DE4242616C2 - Verfahren zur Herstellung von Kapillaren sowie deren Verwendung für eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Strahls beschleunigter Ionen und/oder Atome - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Kapillaren sowie deren Verwendung für eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Strahls beschleunigter Ionen und/oder AtomeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Kapillaren
aus elektrisch isolierendem Material und die Verwendung
dieser Kapillaren für eine Vorrichtung zum Erzeugen
eines Stahls beschleunigter Ionen und/oder Atome,
bestehend aus
- (a) einer Kapillare, durch die ein zu ionisierendes Gas geleitet wird, das der Kapillare durch eine Gaszufuhreinrichtung zugeführt wird,
- (b) einer in die Kapillare eingeführten Elektrode und
- (c) einer Gegenelektrode.
Kapillaren werden üblicherweise durch
Ziehen aus beispielsweise Glasmaterial
hergestellt, vgl. DE 31 06 045 A1.
In dem Artikel "Kapillaritron-Ionenquelle als Trioden
system mit Fokussierungsoptik" von R. Hanke, H. Knapp,
S. Wege und H. Niedrig in BEDO 23 (1990) auf S. 335 ff.
wird ein Kapillaritron vorgestellt, das mit einer in
eine Messinghülse eingeklebten, aus Duranglas gezogenen
Kapillare ausgestattet ist. In die Glaskapillare wird
eine Metallnadel als Elektrode eingeführt. Zwischen der
Metallnadel und der durchbohrten Gegenelektrode wird
eine Hochspannung angelegt. Dadurch zündet in der
Kapillare ein Plasma, aus dem Ionen extrahiert werden.
Damit dieses Kapillaritron stabil arbeitet, muß der
Abstand zwischen Glaskapillare und Gegenelektrode vor
dem Betrieb so klein wie möglich eingestellt werden.
In "Large Ion Beams" von A.T. Forrester, Verlag John
Wiley & Sons, 1988, S. 184 ff. ist ein Kapillaritron
beschrieben, das mit einer Wolframkapillare mit einem
Innendurchmesser von höchstens 50 µm arbeitet. Durch die
Kapillare wird ein zu ionisierendes Gas geleitet. Das
Ende der Kapillare befindet sich in der Öffnung einer
Gegenelektrode. Zwischen der Kapillare und der Gegen
elektrode wird eine Hochspannung angelegt. Dadurch
zündet in der Kapillare ein Plasma, aus dem Ionen
extrahiert werden.
In dem Artikel "A Simple and Inexpensive Ion Beam
Sputter Deposition System" von G. Gillen, R.M. Thomas
und P. Williams in J. Vac. Sci. Technol. A5 (5) von
Sept./Okt. 1987 auf S. 2972f. wird eine Zerstäubungs
anlage beschrieben, bei der das Kapillaritron als
Ionenquelle benutzt wird. Es wird auch erwähnt, daß die
Gegenelektrode selbst das zu zerstäubende Material
ausmachen kann, wobei der Abstand zwischen Kapillare und
Gegenelektrode bei ungefähr 1 mm liegt.
Die Verwendung von Kapillaren aus Metall, z. B. Wolfram,
ist sehr aufwendig. Zum einem ist die Herstellung sehr
teuer und zum anderen ist die Kapillare einem hohen
Verschleiß unterworfen, so daß sie öfter ausgewechselt
werden muß.
Zwar lassen sich Glaskapillaren mit erheblich weniger
Aufwand durch Ziehen herstellen, jedoch sind solche
Kapillaren für die Verwendung in einem Kapillaritron
ungeeignet, da sie während des Brennens des Plasmas
thermisch und mechanisch zu stark beansprucht werden und
dadurch zerstört werden können.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung
von Kapillaren anzugeben,
die nicht durch Ziehen
hergestellt werden.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß
- (a) ein Metalldraht in ein Rohr aus elektrisch isolierendem Material eingeschmolzen wird,
- (b) das Rohr in einen mit einer elektrolytischen Flüssigkeit versehenen Behälter eingeführt wird und
- (c) der Draht anschließend elektrochemisch aus dem Rohr wieder herausgeätzt wird, wobei das Herausätzen durch Anlegen einer Wechselspannung zwischen dem Draht als erster Elektrode und einer in die elektrolytische Flüssigkeit eingeführten, zweiten Elektrode erfolgt.
Ausgehend von dem Kapillaritron mit einer Kapillare aus
Duranglas, scheint es auf den ersten Blick naheliegend
zu sein, statt Duranglas Quarz für die Herstellung der
Kapillaren zu verwenden, da Quarz sowohl thermisch als
auch mechanisch widerstandsfähiger ist. Jedoch ist es
dem Fachmann in keinster Weise geläufig, aus Quarzrohren
Quarzkapillaren mit einem Öffnungsdurchmesser im Bereich
von 10-50 µm herzustellen.
Wenn, wie es dem Fachmann geläufig ist, zwischen dem eingeschmolzenen Draht und der zweiten
Elektrode eine Gleichspannung angelegt wird, setzt sich
der durch das Herausätzen entstehende Kanal mit
weggeätztem Material zu und läßt nach kurzer Zeit kein
weiteres Ätzen mehr zu. Wenn jedoch zwischen dem
eingeschmolzenen Draht und der zweiten Elektrode eine
Wechselspannung angelegt wird, bilden sich während der
nicht zum Ätzen beitragenden Phase der Wechselspannung
im Kanal in der Nähe des Drahtendes Gasblasen, die das
weggeätzte Material aus dem Kanal heraustragen können.
Damit ist der Kanal vom weggeätzten Material wieder
befreit, und ein Weiterätzen des Drahtes während der
Ätzphase der Wechselspannung kann stattfinden. Mit
diesem Verfahren ist es z. B. möglich, Kapillaren mit
Kanälen mit definiertem Innendurchmesser von weniger als
10 µm und einer Länge von größer als 2 mm herzustellen.
Da das Plasma hauptsächlich in den Kanal mit kleinem Durch
messer brennt, ist die Länge des Kanals von besonderer Bedeutung.
Da die Gasblasen in der Flüssigkeit nach oben steigen,
wird das Heraustragen des weggeätzten Materials
begünstigt, wenn das Rohr von unten in den Behälter
eingeführt.
Durch Erwärmen der elektrolytischen Flüssigkeit kann das
Ätzen beschleunigt bzw. in Gang gesetzt werden.
Um Verglühen des Drahtes zu vermeiden, kann das
Einschmelzen des Drahtes in das Rohr unter Vakuum oder
mit unter Schutzgasatmosphäre, z. B. Argon, erfolgen.
Wenn das Rohr während des Einschmelzens des Drahtes
evakuiert wird, schmiegt sich die Kapillarenwand dem
Draht sehr gut an.
Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Verwendung ist nachstehend
unter Bezug auf die zugehörigen Zeichnungen näher
erläutert.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer
Ausführungsform der Erfindung und zeigt die
Anordnung von Quarzkapillare und durchbohrter
Gegenelektrode.
Fig. 2 ist eine schematische Darstellung einer
vollständigen Ausführung eines Quarz-
Kapillaritrons zum Anflanschen an eine
Hochvakuumkammer.
In Fig. 1 ist mit 10 eine Quarzkapillare dargestellt. In
diese Quarzkapillare 10 ist ein Anodendraht 12, z. B. aus
Wolfram, als Elektrode eingeführt. Zwischen dem Anoden
draht 12 und einer geerdeten Extraktionskathode 14 als
Gegenelektrode wird eine Hochspannung Ub angelegt, so
daß ein Plasma 16 zünden kann, wenn ein Gas, z. B. Argon,
durch die Kapillare geleitet wird. Damit wird jenseits
der Extraktionskathode 14 ein Ionen-/Atomstrahl erzeugt.
In Fig. 2 ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung
dargestellt. Entsprechende Teile sind mit den gleichen
Bezugszeichen versehen wie in Fig. 1. Die zentrisch
durchbohrte Extraktionskathode 14 ist über Verbindungs
schrauben 18 an einem Flansch 20 zum Anflanschen an eine
nicht dargestellte Hochvakuumkammer befestigt und
geerdet. Die Quarzkapillare 10 ist an einem Anodenkörper
22 befestigt, mit dem der Anodendraht 12 in elektrischem
Kontakt steht und in einem Abschirmzylinder 30
verschiebbar geführt ist. Die positive Hochspannung wird
über ein Hochspannungskabel 24 und einen in einen
Isolator 26 eingeschraubten Stecker 28 an den zur
elektrischen Abschirmung der Quarzkapillaren 10 dienen
den Abschirmzylinder 30 angelegt. Dieser Abschirm
zylinder 30 steht über den Anodenkörper 22 in elektri
schem Kontakt mit dem Anodendraht 12. Die Quarz
kapillare 10 wird mit einem Nutring 32 gegen den
Abschirmzylinder 30 gedichtet. Der in einer Anodenhülse
34 befestigte Anodenkörper 22 kann durch Schrauben der
Anodenhülse 34 auf den Isolator 26 in axialer Richtung
verschoben werden. Hinter dem Anodenkörper 22 befindet
sich ein Plexiglaszylinder 36, in dem eine geerdete
Messinghülse 38 vakuumdicht befestigt ist. Das zu
ionisierende Argongas wird der Quarzkapillare 10 durch
einen Gasschlauch 40 zugeführt. An dem der Extraktions
kathode 14 zugewandten Ende der Quarzkapillaren 10 ist
eine Teflonscheibe 42 befestigt. Diese Teflonscheibe 42
dient als Schutz vor zerstäubtem Material z. B. aus der
Extraktionselektrode 14.
Die Vorrichtung arbeitet wie folgt:
Mittels eines nicht dargestellten Gasdurchflußreglers wird der Argondurchfluß durch die Quarzkapillare 10 auf einen gewünschten Wert (z. B. 1-10 sccm/min, sccm = Standard-Kubikzentimeter) eingestellt. Nach dem Ein schalten der Hochspannung zündet zwischen dem Anoden draht 12 und der Extraktionskathode 14 ein Plasma und positiv geladene Ionen werden in Richtung der Extrak tionselektrode 14 beschleunigt. Diese Ionen können aus einer Öffnung 44 in der Extraktionselektrode 14 aus treten, wobei diese Öffnung 44 einen Durchmesser von beispielsweise 1 mm haben kann.
Mittels eines nicht dargestellten Gasdurchflußreglers wird der Argondurchfluß durch die Quarzkapillare 10 auf einen gewünschten Wert (z. B. 1-10 sccm/min, sccm = Standard-Kubikzentimeter) eingestellt. Nach dem Ein schalten der Hochspannung zündet zwischen dem Anoden draht 12 und der Extraktionskathode 14 ein Plasma und positiv geladene Ionen werden in Richtung der Extrak tionselektrode 14 beschleunigt. Diese Ionen können aus einer Öffnung 44 in der Extraktionselektrode 14 aus treten, wobei diese Öffnung 44 einen Durchmesser von beispielsweise 1 mm haben kann.
Während des Betriebes können sowohl die Gasart als auch
der Gasdurchfluß, die Hochspannung und der Abstand zwischen
der Quarzkapillare 10 und der Extraktionselektrode
14 verändert werden, um die Betriebsparameter der Ionen
quelle zu verändern, insbesondere um diese zu opti
mieren.
In einer zweiten, in den Zeichnungen nicht dargestellten
Ausführungsform wird die Erfindung als Zerstäubungs
anlage verwendet. Die Extraktionselektrode 14 wird nicht
durchbohrt, so daß der aus der Quarzkapillare 10
austretende Ionenstrahl direkt auf zu zerstäubendes
Material trifft. Dieses Material kann sich dann auf
Trägern niederschlagen, die beispielsweise an der
Teflonscheibe 42 befestigt sind.
Die Kapillare 10 kann mittels eines Verfahrens
hergestellt werden, bei dem ein Metalldraht, z. B. aus
Wolfram, in ein mit Schutzgas (z. B. Argon) gefülltes
oder evakuiertes Rohr eingeschmolzen wird. Das Rohr wird
anschließend in einen mit einer elektrolytischen
Flüssigkeit (z. B. 4molare Kalilauge) versehenen Behälter
eingeführt und der Draht kann danach elektrochemisch
herausgeätzt werden. Dieses Herausätzen erfolgt durch
Anlegen einer Wechselspannung von z. B. 80 V zwischen dem
Draht als erster Elektrode und einer in die elektro
lytische Flüssigkeit eingeführten, zweiten Elektrode
(z. B. aus Platin). Zur Beschleunigung des Ätzvorganges
wird das Rohr von unten in den Behälter eingeführt, so
daß entstehende Gasbläschen durch den Eigenauftrieb nach
oben entweichen können und dabei gleichzeitig wegge
ätztes Material aus dem Kanal entfernen. Weiterhin kann
das Ätzen dadurch beschleunigt werden, daß die elektro
lytische Flüssigkeit z. B. auf 80°C erwärmt wird.
Claims (6)
1. Verfahren zur Herstellung von Kapillaren aus
elektrisch isolierendem Material,
dadurch gekennzeichnet, daß
- (a) ein Metalldraht in ein Rohr aus diesem Material eingeschmolzen wird,
- (b) das Rohr in einen mit einer elektrolytischen Flüssigkeit versehenen Behälter eingeführt wird und
- (c) der Draht anschließend elektrochemisch aus dem Rohr wieder herausgeätzt wird, wobei das Herausätzen durch Anlegen einer Wechselspannung zwischen dem Draht als erster Elektrode und einer in die elektrolytische Flüssigkeit eingeführten, zweiten Elektrode erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Rohr von unten in den Behälter eingeführt
wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die elektrolytische Flüssigkeit
erwärmt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß das Einschmelzen des Drahtes in
das Rohr unter Vakuum oder unter Schutzgasatmo
sphäre erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß das
elektrisch isolierende Material Quarz ist.
6. Verwendung der nach einem der Ansprüche 1 bis 5
hergestellten Kapillare für eine
Vorrichtung zum Erzeugen eines Strahles
beschleunigter Ionen und/oder Atome, bestehend aus
- (a) einer Kapillare, durch die ein zu ionisierendes Gas geleitet wird, das der Kapillare durch eine Gaszufuhreinrichtung zugeführt wird,
- (b) einer in die Kapillare eingeführten Elektrode und
- (c) einer Gegenelektrode.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE9218956U DE9218956U1 (de) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | Vorrichtung zum Erzeugen eines Strahls beschleunigter Ionen und/oder Atome |
DE19924242616 DE4242616C2 (de) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | Verfahren zur Herstellung von Kapillaren sowie deren Verwendung für eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Strahls beschleunigter Ionen und/oder Atome |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE4242616A1 DE4242616A1 (de) | 1994-06-23 |
DE4242616C2 true DE4242616C2 (de) | 1996-06-13 |
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DE (1) | DE4242616C2 (de) |
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DE10047688B4 (de) * | 2000-09-24 | 2004-10-28 | Roentdek-Handels Gmbh | Ionenquelle |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3106045A1 (de) * | 1980-09-18 | 1982-05-06 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | "verfahren und vorrichtung zur herstellung von kapillarroehrchen aus glas oder quarz" |
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1992
- 1992-12-14 DE DE19924242616 patent/DE4242616C2/de not_active Expired - Fee Related
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DE4242616A1 (de) | 1994-06-23 |
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