DE4239456A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von OberflächenInfo
- Publication number
- DE4239456A1 DE4239456A1 DE4239456A DE4239456A DE4239456A1 DE 4239456 A1 DE4239456 A1 DE 4239456A1 DE 4239456 A DE4239456 A DE 4239456A DE 4239456 A DE4239456 A DE 4239456A DE 4239456 A1 DE4239456 A1 DE 4239456A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- line
- inspection system
- section
- surface inspection
- minimum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 44
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 claims description 25
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 241000218225 Trema Species 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- ONIBWKKTOPOVIA-BYPYZUCNSA-N L-Proline Chemical compound OC(=O)[C@@H]1CCCN1 ONIBWKKTOPOVIA-BYPYZUCNSA-N 0.000 description 1
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 1
- ONIBWKKTOPOVIA-UHFFFAOYSA-N Proline Natural products OC(=O)C1CCCN1 ONIBWKKTOPOVIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 229960002429 proline Drugs 0.000 description 1
- 235000013930 proline Nutrition 0.000 description 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8896—Circuits specially adapted for system specific signal conditioning
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Inspektion von Ober
flächen zu untersuchender Materialien, bei dem die Oberflä
che durch einen optischen Meßaufnehmer zeilenweise abgeta
stet und das vom Meßaufnehmer gelieferte Signal verarbeitet
wird, um Information über die Oberflächenbeschaffenheit des
zu untersuchenden Materials zu erhalten.
Weiterhin betrifft die Erfindung ein Oberflächeninspektions
system mit einem die Oberflächenstruktur eines zu untersu
chenden Materials zeilenweise erfassenden optischen Meßauf
nehmer, insbesondere einem Laserscanner oder einer Videokame
ra, und einer das vom Meßaufnehmer gelieferte Signal verar
beitenden Signalauswerteinheit.
Derartige Verfahren bzw. Systeme werden beispielsweise zur
Erkennung von Oberflächenfehlern bei der Herstellung oder
Bearbeitung von Metall-, Papier- und Textilbahnen verwendet.
Es wird hierbei beispielsweise das auf einem Förderband
transportierte Material an einem die Oberfläche dieses Mate
rials zeilenweise erfassenden Meßaufnehmer vorbeitranspor
tiert, wobei dieser Meßaufnehmer ein für die Materialoberflä
che repräsentatives Signal liefert, das anschließend von
einer Fehlererkennungseinheit ausgewertet wird.
Bei diesen Systemen wird es als nachteilig empfunden, daß
sie entweder mit einer nicht ausreichend hohen Auflösung ar
beiten, wodurch die Zuverlässigkeit der Systeme einge
schränkt wird und somit eine sichere Fehlererkennung nicht
gewährleistet werden kann, oder daß zwar eine die sichere
Fehlererkennung gewährleistende hohe Auflösung gegeben ist,
diese jedoch nur mit hohem fertigungstechnischen Aufwand
erzielt werden kann, wodurch die Wirtschaftlichkeit des
Systems erheblich gemindert wird.
Weiterhin kann es problematisch sein, sich über eine bestimm
te Fläche erstreckende Fehlermuster in der Materialoberflä
che zu erkennen, da zu diesem Zweck einerseits eine das Feh
lermuster abdeckende Anzahl von Abtastzeilen gespeichert wer
den muß und andererseits auch sicherzustellen ist, daß eine
nachträgliche Zuordnung der einzelnen Abtastzeilen zu deren
Position auf der untersuchten Materialoberfläche erfolgen
kann, was insbesondere dann problematisch ist, wenn das zu
untersuchende Material nicht mit konstanter Geschwindigkeit
am Meßaufnehmer vorbeitransportiert wird.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein
Verfahren zur Inspektion von Oberflächen bzw. ein Oberflä
cheninspektionssystem zu schaffen, mit dem kleine Oberflä
chenfehler mit hoher Wahrscheinlichkeit bei geringem wirt
schaftlichen Aufwand erkennbar sind.
Insbesondere soll mit einem derartigen Verfahren bzw. System
auch die zuverlässige Erkennung von Oberflächen- oder Fehler
mustern möglich sein, die sich über einen von mehreren Ab
tastzeilen erfaßten Bereich der Materialoberfläche er
strecken.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren wird diese Aufgabe da
durch gelöst, daß die erfaßten Zeilen jeweils abschnittswei
se verarbeitet werden, indem für jeden Abschnitt jeweils der
Mittelwert, das Maximum und/oder das Minimum sowie ein für
den Abschnitt repräsentativer und zur Weiterverarbeitung ge
langender Zwischenwert ermittelt werden, welcher für den
Fall, daß das Maximum bzw. das Minimum außerhalb einer sich
um den Mittelwert erstreckenden vorgegebenen Toleranzzone
liegt, gleich dem Maximum bzw. Minimum, anderenfalls gleich
dem Mittelwert ist.
Durch das erfindungsgemäße Oberflächeninspektionssystem wird
die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe dadurch gelöst,
daß die Signalauswerteeinheit eine der Datenreduktion dienen
de Vorverarbeitungsstufe umfaßt, in der die erfaßten Zeilen
jeweils abschnittsweise verarbeitet werden, indem für jeden
Abschnitt jeweils der Mittelwert, das Maximum und/oder das
Minimum sowie ein für den Abschnitt repräsentativer und zur
Weiterverarbeitung gelangender Zwischenwert ermittelt wer
den, welcher für den Fall, daß das Maximum bzw. das Minimum
außerhalb einer sich um den Mittelwert erstreckenden vorge
gebenen Toleranzzone liegt, gleich dem Maximum bzw. Minimum,
anderenfalls gleich dem Mittelwert ist.
Bei einem bevorzugten erfindungsgemäßen Verfahren werden die
vom optischen Meßaufnehmer gelieferten Analogsignale in Digi
talwerte gewandelt, wobei jedem erfaßten Zeilenabschnitt je
weils eine vorgegebene Anzahl von Digitalwerten zugeordnet
wird. Pro Zeilenabschnitt können beispielsweise zwei, vier
oder auch mehr Digitalwerte ermittelt werden.
Aus den zu einem Zeilenabschnitt gehörenden Digitalwerten
kann dann rechnerisch jeweils deren Mittelwert, deren Maxi
mum und deren Minimum ermittelt werden. Aus diesen Werten
und der Größe der vorgegebenen Toleranzzone läßt sich dann
wiederum der den jeweiligen Zeilenabschnitt repräsentierende
Zwischenwert berechnen. Somit liegt für jeden Zeilenab
schnitt nur noch genau ein repräsentativer digitaler Zwi
schenwert vor, welcher von einer digitalen Signalverarbei
tungsstufe weiter verarbeitet werden kann.
Die Größe der Toleranzzone läßt sich bei einer vorteilhaften
Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens auf die je
weiligen Anforderungen und Umgebungsbedingungen einstellen.
Auf diese Weise lassen sich beispielsweise dem vom Meßaufneh
mer gelieferten Signal über lagerte Rauscheinflüsse oder Stör
lichtauswirkungen eliminieren. Auf vorteilhafte Weise kann
die Toleranzzone hierbei auch dynamisch eingestellt werden,
indem die Größe der Toleranzzone demjenigen Rauschsignal an
gepaßt wird, das dem Meßsignal in zum gerade erfaßten Ab
schnitt benachbarten Abschnitten überlagert ist.
In bestimmten Anwendungsfällen ist es wünschenswert, Oberflä
chenmuster auf der untersuchten Materialoberfläche zu erken
nen, die sich über mehrere Abtastzeilen ausdehnen. Zu diesem
Zweck müssen bei der Signalauswertung zumindest soviele Ab
tastzeilen untersucht und miteinander verglichen werden, daß
gewährleistet ist, daß das zu erkennende Oberflächenmuster
von den gemeinsam untersuchten Abtastzeilen vollständig über
deckt wird. Hierfür ist es nötig, die Zwischenwerte einer
entsprechenden Anzahl von Abtastzeilen zu speichern, um so
einen Vergleich dieser Werte zu ermöglichen.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungs
gemäßen Verfahrens wird das zu untersuchende Material am op
tischen Meßaufnehmer mittels einer Vorschubeinrichtung, bei
spielsweise eines Förderbandes vorbeibewegt. Ausschlaggebend
ist hierbei die Relativbewegung zwischen Meßaufnehmer und zu
untersuchendem Material, so daß es auch möglich ist, das zu
untersuchende Material ortsfest zu halten und den Meßaufneh
mer am Material vorbei zu bewegen. Die Relativbewegung von
zu untersuchendem Material und Meßaufnehmer verläuft vorzugs
weise senkrecht zur Richtung einer Abtastzeile.
Für die Erkennung von Oberflächen- oder Fehlermustern muß
bei der Signalauswertung eine Information darüber vorliegen,
an welcher Stelle des untersuchten Materials sich eine für
ein Oberflächenmuster signifikante Markierung bzw. ein Feh
ler, der Bestandteil des Fehlermusters ist, befindet. Durch
das Abspeichern der Abtastzeilen kann ohne Schwierigkeiten
festgestellt werden, an welcher Position innerhalb der Ab
tastzeile eine Markierung bzw. ein Fehler aufgetreten ist.
Hinsichtlich der Position senkrecht zur Richtung der
Abtastzeilen, d. h. beispielsweise in Vorschubrichtung, muß
bei der Signalauswertung aus der Zeilenabtastfrequenz und
der Vorschubgeschwindigkeit der örtliche Abstand von jeweils
zwei aufeinanderfolgenden Abtastzeilen ermittelt oder kon
stant gehalten werden. Dies ist unproblematisch, wenn Vor
schubgeschwindigkeit und Zeilenabtastfrequenz konstant sind,
da dann pro Vorschubeinheit immer eine konstante Anzahl von
Abtastzeilen ermittelt wird und die Ermittlung einer Fehler-
oder Markierungsposition in Vorschubrichtung ohne Schwierig
keiten zu bewerkstelligen ist.
In bestimmten Anwendungsfällen kommt es jedoch vor, daß zwar
mit konstanter Zeilenabtastfrequenz gearbeitet wird, die Vor
schubgeschwindigkeit jedoch nicht konstant gehalten werden
kann oder bewußt variiert wird.
Bei einem bevorzugten erfindungsgemäßen Verfahren läßt sich
die Position einer Markierung bzw. eines Fehlers in Vorschub
richtung dennoch exakt feststellen, indem die erfaßten Ab
tastzeilen in der Weise vorverarbeitet werden, daß konstant
eine vorgegebene Anzahl von Abtastzeilen pro Vorschubeinheit
zur Weiterverarbeitung gelangt.
Dies läßt sich beispielsweise dadurch bewerkstelligen, daß
festgelegt wird, daß pro Vorschubeinheit, welche einer be
stimmten Vorschubstrecke entspricht, genau eine Abtastzeile
zur Weiterverarbeitung gelangt, wobei die erste während
einer Vorschubeinheit ermittelte Zeile gespeichert wird,
diese Zeile von eventuell innerhalb derselben Vorschubein
heit folgenden Abtastzeilen überschrieben wird und schließ
lich am Ende einer Vorschubeinheit die jeweils im Speicher
befindliche Abtastzeile zur Weiterverarbeitung gelangt. Auf
diese Weise wird immer jeweils die während einer Vorschubein
heit zuletzt erfaßte Abtastzeile weiterverarbeitet.
Weiterhin ist es auch möglich, alle während einer Vorschub
einheit erfaßten Abtastzeilen zu speichern, miteinander zu
vergleichen und entsprechend einem vorgegebenen Algorithmus
zu einer einzelnen Abtastzeile zusammenzufassen, die dann
zur Weiterverarbeitung gelangt.
So könnte beispielsweise die erste während einer Vorschubein
heit erfaßte Abtastzeile gespeichert und der Algorithmus so
ausgelegt werden, daß die Maxima bzw. Minima dieser ersten
gespeicherten Zeile von betragsmäßig größeren, an der ent
sprechenden Zeilenposition befindlichen Maxima bzw. Minima
der innerhalb derselben Vorschubeinheit folgenden Zeilen
überschrieben werden. Ebenso werden gespeicherte Mittelwerte
überschrieben, wenn an der entsprechenden Position innerhalb
einer Abtastzeile bei der darauffolgenden Zeile ein Maximum
bzw. ein Minimum folgt.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsge
mäßen Oberflächeninspektionssystems ist die Vorverarbeitungs
stufe, in der die erfaßten Zeilen abschnittsweise verarbei
tet werden, als mikroprozessorgesteuerte Datenverarbeitungs
einheit ausgebildet, wobei die vom optischen Meßaufnehmer ge
lieferten Signale zumindest einen A/D-Wandler durchlaufen
und anschließend als digitalisierte Signale der Vorverarbei
tungsstufe zugeführt werden.
Vorzugsweise umfaßt die Vorverarbeitungsstufe zwei A/D-Wand
ler. Der erste A/D-Wandler dient der Erfassung der Mittelwer
te der einzelnen Zeilenabschnitte, wobei diesem A/D-Wandler
das vom Meßaufnehmer gelieferte Signal über einen mittelwert
bildenden Tiefpaß zugeführt ist. Die Abtastfrequenz dieses
ersten A/D-Wandlers ist dabei so gewählt, daß der A/D-Wand
ler pro erfaßtem Zeilenabschnitt mit genau einem Taktsignal
beaufschlagt ist, wodurch am Ausgang dieses A/D-Wandlers pro
erfaßtem Zeilenabschnitt jeweils genau ein Mittelwert an
liegt.
Dem zweiten A/D-Wandler wird das vom Meßaufnehmer gelieferte
Signal zugeführt, ohne daß es zuvor den dem ersten A/D-Wand
ler vorgeschalteten Tiefpaß durchläuft. Dieser zweite
A/D-Wandler ist mit mindestens der doppelten, vorzugsweise
der vierfachen Taktfrequenz des ersten A/D-Wandlers getak
tet, wodurch an seinem Ausgang pro erfaßtem Zeilenabschnitt
mindestens zwei, vorzugsweise vier den Verlauf des vom Meß
aufnehmer gelieferten Signals innerhalb eines Zeilenab
schnitts repräsentierende Digitalwerte anliegen.
Die Taktfrequenz des ersten A/D-Wandlers ist bevorzugt an
den Verarbeitungstakt der auf die Vorverarbeitungsstufe
folgenden Signalverarbeitungsstufe angepaßt und beträgt
insbesondere 20 MHz.
Die Taktfrequenz des zweiten A/D-Wandlers beträgt
vorzugsweise das Vier- bis Sechsfache der Taktfrequenz des
ersten A/D-Wandlers, insbesondere 80 MHz.
Die beiden A/D-Wandler weisen vorzugsweise eine Wortbreite
von 6 bis 16 bit auf.
Die jeweils zu einem Zeilenabschnitt gehörenden Ausgangswer
te beider A/D-Wandler können dann vorzugsweise über geeigne
te Speicherglieder parallel zur Weiterverarbeitung gelangen.
Aus den vom zweiten A/D-Wandler gelieferten Signalen kann
mikroprozessorgesteuert jeweils für einen Zeilenabschnitt
das Maximum und/oder das Minimum ermittelt werden. Diejeni
gen Werte, die zwischen dem Maximum und dem Minimum liegen,
müssen dann in der weiteren Verarbeitung nicht mehr berück
sichtigt werden.
Durch den Einsatz des ersten, mittelwertbildenden A/D-Wand
lers kann auf eine rechnerische Ermittlung des Mittelwertes
aus den durch den zweiten A/D-Wandler für jeweils einen
Zeilenabschnitt ermittelten Digitalwerten verzichtet werden,
wodurch die Rechenbelastung des die Vorverarbeitungsstufe
steuernden Mikroprozessors verringert wird.
Die für einen Zeilenabschnitt ermittelten Abtastwerte können
beispielsweise mittels eines Demultiplexers parallel zur Wei
terverarbeitung gelangen, indem am Ausgang dieses Demultiple
xers jeweils alle vom zweiten A/D-Wandler innerhalb eines
Zeilenabschnitts erfaßten Abtastwerte parallel anliegen.
Wie vorstehend bereits erwähnt, kann mit dem erfindungsge
mäßen Verfahren sichergestellt werden, daß jeweils immer nur
eine konstante Anzahl von Abtastzeilen pro Vorschubeinheit
zur Weiterverarbeitung gelangt. Zu diesem Zweck können bei
spielsweise mehrere innerhalb einer Vorschubeinheit erfaßte
Abtastzeilen zu einer einzelnen, zur Weiterverarbeitung
gelangenden Abtastzeile zusammengefaßt werden.
Hierfür wird ein vorteilhaftes Oberflächeninspektionssystem
zur Durchführung des genannten Verfahrens mit einem Zwischen
wertspeicher ausgerüstet, in dem zumindest die von der Vor
verarbeitungsstufe ermittelten Zwischenwerte zweier Abtast
zeilen speicherbar sind. Die in diesem Zwischenwertspeicher
befindlichen Abtastwerte können dann nach einem vorgegebenen
Algorithmus zu einer einzelnen Abtastzeile zusammengefaßt
werden.
Der genannte Algorithmus kann beispielsweise so ausgelegt
werden, daß die erste, während einer Vorschubeinheit erfaßte
Abtastzeile gespeichert wird und die Maxima bzw. Minima die
ser Zeile von betragsmäßig größeren, an entsprechender Zei
lenposition liegenden Maxima bzw. Minima der innerhalb der
selben Vorschubeinheit folgenden Zeilen überschrieben wer
den. Ebenso werden gespeicherte Mittelwerte überschrieben,
wenn an der entsprechenden Position innerhalb einer Abtast
zeile bei der darauffolgenden Zeile ein Maximum bzw. ein Mi
nimum folgt.
Bei dieser Rechenoperation ist es nötig, daß ohne Schwierig
keiten erkannt werden kann, ob es sich bei einem Abtastwert
um ein Maximum bzw. Minimum oder um den Mittelwert eines Zei
lenabschnitts handelt. Vorzugsweise wird deshalb für jeden
Zwischenwert ein zusätzliches Statusbit eingeführt, das an
zeigt, ob es sich bei dem zugehörigen Zwischenwert um einen
Extremwert oder einen Mittelwert handelt.
Vorzugsweise wird das erfindungsgemäße Oberflächeninspek
tionssystem mit einer aus einem Hochpaß mit nachgeschaltetem
Komparator bestehende Einheit zur Erkennung von Dunkelspikes
ausgerüstet, an der das Meßsignal anliegt und mittels der
die meßsignalverfälschenden Auswirkungen von Dunkelspikes
eliminierbar sind.
Diese Einheit kann Dunkelspikes beispielsweise aufgrund
deren charakteristischer Frequenz und/oder Amplitude von
Fehlersignalen unterscheiden.
Vorzugsweise werden bei Erkennen eines Dunkelspikes grund
sätzlich nur die während des Auftretens des Dunkelspikes er
faßten Minima bzw. Mittelwerte zur Weiterverarbeitung zur
Verfügung gestellt, während die Maxima verworfen werden.
Dies ist sinnvoll, da Dunkelspikes prinzipiell positive
Amplituden aufweisen und demzufolge Maxima im Signalverlauf
hervorrufen, die tatsächlich in der untersuchten Oberfläche
nicht vorhanden sind und demzufolge beispielsweise auf die
vorstehend beschriebene Art eliminiert werden müssen.
Alternativ ist es auch möglich, die während des Auftretens
eines Dunkelspikes erfaßten Abtastwerte zu verwerfen und
statt dessen weiterhin die bereits vor dem Auftreten des
Dunkelspikes erfaßten Abtastwerte zur Weiterverarbeitung zur
Verfügung zu stellen.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung be
schrieben, deren einzige Figur eine bevorzugte Ausführungs
form eines erfindungsgemäßen Oberflächeninspektionssystems
zeigt.
Auf einem Förderband 1 wird das zu untersuchende Material 2
in Pfeilrichtung an einem Meßaufnehmer 3, der beispielsweise
als Videokamera oder Laserscanner ausgebildet ist, vorbei
transportiert. Der Meßaufnehmer 3 erfaßt zeilenweise die
Oberflächenstruktur des zu untersuchenden Materials 2 und
liefert ein entsprechendes Signal an eine von einem Mikro
computer 15 kontrollierte Vorverarbeitungsstufe 4, die Be
standteil einer nicht dargestellten Signalauswerteeinheit
ist.
Die Vorverarbeitungsstufe 4 dient der Datenreduktion, so daß
die auf die Vorverarbeitungsstufe 4 folgenden und der Ermitt
lung von eventuell auftretenden Oberflächenfehlern dienenden
Bestandteile der Signalauswerteeinheit nur noch eine geringe
re Datenmenge verarbeiten müssen, wodurch eine höhere Ar
beitsgeschwindigkeit sowie eine kostengünstigere Herstellung
der Signalauswerteeinheit ermöglicht wird.
Das zur Vorverarbeitungsstufe 4 gelangende Signal des Meßauf
nehmers 3 wird zuerst einer Signalaufbereitungseinheit 5 zu
geführt, die beispielsweise Filter- und Verstärkerstufen auf
weist.
Das aufbereitete Signal des Meßaufnehmers 3 wird in der Fol
ge abtastzeilenweise und innerhalb einer Zeile abschnitts
weise weiterverarbeitet. Ziel dieser Verarbeitung ist die Zu
sammenfassung der innerhalb eines Zeilenabschnitts erfaßten
Werte zu einem einzigen Meßwert.
Hierzu wird das aufbereitete Signal einem mittelwertbilden
den Tiefpaß 6 zugeführt, dessen Grenzfrequenz so eingestellt
ist, daß an seinem Ausgang jeweils ein den Mittelwert eines
Zeilenabschnitts repräsentierender Mittelwert anliegt. Die
ser Mittelwert wird dann einem ersten A/D-Wandler 7 zuge
führt, dessen Taktfrequenz so gewählt ist, daß er während
der Erfassung eines Zeilenabschnitts mit genau einem Taktsig
nal beaufschlagt wird. Am Ausgang des A/D-Wandlers 7 liegt
somit jeweils der digitale Mittelwert eines erfaßten Zeilen
abschnitts an.
Das von der Signalaufbereitungseinheit 5 gelieferte Signal
wird weiterhin einem zweiten A/D-Wandler 8 zugeführt, dessen
Taktfrequenz das Vierfache der Taktfrequenz des A/D-Wandlers
7 beträgt. Am Ausgang des A/D-Wandlers 8 liegt somit seriell
eine Folge von Digitalwerten an, die den Verlauf des vom
Meßaufnehmer 3 gelieferten Signals repräsentiert.
Jeweils vier aufeinanderfolgende, vom A/D-Wandler 8 seriell
gelieferte Werte werden einem Demultiplexer 9 zugeführt, an
dessen vier Ausgängen diese vier Digitalwerte dann als für
jeweils einen Zeilenabschnitt repräsentative Werte parallel
anliegen. Jeweils zwei der Ausgangswerte des Demultiplexers
9 werden jeweils einer Komparatorstufe 10, 11 zugeführt, die
feststellt, welcher der beiden ihr zugeführten Werte der
größere und welcher der kleinere ist.
Der größere der der Komparatorstufe 10 zugeführten Werte so
wie der größere der der Komparatorstufe 11 zugeführten Werte
gelangt anschließend an eine weitere Komparatorstufe 12, die
aus diesen beiden Werten wiederum das Maximum ermittelt und
zur Weiterverarbeitung zur Verfügung stellt.
Der kleinere der der Komparatorstufe 10 zugeführten Werte
sowie der kleinere der der Komparatorstufe 11 zugeführten
Werte gelangt anschließend an eine weitere Komparatorstufe
13, die aus diesen beiden Werten wiederum das Minimum ermit
telt und zur Weiterverarbeitung zur Verfügung stellt.
Somit liegt am Ausgang der Komparatorstufe 12 das Maximum
und am Ausgang der Komparatorstufe 13 das Minimum der für je
weils einen Zeilenabschnitt durch den A/D-Wandler 8 ermittel
ten Abtastwerte an.
Die Vorverarbeitungsstufe umfaßt weiterhin ein Speicherele
ment 14, in dem die Breite der Toleranzzone gespeichert ist.
Dieser Speicherwert ist über den Mikrocomputer 15 je nach
Anforderung variierbar.
Das Ausgangssignal des Speichers 14 wird gemeinsam mit dem
vom A/D-Wandler 7 ermittelten Mittelwert einer Stufe zur To
leranzzonenberechnung 16 zugeführt. In der Stufe 16 wird zum
einen die Summe und zum anderen die Differenz aus dem Mittel
wert und der Toleranzzonenbreite gebildet. Dementsprechend
liegen an den drei Ausgängen der Stufe 16 der Mittelwert,
die Summe aus Mittelwert und Toleranzzonenbreite und die
Differenz von Mittelwert und Toleranzzonenbreite an.
Diese drei Werte werden gemeinsam mit dem von der Komparator
stufe 12 ermittelten Maximum und dem von der Komparatorstufe
13 ermittelten Minimum einer weiteren Komparatorstufe 17 zu
geführt.
Die Komparatorstufe 17 ermittelt aus den ihr zugeführten Wer
ten für jeden Zeilenabschnitt jeweils einen Zwischenwert,
der für den Fall, daß das Maximum bzw. das Minimum größer
bzw. kleiner als die Summe aus Mittelwert und Toleranzzonen
breite bzw. die Differenz aus Mittelwert und Toleranzzonen
breite ist, gleich dem Maximum bzw. dem Minimum, anderen
falls gleich dem Mittelwert ist.
Der von der Komparatorstufe 17 ermittelte Zwischenwert wird
dann einem Zeilenspeicher 18 zugeführt, der alle für jeweils
eine Abtastzeile ermittelten Zwischenwerte speichert und pa
rallel zur Weiterverarbeitung zur Verfügung stellt.
Durch die auf den Zeilenspeicher 18 folgende, aus einem Kom
parator 19 und einem FIFO-Speicher 20 bestehende Einheit
wird sichergestellt, daß pro Vorschubeinheit nur jeweils
eine Abtastzeile zur Weiterverarbeitung an den Ausgang der
Vorverarbeitungsstufe 4 gelangt.
Diese Einheit 19, 20 kann vom Mikrocomputer 15 auf verschie
dene Arten betrieben werden.
Zum einen ist es möglich, die Abtastzeilen vom Zeilenspei
cher 18 ohne Veränderung durch den Komparator 19 an den
FIFO-Speicher 20 zu senden, wobei der FIFO-Speicher 20 immer
nur dann eine Abtastzeile an den Ausgang der Vorverarbei
tungsstufe 4 anlegt, wenn eine Vorschubeinheit beendet ist.
Auf diese Weise gelangt jeweils die zuletzt während einer
Vorschubeinheit ermittelte Abtastzeile an den Ausgang der
Vorverarbeitungsstufe 4.
Weiterhin ist es auch möglich, die Einheit 19, 20 auf folgen
de Weise zu betreiben:
Eine erste, während einer Vorschubeinheit ermittelte Abtast
zeile gelangt ohne Veränderung in den FIFO-Speicher 20. Die
innerhalb derselben Vorschubeinheit auf diese erste Zeile
folgende zweite Zeile wird anschließend im Komparator 19 mit
der ersten Zeile verglichen. Daraufhin werden diejenigen
Werte der ersten Zeile im FIFO-Speicher 20 von den an ent
sprechender Zeilenposition liegenden Werten der zweiten
Zeile überschrieben, wenn ein Maximum bzw. Minimum der zwei
ten Abtastzeile größer bzw. kleiner als ein Maximum bzw. Mi
nimum der ersten Abtastzeile ist oder wenn auf einen Mittel
wert der ersten Zeile ein Extremwert der zweiten Zeile an
entsprechender Zeilenposition folgt. So erhält man im
FIFO-Speicher 20 eine Zwischenwertkombination der ersten und
zweiten Abtastzeile.
Eine innerhalb derselben Vorschubeinheit auf die zweite Zei
le folgende dritte Abtastzeile wird in der Folge im Kompara
tor 19 mit der bereits im FIFO-Speicher 20 befindlichen Kom
bination aus der ersten und zweiten Zeile verglichen, wobei
die gespeicherten Werte der Kombination aus der ersten und
zweiten Zeile wiederum nach vorstehender Regel mit Werten
dritten Zeile überschrieben werden. So wird dann im
FIFO-Speicher eine Kombination aus der ersten, zweiten und
dritten Zeile erhalten. Dieser Vorgang kann solange wieder
holt werden, bis alle innerhalb einer Vorschubeinheit er
faßten Abtastzeilen verarbeitet sind. Nach Beendigung einer
Vorschubeinheit wird die im FIFO-Speicher 20 befindliche Kom
bination aus den verarbeiteten Abtastzeilen an den Ausgang
der Vorverarbeitungsstufe 4 angelegt.
Das von der Signalaufbereitungseinheit 5 gelieferte Signal
ist an eine aus einem Hochpaß 21 mit nachgeschaltetem Kompa
rator 22 bestehende Einheit zur Erkennung von Dunkelspikes
angelegt. Dunkelspikes werden in dieser Einheit aufgrund
ihrer Amplitude und Frequenz identifiziert und bei Vorliegen
eines Dunkelspikes wird vom Komparator 22 ein entsprechendes
Signal an die Komparatorstufe 17 abgesetzt.
Von der Komparatorstufe 17 werden bei Erkennen eines Dunkel
spikes grundsätzlich nur die während des Auftretens des Dun
kelspikes erfaßten Minima bzw. Mittelwerte zur Weiterverar
beitung zur Verfügung gestellt, während die Maxima verworfen
werden.
Auf diese Weise lassen sich die meßsignalverfälschenden
Auswirkungen von Dunkelspikes eliminieren.
Claims (23)
1. Verfahren zur Inspektion von Oberflächen zu untersuchen
der Materialien, bei dem die Oberfläche durch einen opti
schen Meßaufnehmer zeilenweise abgetastet und das vom
Meßaufnehmer gelieferte Signal verarbeitet wird, um In
formation über die Oberflächenbeschaffenheit des zu un
tersuchenden Materials zu erhalten,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erfaßten Zeilen jeweils abschnittsweise verarbei
tet werden, indem für jeden Abschnitt jeweils der Mittel
wert, das Maximum und/oder das Minimum sowie ein für den
Abschnitt repräsentativer und zur Weiterverarbeitung ge
langender Zwischenwert ermittelt werden, welcher für den
Fall, daß das Maximum bzw. das Minimum außerhalb einer
sich um den Mittelwert erstreckenden vorgegebenen Tole
ranzzone liegt, gleich dem Maximum bzw. Minimum, anderen
falls gleich dem Mittelwert ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erfaßten Meßwerte in Digitalwerte gewandelt wer
den, wobei für jeden Zeilenabschnitt mindestens zwei,
vorzugsweise vier Digitalwerte ermittelt werden, aus de
nen für den jeweiligen Zeilenabschnitt jeweils deren Mit
telwert, deren Maximum, deren Minimum und aus diesen Wer
ten und der Toleranzzone der Zwischenwert des jeweiligen
Zeilenabschnitts berechnet werden.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Toleranzzone entsprechend den jeweiligen Anforde
rungen, insbesondere auch dynamisch in Abhängigkeit von
dem dem Meßsignal in zum gerade erfaßten Abschnitt be
nachbarten Abschnitten über lagerten Rauschsignal ein
stellbar ist.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß jeweils die Zwischenwerte von mindestens zwei Abtast
zeilen gespeichert werden.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
das zu untersuchende Material (2) und der Meßaufnehmer
(3) relativ aneinander vorbeibewegt werden.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 4 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß bei konstanter Zeilenabtastfrequenz und nicht kon
stanter Vorschubgeschwindigkeit eine dementsprechend
ebenfalls nicht konstante Anzahl von Abtastzeilen pro
einer bestimmten Vorschubstrecke entsprechenden Vorschub
einheit erfaßt wird, wobei die während einer Vorschubein
heit erfaßten Abtastzeilen in der Vorverarbeitungsstufe
(4) derart verarbeitet werden, daß dennoch konstant eine
vorgegebene Anzahl von Abtastzeilen pro Vorschubeinheit
von der Vorverarbeitungsstufe (4) zur Weiterverarbeitung
gelangt.
7. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß jeweils die während einer Vorschubeinheit zuletzt
erfaßte Abtastzeile zur Weiterverarbeitung gelangt.
8. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die während einer Vorschubeinheit erfaßten Abtastzei
len miteinander verglichen und zu einer Zeile zusammen
gefaßt werden.
9. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste während einer Vorschubeinheit erfaßte Ab
tastzeile gespeichert wird, die Maxima bzw. Minima die
ser Zeile von betragsmäßig größeren, an entsprechender
Zeilenposition liegenden Maxima bzw. Minima der inner
halb derselben Vorschubeinheit folgenden Zeilen über
schrieben werden und gespeicherte Mittelwerte der ersten
Zeile von an entsprechender Zeilenposition liegenden Ex
trema der innerhalb derselben Vorschubeinheit folgenden
Zeilen überschrieben werden.
10. Oberflächeninspektionssystem, insbesondere zur Durchfüh
rung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, mit einem die Oberflächenstruktur eines zu untersu
chenden Materials zeilenweise erfassenden optischen Meß
aufnehmer, insbesondere einem Laserscanner oder einer Vi
deokamera, und einer das vom Meßaufnehmer gelieferte Sig
nal verarbeitenden Signalauswerteeinheit,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Signalauswerteeinheit eine der Datenreduktion
dienende Vorverarbeitungsstufe (4) umfaßt, in der die er
faßten Zeilen jeweils abschnittsweise verarbeitet wer
den, indem für jeden Abschnitt jeweils der Mittelwert,
das Maximum und/oder das Minimum sowie ein für den Ab
schnitt repräsentativer und zur Weiterverarbeitung gelan
gender Zwischenwert ermittelt werden, welcher für den
Fall, daß das Maximum bzw. das Minimum außerhalb einer
sich um den Mittelwert erstreckenden vorgegebenen Tole
ranzzone liegt, gleich dem Maximum bzw. Minimum, anderen
falls gleich dem Mittelwert ist.
11. Oberflächeninspektionssystem nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorverarbeitungsstufe (4) als mikroprozessorge
steuerte Datenverarbeitungseinheit ausgebildet ist.
12. Oberflächeninspektionssystem nach einem der Ansprüche 10
und 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorverarbeitungsstufe (4) einen ersten A/D-Wand ler (7) aufweist, dem das vom Meßaufnehmer (3) geliefer te Signal über einen mittelwertbildenden Tiefpaß (6) zu geführt ist, wobei die Taktfrequenz des ersten A/D-Wand lers (7) so gewählt ist, daß die Erfassung eines Zeilen abschnitts während einer einzelnen Taktperiode erfolgt, und
daß die Vorverarbeitungsstufe (4) einen zweiten A/D-Wand ler (8) aufweist, der das vom Meßaufnehmer (3) geliefer te Signal mit mindestens der zweifachen Taktfrequenz des ersten A/D-Wandlers (7) wandelt, wobei die Ausgangssigna le beider A/D-Wandler (7, 8) einer digitalen Datenverar beitungsstufe zur Ermittlung der Zwischenwerte zugeführt sind.
dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorverarbeitungsstufe (4) einen ersten A/D-Wand ler (7) aufweist, dem das vom Meßaufnehmer (3) geliefer te Signal über einen mittelwertbildenden Tiefpaß (6) zu geführt ist, wobei die Taktfrequenz des ersten A/D-Wand lers (7) so gewählt ist, daß die Erfassung eines Zeilen abschnitts während einer einzelnen Taktperiode erfolgt, und
daß die Vorverarbeitungsstufe (4) einen zweiten A/D-Wand ler (8) aufweist, der das vom Meßaufnehmer (3) geliefer te Signal mit mindestens der zweifachen Taktfrequenz des ersten A/D-Wandlers (7) wandelt, wobei die Ausgangssigna le beider A/D-Wandler (7, 8) einer digitalen Datenverar beitungsstufe zur Ermittlung der Zwischenwerte zugeführt sind.
13. Oberflächeninspektionssystem nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorverarbeitungsstufe (4) aus den vom zweiten
A/D-Wandler (8) für jeweils einen Zeilenabschnitt gelie
ferten Abtastwerten das Maximum und/oder das Minimum er
mittelt.
14. Oberflächeninspektionssystem nach einem der Ansprüche 12
und 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Taktfrequenz des zweiten A/D-Wandlers (8) das
Vier- bis Sechsfache der Taktfrequenz des ersten
A/D-Wandlers (7) beträgt, wobei die Taktfrequenz des er
sten A/D-Wandlers (7) an den Verarbeitungstakt der auf
die Vorverarbeitungsstufe (4) folgenden Signalverarbei
tungsstufe angepaßt und insbesondere gleich 20 MHz ist.
15. Oberflächeninspektionssystem nach einem der Ansprüche 12
bis 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß beide A/D-Wandler (7, 8) eine Wortbreite von 6 bis
16 bit aufweisen.
16. Oberflächeninspektionssystem nach einem der Ansprüche 10
bis 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß zumindest ein zusätzliches Bit eines jeden Zwischen
werts anzeigt, ob es sich bei dem jeweiligen Zwischen
wert um das Maximum bzw. Minimum oder den Mittelwert
eines Zeilenabschnitts handelt.
17. Oberflächeninspektionssystem nach einem der Ansprüche 10
bis 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorverarbeitungsstufe (4) einen Demultiplexer
(9) aufweist, an dessen Ausgang jeweils alle vom zweiten
A/D-Wandler (8) innerhalb eines Zeilenabschnitts erfaß
ten Abtastwerte parallel zur Weiterverarbeitung anlie
gen.
18. Oberflächeninspektionssystem nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Ausgangssignale des Demultiplexers (9) an einer
Komparatorschaltung (10, 11, 12, 13) zur Ermittlung des
jeweiligen Maximums und/oder Minimums eines Zeilenab
schnitts anliegen.
19. Oberflächeninspektionssystem nach einem der Ansprüche 10
bis 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Zwischenwertspeicher (18, 20) vorgesehen ist, in
dem zumindest die von der Vorverarbeitungsstufe ermittel
ten Zwischenwerte zweier Abtastzeilen speicherbar sind.
20. Oberflächeninspektionssystem nach einem der Ansprüche 10
bis 19,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Vorschubeinrichtung (1) vorgesehen ist, mit der
das zu untersuchende Material (2) und der Meßaufnehmer
(3) relativ aneinander vorbeibewegt werden.
21. Oberflächeninspektionssystem nach einem der Ansprüche 10
bis 20,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine aus einem Hochpaß (21) mit nachgeschaltetem
Komparator (22) bestehende Einheit zur Erkennung von Dun
kelspikes vorgesehen ist, an der das Meßsignal anliegt
und mittels der die meßsignalverfälschenden Auswirkungen
von Dunkelspikes eliminierbar sind.
22. Verfahren zum Betrieb eines Oberflächeninspektionssystem
nach Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet,
die während des Auftretens eines Dunkelspikes grundsätz
lich die erfaßten Minima bzw. Mittelwerte zur Weiterver
arbeitung zur Verfügung gestellt und Maxima verworfen
werden.
23. Verfahren zum Betrieb eines Oberflächeninspektionssystem
nach Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet,
die während des Auftretens eines Dunkelspikes erfaßten
Abtastwerte verworfen und statt dessen weiterhin die be
reits vor dem Auftreten des Dunkelspikes erfaßten Abtast
werte zur Weiterverarbeitung zur Verfügung gestellt wer
den.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4239456A DE4239456A1 (de) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen |
GB9323592A GB2272764B (en) | 1992-11-24 | 1993-11-16 | Method and system for the inspection of the surfaces of materials |
JP05293190A JP3113470B2 (ja) | 1992-11-24 | 1993-11-24 | 表面の検査方法および検査装置 |
US08/247,984 US5566243A (en) | 1992-11-24 | 1994-05-23 | Method and apparatus for the inspection of surfaces |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4239456A DE4239456A1 (de) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4239456A1 true DE4239456A1 (de) | 1994-06-09 |
Family
ID=6473514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4239456A Ceased DE4239456A1 (de) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5566243A (de) |
JP (1) | JP3113470B2 (de) |
DE (1) | DE4239456A1 (de) |
GB (1) | GB2272764B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4402809A1 (de) * | 1993-01-29 | 1994-08-04 | Westvaco Corp | Vorrichtung zur Prüfung der Rauheit einer Papieroberfläche |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5521393A (en) * | 1994-06-27 | 1996-05-28 | Brunswick Bowling & Billiards Corporation | Lane monitor for monitoring dressing on the surface of a bowling lane |
US5754678A (en) * | 1996-01-17 | 1998-05-19 | Photon Dynamics, Inc. | Substrate inspection apparatus and method |
US5847834A (en) * | 1997-09-11 | 1998-12-08 | Webview, Inc. | Expandable, continuous illumination source for a web inspection assembly and method |
US6236429B1 (en) | 1998-01-23 | 2001-05-22 | Webview, Inc. | Visualization system and method for a web inspection assembly |
KR101030857B1 (ko) * | 2008-09-29 | 2011-04-22 | 현대제철 주식회사 | 스트립의 평탄도 측정방법 |
CN112534240A (zh) | 2018-07-24 | 2021-03-19 | 玻璃技术公司 | 用于测量波形玻璃片的表面的系统及方法 |
US11867630B1 (en) | 2022-08-09 | 2024-01-09 | Glasstech, Inc. | Fixture and method for optical alignment in a system for measuring a surface in contoured glass sheets |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4519041A (en) * | 1982-05-03 | 1985-05-21 | Honeywell Inc. | Real time automated inspection |
EP0146005B1 (de) * | 1983-11-26 | 1991-08-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparat zum Nachweis von Oberflächenfehlern |
JPS60217470A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Hitachi Ltd | 撮影対象画像からの立体形状推定方式 |
EP0271230B1 (de) * | 1986-12-10 | 1993-07-21 | AccuRay Corporation | Apparat zur Vorbehandlung von Messdaten |
US4752897A (en) * | 1987-05-01 | 1988-06-21 | Eastman Kodak Co. | System for monitoring and analysis of a continuous process |
FI85308C (fi) * | 1990-06-07 | 1992-03-25 | Rautaruukki Oy | Foerfarande och anordning foer optisk granskning av ark- och banformiga produkter. |
US5078496A (en) * | 1990-08-14 | 1992-01-07 | Autospect, Inc. | Machine vision surface characterization system |
-
1992
- 1992-11-24 DE DE4239456A patent/DE4239456A1/de not_active Ceased
-
1993
- 1993-11-16 GB GB9323592A patent/GB2272764B/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-11-24 JP JP05293190A patent/JP3113470B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-05-23 US US08/247,984 patent/US5566243A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4402809A1 (de) * | 1993-01-29 | 1994-08-04 | Westvaco Corp | Vorrichtung zur Prüfung der Rauheit einer Papieroberfläche |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2272764B (en) | 1996-06-05 |
GB9323592D0 (en) | 1994-01-05 |
US5566243A (en) | 1996-10-15 |
GB2272764A (en) | 1994-05-25 |
JP3113470B2 (ja) | 2000-11-27 |
JPH06213824A (ja) | 1994-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3044954C2 (de) | Oberflächenprüfgerät | |
DE3325125C1 (de) | Anordnung zur Markierung von Fehlstellen an schnell laufenden Materialbahnen | |
DE3315109C2 (de) | ||
EP0271728B1 (de) | Verfahren zur Messung und/oder Überwachung von Eigenschaften von Garnen oder Seilen | |
DE3012559C2 (de) | ||
CH627571A5 (de) | Vorrichtung und verfahren zur bestimmung charakteristischer einzelheiten in einem elektronisch abgetasteten bildmuster. | |
DE2912577C3 (de) | Verfahren zur Reinigung von Garnen und zur Bewertung von Garnfehlern | |
EP1309949B1 (de) | Verifikation von dickenmodulationen in oder auf blattgut | |
DE4239456A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen | |
DE2521499C3 (de) | Meßvorrichtung zur Messung der Länge der Kontur eines zweidimensionalen Musters | |
EP0157148B1 (de) | Verfahren zur berührungslosen Messung der Länge eines bewegten Gegenstandes und Messvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
EP0104369A2 (de) | Einrichtung und Verfahren zum optischen Erkennen von Flächenmustern an Objekten | |
DE2847619A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur kontrolle der raender von bedrucktem material auf zentrierung des druckbildes in bezug auf den drucktraeger | |
DE4217007A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung und Sicherung der Produktqualität | |
DE2720196A1 (de) | Diskriminierschaltung | |
DE4324800C2 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung von Fehlern von Oberflächen hoher Güte | |
EP0830014B1 (de) | Erkennung von schräglaufenden Kratzern in Videosignalen | |
DE3440473C2 (de) | ||
DE3490374T1 (de) | Gut/Schlecht-Unterscheidungsgerät für Meßdaten | |
DE3219826C2 (de) | Vorrichtung zur Ortung eines Zielobjektes | |
DE102021209296B4 (de) | Verfahren zum Bestimmen der Bewegung eines mit wenigstens einer Videokamera zur Bilderfassung ausgestatteten Objekts | |
DE4441864A1 (de) | Vorrichtung zur berührungslosen Geschwindigkeitsmessung | |
DE69033288T2 (de) | Bildverarbeitungsverfahren und -vorrichtung | |
DE3406694C2 (de) | ||
DE2809218C3 (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G01B 11/30 |
|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: ISRA VISION SYSTEMS AG, 64297 DARMSTADT, DE |
|
8131 | Rejection |