DE4312627A1

DE4312627A1 - Method and device for heat treatment of objects

Info

Publication number: DE4312627A1
Application number: DE19934312627
Authority: DE
Inventors: H Dipl Ing Veltrop
Original assignee: HAUZER HOLDING
Current assignee: HAUZER HOLDING
Priority date: 1993-04-19
Filing date: 1993-04-19
Publication date: 1994-10-20
Also published as: EP0621345A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Wärmebehandlung von Gegenständen in einem Vakuumofen, insbesondere zum Härten, Hochtemperaturlöten und -glühen, bei dem die jeweiligen Gegenstände während einer Aufheizpha se durch Konvektionswärme und/oder Strahlungsenergie auf eine vorgebbare Temperatur erhitzt, während einer bestimmten Zeitspanne zumindest im wesentlichen auf dieser Temperatur gehalten und anschließend in einer Abkühlphase unter Verwen dung eines durch den Ofen geleiteten Kühlgases mit vorgeb barer und vorzugsweise regelbarer Abkühlgeschwindigkeit auf eine das Entladen der Gegenstände ermöglichende Temperatur abgekühlt werden. Ferner ist die Erfindung auf eine Vorrich tung zur Durchführung dieses Verfahrens gerichtet.The invention relates to a method for the heat treatment of Objects in a vacuum oven, especially for hardening, High temperature soldering and annealing, in which the respective objects during a heating phase se by convection heat and / or radiation energy a predetermined temperature is heated during a certain one Period of time at least essentially at this temperature held and then in a cooling phase using of a cooling gas passed through the furnace with specified barer and preferably adjustable cooling rate a temperature enabling the objects to be unloaded be cooled. Furthermore, the invention is based on a Vorrich directed to perform this procedure.

Bei der Wärmebehandlung von Gegenständen, insbesondere von zu härtenden Gegenständen in Vakuumöfen erfolgt üblicherwei se zunächst eine Konvektionserwärmung bis zu einer Tempe ratur von etwa 850°C, worauf die Erwärmung des Härteguts mittels Strahlungsenergie liefernden Heizelementen fortge setzt wird. Ein Grund dafür ist, daß in den unteren Tempera turbereichen bis etwa 500-600°C eine wirksame, gleichmäßige re Wärmeübertragung durch Konvektion und in den oberen Temperaturbereichen eine gleichmäßige Wärmeübertragung durch Strahlungsheizung möglich ist.In the heat treatment of objects, especially of objects to be hardened in vacuum ovens are usually made First, convection heating up to a temperature temperature of about 850 ° C, followed by the heating of the hardened material by means of heating elements providing radiation energy is set. One reason is that in the lower tempera ranges up to about 500-600 ° C an effective, even re heat transfer by convection and in the upper Uniform heat transfer through temperature ranges Radiant heating is possible.

Nach einer bestimmten Haltezeit auf einer gewünschten Tem peratur kann dann der mit einer der Wärmebehandlung zu unter ziehenden Charge beschickte Vakuumofen geregelt abgekühlt werden, wobei die jeweilige Charge häufig mit einer bestimm ten, vorgegebenen Abkühlgeschwindigkeit schnell gekühlt wer den muß, um dem der Wärmebehandlung unterzogenen Gut, z. B. einem Härtegut, bestimmte Eigenschaften zu verleihen.After a certain holding time at a desired tem The temperature can then be reduced to one with the heat treatment pulling batch of charged vacuum furnace controlled cooled are, whereby the respective batch often with a certain predetermined cooling rate can be cooled quickly which must, in order to the heat-treated material, z. B. a hardness to impart certain properties.

Das Abkühlen der jeweiligen Gegenstände erfolgt im Regelfall mittels eines Inertgases, z. B. mittels Stickstoff, Argon, Helium oder Mischungen dieser Gase, wobei häufig von einer Hochdruckgasabschreckung Gebrauch gemacht wird.The cooling of the respective objects usually takes place by means of an inert gas, e.g. B. using nitrogen, argon, Helium or mixtures of these gases, often from one High pressure gas quenching is used.

Sowohl bei der Aufheizung des der Wärmebehandlung zu unter ziehenden Gutes durch Konvektionserwärmung als insbesondere auch beim Abkühlen dieses Gutes wird das jeweilige Medium durch Öffnungen oder Düsen in die Aufnahmekammer des Vakuum ofens eingeleitet, wobei durch Verwendung einer Vielzahl solcher Öffnungen oder Düsen versucht wird, eine möglichst gleichmäßige Aufheizung bzw. Abkühlung zu erreichen.Both when heating the heat treatment to under pulling good by convection heating as particular even when this material cools down, the respective medium through openings or nozzles into the receiving chamber of the vacuum furnace initiated, using a variety of such openings or nozzles is attempted, if possible to achieve uniform heating or cooling.

Während der Kühlphase wird das umgewälzte Kühlgas über einen Wärmetauscher geleitet und damit durch Konvektion abgekühlt. Der Gasdruck kann dabei variieren im Bereich von -0,7 bis +20 Bar oder mehr.During the cooling phase, the circulated cooling gas is passed through a Heat exchanger passed and thus cooled by convection. The gas pressure can vary in the range from -0.7 to +20 bar or more.

Wesentlich für die Güte des Ergebnisses des durchgeführten Wärmebehandlungsverfahrens ist, daß sowohl eine gleichmäßige Aufheizung, die Aufrechterhaltung einer bestimmten Halte temperatur als auch eine gleichmäßige Abkühlung erzielt wird, da nur dann die angestrebte homogene Wärmebehandlung, insbesondere Härtung, und vor allem ein Minimum an auftreten den Verformungen erreicht werden können.Essential for the quality of the result of the carried out The heat treatment process is both uniform Heating up, maintaining a certain hold temperature as well as a uniform cooling is because only then the desired homogeneous heat treatment, especially hardening, and most importantly, a minimum of occur the deformations can be achieved.

Es ist bekannt, zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Aufheizung mit mehreren Temperaturstufen zu arbeiten, d. h. den Aufheizvorgang stufenförmig zu gestalten, um während der einer Stufe entsprechenden Haltephase einen Temperaturaus gleich im der Wärmebehandlung zu unterziehenden Gut zu er reichen.It is known to improve the uniformity of the Heating to work with multiple temperature levels, d. H. to make the heating process step-by-step in order to a holding phase corresponding to a stage immediately in the goods to be subjected to the heat treatment pass.

Im Zusammenhang mit dem Abkühlvorgang, bei dem das Kühlgas Strömungsgeschwindigkeiten von 30 bis 50 m/sek. erreichen kann, ist bereits versucht worden, mit schwenkbaren Kühlgas düsen zu arbeiten, um die Turbulenzbildung zu erhöhen und damit eine gleichmäßigere Kühlung des jeweiligen Gutes zu erreichen. In connection with the cooling process, in which the cooling gas Flow speeds from 30 to 50 m / sec. to reach has been tried with swiveling cooling gas nozzles to increase turbulence and thus a more uniform cooling of the respective goods to reach.

Weiter hat man versucht, die Gleichmäßigkeit der Aufheizung und Kühlung zu verbessern, indem die Eintrittsrichtung der Heiz- und Kühlgase gewechselt und beispielsweise die Gasströ mung abwechselnd von oben nach unten und von unten nach oben gerichtet worden ist.Further attempts have been made to ensure uniformity of heating and improve cooling by changing the direction of entry Heating and cooling gases changed and, for example, the gas flows alternating from top to bottom and from bottom to top has been judged.

Nachteilig ist bei diesen bekannten Vorgehensweisen ist vor allem, daß durch das stufenförmige Aufheizen eine sich auf die Wirtschaftlichkeit ungünstig auswirkende Verlängerung der Behandlungszeit entsteht und daß in der Abkühlphase die erreichbaren Kühlgasturbulenzen nicht immer ausreichend sind, um die angestrebte gleichmäßige Abkühlung einer Charge sicherzustellen. Im Falle von zu härtendem Gut kann dies zu möglichen Härterissen, ungleichmäßigen Härtewerten und störenden Verformungen von zu härtenden Gegenständen führen und aufwendige Nachbearbeitungen erforderlich machen kann. Die Gefahr des Auftretens von Ungleichmäßigkeiten bei der Aufheizung oder Abkühlung ist insbesondere dann groß, wenn z. B. ein Heizelement ausfällt oder Düsen ganz oder teilweise verstopft werden. Bei Verwendung von Schwenkdüsen kommt hinzu, daß die erforderlichen Schwenkantriebe eine zusätzliche Störungsquelle bilden.The disadvantage of these known procedures is before all that one by the step-like heating up the economically unfavorable extension the treatment time arises and that in the cooling phase achievable cooling gas turbulence is not always sufficient are aimed at the uniform cooling of a batch ensure. In the case of goods to be hardened, this can be too possible hardness cracks, uneven hardness values and disturbing deformations of objects to be hardened and may require extensive post-processing. The risk of occurrence of irregularities in the Heating or cooling is especially great when e.g. B. a heating element fails or nozzles completely or partially clogged. When using swivel nozzles Added to this is the fact that the required swivel drives form an additional source of interference.

Aufgabe der Erfindung ist es, das Verfahren der eingangs angegebenen Art so weiterzubilden, daß die Gleichmäßigkeit der gewünschten Temperaturerhöhung in der Aufheizphase und der geforderten Temperaturerniedrigung in der Abkühlphase wesentlich verbessert wird, und zwar verbunden mit der Mög lichkeit, die Zeitdauer der Aufheizphase zu verkürzen und die sich insgesamt ergebenden Verformungen bei Sicher stellung einer homogenen Wärmebehandlung, insbesondere einer homogenen Härtung zu minimieren.The object of the invention is the method of the beginning specified type so that the uniformity the desired temperature increase in the heating phase and the required temperature reduction in the cooling phase is significantly improved, in connection with the poss possibility of shortening the duration of the heating phase and the total resulting deformations at Safe position of a homogeneous heat treatment, in particular one to minimize homogeneous curing.

Gelöst wird diese Aufgabe nach der Erfindung im wesentlichen dadurch, daß durch Veränderung der Positionierung der im Vakuumofen angeordneten Gegenstände zumindest während eines Teils der Aufheiz- und/oder Abkühlphase die Heiz- und/oder Kühlgasströme auf variierende Bereiche der der Wärmebehandlung, insbesondere der Härtung zu unterziehen den Gegenstände gerichtet und von diesen Gegenständen insbe sondere in wechselnden Richtungen abgelenkt werden.This object is essentially achieved according to the invention characterized in that by changing the positioning of the im Objects arranged at least during vacuum oven part of the heating and / or cooling phase the heating and / or cooling gas flows to varying areas of the undergo heat treatment, in particular hardening the objects directed and in particular of these objects especially distracted in changing directions.

Nach der Erfindung werden die der Wärmebehandlung zu unter ziehenden Gegenstände nicht nur aufgrund ihrer Positionsver änderung jeweils unterschiedlichen Heiz- und/oder Kühlgas strömungen, herrührend von einer Vielzahl von Einlaßdüsen, ausgesetzt, sondern diese Gegenstände werden gleichzeitig als variable Strömungsumlenk- und Turbulenzerzeugungsorgane genutzt, wodurch eine überraschende Gleichmäßigkeit in der Aufheiz- und vor allem auch in der Abkühlphase erzielt wird, die zur Vermeidung von Härterissen, ungleichmäßigen Härtewer ten und störenden Verformungen führt, und zwar insbesondere auch bei großflächigen und formschwierigen Teilen und auch in kritischen Fällen Nachbearbeitungsvorgänge zur Beseiti gung von Verformungen überflüssig macht.According to the invention, those of heat treatment become too moving objects not only because of their position ver Change different heating and / or cooling gas flows originating from a variety of inlet nozzles, exposed but these items are simultaneously as variable flow deflection and turbulence generating elements used, creating a surprising uniformity in the Heating and especially in the cooling phase is achieved, those to avoid hardness cracks, uneven hardness values leads and disruptive deformations, in particular even with large and difficult to shape parts and also in critical cases, postprocessing processes for elimination making deformation unnecessary.

Ein weiterer wesentlicher Vorteil des Verfahrens nach der Erfindung ist, daß selbst bei Ausfall eines Heizelementes oder im Falle einer Verstopfung einer Düse keine wesentli chen Verschlechterungen auftreten, da aufgrund der vorge sehenen Positionsveränderungen des der Wärmebehandlung zu unterziehenden Gutes zwangsläufig ein Ausgleich geschaffen und lokale Auswirkungen eines solchen Fehlers kompensiert werden.Another major advantage of the process according to the The invention is that even if a heating element fails or in the event of a nozzle clogging, no essential Chen deteriorations occur because of the pre changes in position of the heat treatment compensating goods inevitably created and compensated for the local effects of such an error become.

Bevorzugt wird die Erfindung zum Härten von Gegenständen verwendet, sie ist aber nicht auf diesen Anwendungsfall be schränkt.The invention is preferred for hardening objects used, but it is not on this use case limits.

Die Veränderung der Positionierung der zu härtenden Gegen stände wird bevorzugt durch eine kontinuierliche und/oder eine diskontinuierliche Bewegung einer Trägereinheit für das Härtegut, das im Regelfall chargenweise zugeführt wird, relativ zu den Wandungen einer Härtegut-Aufnahmekammer vorge nommen, so daß das Härtegut bezüglich vorhandener Strahlungs organe und vor allem bezüglich der Vielzahl der im Bereich der Wandungen der Kammer vorgesehenen Öffnungen oder Düsen unterschiedliche Positionen einnimmt und damit ein bevor zugtes Anstrahlen bestimmter Chargenbereiche oder ein bevor zugtes Beaufschlagen bestimmter Bereiche der Charge mit Kühl medium vermieden und gleichzeitig bezüglich der in die Kammer strömenden Gase eine sich ständig verändernde, turbu lenzbildende Struktur geschaffen wird.The change in the positioning of the counter to be hardened stands is preferred by a continuous and / or a discontinuous movement of a carrier unit for the Hardness goods, which are usually fed in batches, Relative to the walls of a hardness receiving chamber take so that the hardened material with respect to existing radiation organs and especially regarding the multitude of in the area openings or nozzles provided in the walls of the chamber occupies different positions and therefore before specific spot areas or before supplying certain areas of the batch with cooling medium avoided and at the same time regarding the in the Chamber flowing gases an ever changing, turbu drainage structure is created.

Die Trägereinheit kann in eine rotierende Bewegung, eine Vor wärts-Rückwärts-Bewegung, eine Auf- und Abbewegung und/oder in eine Pendelbewegung versetzt werden, und ist auch mög lich, diese Bewegungsarten einander zu überlagern, um das jeweils bestmögliche Ergebnis zu erzielen.The carrier unit can rotate in a forward motion upward-backward movement, an up and down movement and / or can be set in a pendulum motion, and is also possible to superimpose these types of movement on each other in order to to achieve the best possible result in each case.

Von besonderem Vorteil ist es, die Bewegungen der Trägerein heit in Abhängigkeit von der Messung der Temperaturgleich mäßigkeit des Härtegutes zu steuern, um auf diese Weise auch bei schwierigen Werkstücken bestmögliche Ergebnisse hinsicht lich der Homogenität der Härtung und der Maßhaltigkeit zu erzielen.It is particularly advantageous to monitor the movements of the wearer the same as a function of the measurement to control the temper of the hardened material, in this way too best possible results with difficult workpieces Lich the homogeneity of the hardening and the dimensional accuracy achieve.

Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung besteht in üblicher Weise aus einer mit Härtegut beschickbaren Vakuumkammer, einer Anordnung zur Heißgaszu führung sowie in der Kammer angeordneten, Strahlungswärme erzeugenden Heizelementen und einer Anordnung zur Zuführung von Kühlgas, wobei für diese Gaszuführung eine Vielzahl von in den Härtegut-Aufnahmeraum mündenden Öffnungen oder Düsen vorgesehen sind. In dem Härtegut-Aufnahmeraum ist gemäß der Erfindung zumindest eine, während der Aufheiz- und/oder Kühlphase in Bewegung versetzbare Trägereinheit für die zu härtenden Gegenstände vorgesehen, die über eine vakuumdichte Durchführung mit einem außenliegenden Antrieb verbunden ist.A device for performing the method according to the In the usual way, the invention consists of a material with hardness loadable vacuum chamber, an arrangement for hot gas guide and radiant heat arranged in the chamber generating heating elements and an arrangement for feeding of cooling gas, a plurality of for this gas supply openings or nozzles opening into the hardening material receiving space are provided. According to the Invention at least one during the heating and / or Carrier unit for the cooling phase which can be set in motion curing items are provided that have a vacuum tight Implementation is connected to an external drive.

Die Lagerung dieser Trägereinheit und der ihr zugeordnete Antrieb sind so ausgebildet, daß die Trägereinheit rotierend und/oder heb- und senkbar angetrieben werden kann. The storage of this carrier unit and the one assigned to it Drive are designed so that the carrier unit rotates and / or can be raised and lowered.

Es ist auch möglich, in der Härtegut-Aufnahmekammer mehrere derartige Trägereinheiten vorzusehen, die unabhängig voneinander antreibbar sein können.It is also possible to have several in the hardness receiving chamber to provide such carrier units that are independent can be driven from each other.

Das erfindungsgemäße Verfahren und auch die zu deren Aus führung bestimmte Vorrichtung lassen sich sowohl bei konti nuierlicher Aufheizung und Abkühlung, bei abwechselnder Auf heizung und Abkühlung oder bei in Stufen stattfindender Auf heizung und/oder Abkühlung verwenden, wobei stets die ge schilderten Vorteile erzielt werden, die vor allem in der Vergleichmäßigung der Aufheizung und der Abkühlung der zu härtenden Elemente und der daraus resultierenden, besonders homogenen Härtung bestehen und insbesondere in der Minimie rung auftretender Verformungen zu sehen sind, da letzteres vor allem bei kritischen Produkten zu ganz erheblichen wirtschaftlichen Vorteilen führt und kostenintensive Nachbe arbeitungen überflüssig werden.The method according to the invention and also for their elimination leadership certain device can be both at conti Nuclear heating and cooling, with alternating opening heating and cooling, or in the event of steps use heating and / or cooling, always the ge outlined advantages are achieved, especially in the Equalization of the heating and cooling of the hardening elements and the resulting, special homogeneous hardening exist and especially in the minimie deformation can be seen since the latter especially with critical products leads to economic benefits and costly afterbeing work becomes superfluous.

Ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist in schematischer Weise in der beigefügten Zeichnung dargestellt.An embodiment of a device for implementation of the inventive method is in a schematic manner shown in the accompanying drawing.

Nach der Zeichnung umfaßt die Vorrichtung eine mit dem allge meinen Bezugszeichen 1 gekennzeichnete Vakuumkammer, die im wesentlichen zylindrisch ausgebildet, horizontal oder verti kal angeordnet ist und an einem Ende eine vakuumdicht ver schließbare Beschickungsöffnung aufweist. Vorgesehen sind ferner Anordnungen zur Heißgaszuführung und zur Zuführung von Kühlgas.According to the drawing, the device comprises a vacuum chamber marked with the general reference numeral 1 , which is essentially cylindrical, is arranged horizontally or vertically and has a vacuum-tight closing opening at one end. Arrangements are also provided for supplying hot gas and for supplying cooling gas.

Im Aufnahmeraum 2 einer Innenkammer 14 für das Härtegut 4, das beispielsweise chargenweise in Trägergestellen oder Kör ben zugeführt werden kann, befinden sich mehrere Heizelemen te 5 zur Erzeugung von Strahlungsenergie, und diese Heizele mente 5 sind so verteilt angeordnet, daß eine Strahlungsauf heizung der gesamten Charge möglich ist. Die Speisung der Heizelemente 5 erfolgt über Stromdurchführungen 13. In the receiving space 2 of an inner chamber 14 for the hardness 4 , which can be supplied, for example, in batches in support frames or Kör ben, there are several Heizelemen te 5 for generating radiation energy, and these Heizele elements 5 are arranged so that a radiation heating up the entire Batch is possible. The heating elements 5 are supplied via current feedthroughs 13 .

In den Wandungen des Härtegut-Aufnahmeraums 2 ist eine Viel zahl von Öffnungen oder Düsen 7 vorgesehen, die mit Heißgas oder Kühlgas gespeist werden können, wobei die Zuführung von Kühlgas über eine Leitung 6 und die Abführung über einen Auslaß 12 erfolgen kann. Aufgrund dieser Vielzahl von Düsen 7 ist es möglich, die jeweilige Charge von zu härtenden Gegenständen von den verschiedenen Seiten her Strömungen auszusetzen.In the walls of the hardness-receiving space 2 , a lot of openings or nozzles 7 are provided, which can be fed with hot gas or cooling gas, the supply of cooling gas via a line 6 and the discharge can take place via an outlet 12 . Because of this large number of nozzles 7 , it is possible to expose the respective batch of objects to be hardened from different sides.

Zur Aufnahme des Härtegutes 4 ist im Aufnahmeraum 2 bodensei tig zumindest eine tischartig ausgebildete Trägereinheit 3 vorgesehen, die sich auf einem Trägerlager 8 abstützt und drehbar gelagert ist.To accommodate the hardened material 4 , at least one table-shaped carrier unit 3 is provided in the receiving space 2 on the bottom side, which is supported on a carrier bearing 8 and is rotatably mounted.

Die Antriebsachse 11 dieser Trägereinheit 3 ist über eine vakuumdichte Durchführung 9 nach außen geführt und mit einem Antrieb 10 gekuppelt.The drive axis 11 of this carrier unit 3 is guided to the outside via a vacuum-tight feedthrough 9 and coupled to a drive 10 .

Dieser Antrieb 10 kann so ausgebildet sein, daß er die Trägereinheit 3 mit geringer Geschwindigkeit, beispielsweise einer Geschwindigkeit von etwa einer Umdrehung pro Minute an treibt, und es können Maßnahmen getroffen sein, um zusätz lich dieser Drehbewegung eine Auf- und Ab-Bewegung zu über lagern.This drive 10 can be designed so that it drives the carrier unit 3 at low speed, for example a speed of about one revolution per minute, and measures can be taken to add an up and down movement to this rotary movement to store.

Die erwähnte Drehzahl stellt dabei lediglich ein Beispiel dar, und es im möglich, die Rotationsbewegung und eine die ser Rotationsbewegung eventuell überlagerte Zusatzbewegung so zu wählen, daß sich in Abhängigkeit vom jeweiligen Betriebsfall die optimalen Ergebnisse erzielen lassen.The speed mentioned is only an example and it's possible the rotational movement and one the This rotational movement possibly superimposed additional movement to choose so that depending on the respective Let the operating case achieve the optimal results.

Wesentlich für die Funktionsweise des Erfindungsgegenstandes ist das Zusammenwirken zwischen der Vielzahl der ortsfest angeordneten Gaszuführöffnungen oder Düsen und den keine definierte Position im Härtegut-Aufnahmeraum einnehmenden, sondern ihre Lage stets bzw. häufig verändernden, zu härten den Gegenständen, da dieses Zusammenwirken zu überraschend vorteilhaften Ergebnissen hinsichtlich der Qualität der Härtung und der Minimierung von Verformungen führt, wobei Optimierungen durch die Wahl der Parameter, wie z. B. Bewe gungsgeschwindigkeit der zu härtenden Gegenstände und Dauer dieser Bewegungen, möglich sind.Essential for the functioning of the object of the invention is the interaction between the multitude of stationary arranged gas supply openings or nozzles and none occupies a defined position in the storage area for hard goods, but to harden their position, which is always or frequently changing the objects because this interaction is too surprising advantageous results in terms of quality of Leads to hardening and minimization of deformations, whereby Optimizations through the choice of parameters, such as B. Bewe speed of the objects to be hardened and duration of these movements are possible.

Zu erwähnen ist auch, daß in einem Härtegut-Aufnahmeraum neben einer oder mehreren erfindungsgemäßen Trägereinheiten zusätzlich auch Festaufnahmen für unproblematisch zu härtende Gegenstände vorgesehen sein können.It should also be mentioned that in a hardness storage room in addition to one or more carrier units according to the invention in addition, fixed shots for unproblematic too hardening objects can be provided.

Die Erfindung kann in besonders vorteilhafter Weise bei der Wärmebehandlung von Drehkörperteilen verwendet werden, und zwar beim Härten, Glühen, Löten und der Anwendung von Diffusionstechniken im Vakuumofen.The invention can be used in a particularly advantageous manner Heat treatment of rotating body parts are used, and while hardening, annealing, soldering and the application of Diffusion techniques in a vacuum furnace.

Die Trägereinheiten lassen sich auch in Form von Substratti schen ausbilden, die ein Be- und Entladen mit herkömmlichen Lade- und Entladevorrichtungen gestatten.The carrier units can also be in the form of substrates training that loading and unloading with conventional Allow loading and unloading devices.

Claims

1. A method for the heat treatment of objects in a vacuum oven, in particular for hardening, high-temperature soldering and annealing of preferably large-area and difficult-to-shape objects, in which the heat treatment of the objects during a heating phase by convection heat and / or radiation energy to a vorgeb bare Heated temperature, at least substantially maintained at this temperature for a certain period of time and then cooled in a cooling phase using a cooling gas passed through the furnace with predeterminable and preferably controllable cooling speed to a temperature which enables the objects to be unloaded, characterized in that that by changing the positioning of the objects arranged in the vacuum oven, at least during part of the heating and / or cooling phase, the heating and / or cooling gas flows to varying areas of the heat treatment z u objects and are distracted by these objects, especially in changing directions.

2. The method according to claim 1, characterized that the change in the positioning of the heat action to be subject to a conti Nuclear and / or discontinuous movement a carrier unit for the respective good relative to the Walls of a well-receiving chamber is made.

3. The method according to claim 2, characterized, that the carrier unit in a rotating motion is transferred.

4. The method according to claim 2, characterized, that the carrier unit in a linear reversal or pen del movement is offset.

5. The method according to any one of the preceding claims, characterized, that the carrier unit superimposed movement gene, especially in a superimposed rotation and Linear movement is offset.

6. The method according to any one of the preceding claims, characterized, that a rotational movement of the carrier unit Wobble is superimposed.

7. The method according to any one of the preceding claims, characterized, that the movement of the carrier unit depending on Temperature uniformity measurements of the heat action to be subject to good is controlled.

8. The method according to claim 7, characterized, that the temperature uniformity measurements using US formation of contact thermocouples, distance pyrometers and / or infrared sensors are made.

9. Apparatus for carrying out the method according to one or more of the preceding claims, consisting of a with which the heat treatment to be subjected to material to be loaded, horizontally or vertically extending vacuum chamber, an arrangement for hot gas supply and arranged in the chamber, generating radiation heat Heating elements and an arrangement for supplying cooling gas, both for supplying hot gas and cooling gas in particular, a lot of openings or nozzles opening into the goods receiving space is provided, characterized in that in the receiving space ( 2 ) for the heat treatment Good to be subjected to at least one movable support unit ( 3 ) for the objects to be treated ( 4 ) is provided, which is connected via a vacuum-tight guide ( 9 ) to an external drive ( 10 ).

10. The device according to claim 9, characterized in that the carrier unit ( 3 ) is driven rotating and / or raised and lowered.

11. The device according to claim 9 or 10, characterized in that the carrier unit ( 3 ) is table-shaped.

12. The apparatus according to claim 11, characterized in that the carrier unit ( 3 ) consists of at least two spaced th rods, of which at least one can be driven in rotation and which together form a receptacle for ring-shaped or cylindrical hardened material.

13. Device according to one of claims 9 to 12, characterized in that the receiving space ( 2 ) for the material to be subjected to the heat treatment is equipped with a plurality of movable support units ( 3 ), and that these support units ( 3 ) can be driven independently of one another .

14. Device according to one of claims 9 to 13, characterized in that the carrier unit ( 3 ) is movable relative to static, the radiation heating effecting heating elements.

15. The device according to one of claims 9 to 14, characterized, that intended for the support units bearing structure tion as low-wear and low-friction constructions are executed, in particular using of material pairings in the form of combinations metallic, ceramic and / or coated work substances that are at high temperature a high pressure have strength.