DE4316129C1

DE4316129C1 - Verfahren zur Herstellung eines Eingangsschirmes eines Röntgenbildverstärkers

Info

Publication number: DE4316129C1
Application number: DE19934316129
Authority: DE
Inventors: Erich Dr Hell; Manfred Dipl Ing Fuchs
Original assignee: Siemens AG
Priority date: 1993-05-13
Filing date: 1993-05-13
Publication date: 1994-06-23
Anticipated expiration: 2013-05-14

Description

Verfahren zur Herstellung eines Eingangsschirmes eines Rönt genbildverstärkers.

Aus der EP 0 403 802 A2 sowie der US-PS 3,980,888 ist ein solches Verfahren bekannt, das die Verfahrensschritte

a) Herstellen eines Schirmsubstrates
b) Aufbringen einer Leuchtschicht auf das Schirmsubstrat und
c) Lösen der Leuchtschicht vom Schirmsubstrat offenbart.

Aus der DE-OS 28 32 141 ist es bekannt, eine Leuchtschicht eines Eingangsschirmes mittels eines spanabhebenden Verfah rens zu glätten.

Beim Herstellen eines Eingangsschirmes entstehen durch das Bedampfen des Substrates mit der Leuchtschicht in der Keim zone der Leuchtschicht Störungen im Nadelwachstum, welche die Modulationsübertragungsfunktion (MTF) durch das Übersprechen von in der Leuchtschicht erzeugten Lichtes verschlechtert.

Durch Projektion eines auf den Eingangsschirm auftreffenden divergenten Röntgenstrahles und Abbildung des gekrümmten Ein gangsschirmes auf die plane Leuchtstofffläche des Ausgangs schirmes des Röntgenbildverstärkers nimmt die Leuchtdichte am Ausgangsschirm von der Mitte zum Rand hin ab, was ebenfalls nachteilig ist.

Mit zunehmender Dicke der Leuchtstoffschicht wird das Absorp tionsvermögen der Leuchtschicht für Röntgenstrahlung zwar er höht, jedoch wird hierdurch auch die Lichtübertragung in den längeren Nadeln durch Störungen in der Nadelstruktur, die auch zu isolierten Inseln und damit zu Punktfehlern führen können, nachteilig beeinflußt. Diese störenden Effekte ver schlechtern die Abbildungseigenschaften und mindern die er zeugten Lichtphotonen. Dem Fachmann sind diese Effekte auch unter dem Begriff Detektiv Quantum Efficiency (DQE) bekannt.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren der eingangs ge nannten Art derart zu verbessern, daß die DQE und die MTF verbessert ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Herstellung eines Eingangsschirmes eines Röntgenbildverstär kers durch die Kombination der folgenden Verfahrensschritte gelöst:

a) Bedampfen eines Schirmsubstrates mit einer Zwischen schicht,
b) Bedampfen der Zwischenschicht mit einer Leuchtschicht,
c) Lösen der Zwischenschicht mit Leuchtschicht vom Schirmsubstrat und
d) Entfernen der Zwischenschicht und der Keimzone der Leuchtschicht durch ein spanabhebendes Verfahren.

Vorteil der Erfindung ist, daß durch das Entfernen der Zwi schenschicht und der Keimzone das Übersprechen von Licht in der Keimzone unterbunden ist, was die MTF verbessert. Ferner kann der Eingangsschirm durch entsprechenden Abtrag auf eine solche Dicke gebracht werden, bei der sich ein Optimum bei der Absorption von Röntgenstrahlung in der Leuchtschicht und ein Minimum bei den Lichtverlusten in den Nadeln der Leucht schicht einstellt, so daß die DQE ebenfalls verbessert ist.

Es ist vorteilhaft, wenn die konvexe Außenseite der Leucht schicht mit einer Reflexionsschicht bedampft wird, um die Re flexion des erzeugten Lichtes an der Schirmoberfläche zu er möglichen und somit die Leuchtdichte zu erhöhen.

Von besonderem Vorteil ist es, wenn der Abtrag in der Mitte des Eingangsschirmes größer ist als an dessen Rand, so daß die nachteilige Leuchtdichteabnahme am Ausgangsschirm aufge hoben werden kann.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. Die Beschreibung eines Ausführungsbeispieles eines Ver fahrens zur Herstellung eines Eingangsschirmes erfolgt nun anhand der Zeichnung.

Mit dem Bezugszeichen 1 ist ein Schirmsubstrat eines Ein gangsschirmes eines Röntgenbildverstärkers gekennzeichnet, das beispielsweise kalottenförmig ausgebildet ist. Zur Her stellung des Eingangsschirmes wird eine Zwischenschicht 2 vorzugsweise auf die konvexe Außenseite des Schirmsubstrates 1 aufgedampft, die beispielsweise aus Aluminium bestehen kann. In selbstver ständlicher Weise kann diese Zwischenschicht 2 aber auch auf die konkave Seite des Schirmsubstrates 1 aufgedampft werden. In einem weiteren Verfahrensschritt wird auf diese Zwischen schicht 2 eine Leuchtschicht 3 aufgedampft, die in bekannter Weise beispielsweise aus Cäsiumjodid bestehen kann. Mit Hilfe eines Halteringes 4 ist die Leuchtschicht 3 mit der Zwischen schicht 2 vom Schirmsubstrat 1 entfernbar. In einem weiteren Verfahrensschritt wird dann mit Hilfe eines spanabhebenden Verfahrens die Zwischenschicht 2 und die Keimzone 5 der Leuchtschicht 3 entfernt.

Zur Erhöhung der Reflexion an der Oberfläche der Leucht schicht 3 wird diese vorzugsweise mit einer Reflexionsschicht bedampft, die aus einer Aluminium- und einer Aluminiumoxid schicht besteht.

Mit Hilfe des Halteringes 4 kann der somit hergestellte Ein gangsschirm in einem weiteren Verfahrensschritt an einem Ein gangsfenster des Röntgenbildverstärkers fixiert werden.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung eines Eingangsschirmes eines Röntgenbildverstärkers, aufweisend die Verfahrensschritte:

a) Bedampfen eines Schirmsubstrates (1) mit einer Zwischen schicht (2),
b) Bedampfen der Zwischenschicht (2) mit einer Leucht schicht (3)
c) Lösen der Zwischenschicht (2) mit Leuchtschicht (3) vom Schirmsubstrat (1) und
d) Entfernen der Zwischenschicht (2) und der Keimzone (5) der Leuchtschicht (3) durch ein spanabhebendes Verfah ren.

2. Verfahren nach Anspruch 1, aufweisend die weiteren Verfahrens schritte:

e) Bedampfen der konvexen Außenseite der Leuchtschicht (3) mit einer Reflexionsschicht und
f) Aufbringen der Photokathode auf die konkave Innenseite der Leuchtschicht (3).

3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei im Verfahrensschritt (d) der Abtrag in der Mitte des Eingangsschirmes größer ist als an dessen Rand.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Zwischenschicht (2) aus Aluminium und die Leuchtschicht (3) aus Cäsiumjodid gebildet wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Reflexionsschicht aus einer dünnen Aluminiumschicht und einer darauf aufgebrachten Aluminiumoxidschicht gebildet wird.