DE4300949C1 - Duales Mikrowelleninterferometer - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Mikrowelleninterferometer gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Mikrowelleninterferometer werden seit langer Zeit zur berührungslosen Dichtemessung in beliebigen gasförmigen Medien verwendet. Ihr Wirkungsprinzip beruht auf der Änderung der Phase einer ein Medium durchstrahlenden Mikrowelle im Vergleich zur Phase einer Referenzwelle. Der Objekt- und der Referenzstrahl werden üblicherweise in einem Mischer überlagert und die Phasendifferenz als Meßsignal ausgegeben. Die Mikrowelle, im Frequenzbereich von einigen 10 GHz, wird über Hohlleiter einerseits durch das Meßobjekt und andererseits über den Referenzzweig geführt. Die Mikrowellen-Strahlung wird durch eine niederfrequente Welle, z. B. von einem Sägezahngenerator, moduliert, so daß sich die Phase der Welle sehr genau mit Hilfe selektiver Verstärker bestimmen läßt.

Ein derartiges frequenzmoduliertes Interferometer ist z. B. in der Publikation von G. Lisitano: Rev. Sci. Instr. März 1965, Vol. 36, Nr. 3, S. 364-367 beschrieben. Dabei handelt es sich um ein Homodyn-Interferometer, das sowohl gegen mechanische Vibrationen in den Wellenleitern wie auch gegen Netzstörungen nicht kompensiert ist.

Die Mikrowelleninterferometrie kann u. a. dazu verwendet werden, die Elektronendichte technischer Niederdruckplasmen, wie sie z. B. für Beschichtungsvorgänge verwendet werden, zu bestimmen. Zur Erreichung einer hohen Auflösung (<10¹¹ cm^-3) reicht das nach der genannten Publikation arbeitende Verfahren nicht mehr aus, sondern neben dem Hauptoszillator wird ein hochstabilisierter Referenzoszillator benötigt.

Diese Vorgehensweise ist z. B. beschrieben in der Publikation von W. F. Cummins in "The Review of Scientific Instruments", Vol. 41, Nr. 2, Seiten 234-237. Bei dieser Vorrichtung wird ein nach dem Heterodynprinzip arbeitendes nicht-frequenzmoduliertes Interferometer verwendet, das zusätzlich einen frequenzgeregelten Lokaloszillator enthält. Durch Vorrichtungen dieser Art wird jedoch sowohl der herstellungstechnische Aufwand als auch die Störanfälligkeit des Interferometers erhöht.

Aus der DE-OS 38 28 049 ist ferner eine Vorrichtung bekannt, bei der über eine einfache Flip-Flop-Schaltung und einen nachgeschalteten Integrator eine zu einer Phasenverschiebung proportionale Spannung erzeugt wird, die einem A/D-Wandler zugeführt wird.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein eingangs beschriebenes Mikrowelleninterferometer derart weiterzuentwickeln, daß eine hohe Auflösung in der zu messenden Phasenverschiebung der Mikrowellenstrahlung bei geringem herstellungstechnischem Aufwand erreicht werden kann. Insbesondere soll ein Mikrowelleninterferometer angegeben werden, bei dem ohne Verwendung eines hochstabilisierten Referenzoszillators die Auflösung verbessert werden kann.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.

Mit der vorliegenden Erfindung wird ein neues Konzept zur Messung besonders kleiner Phasenverschiebungen von Mikrowellen angegeben. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht damit z. B. die Erfassung der besonders kleinen Elektronendichten von technischen Niederdruckplasmen. Dabei wird der üblichen Meßzweig-Referenzzweig-Anordnung eines Mikrowelleninterferometers nach dem Stand der Technik erfindungsgemäß ein zweiter Referenzzweig hinzugefügt, der es gestattet, winzige, z. B. durch Frequenzschwankungen der Mikrowellenquelle hervorgerufene Phasenjitter mit Hilfe einer Verzögerungsleitung zu detektieren und zu eliminieren. Dadurch werden hohe Phasenempfindlichkeiten erreicht, ohne daß eine aufwendige und teuere Referenzquelle verwendet werden muß. Darüber hinaus wird die Meßtechnik vorzugsweise dahingehend erweitert, daß die Modulation der Mikrowellenquelle und die Ermittlung der Phasenverschiebung durch den Einsatz eines PLL-Synthesizers netzkohärent durchgeführt werden und die Abtastung der einzelnen Phasendifferenzen digital erfolgt.

Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Mikrowelleninterferometer nach dem Stand der Technik;

Fig. 2 eine bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Mikrowelleninterferometers;

Fig. 3 Diagramme der Signale M1, M2 und D mit den Spannungsverläufen u₁₂(t), u₁₃(t), u_d(t).

Fig. 4 den Einsatz einer PLL-Schleife zur netzkohärenten Modulation und ebensolchen Abtastung der Phasendifferenz.

In Fig. 1 ist der übliche Aufbau eines Mikrowelleninterferometers nach dem Stand der Technik dargestellt. Eine Mikrowellenquelle 10, z. B. ein Reflex-Klystron, erzeugt eine Mikrowellenstrahlung mit einer Frequenz von einigen 10 GHz, die über Wellenleiter 11 bzw. 12 einerseits durch das Meßobjekt und andererseits über den Referenzzweig geführt wird. Die Wellenleiter sind zweckmäßigerweise als H₁₀-Mode- Rechteck-Hohlleiter ausgebildet. Die Mikrowellenquelle 10 wird durch einen Sägezahngenerator 13 angesteuert, der eine Sägezahnfrequenz im Bereich einiger kHz bis einiger 100 kHz erzeugt, mit der die Mikrowellenstrahlungsfrequenz moduliert wird. Unmittelbar hinter dem Ausgang der Mikrowellenquelle befindet sich eine Verzweigung 14, an der die Referenzstrahlung abgezweigt wird.

In der Leitung 11 liegt ein einstellbarer Phasenschieber 11D und ein einstellbares Dämpfungsglied 11c. In einer nachfolgenden ersten Wellenleiterstrecke 11A des ersten Wellenleiters 11 wird die Mikrowellenstrahlung einer ersten Hornantenne 15A zugeführt, in eine Meßkammer 16 abgestrahlt und von einer gegenüberliegenden Hornantenne 15B aufgefangen. Die Meßkammer 16 kann mit einem Meßobjekt 17, z. B. einem Plasma, gefüllt sein. In einer zweiten Wellenleiterstrecke 11B des Wellenleiters 11 wird die Mikrowellenstrahlung von der zweiten Hornantenne 15B einer Verzögerungsleitung 18 zugeführt und von dort einem ersten Eingang eines Mikrowellenmischers 19 zugeführt.

Die Referenzstrahlung wird an der Abzweigung 14 in einen zweiten Wellenleiter 12 abgezweigt und über ein einstellbares Dämpfungsglied 12c, einem zweiten Eingang des Mikrowellenmischers 19 zugeführt. Die beiden Ausgänge des Mikrowellenmischers 19 sind mit den Eingängen eines ersten selektiven, bei der Modulationsfrequenz arbeitenden Differenzverstärkers 101 verbunden. Einem zweiten selektiven, ebenfalls bei der Modulationsfrequenz arbeitenden Verstärker 102 wird an seinem ersten Eingang die Modulationsfrequenz von dem Sägezahngenerator 13 zugeführt. Der zweite Eingang des Verstärkers 102 ist an Masse angeschlossen. Die Ausgänge der beiden Differenzverstärker 101, 102 sind mit den Eingängen eines Phasenmessers 100 verbunden. Der erste Wellenleiter 11 weist darüber hinaus einen Phasenschieber 11D auf.

Mit einem derartigen Mikrowelleninterferometer kann die Elektronendichte technischer Niederdruckplasmen bestenfalls mit einer Auflösung von 10¹¹ cm^-3 bestimmt werden. Die Auflösung wird dabei hauptsächlich durch den Phasenjitter der Mikrowellenquelle 10, des Reflexklystrons, nach unten begrenzt.

Eine bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Mikrowelleninterferometers ist in Fig. 2 im Prinzip dargestellt. Sie enthält eine Mikrowellenquelle 10 in Form eines bei einer Frequenz von 35 GHz arbeitenden Reflex- Klystrons, das durch einen Sägezahngenerator 13 bei einer Frequenz von 2 kHz moduliert wird. Im Unterschied zu der Ausführungsform nach dem Stand der Technik (Fig. 1) weist das erfindungsgemäße Mikrowelleninterferometer insgesamt vier Wellenleiter 21-24 auf, von denen der erste Wellenleiter 21 sich in zwei Wellenleiterabschnitte 21A, 21B aufteilt, von denen einer (21A) von der Mikrowellenquelle 10 zu einer ersten Hornantenne 26A führt und eine Verzögerungsleitung 25 der Länge l_v enthält. Die Hornantenne 26A strahlt die Mikrowellenstrahlung in an sich bekannter Weise in eine Meßkammer 27 ab, die ein Meßobjekt 28, wie ein Plasma, enthalten kann, so daß die Strahlung nach Durchtritt durch das Meßobjekt von einer zweiten Hornantenne 26B aufgefangen werden kann. Die Hornantennen 26A, 26B, die Meßkammer 27 und das darin befindliche Meßobjekt 28 bilden eine Meßstrecke. Der zweite Wellenleiterabschnitt 21B des ersten Wellenleiters 21 besitzt eine Länge l₁₂ und führt von der zweiten Hornantenne 26B zu einem zweiten Eingang eines ersten Mikrowellenmischers 29. Weiterhin enthält der erste Wellenleiterabschnitt 21A Verzweigungen 21C-E, die zweckmäßigerweise als 3 dB-Koppler ausgebildet sind. An der Verzweigung 21C wird ein zweiter Wellenleiter 22 der Länge l₁₁ abgezweigt und einem ersten Eingang des ersten Mikrowellenmischers 29 zugeführt. An der Verzweigung 21D wird ein dritter Wellenleiter 23 der Länge l₂₁ abgezweigt und einem ersten Eingang eines zweiten Mikrowellenmischers 30 zugeführt. An der Verzweigung 21E wird ein vierter Wellenleiter 24 der Länge l₂₂ abgezweigt und einem zweiten Eingang des zweiten Mikrowellenmischers 30 zugeführt. Die Ausgänge der beiden Mikrowellenmischer 29, 30 sind jeweils mit den Eingängen von Differenzverstärkern 31, 32 verbunden. Die Ausgangssignale der Differenzverstärker 31, 32 werden selektiven, bei der Modulationsfrequenz arbeitenden Verstärkern 33, 34 zugeführt. Deren Ausgangssignale wiederum werden in eine Auswertungsschaltung 35 eingegeben und auf digitaler Basis weiterverarbeitet wie im folgenden noch erläutert werden wird. Die Bestimmung der Phasenverschiebung der Mikrowellenstrahlung in der Meßkammer erfolgt letztlich durch eine mit der Auswertungsschaltung 35 verbundene Pulsdauererfassungsschaltung 36.

Die Modulation der Mikrowellenstrahlung und die Ermittlung der Phasenänderung durch die Auswertungsschaltung 35 erfolgen netzkohärent unter Verwendung eines PLL-Synthesizers 40, der weiter unten anhand der Fig. 4 noch näher erläutert ist. Er liefert an einem Ausgang a ein 2kHz-Signal an den Sägezahngenerator 13 und an einem zweiten Ausgang b ein 50- Hz-Signal an die Auswertungsschaltung 35.

Im folgenden soll am Beispiel eines Prozeßplasmas als Meßobjekt die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung näher erläutert werden.

Die Frequenzmodulation des Reflex-Klystrons 10 erfolgt über den Sägezahngenerator 13 netzkohärent bei dem 40-fachen der Netzfrequenz.

ω_m = 2 · π · f_m = 80 · π · f_n (1)

Die dem Mikrowellenmischer 20 an seinem ersten Eingang zugeführte Mikrowelle hat bei der Mischung die Phase ϕ₁, während die seinem zweiten Eingang zugeführte Mikrowelle die Phasenlage ϕ₃ aufweist. Am zweiten Mikrowellenmischer 30 treten dagegen am ersten Eingang die Phase ϕ₁ und am zweiten Eingang die Phase ϕ₂ der zu mischenden Mikrowellenstrahlung auf. Die Phasen ϕ₁, ϕ₂ und ϕ₃ hängen mit den durch eine Verzögerungsleitung 25 der Länge l_v und durch das Plasma hervorgerufene Phasendifferenzen Δϕ_v bzw. Δϕ_plasma wie folgt zusammen:

ϕ₂ = ϕ₁+ϕ_v (2)

und

ϕ₃ = ϕ₂+Δϕ_plasma (3)

Vorausgesetzt ist hierbei, daß Phasendifferenzen durch unterschiedliche Hohlleiterlängen der beiden Referenzzweige

mit der Hohlleiterwellenlänge für einen Hohlleiter der (großen) Breite a

ausgeglichen werden. Dies läßt sich einfach dadurch erreichen, daß beim Aufbau der beiden Referenzzweige die geometrische Bedingung

l₁₂ - l₁₁ = l₂₂ - l₂₁ (6)

eingehalten wird. Die Ausgangssignale der beiden Mikrowellenmischer 29, 30 haben schließlich nach ihrem Durchgang durch die selektiven, bei der Modulationsfrequenz arbeitenden Verstärker 33, 34 die analogen Zeitverläufe

u_m1(t) = u₁₂(t) = k₁₂ · cos (ω_mt+ϕ₂ - ϕ₁) (7)

und

u_m2(t) = u₁₃(t) = k₁₃ · cos (ω_mt+ϕ₃ - ϕ₁) (8)

wobei k₁₂ und k₁₃ Konstanten sind. Die Phasendifferenzen in den Gln. (7) und (8) werden mit Hilfe der Gln. (2) und (3):

ϕ₂ - ϕ₁ = Δϕ_v (9)

und

ϕ₃ - ϕ₁ = Δϕ_v+Δϕ_plasma (10)

Man erkennt, daß diese Phasendifferenzen nur noch von der Phasenänderung Δϕ_v in der Verzögerungsleitung 25 und jener im Plasma Δϕ_plasma abhängen. Bildet man das Differenzsignal aus den Gln. (9) und (10), so erhält man eine direkte Meßgröße (Δϕ_plasma) für die Elektronendichte, wobei die Phasenverschiebung Δϕ_v, hervorgerufen durch den möglichen Frequenzjitter des Klystrons oder mechanische Instabilitäten der Meßapparatur, eliminiert wird.

Die Differenzbildung wird in der Auswertungsschaltung 35 auf digitaler Basis durchgeführt.

Wie in Fig. 3 ersichtlich, werden dazu die beiden Signale M1, M2 zunächst in rechteckförmige Signale û₁₂, û₁₃ umgewandelt und anschließend bezüglich der zeitlichen Position der positiven Flanken analysiert (D). Die gemessene Zeitdifferenz Δtϕ ist dann proportional zur vom Plasma hervorgerufenen Phasenverschiebung. Mit der beschriebenen Technik können Phasenverschiebungen entsprechend Δtϕ = 0.1 µs noch aufgelöst werden. Bei der verwendeten Modulationsfrequenz von 2 kHz ergibt sich die Empfindlichkeit des Interferometers von

Streifen oder weniger als 0.1°. Die Elektronendichte wird bestimmt, indem die Phasenmessungen abwechselnd bei ein- und ausgeschaltetem Plasma durchgeführt werden. Weiterhin ist der Einsatz dieser Apparatur als kontinuierlicher In-situ- Monitor in Echtzeit möglich, wenn die Änderung des Differenzsignales (D) fortlaufend aufgezeichnet wird.

Bei einer Frequenz von 35 GHz beträgt die "Cut-off-Dichte" (Plasmadichte, bis zu der sich Mikrowellen im Plasma ausbreiten können) n_eco = 1,5 · 10¹³ cm^-3. Die minimal meßbare Elektronendichteänderung ergibt sich unter Verwendung der Eccles-Beziehung zu

Die Meßgrenze liegt damit bei

Mit Hilfe der computerunterstützten Datenverarbeitung kann die erfindungsgemäße Vorrichtung auch vorteilhafterweise als In-situ-Monitor der Elektronendichte eingesetzt werden. Während des Beschichtungsvorgangs kann mit diesem Verfahren die Phasendifferenz Δϕ_plasma und damit die Elektronendichte kontinuierlich angezeigt werden. Die Monitorsignale lassen sich nun sowohl zur direkten und schnellen Plasmasteuerung als auch zu ausgedehnten Parameterstudien nutzen.

In Fig. 4 ist dargestellt, auf welche Weise die Datenerfassung in der Auswertungsschaltung 35 mit der Netzfrequenz synchronisiert wird. Diese Ausgestaltung der bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann auch in vorteilhafter Weise in Verbindung mit einem Mikrowelleninterferometer nach dem Stand der Technik eingesetzt werden. Der Einfachheit halber ist daher in der Fig. 4 ein solcher Mikrowelleninterferometer mit nur einem Referenzzweig dargestellt. Der PLL-Synthesizer 40 enthält eine Phasenvergleichsschaltung 41, ein Tiefpaßfilter 42, einen Spannungs/Frequenz-Wandler 43 und einen Frequenzteiler 44. Der Phasenvergleichsschaltung 41 werden zwei 50 Hz- Wechselstromsignale zugeführt, von denen eines dem Netz entnommen wird. Die Schaltung 41 gibt eine der Phasendifferenz zwischen den Signalen proportionale Spannung ab, die den Tiefpaß 42 durchläuft und dem Spannung-Frequenz-Wandler 43 zum Erzeugen der Modulationsfrequenz von 2 kHz zugeführt wird. Dieses Signal wird einerseits dem Sägezahngenerator 13 und andererseits einem Frequenzteiler 44 zugeführt, der wieder ein 50-Hz-Signal erzeugt, das sowohl der Auswertungsschaltung 35 als auch dem zweiten Eingang der Phasenvergleichsschaltung 41 zugeführt wird. Auf diese Weise wird ein Mikrowelleninterferometer mit netzkohärenter Modulation und netzkohärenter Ermittlung der Phasenverschiebung geschaffen.

Claims (9)

1. Mikrowelleninterferometer mit einer Mikrowellenquelle, die eine periodisch modulierte Mikrowellenstrahlung emittiert, und einem ersten Wellenleiter, der von der Mikrowellenquelle zu einem ersten Eingang eines ersten Mikrowellenmischers führt und eine Verzögerungsstrecke, eine Meßstrecke und eine vor der Meßstrecke befindliche erste Verzweigung enthält, an der ein zweiter Wellenleiter abzweigt, der zu einem zweiten Eingang des ersten Mikrowellenmischers führt, wobei die Mikrowellenstrahlung in der Meßstrecke eine Phasenverschiebung Δϕ_m erfährt, dadurch gekennzeichnet, daß die Verzögerungsstrecke (25) zwischen der Mikrowellenquelle (10) und der Meßstrecke (26A, 26B, 27, 28) liegt, und daß der erste Wellenleiter (21) vor der Verzögerungsleitung (25) eine zweite Verzweigung (21D) enthält, an der ein dritter Wellenleiter (23) abzweigt, der zu einem ersten Eingang eines zweiten Mikrowellenmischers (30) führt, und daß der erste Wellenleiter (21) zwischen der Verzögerungsstrecke (25) und der Meßstrecke eine dritte Verzweigung (21E) enthält, an der ein vierter Wellenleiter (24) abzweigt, der zu einem zweiten Eingang des zweiten Mikrowellenmischers (30) führt, und daß die Mikrowellenmischer (29, 30) mit einer die Phasenverschiebung Δϕ_m ermittelnden Schaltung (31-36) verbunden sind.

2. Mikrowelleninterferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schaltung (31-36) Differenzverstärker (31, 32), bei der Modulationsfrequenz arbeitende selektive Verstärker (33, 34), eine Auswertungsschaltung (35) und eine Pulsdauererfassungsschaltung (36) enthält,
daß der erste Mikrowellenmischer (29) zwei Ausgänge aufweist, die mit den beiden Eingängen eines Differenzverstärkers (31) verbunden sind, und
daß der Ausgang dieses Differenzverstärkers (31) mit dem Eingang eines selektiven Verstärkers (33) verbunden ist, dessen Ausgang mit dem ersten Eingang einer Auswertungsschaltung (35) zur Lieferung eines ersten Signals (M1) verbunden ist;
daß ferner der zweite Mikrowellenmischer (30) zwei Ausgänge aufweist, die mit den beiden Eingängen eines weiteren Differenzverstärkers (32) verbunden sind, dessen Ausgang mit dem Eingang eines selektiven Verstärkers (34) verbunden ist, der mit seinem Ausgang an den zweiten Eingang der Auswertungsschaltung (35) zur Lieferung eines zweiten Signals (M2) angeschlossen ist,
und daß die Auswertungsschaltung (35):

• - eine Vorrichtung zur Lieferung des ersten und zweiten Signals als Rechtecksignale (M1, M2) und
• - eine Vorrichtung zum Analysieren der relativen zeitlichen Position der positiven Flanken der Rechtecksignale (M1, M2) und Erzeugen von dritten Rechtecksignalen (D), deren Pulsdauer gleich der Verzögerungszeit zwischen den positiven Flanken der ersten und zweiten Rechtecksignale Signale (M1, M2) ist, enthält und mit einer Pulsdauererfassungsschaltung (36) zum Erfassen der Pulsdauer der dritten Rechtecksignale (D) verbunden ist.

3. Mikrowelleninterferometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulation der Mikrowellenquelle (10) netzkohärent erfolgt.

4. Mikrowelleninterferometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ermittlung der Phasenverschiebung Δϕ_m netzkohärent erfolgt.

5. Mikrowelleninterferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine phasenverriegelte Schleife (40), die eine Phasenvergleichsschaltung (41), ein Tiefpaßfilter (42), einen Spannungs-Frequenz-Wandler (43) und einen Frequenzteiler (44) enthält, wobei die Phasenvergleichsschaltung (41) zwei Eingänge aufweist, dessen erstem ein dem Stromnetz entnommenes 50-Hz-Wechselstromsignal und dessen zweitem ein der phasenverriegelten Schleife (40) entnommenes 50 Hz-Wechselstromsignal zugeführt werden und die Phasenvergleichsschaltung (41) eine der Phasendifferenz proportionale Spannung erzeugt, die über das Tiefpaßfilter (42) dem Spannungs-Frequenz-Wandler (43) zugeführt wird, der ein Modulationsfrequenzsignal erzeugt, das dem Frequenzteiler (44) und dem Sägezahngenerator (13) zugeführt wird, wobei der Frequenzteiler (44) ein 50-Hz- Wechselstromsignal erzeugt, das dem zweiten Eingang der Phasenvergleichsschaltung (41) und der Auswertungsschaltung (35) zugeführt wird.

6. Mikrowelleninterferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Wellenleiter (21) einen von der Mikrowellenquelle (10) bis zum Anfang der Meßstrecke (26A, 26B, 27, 28) reichenden ersten Wellenleiterabschnitt (21A) und einen von dem Ende der Meßstrecke bis zum Mikrowellenmischer (29) reichenden zweiten Wellenleiterabschnitt (21B) der Länge l₁₂ enthält, daß der zweite Wellenleiter (22) die Länge l₁₁′ der dritte Wellenleiter (23) die Länge l₂₁ und der vierte Wellenleiter (24) die Länge l₂₂ aufweisen und daß die geometrische Bedingung l₁₂-l₁₁ = l₂₂-l₂₁ erfüllt ist.

7. Mikrowelleninterferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßstrecke (26A, 26B, 27, 28) Hornantennen (26A, 26B), eine Meßkammer (27) und ein in der Meßkammer befindliches Meßobjekt (28) enthält.

8. Mikrowelleninterferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßobjekt (28) ein Plasma ist.

9. Mikrowelleninterferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrowellenquelle (10) ein Reflex-Klystron ist.