufällig in etwa einem rechten Winkel entspricht. Zwischen den Haltepunkten 17 und 11 wird ein Schwenkwinkel β definiert, welcher größer ist als der Schwenk­ winkel α.
Der Weg unterschiedlicher Substrate des Typs A und B durch die Be- und Entladevorrichtung, sowie die dabei notwendigen Bewe­ gungen der Transportarme 19 und 21 ist in den folgenden Fig. 3A bis 3I schrittweise dargestellt. Die Kennzeichnung der Substrate ist hier, im Gegensatz zu den Fig. 1 und 2 alpha­ numerisch ausgeführt, um den Wechsel der Substrate vom Typ A zum Typ B innerhalb der Vorrichtung klarer darzustellen. Dabei gibt der Index, welcher sich hinter dem Buchstaben befindet, die Zählnummer des Substrats des jeweiligen Typs an, wobei diese bei 1, 2, 3 . . . beginnt, sich mit x, x+1, . . . fortsetzt, und bei n-1, n. endet. Die Richtung der Pfeile BL sowie EL ge­ ben jeweils die Be- und Entladerichtung der Beschichtungsanlage an.
Das letzte Substrat An (Fig. 3A) des Typs A befindet sich auf der Beladestation 9 des Drehtellers 4, das vorletzte Substrat An-1 befindet sich auf der Beladestation 15 des Drehtellers 12. Auf allen weiteren in Bewegungsrichtung der Substrate nachfol­ genden Stationen 16, 10, 11 befinden sich ebenfalls noch Substrate des Typs A. Auf den Haltedornen, welche sich in Dreh­ richtung 5 vor der Beladestation 9 des Magazins 2 befinden sind nun Substrate des Typs B gestapelt.
Nachdem das letzte Substrat An vom Magazin 2 entnommen ist (Fig. 3B) sind beide Drehteller 4, 12 schrittweise um eine Po­ sition weiter gedreht worden. Der Haltedorn, von dem soeben das letzte Substrat An entnommen wurde, befindet sich nun auf der Entladeposition 10 des Magazins 2. Der Stapel der ersten Substrate des Typs B₁, B₂, . . . ist nun auf der Beladeposition 9 des Magazins 2 angekommen. Das letzte Substrat An befindet sich nun auf der Beladestation 15 der Übergabeeinrichtung 3. Der Transportarm 21 hat bislang alle Substrate über den Schwenkwin­ kel α bewegt, und auf dem Haltedorn abgelegt, welcher sich bis­ lang auf der Entladeposition 10 des Magazins 2 befand. Dieser Haltedorn befindet sich nun auf der Entladeposition 11.
Die nächste Schwenkbewegung des Transportarms 21 (Fig. 3C) er­ streckt sich nun über den Schwenkwinkel β, so daß alle weiteren Substrate des Typs A auf der Entlade-Station 11 des Magazins 2 gestapelt werden. Nach einer weiteren schrittweisen Drehung des Drehtellers 12 in Drehrichtung 14 befindet sich nun das letzte Substrat An auf der Übergabestation 16 der Übergabeeinrichtung 3.
Im nächsten Schritt (Fig. 3D) wird das erste Substrat B₁ des Typs B auf der Belade-Station 15 der Übergabeeinrichtung 3 ab­ gelegt.
Nach einer weiteren schrittweisen Drehung (Fig. 3E) befindet sich das Substrat B₁ auf der Übergabestation 16 der Übergabe­ einrichtung 3. Weitere Substrate des Typs A werden von der Ent­ ladestation 17 der Übergabeeinrichtung 3 über den Schwenkwinkel β zur Entladestation 11 des Magazins 2 transportiert.
Nachdem das Substrat B₁ (Fig. 3F) aus der Beschichtungsanlage zurückgekehrt ist, wird dieses wieder auf der Übergabestation 16 des Drehtellers 12 abgelegt. Ein nachfolgendes Substrat Bx befindet sich inzwischen auf der Beladestation 15, während das letzte Substrat An des Typs A auf der Entladestation 17 der Übergabeeinrichtung 3 angekommen ist. Auf dem Substratstapel, welcher sich auf der Entladestation 11 des Magazins 2 befindet, liegt nun das vorletzte Substrat An-1 oben auf.
Das letzte Substrat An (Fig. 3G) wird nun noch über den Schwenkwinkel β zur Entladestation 11 des Magazins 2 zurückge­ führt. Das erste Substrat B₁ ist nun auf der Entlade-Station 17 der Übergabeeinrichtung 3 angekommen, so daß sich auf allen Stationen des Drehtellers 12 und auf den in Transportrichtung davor angeordneten Stationen Substrate des Typs B befinden.
In Fig. 3H ist die Position des Drehtellers 4 des Magazins 2 gegenüber der Darstellung in 3B noch immer unverändert, so daß der Haltedorn, welcher sich auf der Entladestation 10 befindet auch noch leer ist. Der Drehteller 12 der Übergabeeinrichtung 3 dagegen ist inzwischen um mehrere Stationen weiter gedreht wor­ den. Nachdem der Transportarm 21 das erste Substrat B₁ vom Typ B aufgenommen hat, erhält der Stellmotor 31 ein erneutes Signal von dem Zählwerk.
Während der Transportarm 19 (Fig. 3I) schrittweise ein Substrat des Typs B nach dem anderen von der Belade-Station 9 des Magazins 2 zur Belade-Station 15 der Übergabeeinrichtung 3 nachführt, führt der Transportarm 21 das erste Substrat B₁ des Typs B zur Entladestation 10 des Magazins 2 zurück. Hierbei überstreicht der Entladearm 21 wieder den Schwenkwinkel α. So­ mit befinden sich auf der Entladestation 11 des Magazins 2 und allen in Transportrichtung nachfolgenden Haltedornen Substrate des Typs A. Auf der Entladestation 10 des Magazins 2 und allen in Transportrichtung vor dieser Station angeordneten Haltedor­ nen befinden sich nun Substrate des Typs B. Damit ist eine klare Trennung der Substrate des Typs A, bzw. B auf dem Dreh­ teller 4 des Magazins 2 auch nach der Beschichtung der unter­ schiedlichen Substrate A und B sichergestellt.
Bezugszeichenliste
1 Beschichtungsanlage
2 Magazin
3 Übergabeeinrichtung
4 Drehteller
5 Drehrichtung
6, 6′, 6′′, . . . Haltedorn
7, 7′, 7′′, . . . Substrat
8 Rotationsachse
9 Belade-Station
10 Entlade-Station
11 Entlade-Station
12 Drehteller
13 Rotationsachse
14 Drehrichtung
15 Belade-Station
16 Übergabe-Station
17 Entlade-Station
18, 18′, . . . Substrat
19 Belade-, Transportarm
20 Übergabe-, Transportarm
21 Entlade-, Transportarm
22, 23, 24 Schwenkachse
25, 26, 27 Schwenkbewegung
28 Substrat
29 Sensor
30 Zählwerk
31 Stellmotor
32 Steuerkabel
33 Steuereinrichtung
a Schwenkwinkel
β Schwenkwinkel
BL Beladerichtung
EL Entladerichtung
A, An, An-1 . . . Substrat Typ A B, B₁, Bx, Bx+1, . . . Substrat Typ B

Claims (29)

1. Vorrichtung zum schrittweisen und automatischen Be- und Entladen einer Beschichtungsanlage (1) mit scheibenförmi­ gen Substraten, insbesondere für die Datenspeichertechnik, im wesentlichen bestehend aus
  • - einem Magazin (2) mit einem ersten Drehteller (4), welcher schrittweise um eine ortsfeste Rotationsachse drehbar ist und einer Vielzahl in äquidistanter Ver­ teilung und in Kreisform auf dem Drehteller (4) ange­ ordneten Haltedornen (6, 6′, . . . ), wobei auf jedem Dorn (6, 6′, . . . ) mehrere Substrate (7, 7′, . . . ) sta­ pelbar sind und für das Magazin (2) ortsfeste Belade- (9) und Entlade-Stationen (10, 11) vorgesehen sind und der Abstand zwischen je zwei benachbarten Stationen (9, 10, 11) dem Abstand zwischen je zwei benachbarten Haltedornen (6, 6′, . . ) entspricht,
  • - einer Übergabeeinrichtung (3) mit einem zweiten Dreh­ teller (12), der schrittweise um eine ortsfeste Rota­ tionsachse (13) drehbar ist und der mindestens drei Stationen - eine Belade- (15), eine Übergabe- (16) und eine Entlade-Station (17) - zur Aufnahme je eines Substrates (18, 18′, . . . ) aufweist, mit mindestens drei Transportarmen (19, 20, 21), einem Belade- (19), einem Übergabe- (20) und einem Entladearm (21), welche mit je einer Station des zweiten Drehtellers (12) kor­ respondieren, wobei der Beladearm (19) jeweils ein Substrat (7, 7′, . . . ) von dem Dorn (6, 6′, . . . ) auf­ nimmt, welcher sich gerade auf der Beladestation (9) des Magazins (2) befindet und das Substrat (7, 7′, . . . ) auf der Beladestation (15) der Übergabeeinrich­ tung (3) ablegt und der Entladearm (21) gleichzeitig ein Substrat (18, 18′, . . ) von der Entladestation (17) der Übergabeeinrichtung (3) aufnimmt und dieses auf einen von zwei möglichen Haltedornen (6, 6′, . . . ) zurücklegt, welche sich gerade auf den beiden Entla­ destationen (10, 11) des Magazins (2) befinden und
  • - einer Steuereinrichtung (33), welche insbesondere aus einem Sensor (29), einem Zählwerk (30) und einem Stellmotor (31) besteht, wobei der Stellmotor (31) den Entladearm (21) antreibt und der zu beladende Dorn (6, 6′, . . ) des Magazins (2) durch die Steuereinrichtung (33) vorherbestimmbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehteller (4, 12) in einer horizontalen Ebene angeord­ net sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltedorne (6, 6′, . . . ) senkrecht auf dem Drehteller (12) angeordnet sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Substrate (7, 7′, . . . , 18, 18′, . . . , 28) eine zentri­ sche Haltebohrung aufweisen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehteller (4, 12) nur in einer Drehrichtung (5, 14) jeweils um eine Station schrittweise weiter bewegbar sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der Drehbewegungen des ersten Drehtellers (4) ein Vielfaches der Frequenz der Drehbewegungen des zweiten Drehtellers (12) beträgt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenzen der Drehbewegungen der Drehteller (4, 12) und der Schwenkbewegungen der Transportarme (19, 20, 21) zueinander abgestimmt sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehteller (4) des Magazins (2) um eine Station weiter­ bewegt wird, sobald alle Substrate (7, 7′, . . . ) von dem Dorn (6, 6′, . . . ) entnommen sind, welcher sich gerade auf der Beladestation (9) des Magazins (2) befindet.
9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportarme (19, 20, 21) je eine ortsfeste Schwenk­ achse (22, 23, 24) haben.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß an den Transportarmen (19, 20, 21) Mittel vorgesehen sind, die die Substrate (7, 7′, . . . , 18, 18′, . . . , 28) greifen, he­ ben, schwenken oder wenden, senken und ablegen.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schwenkbewegung des Belade- (19) und des Übergabearms (20) durch je zwei ortsfeste Endpunkte markiert ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwenkachse des Entladearms (21) so angeordnet ist, damit dieser mit seinem beweglichen Ende drei ortsfeste Endpunkt auf den beiden Drehtellern (4, 12) erreicht.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladearm (21) jeweils von der Entladestation (17) der Übergabeeinrichtung (3) zu einem der beiden Haltedorne (6, 6′, . . . ) der Entladestationen (10, 11) des Magazins (2) und zurück schwenkt.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladearm (21) einen Schwenkwinkel (a) zwischen Entla­ destation (17) der Übergabeeinrichtung (3) und der einen Entladestation (10) des Magazins (2) überstreicht.
15. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladearm (21) einen Schwenkwinkel (β) zwischen Entla­ destation (17) der Übergabeeinrichtung (3) und der anderen Entladestation (11) des Magazins (2) überstreicht und daß der Schwenkwinkel (ß) größer ist als der Schwenkwinkel (α).
16. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Haltedorn (6, 6′, . . . ) des Magazins (2) nur gleichartige Substrate (7, 7′, . . . ) gestapelt sind.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß auf verschiedenen Haltedornen (6, 6′, . . . ) des Magazins (2) verschiedenartige Substrate (7, 7′, . . . ) gestapelt sind.
18. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sensor (29) berührungsfrei die Substrate (7, 7′, . . . ) registriert, welche auf dem Dorn (6, 6′, . . . ) gestapelt sind, der sich gerade auf der Beladestation (9) des Maga­ zins (2) befindet.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (29) ein elektrisches Signal an ein Zählwerk (30) gibt, sobald alle Substrate (7, 7′, . . . ) von dem Dorn (6, 6′, . . . ) entnommen sind, der sich gerade auf der Bela­ destation (9) des Magazins (2) befindet.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Zählwerk (30) ein erstes elektrisches Signal an den Stellmotor (31) des Entladearms (21) gibt, nachdem alle Substrate (7, 7′, . . .) von der Beladestation (9) entnommen sind.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß, der Stellmotor (31) den Entladearm (21) um den Schwenk­ winkel (β) bewegt und die folgenden Substrate (18, 18′, . . . ) auf dem Dorn (6, 6′, . . . ) ablegt, welcher sich gerade auf der einen Entladestation (11) des Magazins (2) be­ findet.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Schwenkbewegungen des Entladearms (21) mit dem Schwenkwinkel (β) im Zählwerk (30) speicherbar sind.
23. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladearm (21) die Schwenkbewegung so oft ausführt wie dies der Anzahl der Stationen entspricht, welche ein Substrat (7, 7′, . . . ) von der Beladestation (9) des Maga­ zins (2) durch die Beschichtungsanlage (1) hindurch bis zur Entladestation (17) der Übergabeeinrichtung (3) durchläuft.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das Zählwerk (30) nach Erreichen der vorgegebenen Anzahl der Schwenkbewegungen mit dem Schwenkwinkel (13) ein zweites elektrisches Signal an den Stellmotor (31) gibt.
25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß, nachdem der Stellmotor (31) das zweite elektrische Signal erhalten hat, der Entladearm (21) den Schwenkwinkel ((a) überstreicht und die folgenden Substrate (18, 18′, . . . ) auf dem Dorn (6, 6′, . . . ) ablegt, welcher sich gerade auf der anderen Entladestation (10) des Magazins (2) befindet.
26. Vorrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladearm (21) bis zum Erhalt eines dritten elektri­ schen Signals den Schwenkwinkel (α) überstreicht.
27. Vorrichtung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß der Stellmotor (31) ein drittes elektrisches Signal erhält, nachdem alle Substrate (7, 7′, . . . ) von dem Dorn (6, 6′, . . . ) entnommen sind, der sich nun auf der Beladestation (9) des Magazins (2) befindet und daß sich die Schritte gemäß den Ansprüchen 21 bis 26 wiederholen.
28. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Übergabearm (20) je ein Substrat (18, 18′, . . . , 28) von der Übergabestation (16) der Übergabeeinrichtung (3) zur Beschichtungsanlage (1) und zurück transportiert.
29. Verfahren zum schrittweisen und automatischen Be- und Ent­ laden einer Beschichtungsanlage (1) mit scheibenförmigen Substraten, insbesondere für die Datenspeichertechnik, mit­ tels einer Vorrichtung, im wesentlichen bestehend aus
  • - einem Magazin (2) mit einem ersten Drehteller (4), welcher schrittweise um eine ortsfeste Rotationsachse drehbar ist und einer Vielzahl in äquidistanter Ver­ teilung und in Kreisform auf dem Drehteller (4) ange­ ordneten Haltedornen (6, 6′, . . . ), wobei auf jedem Dorn (6, 6′, . . . ) mehrere Substrate (7, 7′, . . . ) sta­ pelbar sind und für das Magazin (2) ortsfeste Belade- (9) und Entlade-Stationen (10, 11) vorgesehen sind und der Abstand zwischen je zwei benachbarten Stationen (9, 10, 11) dem Abstand zwischen je zwei benachbarten Haltedornen (6, 6′, . . ) entspricht,
  • - einer Übergabeeinrichtung (3) mit einem zweiten Dreh­ teller (12), der schrittweise um eine ortsfeste Rota­ tionsachse (13) drehbar ist und der mindestens drei Stationen - eine Belade- (15), eine Übergabe- (16) und eine Entlade-Station (17) - zur Aufnahme je eines Substrates (18, 18′, . . . ) aufweist, mit mindestens drei Transportarmen (19, 20, 21), einem Belade- (19), einem Übergabe- (20) und einem Entladearm (21), welche mit je einer Station des zweiten Drehtellers (12) kor­ respondieren, wobei der Beladearm (19) jeweils ein Substrat (7, 7′, . . . ) von dem Dorn (6, 6′, . . . ) auf­ nimmt, welcher sich gerade auf der Beladestation (9) des Magazins (2) befindet und das Substrat (7, 7′, . . . ) auf der Beladestation (15) der Übergabeeinrich­ tung (3) ablegt und der Entladearm (21) gleichzeitig ein Substrat (18, 18′, . . . ) von der Entladestation (17) der Übergabeeinrichtung (3) aufnimmt und dieses auf einen von zwei möglichen Haltedornen (6, 6′, . . . ) zurücklegt, welche sich gerade auf den beiden Entla­ destationen (10, 11) des Magazins (2) befinden und
  • - einer Steuereinrichtung (33), welche insbesondere aus einem Sensor (29), einem Zählwerk (30) und einem Stellmotor (31) besteht, wobei der Stellmotor (31) den Entladearm (21) antreibt und der zu beladende Dorn (6, 6′, . . . ) des Magazins (2) durch die Steuereinrichtung (33) vorherbestimmbar ist.
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