DE4324667A1 - Korrosionsbeständiger Magnetfilm und diesen verwendender Magnetkopf - Google Patents

Korrosionsbeständiger Magnetfilm und diesen verwendender Magnetkopf

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Description

Die Erfindung betrifft einen Magnetfilm mit einer hohen Sät­ tigungsmagnetflußdichte, hohen Permeabilität hohen Wärmebe­ ständigkeit und ausgezeichneten Korrosionsbeständigkeit, insbesondere einen ferromagnetischen Metallfilm, der sich für einen Magnetkopf, der in Magnetplattenapparaten, Digi­ tal-VTRs usw. verwendet wird, und für ein in solchen Magnet­ köpfen verwendetes Kernmaterial eignet.
Mit einem Anstieg der magnetischen Speicherdichte wurde ein "Metall im Spalt"-Kopf bekannt, der für ausreichende Auf­ nahme auch auf Medien mit hoher Koerzitivkraft möglich ist. Da jedoch der "Metall im Spalt"-Kopf ein Hochtemperaturver­ fahren, wie z. B. eine Glasverbindung, benötigt, ist es er­ forderlich, einen Magnetfilm mit hoher Wärmestabilität zu verwenden. Als Magnetfilm mit relativ hoher Wärmestabilität, der im "Metall im Spalt" -Kopf verwendet wird, sind Filme be­ kannt, die aus amorphen Magnetlegierungen der Co-Gruppe, "sendust"-Legierungen und Magnetlegierungen mit einem ver­ hältnismäßig hohen Kohlenstoffgehalt, z. B. Fe (Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W) C bestehen, die in JP-A-3-20444 offenbart sind. Als Ergebnis einer Auswertung der Korrosionsbeständig­ keit dieser Magnetfilme durch eine Konstanttemperatur-Kon­ stantfeuchtigkeits-Prüfung und eine Salzlösungssprühprüfung zeigen die amorphen Legierungen der Co-Gruppe und die "sendust"-Legierungen eine verhältnismäßig ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit, jedoch eine verhältnismäßig nied­ rige Sättigungsmagnetflußdichte von 1,1 bis 1,3 T im Zusam­ mensetzungsbereich, der gute weichmagnetische Eigenschaften aufweist. Andererseits zeigen die Magnetlegierungen mit einem verhältnismäßig hohen Kohlenstoffgehalt, wie z. B. Fe (Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W) C, eine so hohe Sättigungsma­ gnetflußdichte wie 1,5 bis 1,6 T im Zusammensetzungsbereich, der gute weichmagnetische Eigenschaften aufweist, haben je­ doch ein Korrosionsbeständigkeitsproblem, indem Korrosion während eines Herstellverfahrens von Magnetköpfen stattfin­ det, der Wiedergabeausgang abnimmt, wenn ein Aufnahme- und Wiedergabetest in einer langen Zeitdauer wiederholt wird, usw. Es wurde klar, daß diese Probleme durch Korrosion des Magnetfilms verursacht werden.
Um die Korrosionsbeständigkeit zu verbessern, wurde ein Ele­ ment (z. B. Cr, Rh, Ru), das als wirksam zur Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit betrachtet wurde, dem Fe (Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W) C-Film zugesetzt und dem Korrosionsbe­ ständigkeitstest unterworfen. Als Ergebnis wurde gefunden, daß jedes Element der Gruppe Cr, Rh und Ru zur Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit wirksam ist und daß insbesondere Cr zur Verbesserung nicht nur der Korrosionsbeständigkeit sondern auch der weichmagnetischen Eigenschaften wirksam ist. Wenn jedoch die Zusatzmenge dieser Elemente (Cr, Rh, Ru) gesteigert wurde, um die Korrosionsbeständigkeit weiter zu verbessern, stieg die Magnetostriktion positiv auf einen so hohen Wert wie 20×10-7 oder mehr in dem Zusammenset­ zungsbereich an, der eine gute Korrosionsbeständigkeit zeigt, was zu dem Versagen führte, Magnetfilme mit niedriger Magnetostriktion zu erhalten.
Eine Aufgabe der Erfindung ist es, einen ferromagnetischen Film mit ausgezeichneter, der der "sendust"-Legierungen gleicher Korrosionsbeständigkeit, niedriger Magnetostriktion und einer Sättigungsmagnetflußdichte zu entwickeln, die der der "sendust"-Legierungen gleich oder überlegen ist.
Eine andere Aufgabe der Erfindung ist es, einen Magnetkopf zu entwickeln, der durch Verwendung des oben erwähnten ferromagnetischen Films als wenigstens eines Teils eines Magnetkopfkerns erhalten wird.
Gegenstand der Erfindung, womit die erstgenannte Aufgabe ge­ löst wird, ist ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1.
Eine Weiterbildung der Erfindung sieht einen korrosionsbe­ ständigen Ferromagnetfilm aus einer FeMNC-R-Co- und/oder Ni- Legierung vor, in welcher Co und/oder Ni in einer Konzen­ tration von 15 Molprozent oder weniger und mehr als 0 Mol­ prozent enthalten ist bzw. sind.
Gegenstand der Erfindung ist außerdem ein Magnetkopf, der durch Verwendung des erwähnten korrosionsbeständigen Ferro­ magnetfilms als wenigstens eines Teils eines Magnetkopfkerns erhalten wird.
Erfindungsgemäß kann durch Zusetzen wenigstens eines Sel­ tenerd-Elements (R), wie z. B. Sm, Nd usw., zu einer FeMNC- Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V gewähltes Element ist und N we­ nigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru gewähltes Ele­ ment ist, ein Ferromagnetfilm mit niedriger Magnetostrik­ tion, guten weichmagnetischen Eigenschaften und ausgezeich­ neter Korrosionsbeständigkeit bei Konzentrationen von M im Bereich von 0,5 bis 20 Molprozent, N im Bereich von 0,5 bis 12 Molprozent, C im Bereich von 2,0 bis 20 Molprozent und R im Bereich von 0,5 bis 10 Molprozent bei einer Gesamtsumme von 100 Molprozent erhalten werden.
Im oben erwähnten FeMNC-Legierungsfilm wird das Element M durch Wärmebehandlung ein Carbid, das sich an Grenzen der Kristallkörner von Fe so ausscheidet, daß das Wachstum der Fe-Kristallkörner gehindert wird, was zu einer Verbesserung der Wärmebeständigkeit des Films führt. Das unter Cr, Rh und Ru gewählte Element N scheint die Korrosionsbeständigkeit des Films zu verbessern, wobei der Mechanismus hierbei nicht klar ist. Weiter ist der Zusatz des Seltenerd-Elements, wie z. B. Sm, Nd usw., zur FeMNC-Legierung zur Verringerung der Magnetostriktion wirksam, ohne daß die weichmagnetischen Eigenschaften beeinträchtigt werden.
Nach Untersuchung der Filmzusammensetzung aus einer FeMNC-R- Legierung mit der der von "sendust"-Legierungen gleichen oder überlegenen Sättigungsmagnetflußdichte wurde gefunden, daß die Konzentration von M (Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo, V) vorzugsweise 0,5 bis 20 Molprozent ist, die Konzentration von N (Cr, Rh, Ru) vorzugsweise 0,5 bis 1,4 Molprozent ist, die C-Konzentration vorzugsweise 2,0 bis 20 Molprozent ist und die Konzentration von R vorzugsweise 0,5 bis 10 Molpro­ zent ist, oder daß alternativ die Konzentration von M (Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo, V) vorzugsweise 10,1 bis 20 Molpro­ zent ist, die Konzentration von N (Cr, Rh, Ru) vorzugsweise 1,5 bis 12 Molprozent ist, die C-Konzentration vorzugsweise 2,0 bis 20 Molprozent ist und die Konzentration von R vor­ zugsweise 0,5 bis 10 Molprozent ist.
Ein Teil des Fe kann durch Co und/oder Ni in einer Konzen­ tration von 15 Molprozent oder weniger ohne Verringerung der Eigenschaften des erhaltenen korrosionsbeständigen Ferro­ magnetfilms ersetzt werden.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele des korrosionsbeständigen Ferromagnetfilms der Erfindung sind folgende.
  • 1) Ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm besteht aus einer FeMNC-R-Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V gewähltes Element ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru ge­ wähltes Element ist und R wenigstens ein Seltenerd-Element ist, wobei M in einer Konzentration von 0,5 bis 20 Molpro­ zent, N in einer Konzentration von 0,5 bis 12 Molprozent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 20 Molprozent und R in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molprozent bei einer Ge­ samtsumme von 100 Molprozent enthalten sind.
  • 2) Ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm besteht aus einer FeMNC-R-Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V gewähltes Element ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru ge­ wähltes Element ist und R wenigstens ein Seltenerd-Element ist, wobei M in einer Konzentration von 0,5 bis 20 Molpro­ zent, N in einer Konzentration von 0,5 bis 1,4 Molprozent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 20 Molprozent und R in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molprozent bei einer Ge­ samtsumme von 100 Molprozent enthalten sind.
  • 3) Ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm besteht aus einer FeMNC-R-Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V gewähltes Element ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru ge­ wähltes Element ist und R wenigstens ein Seltenerd-Element ist, wobei M in einer Konzentration von 10,1 bis 20 Molpro­ zent, N in einer Konzentration von 1,5 bis 12 Molprozent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 20 Molprozent und R in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molprozent bei einer Ge­ samtsumme von 100 Molprozent enthalten sind.
  • 4) Ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm besteht aus einer FeMNC-R-Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb und W gewähltes Element ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru gewähltes Element ist und R wenigstens ein Seltenerd-Element ist, wo­ bei M in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molprozent, N in einer Konzentration von 1,5 bis 12 Molprozent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 14 Molprozent und R in einer Kon­ zentration von 0,5 bis 7 Molprozent bei einer Gesamtsumme von 100 Molprozent enthalten sind.
  • 5) Ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm besteht aus einer FeMNC-R-Co- und/oder Ni-Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V ge­ wähltes Element ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru gewähltes Element ist und R wenigstens ein Sel­ tenerd-Element ist, wobei M in einer Konzentration von 0,5 bis 20 Molprozent, N in einer Konzentration von 0,5 bis 12 Molprozent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 20 Molpro­ zent, Co und/oder Ni in einer Konzentration von 15 Molpro­ zent oder weniger und R in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molprozent bei einer Gesamtsumme von 100 Molprozent ent­ halten sind.
  • 6) Ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm besteht aus einer FeMNC-R-Co- und/oder Ni-Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V ge­ wähltes Element ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru gewähltes Element ist und R wenigstens ein Sel­ tenerd-Element ist, wobei M in einer Konzentration von 0,5 bis 20 Molprozent, N in einer Konzentration von 0,5 bis 1,4 Molprozent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 20 Molpro­ zent, Co und/oder Ni in einer Konzentration von 15 Molpro­ zent oder weniger und R in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molprozent bei einer Gesamtsumme von 100 Molprozent ent­ halten sind.
  • 7) Ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm besteht aus einer FeMNC-R-Co- und/oder Ni-Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V ge­ wähltes Element ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru gewähltes Element ist und R wenigstens ein Sel­ tenerd-Element ist, wobei M in einer Konzentration von 10,1 bis 20 Molprozent, N in einer Konzentration von 1,5 bis 12 Molprozent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 20 Molpro­ zent, Co und/oder Ni in einer Konzentration von 15 Molpro­ zent oder weniger und R in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molprozent bei einer Gesamtsumme von 100 Molprozent ent­ halten sind.
  • 8) Ein korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm besteht aus einer FeMNC-R-Co- und/oder Ni-Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb und W gewähltes Ele­ ment ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru gewähltes Element ist und R wenigstens ein Seltenerd-Element ist, wobei M in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molpro­ zent, N in einer Konzentration von 1,5 bis 12 Molprozent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 14 Molprozent, Co und/oder Ni in einer Konzentration von 15 Molprozent oder weniger und R in einer Konzentration von 0,5 bis 7 Molpro­ zent bei einer Gesamtsumme von 100 Molprozent enthalten sind.
Bei den korrosionsbeständigen Ferromagnetfilmen nach (1) bis (8), die vorstehend erwähnt sind, ist das Seltenerd-Element vorzugsweise wenigstens ein aus der Gruppe von Ce, Pr, Nd, Sm, Tb, Dy und Gd gewähltes Element.
Diese Ferromagnetfilme können nach einem herkömmlichen Ver­ fahren, z. B. Aufstäuben usw., hergestellt werden.
Magnetköpfe können unter Verwendung dieser korrosionsbestän­ digen Ferromagnetfilme (1) bis (8) als wenigstens eines Teils eines Magnetkopfkerns hergestellt werden.
Diese Magnetköpfe können nach einem herkömmlichen Verfahren, z. B. einem Verfahren hergestellt werden, das in JP-A-62-60113 offenbart ist.
Die Erfindung wird anhand folgender Beispiele erläutert.
Beispiel 1
Magnetfilme wurden unter Verwendung einer Hochfrequenzzer­ stäubungsvorrichtung erzeugt. Die Zerstäubung wurde unter den folgenden Bedingungen durchgeführt:
Zerstäubungsgas: Ar
Zerstäubungsgasdruck: 6,6 x 10-1 Pa
Elektrische Hochfrequenzleistung: 400 W
Entfernung zum Targetsubstrat: 50 mm
Substrattemperatur: 50 bis 100°C (Wasserkühlung).
Die Filme wurden unter Verwendung zusammengesetzter Targets erzeugt, die durch Haften jedes Chips von zuzusetzenden Ele­ menten auf einem Fe-Target erhalten wurden. Als Substrat wurde kristallisiertes Glas mit einem Durchmesser von 10 mm verwendet. Filme mit verschiedenen Zusammensetzungen und einer Filmdicke von 2 µm wurden gebildet und 1 Stunde in einer Ar-Gasatmosphäre bei 550°C wärmebehandelt.
Die erhaltenen Magnetfilme wurden der Messung der magneti­ schen Eigenschaften und dem Korrosionsbeständigkeitstest unterworfen. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 1 gezeigt.
Gemäß der Tabelle 1 wurde die Magnetfilmzusammensetzung durch das EPMA (Elektronenprobemikroanalyse) -Verfahren gemes­ sen. Was den Kohlenstoff betrifft, wurde eine Bestätigung unter Verwendung anderer Verfahren, wie z. B. Verbrennungs­ infrarotabsorptionsverfahren, vorgenommen, doch geringe Feh­ ler können in den Daten enthalten sein. Die Koerzitivkraft wurde unter Verwendung eines B-H-Kurvenabtasters gemessen. Die Sättigungsmagnetflußdichte wurde durch VSM (Vibrations­ probenmagnetometer) gemessen. Die Magnetostriktion wurde durch ein optisches Hebelverfahren gemessen. Die Auswertung der Korrosionsbeständigkeit erfolgte durch Messen einer Zeit, die zur Verringerung der Magnetisierung eines Films um 10% benötigt wurde, unter Verwendung eines Konstanttempera­ tur/Konstantfeuchtigkeits-Prüfgerätes (80°C, 90%).
Wie in der Tabelle 1 gezeigt ist, weisen, wenn Cr, Rh u. dgl. Element nicht oder in einer geringen Menge zugesetzt wird, die erhaltenen Magnetfilme eine niedrige Magnetostriktion und verhältnismäßig gute weichmagnetische Eigenschaften, je­ doch eine schlechte Korrosionsbeständigkeit auf, wie die Proben 2 bis 4 zeigen. Wenn Cr, Rh u. dgl. Element in einer verhältnismäßig großen Menge zugesetzt wird, weisen die er­ haltenen Magnetfilme verhältnismäßig gute weichmagnetische Eigenschaften und Korrosionsbeständigkeit, jedoch eine sehr hohe Magnetostriktion auf, wie die Proben 5 bis 7 zeigen.
Im Gegensatz dazu weisen, wenn die magnetischen Filme Fe als Hauptbestandteil, ein unter Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V gewähltes Element, ein anderes, unter Cr, Rh und Ru gewähl­ tes Element, Kohlenstoff (C) und ein Seltenerd-Element gleichzeitig enthalten, wie mit den Proben 8 bis 17 gezeigt ist, diese Filme eine niedrige Magnetostriktion, gute weich­ magnetische Eigenschaften und auch eine gute Korrosionsbe­ ständigkeit auf. Daher eignen sich diese Magnetfilme für Magnetkopfkernmaterialien, die für Hochdichte-Magnetspeiche­ rung, wie z. B. Magnetscheibenapparate, digitale VTRs usw., verwendet werden.
Beispiel 2
Magnetköpfe wurden unter Verwendung typischer, in der Tabel­ le 1 gezeigte Magnetfilme hergestellt. Unter Verwendung der erhaltenen Magnetköpfe wurde ein Aufnahme-Wiedergabe-Test für eine lange Zeitdauer unter Verwendung eines Metallbandes mit einer Koerzitivkraft von 119165,5 A/m durchgeführt. Der Test wurde in einem Konstanttemperatur-Konstantfeuchtig­ keits-Prüfgerät (80°C, 90%), wie im Beispiel 1 verwendet, durchgeführt. Die Aufnahme-Wiedergabe-Eigenschaften wurden durch Messen von Änderungen beim Wiedergabeausgang ausge­ wertet. Ein Magnetkopf wurde hergestellt, indem man einen Ferromagnetfilm auf einem Ferritsubstrat ausbildete, wie in JP-A-62-60113 beschrieben wurde. Die Dicke jedes Magnetfilms war 6 µm.
Änderungen des Wiedergabeausgangs (mVp-p) mit dem Verstrei­ chen der Zeit bei 80°C und 90% relativer Feuchte sind in der Tabelle 2 gezeigt.
Tabelle 2
Wie in der Tabelle 2 gezeigt ist, ergeben die ferromagneti­ schen Metallfilme der Erfindung Magnetköpfe, die eine ausge­ zeichnete Korrosionsbeständigkeit, die der aus "sendust"-Le­ gierungen erhaltenen Magnetköpfe gleicht, und einen ausge­ zeichneten Wiedergabeausgang zeigen, der dem der aus "sendust"-Legierungen, Fe77Zr9C10Cr4-Film usw. erhaltenen Magnetköpfen als Kernmaterial gleich oder überlegen ist. Der Rückgang des Wiedergabeausgangs nach 50 Tagen eines Kon­ stanttemperatur-Konstantfeuchtigkeits-Tests ist so klein wie etwa 20%. Dies scheint ein Ergebnis der Tatsache zu sein, daß die ferromagnetischen Metallfilme der Erfindung eine niedrige Magnetostriktion, eine hohe Sättigungsmagnet­ flußdichte und eine gute Korrosionsbeständigkeit haben.
Im Gegensatz dazu scheint es im Fall der Verwendung des FeTaC-Films, da die Korrosionsbeständigkeit trotz der glei­ chen hohen Sättigungsmagnetflußdichte wie bei der Erfindung schlecht ist, daß der Wiedergabeausgang rasch gesenkt wird. Weiter ist im Fall der Verwendung des FeZrCCr-Films, der unter Verwendung eines Materials hoher Sättigungsmagnetfluß­ dichte erhalten wird, wahrscheinlich aufgrund einer hohen Magnetostriktion (25×10-7) der Wiedergabeausgang auch niedrig.
Wie oben erwähnt, ist die vorliegende Erfindung wirksam zur Senkung der Magnetostriktion von Ferromagnetfilmen, während eines hohe Sättigungsmagnetflußdichte, gute weichmagnetische Eigenschaften und eine gute Korrosionsbeständigkeit beibe­ halten bleiben. Unter Verwendung solcher Ferromagnetfilme gemäß der Erfindung als Magnetkopfkern oder als Teil des Magnetkopfkerns lassen sich Magnetköpfe mit ausgezeichneten Aufnahme- und Wiedergabeeigenschaften und ausgezeichneter Korrosionsbeständigkeit erhalten.

Claims (10)

1. Korrosionsbeständiger Ferromagnetfilm aus einer FeMNC-R- Legierung, in der M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb, W, Ti, Mo und V gewähltes Element ist, N wenigstens ein aus der Gruppe von Cr, Rh und Ru gewähl­ tes Element ist und R wenigstens ein Seltenerd-Element ist, wobei M in einer Konzentration von 0,5 bis 20 Mol­ prozent, N in einer Konzentration von 0,5 bis 12 Molpro­ zent, C in einer Konzentration von 2,0 bis 20 Molprozent und R in einer Konzentration von 0,5 bis 10 Molprozent darin bei einer Gesamtsumme von 100 Molprozent enthalten sind.
2. Ferromagnetfilm nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die FeMNC-R-Legierung außerdem Co und/oder Ni in einer Konzentration von 15 Molprozent oder weniger auf­ weist.
3. Ferromagnetfilm nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Seltenerd-Element wenigstens eines aus der Gruppe von Ce, Pr, Nd, Sm, Tb, Dy und Gd ist.
4. Ferromagnetfilm nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Element N in einer Konzentration von 0,5 bis 1,4 Molprozent enthalten ist.
5. Ferromagnetfilm nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Element M in einer Konzentration von 10,1 bis 20 Molprozent und das Element N in einer Konzentration von 1,5 bis 12 Molprozent enthalten sind.
6. Ferromagnetfilm nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als das Element M wenigstens ein aus der Gruppe von Hf, Zr, Ta, Nb oder W gewähltes Element in einer Kon­ zentration von 0,5 bis 10 Molprozent, das Element N in einer Konzentration von 1,5 bis 12 Molprozent, das Ele­ ment C in einer Konzentration von 2,0 bis 14 Molprozent und das Element R in einer Konzentration von 0,5 bis 7 Molprozent enthalten sind.
7. Magnetkopf, der unter Verwendung des korrosionsbeständi­ gen Ferromagnetfilms nach Anspruch 1 als wenigstens eines Teiles des Magnetkopfkerns erhalten wurde.
8. Magnetkopf, der unter Verwendung des korrosionsbeständi­ gen Ferromagnetfilms nach Anspruch 2 als wenigstens eines Teils des Magnetkopfkerns erhalten wurde.
9. Magnetkopf, der unter Verwendung des korrosionsbeständi­ gen Ferromagnetfilms nach Anspruch 3 als wenigstens eines Teils des Magnetkopfkerns erhalten wurde.
10. Magnetkopf, der unter Verwendung des korrosionsbeständi­ gen Ferromagnetfilms nach Anspruch 5 als wenigstens eines Teils des Magnetkopfkerns erhalten wurde.
DE4324667A 1992-08-03 1993-07-22 Korrosionsbeständiger Magnetfilm und diesen verwendender Magnetkopf Withdrawn DE4324667A1 (de)

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