DE4336582A1 - Solarzellenanordnung aus Solarzelleneinzelelementen und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents
Solarzellenanordnung aus Solarzelleneinzelelementen und Verfahren zu ihrer HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Solarzellenanordnung aus mehreren miteinander in
Kontakt stehenden Solarzellenelementen, bei welchen die zu einer Solarzelle
gehörenden aktiven Schichten eine langgestreckte Elektrode nur teilweise
bedecken, eine zugehörige Elektrodenanordnung sowie Verfahren zur Herstellung
einer solchen Solarzellenanordnung.
Ein großes Problem bei der Herstellung von Solarzellen und Modulen in der
bisher üblichen Art und Weise ist die Realisierung einer möglichst verlustarmen
Abführung des in der Solarzelle generierten Stromes. Zur Vermeidung größerer
Leistungsverluste werden die einzelnen Solarzellen ausnahmslos über
kostenintensive Strukturierungs- und Metallisierungsteilschritte in Serie
miteinander zum Modul verschaltet. Durch die Verschaltung zum Modul selbst
treten in der Regel erhebliche Verluste an aktiver Fläche auf, die den
flächenbezogenen Modulwirkungsgrad gegenüber dem flächenbezogenen
Wirkungsgrad einer einzelnen Solarzelle erheblich reduzieren. Darüber hinaus
sind die Herstellungskosten für photovoltaische Generatoren derzeit generell zu
hoch, so daß ihr Einsatz zur Energiegewinnung trotz der nachgewiesenen
ökologischen Effekte stark eingeschränkt ist.
Während bei Modulen aus poly- und einkristallinem Si die Herstellungskosten
wesentlich durch das verwendete Material und die Modulmontage bestimmt
werden, sind die Ursache der hohen Kosten für Dünnschichtmodule die
aufwendigen technologischen Ausrüstungen, die zur homogenen Beschichtung
und Strukturierung großer Modulflächen benötigt werden.
Ein interessanter Weg zur Verbesserung der Stromableitung bei gleichzeitiger
Vergrößerung der aktiven Fläche wird im Patent DE 37 00 792 A1 beschrieben.
Die Erfinder gehen hierbei von einer vollständig mit photovoltaischem Material
ummantelten langgestreckten Draht- oder Faserelektrode aus, die entweder mit
einer gleichartigen invers beschichteten Gegenelektrode oder einer einfachen gut
leitenden Gegenelektrode in Kontakt gebracht wird (Fig. 1a und 1b). Diese
Anordnung weist jedoch einige entscheidende Nachteile auf, die eine technische
Nutzung trotz der enormen technologischen Potentiale zur Reduzierung der
Herstellungskosten bisher wenig aussichtsreich erscheinen lassen:
1. Die ökonomischste Variante, die Verknüpfung zweier invers
beschichteter Drähte, ist praktisch nur für Materialien
der Dünnschichttechnologie (aSi, CIS, CdTe u. ä.) sinnvoll.
Bei der dem Funktionsprinzip zugrundeliegenden
Serienschaltung (Fig. 1a) wird die Effektivität stets durch
die leistungsschwächste Zelle bestimmt, so daß möglichst
Schichtkombinationen gleicher Ausgangsleistung verwendet
werden sollten. Diese sind mit Einschränkungen allerdings
nur für die pin-Strukturen des aSi bekannt. Gerade das aSi
bietet jedoch aufgrund der nichtbeherrschten Degradationsprobleme
derzeit keine ökonomische Alternative zur konventionellen
Solarzellentechnologie.
2. Bei der anderen Möglichkeit, der Verknüpfung einer vollständig
ummantelten Fasersolarzelle mit einer gut
leitenden Gegenelektrode (Fig. 1b), ist der Materialeinsatz
wesentlich größer, wobei nur ein Teil des Solarzellenmantels
zur Stromerzeugung genutzt werden kann. Außerdem
liefern derartige Solarzellen bei der einfachen Zellspannung
einen sehr hohen Strom, so daß die Zellgröße durch
die Verlustleistung stark beschränkt wird.
3. Eine für die meisten Anwendungsfälle notwendige Serienverschaltung
zur Erzeugung höherer Betriebsspannungen ist
durch die Verknüpfung vollständig ummantelter Fasersolarzellen
praktisch nicht erreichbar. Eine derartige
Spannungserhöhung läßt sich analog zur kompakten Si-
Scheibentechnologie durch eine kostenaufwendige
externe Verschaltung der verknüpften Grundzellen
realisieren.
Interessante Möglichkeiten zur Herstellung von serienverschalteten Modulen mit
einer sehr hohen aktiven Oberfläche werden auch in den Patenten DE 40 39 390
A1 und DE 37 08 548 A1 beschrieben. Während im Patent DE 40 39 390 die
Verschaltung integrierter Bestandteil der selektiven Schichtabscheidung auf mit
Halbleitermaterial bekeimten Leitbahnen ist, erfolgt im Falle des Patentes DE 37 08 548
A1 die Verschaltung durch eine überlappende Montage von bereits
fertigen Solarzellen aus Si, Poly-Si o. ä. In beiden Fällen werden die gewünschten
Effekte jedoch nur durch erhebliche technologische Aufwendungen und teurem
Materialeinsatz erreicht, so daß die Potentiale zur Reduzierung der
leistungsbezogenen Herstellungskosten gering sind.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Lösung zu finden, die die
Anwendung faser-, draht- oder bandförmiger Solarzellen gestatten, ohne daß die
vorgenannten Nachteile auftreten und die Herstellung serienverschalteter
Anordnungen ohne die Verwendung von inversen Strukturen ermöglicht wird.
Gleichzeitig soll diese Lösung die Möglichkeit der Anwendung der derzeit aus der
Dünnschichttechnologie bekannten Solarzellenmaterialien wie aSi, CdTe und CIS
(CuInSe₂) sowie auch die Anwendung alternativer Dünnschichtmaterialien, wie
z. B. organische photosensible Halbleiter, Nanopartikelhalbleiter, farbstoff- oder
halbleitersensibilisierter TiO₂-Schichten sowie anderer photosensibler Selenide,
Telluride oder Silicide, beinhalten.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe der Erfindung nach den kennzeichnenden
Merkmalen des Hauptanspruches 1 gelöst, vorteilhafte Ausgestaltungen der
Erfindung sind in den Unteransprüchen 2 bis 6 gekennzeichnet.
Der Vorteil der Erfindung liegt insbesondere darin, daß mit dieser an sich
bekannte faser-, draht- oder bandförmige Elektroden teilweise so beschichtet
werden, daß die zur Solarzelle gehörenden Schichten an mindestens einer Stelle
des Elektrodenumfangs so unterbrochen sind, daß die innere Elektrode freiliegt.
Durch die aus der Fasertechnologie bekannten hochproduktiven Verarbeitungsverfahren,
wie Weben, Wickeln usw., werden in einem zweiten Schritt derartige
Solarzelleneinzelelemente zu flächenhaften, serienverschalteten Anordnungen
miteinander verbunden.
Zur gezielten teilweisen Beschichtung der Fasern, Drähte oder Bänder werden die
aus der Beschichtungstechnologie bekannten Verfahren mit hoher Richtwirkung
wie Sputtern, HV-Bedampfen, Sprayen u. ä. angewendet, wobei die Beschichtung
selbst kontinuierlich erfolgt und mit den erforderlichen Reinigungs- und
Temperschritten kombiniert wird. Aber auch der Einsatz von hochproduktiven
isotropen Beschichtungsverfahren wie z. B. Tauchen, Gasphasenabscheidung u. ä.
unter Verwendung maskierender Elemente bzw. die vollständige Ummantelung
der Faser mit nachträglichem, teilweisem Abschleifen sind möglich. Dabei kann
die Faserbeschichtung auch in den Faserherstellungsprozeß integriert werden.
Mit der erfindungsgemäßen Beschichtungstechnologie der Solarzelleneinzelelemente
lassen sich die hohen Homogenitätsanforderungen der
Dünnschichtsolarzellen wesentlich einfacher und besser realisieren, als bei der
großflächigen Schichtabscheidung für die Herstellung konventioneller
Dünnschichtsolarmodule.
Die Auswahl des Elektrodenmaterials selbst erfolgt in Abhängigkeit vom
verwendeten Solarzellenmaterial und vom verwendeten Beschichtungsverfahren.
Damit sind zur Herstellung der Solarzelleneinzelelemente alle derzeit bekannten
Materialien für Dünnschichtsolarzellen wie aSi, CdTe und CIS (SuInSe₂) sowie die
davon abgeleiteten Mischverbindungen mit S und Ga einsetzbar.
Aber auch andere Dünnschichtmaterialien, die sich derzeit noch im
Forschungsstadium befinden, wie organische photosensible Halbleiter,
Nanopartikelhalbleiter, farbstoff- oder halbleitersensibilisierte TiO₂-Schichten
oder andere photosensible Sulfide, Selenide, Telluride oder Silizide sind
perspektivisch, beim Erreichen der notwendigen Wirkungsgrade, für die
erfindungsgemäße Anwendung geeignet.
Verfahrenstechnisch hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, daß für eine
durch Webtechnik herstellbare 3fach serienverschaltete Solarzellenanordnung
Faserprofile zum Einsatz kommen, die eine exakte Führung der Faser gestatten.
Besonders vorteilhaft sind in dieser Hinsicht Querschnittsprofile, die
makroskopisch mindestens eine gerade Begrenzungslinie aufweisen. Aber auch
Profile mit elliptischem Querschnitt sind hierfür durchaus geeignet.
Der aus Fig. 3 ersichtliche Nachteil des Flächenverlustes durch eine inaktive,
teilweise isolierte Abzugselektrode 7 wird bei der verwebten Fasersolarzelle
dadurch reduziert, daß der Durchmesser der Kettfäden größer sein muß als der
Durchmesser der Schußfäden. Das Verhältnis der Durchmesser wird dabei so
gewählt, daß die aktiven Flächenanteile der drei serienverschalteten Faserabschnitte
möglichst gleich sind.
Wird keine teilweise isolierte Abzugselektrode verwendet, so bilden die einzelnen
Maschen der verwebten Fasersolarzelle einen Kurzschluß. Eine derartige
Anordnung kann aber durchaus sinnvoll sein, wenn als Fasermaterial ein
Widerstandsdraht verwendet wird. In diesem Fall bewirkt jede Bestrahlung des
Netzes mit sichtbarem Licht eine Aufheizung des Drahtgeflechtes. Integriert in
einen Solarkollektor oder in einen Scheibenverbund bieten diese Anordnungen
vielfältige Nutzungsmöglichkeiten, die weit über die konventioneller Solarzellen
hinausgehen.
Besonders effektive Serienverschaltungen ergeben sich bei der Verknüpfung von
teilweise beschichteten Fasern mit rechteckigem Querschnitt. Der einfachste Fall,
die überlappende Verknüpfung einseitig mit Solarzellenmaterial beschichteter
Metallbänder wird in Fig. 4a-c dargestellt.
Zur Erhöhung der Effektivität derartiger Module ist die Anwendung aller aus der
normalen Solarzellentechnologie bekannten Maßnahmen, wie z. B. der Einsatz von
Tandemanordnungen und texturierten Oberflächen ohne Einschränkungen
möglich. Eine derartige Technik erlaubt im Gegensatz zur normalen
Dünnschichttechnologie praktisch problemlos die wahlweise Herstellung von
hinsichtlich der Größe fast beliebig dimensionierbaren Modulen sowohl auf
starren als auch auf flexiblen Unterlagen auf der Basis einer einzigen bänder-
oder faserförmigen Grundzelle. Aufgrund des Prinzipes ist dabei die Herstellung
von Modulen mit einer 100%ig aktiven Oberfläche möglich. Im Gegensatz zum
Patent DE 37 00 729 A1 können mit einem derartigen Wickelmodul praktisch
beliebige Spannungen über die Anzahl der in Serie geschalteten Windungen
erzeugt werden.
Günstige Konstellationen ergeben sich auch bei der Verknüpfung von Fasern mit
dreieckigem Querschnittsprofil. Fig. 5a zeigt den Querschnitt einer zweiseitig mit
verschiedenem Solarzellenmaterial beschichteten Glasfaser 16 und Fig. 5b eine
mögliche Verknüpfung dieser Fasern mit Hilfe von dreieckigem Profildraht 17. Eine
derartige Struktur ermöglicht beim Einsatz geeigneter Solarzellenmaterialien den
Aufbau optischer Tandemstrukturen, die elektrisch parallel geschaltet sind. Die
vielfältigen Probleme der Dimensionierung, die bei der Herstellung der
gebräuchlichen Tandemzellen mit Serienverschaltung gelöst werden müssen,
spielen bei einer Parallelschaltung, wie sie in Fig. 5a zu sehen ist, eine
untergeordnete Rolle.
Eine großflächige Anordnung läßt sich in analoger Art und Weise wie bei
bandförmigen Solarzellen in hocheffektiver Wickeltechnik realisieren, wobei der
Kontakt zwischen den beschichteten Glasfasern 16 unmittelbar durch eine zweite
Wicklung mit dreieckigem Profildraht 17 hergestellt wird, der nicht mit
Solarzellenmaterial beschichtet ist.
Über die beschriebenen Anordnungen hinaus sind zahlreiche geeignete Profilarten
denkbar, die eine effektive Verknüpfung der teilweise beschichteten Faser-, Draht-
oder Bänderelektroden ermöglichen.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispieles näher
erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigt
Fig. 1a Solarzellenquerschnitt nach DE-OS 37 00 792,
Fig. 1b Solarzellenquerschnitt nach DE-OS 37 00 792,
Fig. 2 Detaildarstellung einer elliptischen Faserzelle,
Fig. 3a Schema einer einfach verknüpften Fasersolarzelle,
Fig. 3b Maschengewebe aus einseitig beschichteten Fasern,
Fig. 4a überlappend gewickelte Bandzelle,
Fig. 4b Detaildarstellung eines Bändermoduls,
Fig. 4c Querschnitt eines Bändermoduls,
Fig. 5 Querschnitt eines Fasermoduls aus zweiseitig beschichteten
Glasfasern mit dreieckigem Faserprofil.
Im Gegensatz zu bekannten Lösungen zum Beispiel aus DE-OS 37 00 792, bei der
eine Faserelektrode 1 mit p/n- oder n/p-Halbleiter 2/3 entweder direkt
miteinander oder mit einer flächigen Gegenelektrode 4 verbunden sind, wird
erfindungsgemäß eine profilierte Faserelektrode 1 mit p/n-Dünnschichthalbleiter
2/3 und einem transparent leitfähigen Oxid 5 (TCO) nur teilweise beschichtet.
So wird zum Beispiel ein 8 mm breites und 60 mm dickes Molybdänband
einseitig in einer Durchlaufbedampfungsanlage aufeinanderfolgend mit Cu, In
und Se beschichtet. Das Verhältnis Cu/In wird über die Steuerung der
Schichtdicken auf etwa 0,85 eingestellt. Se wird in einem Überschuß von etwa
125%, bezogen auf die zur CIS-Umwandlung der gesamten CuIn-Schicht
benötigten Menge, aufgedampft.
Die CIS-Bildung wird in situ durch ein schnelles thermisches Aufheizen bei
ca. 450°C des durchlaufenden beschichteten Bandes über eine
Halogenlampenheizung realisiert. Durch naßchemische Behandlung der CIS-
Oberfläche mit einer wäßrigen Lösung von Thioharnstoff, Kadmiumsulfat und
Ammoniak wird danach eine ca. 50 nm dicke CdS-Passivierungsschicht
abgeschieden. Abschließend wird über RF-Sputtern die CIS-Oberfläche mit einer
elektrisch leitfähigen, transparenten ZnO-Schicht (Al-dotiert) versehen.
Das so hergestellte bandförmige Solarzelleneinzelelement 8, bestehend aus der
mit Dünnschichtsolarzelle 6 beschichteten Faserelektrode 1 wird nachfolgend
durch gerichtetes Verweben mit einer durch eine Isolatorschicht 7 halbisolierten
Abzugselektrode 9 verknüpft und dadurch dreifach serienverschaltet.
In einer anderen Verbindungstechnik wird das bandförmige
Solarzelleneinzelelement 8 wie in Fig. 4a und b gezeigt, überlappend auf zwei mit
Haftfolie versehene, zusammengepreßte einfache Glasplatten 11 gewickelt. Die
Überlappung beträgt dabei ca. 1 mm. Danach werden auf die Ober- und
Unterseite des umwickelten Preßlings zwei antireflexionsbeschichtete, geschliffene
und gehärtete Glasabdeckungen auflaminiert. Nach dem Auftrennen der
Wicklungen an den beiden Seiten 10 werden beide Module getrennt und gerahmt,
wobei die jeweils erste und letzte aufgetrennte Einzelzelle in jedem Modul mit
einem Anschlußkontakt versehen wird. Ein derartig hergestelltes Modul,
bestehend aus den serienverschalteten Solarzellenbändern 14, der Laminat- oder
Gießharzeinbettung 15 und der oberen 13 und unteren 14 Abdeckung zeigt
Fig. c im Querschnitt.
Eine besondere Ausgestaltungsform zeigt Fig. 5, wo auf eine dreieckig profilierte,
mit TCO 21 beschichtete transparente Faserelektrode 16 zweiseitig
Dünnschichtsolarzellen aufgebracht werden, von denen die eine 19 einen
größeren Bandabstand hat, als die andere 20. Die parallel gewickelten Fasern 16
werden nachfolgend durch eine zweite Wicklung mit ebenfalls dreieckigen
metallischen Verbindungselektroden 17 miteinander verbunden, wobei der
elektrische Kontakt wesentlich verbessert wird, wenn die nicht mit Solarzellen
beschichtete Seite der transparenten Elektrode metallisiert 18 wird. Die
eigentliche Modulherstellung wird dann analog der Fig. 4 aufgeführten Variante
durchgeführt.
Alle in der Beschreibung, den nachfolgenden Ansprüchen und den Zeichnungen
dargestellten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination
miteinander wesentlich sein.
Bezugszeichenliste
1 Faserelektrode
2 p-Halbleiter
3 n-Halbleiter
4 flächige Gegenelektrode
5 transparent leitfähiges Oxid (TCO)
6 Dünnschichtsolarzelle
7 Isolatorschicht
8 mit Solarzelle beschichtete Band- oder Faserelektrode
9 teilweise isolierte Faserelektrode
10 überlappend gewickeltes und an den Kanten aufgetrenntes Bändersolarzellenmodul
11 zwei zusammengepreßte untere Träger
12 unterer Träger
13 obere Abdeckung
14 serienverschaltete Solarzellenbänder
15 Laminat oder Gießharz
16 transparente Faserelektrode
17 metallische Verbindungselektrode
18 Metallisierungsschicht
19 Solarzelle 1 mit größerem Bandabstand
20 Solarzelle 2 mit geringerem Bandabstand
21 transparent leitfähiges Oxid
2 p-Halbleiter
3 n-Halbleiter
4 flächige Gegenelektrode
5 transparent leitfähiges Oxid (TCO)
6 Dünnschichtsolarzelle
7 Isolatorschicht
8 mit Solarzelle beschichtete Band- oder Faserelektrode
9 teilweise isolierte Faserelektrode
10 überlappend gewickeltes und an den Kanten aufgetrenntes Bändersolarzellenmodul
11 zwei zusammengepreßte untere Träger
12 unterer Träger
13 obere Abdeckung
14 serienverschaltete Solarzellenbänder
15 Laminat oder Gießharz
16 transparente Faserelektrode
17 metallische Verbindungselektrode
18 Metallisierungsschicht
19 Solarzelle 1 mit größerem Bandabstand
20 Solarzelle 2 mit geringerem Bandabstand
21 transparent leitfähiges Oxid
Claims (6)
1. Solarzellenanordnung aus Solarzelleneinzelelementen und Verfahren
zu ihrer Herstellung, dadurch gekennzeichnet, daß
mehrere teilweise auf ihrem Umfang mit einer Solarzelle
beschichtete langgestreckte faser-, draht- oder bandförmige
Trägerelektroden zu flächenhaften Anordnungen miteinander
verbunden sind, wobei durch das Verbindungsverfahren selbst
eine Serienverschaltung der Solarzellenelemente realisiert
wird, die größer als die doppelte Zellspannung eines
Solarzelleneinzelelementes ist, auf der Trägerelektrode
Dünnschichtsolarzellen aufgebracht sind und als Solarzellenmaterial
insbesondere aSi, CdTe oder CuInSe₂, einschließlich
der davon abgeleiteten Mischungen mit S und Ga eingesetzt
sind.
2. Solarzellenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Trägerelektrode ein draht- oder bandförmiger
metallischer Leiter, ein mit Metall beschichteter Nichtleiter,
ein mit einem transparent leitenden Oxid beschichteter
transparenter Nichtleiter oder ein Widerstandsdraht ist.
3. Solarzellenanordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Trägerelektrode ein Querschnittsprofil
mit mindestens einer geraden Kante aufweist, welches vorzugsweise
rechteckig, dreieckig oder halbrund ist.
4. Solarzellenanordnung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß das Verbindungsglied zwischen Solarzelleneinzelelementen
eine nicht mit Solarzellenmaterial
beschichtete draht- oder bandförmige Elektrode ist.
5. Verfahren zur Herstellung einer Solarzellenanordnung nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die teilweise Beschichtung
der draht- oder bandförmigen Elektroden mit Solarzellenmaterial
kontinuierlich unter Verwendung von Beschichtungsverfahren
mit starker Richtwirkung oder unter Verwendung
von isotropen Beschichtungsverfahren mit nachträglichem
Entfernen eines Teiles der aufgebrachten Schicht von einem
genau definierten Bereich der Trägerelektrode erfolgt.
6. Verfahren zur Herstellung einer Solarzellenanordnung nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die flächenhafte
Anordnung der Solarzelleneinzelelemente bevorzugt durch
gerichtetes Weben und berührendes oder überlappendes Wickeln
erzeugt wird.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4336582A DE4336582A1 (de) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | Solarzellenanordnung aus Solarzelleneinzelelementen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE9320645U DE9320645U1 (de) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | Solarzellenanordnung aus Solarzelleneinzelelementen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4336582A DE4336582A1 (de) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | Solarzellenanordnung aus Solarzelleneinzelelementen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4336582A1 true DE4336582A1 (de) | 1995-05-04 |
Family
ID=6501090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4336582A Ceased DE4336582A1 (de) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | Solarzellenanordnung aus Solarzelleneinzelelementen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4336582A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19909417A1 (de) * | 1999-03-04 | 2000-11-16 | Manfred Baumgaertner | Aus Fasern aufgebauter Sonnenkollektor |
US7535019B1 (en) * | 2003-02-18 | 2009-05-19 | Nanosolar, Inc. | Optoelectronic fiber |
ITBZ20100013A1 (it) * | 2010-04-09 | 2011-10-10 | Joachim Ganthaler | Rete di protezione per piante contro influssi meteorologici. |
CN102744483A (zh) * | 2012-07-20 | 2012-10-24 | 河南新能光伏有限公司 | 一种薄膜太阳电池汇流焊接工艺 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3302934A1 (de) * | 1983-01-28 | 1984-08-02 | Hans Georg 8000 München März | Solargenerator |
JPH02244712A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-09-28 | Sony Corp | プラズマ装置 |
-
1993
- 1993-10-27 DE DE4336582A patent/DE4336582A1/de not_active Ceased
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Legal Events
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8131 | Rejection |