DE4325261C2 - Selektiver Gassensor - Google Patents
Selektiver GassensorInfo
- Publication number
- DE4325261C2 DE4325261C2 DE19934325261 DE4325261A DE4325261C2 DE 4325261 C2 DE4325261 C2 DE 4325261C2 DE 19934325261 DE19934325261 DE 19934325261 DE 4325261 A DE4325261 A DE 4325261A DE 4325261 C2 DE4325261 C2 DE 4325261C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- gas
- gas sensor
- electrode
- adsorbing layer
- sensor according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4141—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS specially adapted for gases
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen selektiven Sensor zur Detektion von Gasen und
Dämpfen, bestehend aus gasadsorbierender Schicht, Isolator, Elektroden und Heizelement.
Es besteht der Wunsch nach einer möglichst hohen Selektivität und/oder geringer Quer
empfindlichkeit von Sensoren zur Messung von Stoffkonzentrationen.
Es ist bekannt, daß die Selektivität von gassensitiven Schichten, für die häufig Metalloxide wie
Zinnoxid und Zinkoxid zum Einsatz kommen, durch Deckschichten aus katalytisch wirkenden
Edelmetallen oder aus Zeolithen mit Filterwirkung verbessert werden kann. Aus der DE-PS
39 36 758 ist der Einsatz eines Zeoliths selbst als gassensitive Schicht über einer kapazitiven
Struktur bekannt. Hierbei führt die Diffusion von Gasmolekülen durch die Zeolithschicht zu
einer Kapazitätsänderung zwischen den beiden Elektroden. Zur Unterscheidung von Gasen ist
die Auswahl verschiedener Zeolithe notwendig. Zur Gasanalyse sind deshalb Anordnungen mit
mehreren Sensoren unumgänglich.
Insbesondere ist aus der GB-PS 8708201 die Ausnutzung der Frequenzabhängigkeit des Leit
wertes einer Schicht eines organischen Halbleiters für die Gasdetektion bekannt. Da die Leit
wertkurve des Halbleiters auch in Referenzgasatmosphäre, für die trockener Stickstoff oder
trockene Luft verwendet wird, stark nichtlinear frequenzabhängig ist, muß die Differenz zum
Leitwertverlauf in anderen Gasen für die Auswertung herangezogen werden. Die Steilheit der
Frequenzabhängigkeit den gezeigten Leitwertkurven ist für eine Unterscheidung von Gasen in
Gasgemischen nicht ausreichend.
Allgemein bekannt ist auch, daß elektrisch geladene Teilchen durch ein elektromagnetisches
Wechselfeld in Schwingungen versetzt werden und dabei Energie absorbieren. Die Energie
absorption erreicht bei für die jeweiligen Teilchen typischen schmalen Resonanzbereichen ein
oder mehrere relative Maxima. Der Betrag der absorbierten Energie ist direkt abhängig von der
Anzahl der schwingenden Teilchen. Die Absorptionsfrequenzen sind von der Masse der Teil
chen abhängig.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Sensor anzugeben, der es ermöglicht, selektiv
mehrere einzelne in einem Gasgemisch enthaltene Gaskomponenten zu detektieren bzw. die
Anwesenheit eines nicht bekannten Gases innerhalb eines Gasgemisches zu erkennen.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1
gelöst. Spezielle Merkmale, die Art des Sensors betreffend, gehen aus den Unteransprüchen 2
bis 8 hervor.
Bei der Erfindung handelt es sich um eine kapazitiv wirkende Anordnung aus als erste Elek
trode benutztem Heizelement, Isolator, gasadsorbierender Schicht und mit letzterer verbun
dener zweiter Elektrode mit spezieller Form. Diese zweite Elektrode bedeckt den äußeren
Randbereich auf dem Isolator oder auf der gasadsorbierenden Schicht.
Es wurde gefunden, daß ein solcher Sensoraufbau es ermöglicht, die in die gasadsorbierende
Schicht diffundierten Gasmoleküle einem hochfrequenten Wechselfeld auszusetzen, wobei
gleichzeitig der Isolator mögliche negative Einflüsse durch die gasadsorbierende Schicht wegen
deren Leitfähigkeitsänderungen unterbindet. Handelt es sich bei den in die gasadsorbierende
Schicht diffundierten Gasmoleküle um solche mit Dipolcharakter, so werden sie im hochfre
quenten Wechselfeld zu Schwingungen angeregt. Gasmoleküle, die nur aus einem chemischen
Element aufgebaut sind, wie z. B. Sauerstoffund Stickstoff, besitzen mit Ausnahme von Ozon
keinen Dipolcharakter. Sie werden nicht beeinflußt. In Abhängigkeit von der Art der Gasmole
küle gibt es oberhalb einiger hundert Megahertz einen oder mehrere schmale Frequenzbereiche
mit verstärkter Energieabsorption. Die Resonanzen sind in Betrag und Frequenz abhängig von
der Sensortemperatur. Zur Messung der Sensortemperatur wird vorteilhaft das Heizelement
genutzt, wenn es einen definierten Temperaturkoeffizienten des elektrischen Widerstands
besitzt.
Für die Erfassung möglichst geringer Gaskonzentrationen sind für den Isolator und die gasad
sorbierende Schicht Materialien mit sehr kleinen dielektrischen Verlustfaktoren erforderlich.
Für den Isolator wird insbesondere bei nicht zu hohen Betriebstemperaturen vorzugsweise Glas
verwendet. Da die gasadsorbierende Schicht zusätzlich der Forderung nach möglichst gleich
guter Adsorption verschiedener Moleküldurchmesser genügen muß, besteht sie z. B. aus Oxid
keramik. Wegen möglicher niedriger Betriebstemperatur und dadurch erhöhter Langzeitstabi
lität sowie geringerer erforderlicher Heizleistung sind hierfür Mischoxidkeramiken besonders
vorteilhaft einsetzbar.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben.
Fig. 1 zeigt den erfindungsgemäßen Sensor im Schnitt.
Das Substrat (1) besteht aus Aluminiumoxid mit den Abmessungen 3 mm . 3 mm . 0,5 mm.
Das Heizelement (2) aus Platin ist mäanderförmig ausgeführt. Es besitzt einen Kaltwiderstand
von 10 Ohm. Der Isolator (3) hat eine Schichtdicke von 10 µm. Er besteht aus Glas und ist
mittels Dickschichttechnologie aufgebracht. Die zweite Elektrode (4) aus Platin befindet sich
auf dem Rand der Oberseite des Isolators (3). Die gasadsorbierende Schicht (5) aus Misch
oxidkeramik über Isolator (3) und zweiter Elektrode (4) besitzt ebenfalls eine Schichtdicke von
10 µm.
Gemäß der in Fig. 2 dargestellten Schaltungsanordnung gelangt die mit dem HF-Generator
(6) erzeugte Wechselspannung im Frequenzbereich oberhalb von 200 MHz über die Koppel
kapazität (7) an die zweite Elektrode (4) des Sensors (8). Einer der beiden Anschlüsse des
Heizelements (2) dient als Bezugselektrode sowohl für die HF-Spannung als auch für die
Heizspannung, die an den zweiten Anschluß des Heizelements (2) angelegt und für die wegen
der Mehrfachnutzung des Heizelements (2) vorzugsweise Gleichspannung verwendet wird. An
der zweiten Elektrode (4) des Sensors (8) ist mit einem HF-Voltmeter (9) unter den Bedin
gungen konstanter Amplitude des HF-Generators (6) und konstant gehaltener Sensortempe
ratur in Referenzgasatmosphäre, z. B. synthetischer Luft, ein über den gesamten abstimmbaren
Frequenzbereich konstanter Teil der Ausgangsspannung des HF-Generators (6) meßbar. Unter
dem Einfluß anderer Gase oder Dämpfe verringert sich wegen des kapazitiven Verhaltens des
Sensors (8) die mit dem HF-Voltmeter (9) meßbare Amplitude sowohl um einen über den
gesamten Frequenzbereich konstanten Anteil, der gegebenenfalls durch Erhöhung der Aus
gangsspannung des HF-Generators (6) kompensiert werden kann, als auch schmalbandig und
in Anzahl, Betrag und Frequenz abhängig vom jeweils vorliegenden Gas. Die Frequenzbereiche
mit starker Energieabsorption sind so schmal, daß bei vorheriger Kenntnis der einzelnen Fre
quenzgänge die Unterscheidung mehrerer Komponenten eines Gasgemischs möglich ist. Von
besonderer Bedeutung ist die Tatsache, daß Wasserdampf keinen Einfluß auf den für mehrere
Gase bzw. Dämpfe untersuchten Frequenzgang hat.
1
Substrat
2
Heizelement
3
Isolator
4
zweite Elektrode
5
gasadsorbierende Schicht
6
HF-Generator
7
Koppelkapazität
8
Sensor
9
HF-Voltmeter
Claims (8)
1. Selektiver Gassensor, bestehend aus gasadsorbierender Schicht, Isolator, Elektroden und
Heizelement, dadurch gekennzeichnet,
- 1. daß er eine kapazitiv wirkende Anordnung darstellt,
- 2. daß das Heizelement (2) eine Elektrode dieser Anordnung ist,
- 3. daß das Dielektrikum aus einem Isolator (3) und einer gasadsorbierenden Schicht (5) besteht,
- 4. daß das Dielektrikum über die gasadsorbierende Schicht (5) mit einer zweiten Elektrode (4) verbunden ist,
- 5. daß im Frequenzbereich oberhalb von 200 MHz der Frequenzgang in Abhängigkeit von Art und Konzentration einwirkender Gase bzw. Dämpfe gemessen wird.
2. Selektiver Gassensor nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite
Elektrode (4) rahmenförmig ist.
3. Selektiver Gassensor nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite
Elektrode (4) zwischen Isolator (3) und gasadsorbierender Schicht (5) angeordnet ist.
4. Selektiver Gassensor nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite
Elektrode (4) auf der gasadsorbierenden Schicht (5) angeordnet ist.
5. Selektiver Gassensor nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolator (3)
eine Glasschicht ist.
6. Selektiver Gassensor nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement
(2) gleichzeitig Temperatursensor ist.
7. Selektiver Gassensor nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gasadsor
bierende Schicht (5) eine Oxidkeramik ist.
8. Selektiver Gassensor nach Patentanspruch 1 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die gasad
sorbierende Schicht (5) eine Mischoxidkeramik ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934325261 DE4325261C2 (de) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Selektiver Gassensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934325261 DE4325261C2 (de) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Selektiver Gassensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4325261A1 DE4325261A1 (de) | 1995-02-02 |
DE4325261C2 true DE4325261C2 (de) | 1999-02-11 |
Family
ID=6493875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19934325261 Expired - Fee Related DE4325261C2 (de) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | Selektiver Gassensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4325261C2 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004053460A1 (de) | 2004-11-05 | 2006-05-11 | Emitec Gesellschaft Für Emissionstechnologie Mbh | Schutzelement für einen Messfühler, sowie entsprechender Messfühler und Wabenkörper |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0286307A2 (de) * | 1987-04-06 | 1988-10-12 | Cogent Limited | Gasfühler |
EP0426989A1 (de) * | 1989-11-04 | 1991-05-15 | Dornier Gmbh | Selektiver Gassensor |
-
1993
- 1993-07-28 DE DE19934325261 patent/DE4325261C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0286307A2 (de) * | 1987-04-06 | 1988-10-12 | Cogent Limited | Gasfühler |
EP0426989A1 (de) * | 1989-11-04 | 1991-05-15 | Dornier Gmbh | Selektiver Gassensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4325261A1 (de) | 1995-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1623217B1 (de) | Sensor zur detektion von teilchen | |
EP0405435B1 (de) | Diffusionsbarriere mit Temperaturfühler für einen elektrochemischen Gassensor | |
EP0781409B1 (de) | Chemischer sensor | |
CH465275A (de) | Verfahren und vorrichtung zur qualitativen oder quantitativen Bestimmung einer Mischungskomponente eines Gasgemisches | |
WO2007124725A1 (de) | Mikrosensor | |
DE19708770C1 (de) | Gassensor | |
WO2006027288A1 (de) | Sensorelement für partikelsensoren und verfahren zum betrieb desselben | |
EP0896667B1 (de) | Verfahren zur detektion oxidierbarer und reduzierbarer gase in der luft sowie vorrichtung hierzu | |
DE10210819B4 (de) | Mikrostrukturierter Gassensor mit Steuerung der gassensitiven Eigenschaften durch Anlegen eines elektrischen Feldes | |
DE4109516A1 (de) | Vorrichtung zum kontinuierlichen ueberwachen der konzentrationen von gasfoermigen bestandteilen in gasgemischen | |
EP1782048A1 (de) | Gassensor und verfahren herstellung einens gassensors | |
DE19644290A1 (de) | Sensorelement zur gleichzeitigen Messung von zwei verschiedenen Eigenschaften einer chemisch sensitiven Substanz | |
DE4325261C2 (de) | Selektiver Gassensor | |
DE19910444C2 (de) | Temperaturfühler | |
DE4105025C1 (de) | ||
DE102017207710A1 (de) | Kalibrierverfahren, seine Anwendung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE4310914A1 (de) | Methansensor | |
EP1602924B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von leichtflüchtigen Organischen Verbindungen | |
EP0665428A2 (de) | Einrichtung für die Messung von Zustandsgrössen in Gasen mit zumindest einem Halbleiter-Gassensor | |
DE19924083A1 (de) | Leitfähigkeitssensor zur Detektion von Ozon | |
DE3837951C3 (de) | Vorrichtung zur Konzentrationsmessung eines unerwünschten Gases in Luft | |
WO1992014143A1 (de) | Vorrichtung zum kontinuierlichen überwachen der konzentrationen von gasförmigen bestandteilen in gasgemischen | |
DE10164911B4 (de) | Sensorvorrichtung zur Messung einer Komponente eines Gasgemisches | |
DE19701493C1 (de) | CO-Sensor | |
DE102006034075B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur selektiven Erfassung von leitfähigen Teilchen in Gasströmen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |