DE4231160A1 - Magneto-optisches informations-aufzeichnungsmedium - Google Patents

Magneto-optisches informations-aufzeichnungsmedium

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DE4231160A1
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Ken-Ichi Hijikata
Rie Mori
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Description

Die Erfindung betrifft ein magneto-optisches Informations-Aufzeichnungsmedium mit einer Reflexions­ filmstruktur, die einen hohen Reflexionsgrad und eine niedrige thermale Leitfähigkeit besitzt.
Optische Informationsaufzeichnungsmedien sind von Interesse, die stabil sind, eine hohe Speicherdichte aufweisen, eine kontaktlose Abtastung der Daten erlauben und einen Hochgeschwindigkeitszugriff zu den Daten ermöglichen. Solche Medien sind in die drei Kategorien Nur-Lese-Typ (read-only-typ), Postscript-Typ und Über­ schreibungstyp (over-writable-typ) unterteilt. Das über­ schreibbare optische Informationsaufzeichnungsmedium er­ laubt Benutzern, kodierte Daten zu löschen, die in dem Medium gespeichert sind, um erneut neue kodierte Daten in das Medium einzuschreiben. Die Benutzer verwenden daher die überschreibbaren Informationsaufzeichnungs­ medien immer wieder, und ein weiterer Anwendungsbereich wurde für die überschreibbaren optischen Informations­ aufzeichnungsmedien gefunden.
Verschiedene physikalische Phänomene, wie optische Modulation und magnetische Feldmodulation werden bei den überschreibbaren optischen Informationsaufzeichnungs­ medien angewendet, und die überschreibbaren optischen Informationsaufzeichnungsmedien sind weiterhin unter­ teilt in Unterkategorien, in Abhängigkeit von dem physikalischen Phänomen, das für das Überschreiben und das Auslesen verwendet wird. Gegenwärtig ist die optische Modulation wichtig, und die nachfolgende Beschreibung bezieht sich daher kurz hierauf.
Beim optischen Modulationsverfahren wird magnetische Substanz mit einem Laserstrahl oberhalb der Curie- Temperatur in einem magnetischen Feld erhitzt. Dann werden die magnetischen Elementarbereiche (magnetische Domänen) der magnetischen Substanz in einer vorbestimmten Richtung orientiert. Die Orientierung der magnetischen Domänen entspricht dann einer von zwei logischen Stufen. Die Orientierung jeder magnetischen Domäne ist variierbar durch Änderung des magnetischen Feldes und die entgegengesetzte Orientierung entspricht der anderen logischen Stufe. Das magneto-optische Aufzeichnungsmedium enthält einen dünnen magnetischen Film, und alle magnetischen Domänen werden durch den Laserstrahl in die vorbestimmte Richtung in eine Löschfunktion gebracht. Wenn das magneto-optische Auf­ zeichnungsmedium einen Überschreibmodus eingeht, werden die magnetischen Domänen selektiv durch den Laserstrahl in die entgegengesetzte Richtung orientiert, abhängig von einer Kette von digitalen Bits. Der Laserstrahl erhitzt dabei die magnetischen Domänen des magnetischen Films über die Curie-Temperatur und der Wechsel des magnetischen Feldes erlaubt dem magneto-optischen Aufzeichnungsmedium die Speicherung von neuen kodierten Daten. Es werden nun relativ schwache Laserstrahlen zum Wiederauffinden bzw. Wiedergewinnen von kodierten Daten verwendet. Die relativ einergieschwachen Laserstrahlen bringen den magnetischen Film jedoch nicht über die Curie-Temperatur hinaus. Bei der Informationswieder­ findung fällt der schwache Laserstrahl auf den magnetischen Film und wird durch ein Polarisations­ filterelement reflektiert. Da abhängig von der Magnetis­ ierung einer magnetischen Domäne die Ebene der Polarisation rotiert, wird die Orientierung der magnetischen Domäne oder der logischen Stufe des Bits erkannt als Variation der Intensität der Reflexion. Das magneto-optische Aufzeichnungsmedium ist daher vorge­ sehen, den schwachen Laserstrahl zu reflektieren, und ein reflektierender Film wird auf der Rückseite des magnetischen Films lamelliert. Während Bits in das magneto-optische Aufzeichnungsmedium aufgezeichnet werden, ist der reflektierende Film vorgesehen, starke Laserstrahlen zu reflektieren, um den magnetischen Film über die Curie-Temperatur zu erhitzen.
Die bekannten reflektierenden Filme, die auf der Rückseite des magnetischen Films lamelliert sind, bestehen aus Metall mit hohen Reflexionsgrad. Hochreflektierende Metalle sind Silber, Gold, Kupfer und Aluminium. Hochreflektierendes Metall verbessert das Träger/Rauschverhältnis und ist für die Datenwieder­ auffindung erwünscht. Hochreflektierende Metalle be­ sitzen jedoch eine hohe thermische Leitfähigkeit und hohe thermische Leitfähigkeit ist für den re­ flektierenden Film nicht erwünscht, weil der reflektierende Film mit großer thermaler Leitfähigkeit verhindert, daß der magnetische Film rasch über die Curie-Temperatur angehoben wird. Mit anderen Worten, es macht die thermale Leitfähigkeit des reflektierenden Films den magnetischen Film gegenüber dem Laserstrahl weniger wirkungsvoll und zerstört Speicher­ charakteristiken. Wenn daher die Laserstrahlung ver­ längert wird oder der Laserstrahl selbst intensiviert wird, kann der magnetische Film auf eine Temperatur oberhalb der Curie-Temperatur erwärmt werden. Eine solche Verlängerung der Strahlung zerstört jedoch Einschreibcharakteristiken. Ein verstärkter Laserstrahl führt zu einer vergrößerten und komplexen Laserstrahleinrichtung.
Eine Lösung des Problems ist in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 3-25 736 angestrebt worden. Der hier offenbarte reflektierende Film besteht aus einer Silberlegierung mit Kupferanteilen zwischen 0,5 Atom-% bis 30 Atom-% und wenigstens Talium- oder Titan-Anteilen zwischen 0,5 Atom-% und 15 Atom-%. Die Silberlegierung erniedrigt die thermale Leitfähigkeit des reflektierenden Films und verbessert die Empfindlichkeit des magnetischen Films gegenüber dem Laserstrahl. Obgleich die Silberlegierung den Reflexionsgrad etwas verschlechtert, wird mit dem Reflexionsfilm aus der Silberlegierung erreicht, daß der magnetische Film ein relativ hohes Träger/Rauschverhältnis aufweist. Niedrige thermale Leitfähigkeit und hoher Reflexionsgrad stehen sich aber in ihren Auswirkungen einander entgegen und die vorstehend vorgeschlagene Lösung ist insoweit unbefriedigend.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein magneto- optisches Informationsaufzeichnungsmedium anzugeben, welches eine niedrige thermische Leitfähigkeit aufweist, ohne daß ein hoher Reflexionsgrad verlorengeht.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungen und Weiterbildungen ergeben sich aus den Merkmalen der Unteransprüche und/oder der nachfolgenden Beschreibung.
Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin, daß nicht nur ein hohes Träger/Rauschverhältnis, sondern auch eine hohe Empfindlichkeit für einen Laserstrahl zum Überschreiben von Bits erhalten wird.
Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben. In der zugehörigen Zeichnung zeigt:
Fig. 1 einen Querschnitt durch ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium nach der Erfindung;
Fig. 2 einen Querschnitt durch eine Aufdampfein­ richtung für ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen elektro-optischen Aufzeichnungsmediums;
Fig. 3 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades und der thermischen Leitfähigkeit in Termen der Zusammensetzung einer reflektierenden Filmstruktur in dem Silber- Platin-System;
Fig. 4 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades und der thermischen Leitfähigkeit in Termen der Zusammensetzung der Silber-Platin- Verbindung;
Fig. 5 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades in Termen der thermalen Leitfähigkeit in dem Silber-Platin-System;
Fig. 6 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades und der thermischen Leitfähigkeit in Termen der Zusammensetzung einer reflektierenden Filmstruktur in dem Silber- Palladium-System;
Fig. 7 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades und der thermalen Leitfähigkeit in Termen der Zusammensetzung der Silber- Palladium-Verbindung;
Fig. 8 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades in Termen der thermalen Leitfähigkeit in dem Silber-Palladium-System;
Fig. 9 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades und der thermalen Leitfähigkeit in Termen der Zusammensetzung einer reflektierenden Filmstruktur in dem Aluminium-Kobalt-System;
Fig. 10 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades und der thermalen Leitfähigkeit in Termen der Zusammensetzung der Aluminium- Kobalt-Verbindung; und
Fig. 11 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions­ grades in Termen der thermalen Leitfähigkeit in dem Aluminium-Kobalt-System.
Gemäß Fig. 1 umfaßt ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium nach der Erfindung im wesentlichen ein transparentes Substrat 1, einen Aufzeichnungsfilm 2 und eine Reflexionsfilmstruktur 3. Das transparente Substrat 1 besteht aus einer Glasplatte, die von der Firma Corning Corporation hergestellt ist und mit der Code-Nr. 7059F gekennzeichnet ist. Der Aufzeichnungsfilm 2 besteht aus einer amorphen Legierung, die wenigstens ein seltenes Erdmetall (RE), wie Gadolinium (Gd), Terbium (Tb), Dysprosium (Dy) oder Holmium (Ho) und wenigstens ein Übergangsmetall wie Eisen (Fe) und Kobalt (Co) enthält. Die amorphe Legierung kann zu einem RE- FeCo-System gehören, und ein amorpher oxidischer Magnetkörper, wie 0,5a1-xSrXMnO3·0,5B2O3 ist verwendbar. Die amorphe Legierung sollte in jedem Falle wenigstens halb- bzw. teildurchlässig sein.
Die Reflexionsfilmstruktur umfaßt mehrere Paare von hochreflektierenden metallischen Filmen 3a und metallischen Filmen 3b mit niedrigen thermalen Leit­ fähigkeiten. Der hochreflektierende metallische Film 3a besteht aus einer Substanz, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Silber, Kupfer, Gold, Aluminium, Magnesium, Silber-Gold-Legierung und Gold-Kupfer- Legierung. Der Film 3b mit der niedrigen thermalen Leit­ fähigkeit besteht aus einer Substanz, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Platin, Palladium, Rhodium, Iridium, Kobalt und Nickel.
Diese hochreflektierenden Metalle und Legierungen erreichen ein hohes Reflexionsvermögen von mehr als 90% und die Metalle mit niedriger thermaler Leitfähigkeit besitzen eine geringere thermale Leitfähigkeit als die hochreflektierenden Metalle und Metall-Legierungen.
Beim Übereinanderschichten des hochreflektierenden Films 3a und des Films 3b mit niedriger thermaler Leitfähigkeit sind die Stärken der hochreflektierenden Metallfilme und der Metallfilme mit niedrigen thermalen Leitfähigkeiten sowie die Gesamtstärke der Reflexions­ filmstruktur 3 so gewählt bzw. eingestellt, daß die thermale Leitfähigkeit des magneto-optischen Aufzeichnungsmediums auf einen bestimmten Zielwert (Target-Wert) eingestellt ist.
Fig. 2 zeigt eine Einrichtung zum Aufdampfen von Metallen und ist geeignet zur Herstellung des magneto- optischen Aufzeichnungsmediums nach der Erfindung. Die Aufdampfeinrichtung besitzt eine Vakuumkammer 4, die durch die Wand 5 begrenzt ist. Die Vakuumkammer 4 ist an eine Evakuierungseinrichtung (nicht dargestellt) sowie an eine Gasstation (nicht dargestellt) angeschlossen. Zwei Target-Halter 6a und 6b ragen in die Vakuumkammer 4 hinein und sind jeweils an Hochfrequenzenergiequellen 7a und 7b zur Abgabe von 13,56 MHz Wechselstrom gekuppelt. In Fig. 2 ist keine Magneteinheit gezeigt.
Auf den Target-Haltern 6a und 6b befinden sich zwei Targets 8a und 8b. Das eine besteht aus einer Substanz, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Silber, Kupfer, Gold, Aluminium, Magnesium, Silber-Goldlegierung und Gold-Kupferlegierung. Das andere Target besteht aus einer Substanz ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Platin, Palladium, Rhodium, Iridium, Kobalt und Nickel. Beide Targets 8a und 8b weisen einen Durchmesser von 5 Inches auf. Gegenüber den Target-Haltern 6a und 6b und entsprechend gegenüber den Targets 8a und 8b ist ein Antrieb 9 angeordnet, der aus einem stationären Träger 9a und einem Drehantrieb 9b besteht. Eine Haltevorrichtung 10 wird von dem Drehantrieb 9b in Umdrehung versetzt. Der stationäre Träger ist an der Wand 5 festgehalten und erlaubt die Bewegung des Drehantriebes 9b und entsprechend der Haltevorrichtung 10 zwischen einer ersten Position gegenüber dem Target 8a und einer zweiten Position gegenüber dem Target 8b. Die erste Position ist in Fig. 2 in durchgehenden Linien gezeichnet, während die Zweite Position gestrichelt dargestellt ist. Ein rohrförmiger Körper 11a ist zwischen der ersten Position und dem Target 8a angeordnet und verhindert, daß die dazwischen gehaltenen Strukturen 12a und 12b des magneto-optischen Aufzeichnungsmediums von einem Partikelstrom getroffen werden, der von dem Target 8b ausgesendet wird. Die Strukturen 12a und 12b sind von transparenten Substraten 1 gebildet, die von Aufzeichnungsfilmen 2 überschichtet sind. In gleicher Weise ist ein weiterer rohrförmiger Körper 11b zwischen der zweiten Position und dem Target 8b angeordnet, das verhindert, daß die dazwischen­ gehaltenen Strukturen 12a und 23b von einem Partikelstrom getroffen werden, der von dem Target 8a ausgeht. Auf diese Weise wird verhindert, daß Partikelströme, die von den Targets 8a und 8b ausgehen, nicht gleichzeitig auf die dazwischengehaltenen Strukturen 12a und 12b auftreffen können, so daß jeder Metall- bzw. Legierungsfilm jeweils nur von einem Partikelstrom eines Targets hergestellt wird.
Es werden nachstehend aufeinanderfolgende Verfahrens­ schritte zur Lamellierung der Reflexionsfilmstruktur 3 beschrieben, wobei die Targets 8a und 8b aus Silber bzw. Platin bestehen.
Zunächst wird der Abstand zwischen den dazwischenliegenden Strukturen 12a und 12b und den Targets 8a und 8b auf 16 cm eingestellt und die Vakuumkammer 4 wird auf 4×10-7 Torr evakuiert. Anschließend wird die Gasstation (nicht gezeigt) angeschlossen, um Argon in die Vakuumkammer 4 einzubringen, die auf 1×10-3 Torr gehalten wird. Der Drehantrieb 9b versetzt die Haltevorrichtung 10 in Umdrehung und die Hochfrequenzenergiequellen 7a und 7b stellen eine Leistung von 100 bis 200 W zur Verfügung. Die Targets 8a und 8b sind daraufhin in der Lage, einen Storm von Silber- bzw. Goldteilchen abzustrahlen und eine Magnetstrom-Aufstäubung wird wie folgt ausgeführt. Der Drehantrieb für die Haltevorrichtung 10 mit den Strukturen 12a und 12b ist zunächst gegenüber dem Target 8a angeordnet und der rohrförmige Körper 11a setzt die Stukturen 12a und 12b nur einem Silberteilchenfluß aus. Die rohrförmigen Körper 11a und 11b verhindern, daß die Strukturen 12a und 12b gleichzeitig einem Platinteilchenfluß ausgesetzt werden. Silber wird in einer Stärke von 50 Å auf dem Aufzeichnungsfilm 2 aufgedampft. Für verschiedene Strukturen 3 liegen die Stärken der aufgedampften Silberfilme 3a etwa zwischen 5 und 250 Å.
Der Drehantrieb wird dann mittels der Haltevorrichtung 10 in die zwei Position gegenüber dem Target 8b verschoben, wobei der Platinteilchenfluß auf die jeweiligen Silberfilme 3a der Strukturen 12a und 12b trifft. Dabei wird Platin in einer Filmstärke von 5 Å auf die Silberfilme aufgedampft. Die Stärken der Platinfilme 3b liegen etwa zwischen 5 und 250 Å. Es ist jedoch erwünscht, die Filmstärken der Silber- und Platinschichten 3a und 3b so zu steuern, daß sie nicht geringer als 10 Å sind. Während der Platinteilchenfluß auf die Strukturen 12a und 12b trifft, verhindern die rohrförmigen Körper 11a und 11b, daß der Silberteilchen­ fluß auf die Strukturen 12a und 12b gelangt. Es ist sichergestellt, daß der Silber- und der Platinteilchenfluß nicht gleichzeitig auf die Strukturen 12a und 12b gelangt.
Die Strukturen 12a und 12b werden abwechselnd dem Silber- und dem Platinteilchenfluß ausgesetzt, bis die Reflexionsfilmstruktur 3 eine Stärke von 1000 Å aufweist, die jeweils auf einem Aufzeichnungsfilm 2 aufgebracht ist.
Beispiel 1
Bei Verwendung eines Silber-Targets und eines Platin- Targets werden verschieden lamellierte Reflexionsfilm­ strukturen gemäß der Erfindung in aufeinanderfolgenden Verfahrensschritten, wie vorstehend beschrieben, herge­ stellt, und das Reflexionsvermögen sowie die thermische Leitfähigkeit werden gemessen. Weiterhin werden Silber- Platinlegierungsfilme herstellt und das Reflexions­ vermögen sowie die thermische Leitfähigkeit werden ebenfalls gemessen.
Fig. 3 zeigt das Reflexionsvermögen bzw. den Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit in Termen der lamellierten Reflexionsstruktur aus Silber- und Platinfilmen. In Fig. 3 ist auf den Ordinaten der Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähigkeit aufgetragen und auf der Abszisse ist der Aufbau der Reflexionsfilmstruktur angegeben. Die Kurven R1 und C1 zeigen den Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähig­ keit. Der Aufbau der Reflexionsfilmstruktur wurde unter Anwendung der EPMA-Technik analysiert, und der Reflexionsgrad wurde mit einem Ellipsometer gemessen, wobei Licht mit einer Wellenlänge von 6328 Å verwendet wurde. Die thermische Leitfähigkeit K ist gegeben durch K = L×T×1/rho, wobei L die Lorentz-Zahl, T die Temperatur und rho der Reflexionsgrad, gemessen durch eine Vier-Probemethode, ist. Wenn aufeinanderfolgend der jeweils durch eine Magnetron-Aufdampfung erhaltene Silberfilm 50 Å und der Platinfilm 5 Å dick ist, ist die entsprechend lamellierte Reflexionsfilmstruktur mit einer Dicke von 1000 Å durch die strichpunktierte Linie DD1 gekennzeichnet und wird nachfolgend mit "Reflexions­ filmstruktur 50/5" bezeichnet. In der gleichen Weise kennzeichnen die strichpunktierten Linien DD2, DD3, DD4, DD5 und DD6 den Aufbau der lamellierten Reflexionsfilmstruktur von jeweils 1000 Å Dicke, wobei der Reihe nach die Verhältnisse Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 20 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 50 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 90 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 150 Å Dicke und Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 300 Å Dicke gewählt sind.
Der Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit jeder lamellierten Reflexionsfilmstruktur ist gekenn­ zeichnet durch die jeweiligen Schnittpunkte der strichpunktierten Linie mit den Kurven R1 und C1. Zum Beispiel besitzt die lamellierte Reflexionsfilmstruktur 50/5 einen Reflexionsgrad von etwa 90% und eine thermale Leitfähigkeit von etwa 0,7 W/cm°K.
Zum Vergleich ist der Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit einer Silber-Platin-Legierung von 1000 Å Stärke aus Fig. 4 ersichtlich. Die Ordinaten des Diagramms in Fig. 4 zeigen ebenfalls den Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähigkeit und die Abszisse kennzeichnen die Zusammensetzung des Silber-Platin- Legierungsfilms. Die Kurven R2 und C2 charakterisieren den Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähigkeit. Der Reflexionsgrad wurde ebenfalls mit einem Licht der Wellenlänge 6328 gemessen. Wenn der Silberanteil 13 Atom-% beträgt, besitzt die betreffende Silber- Platin-Legierung einen Reflexionsgrad von 78% und eine thermische Leitfähigkeit von 0,9 W/cm° K. Die Silber- Platin-Legierung mit 13% Silber und 87% Platin wird nachstehend mit "Legierung 13/87" bezeichnet. Wenn der Silbergehalt zwischen etwa 27 Atom-% und etwa 41 Atom-% liegt, ist bei der lamellierten Reflexionsfilmstruktur der Reflexionsgrad höher und die thermische Leitfähig­ keit niedriger als bei der Silber-Platin-Legierung. Dem­ entsprechend ist eine Zusammensetzung zwischen Ag13Pt87 und Ag21Pt79 für eine lamellierte Reflexionsfilmstruktur in einem Silber-Platin-System nach der Erfindung vorteilhaft.
Fig. 5 zeigt eine Beziehung zwischen dem Reflexionsgrad und der thermalen Leitfähigkeit für lamellierte Reflexionsfilme wie für Reflexionsfilme aus Legierungen des Silber-Platin-Systems. Die Kurven X1 und X2 betreffen lamellierte Reflexionsfilme bzw. Legierungsreflexionsfilme. Vergleicht man die Kurve 1 mit der Kurve 2 weisen die lamellierten Reflexionsfilme einen höheren Reflexionsgrad als die Legierungsreflexionsfilme auf, solange wie die thermalen Leitfähigkeiten einander gleich sind. Wenn die lamellierten Reflexionsfilme den gleichen Reflexionsgrad wie die Legierungsreflexionsfilme aufweisen, besitzen die lamellierten Reflexionsfilme eine geringere thermische Leitfähigkeit. Aus Fig. 5 folgt daher, daß die lamellierten Reflexionsfilme gegenüber den Legierungsfilmen vorteilhaft sind.
Beispiel 2
Indem ein Silberfilm und ein Palladiumfilm benutzt wird, um zu einem lamellierten Reflexionsfilm nach der Erfindung zu gelangen, wird in entsprechender Weise, wie vorstehend beschrieben, verfahren. Der Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit des lamellierten Reflexionsfilmes werden gemessen. Die Kurven R3 und C3 in Fig. 6 betreffen den Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähigkeit. Die strichpunktierte Linie DD7 bezeichnet die lamellierte Reflexionsfilmstruktur, aufgebaut aus 50 Å dicken Silberfilmen und 50 Å dicken Palladiumfilmen. Zu Vergleichszwecken wurden außerdem Silber-Palladium- Legierungsfilme hergestellt. Die Kurven R4 und C4 in Fig. 7 zeigen den Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit der Silber-Palladium-Legierung.
Fig. 8 zeigt die Beziehung zwischen dem Reflexionsgrad und der thermalen Leitfähigkeit für lamellierte Reflexionsfilme wie für Legierungsreflexionsfilme des Silber-Palladium-Systems. Die Kurven X3 und X4 betreffen lamellierte Reflexionsfilme bzw. Legierungsfilme. Vergleicht man die Kurve X3 mit der Kurve X4 ist der Reflexionsgrad der lamellierten Filme größer als der der Legierungsfilme, solange die thermische Leitfähigkeit vergleichsweise gleich ist. Wenn die lamellierten Filme den gleichen Reflexionsgrad wie die Legierungsfilme aufweisen, besitzen die lamellierten Filme eine kleinere thermische Leitfähigkeit. Aus Fig. 8 wird somit verständlich, daß die lamellierten Filme gegenüber den Legierungsfilmen vorteilhaft sind.
Beispiel 3
Es wird ein Aluminiumfilm und ein Kobaltfilm verwendet und eine lamellierte Struktur, wie vorstehend beschrieben, hergestellt, um zu einem erfindungsgemäßen Reflexionsfilm zu gelangen. Der Reflexionsgrad und die thermale Leitfähigkeit werden gemessen.
Die Kurven R5 und C5 in Fig. 9 betreffen den Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähigkeit. Die strichpunktierte Linie DD8 zeigt eine lamellierte Reflexionsfilmstruktur, aufgebaut aus 50 Å dicken Aluminiumfilmen und 50 Å dicken Kobaltfilmen. Zum Vergleich wurden Aluminium-Kobalt-Legierungsfilme herge­ stellt und die Kurven R6 und C6 zeigen den Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit.
Vergleicht man Fig. 9 mit Fig. 10 so ist verständlich, daß die lamellierte Reflexionsfilmstruktur einen höheren Reflexionsgrad als der Legierungsfilm über den ganzen Bereich aufweist, wobei die thermischen Leitfähigkeiten gleich sind. Die lamellierten Filme sind daher gegenüber den Legierungsfilmen im Aluminium-Kobalt-System vorteil­ haft.
Dies ist in Fig. 11 erkennbar, wo die Kurven X5 und X6 die lamellierten Reflexionsfilme und die Legierungsfilme im Aluminium-Kobalt-System zeigen.
Obgleich besondere Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt und beschrieben sind, stellen diese keinerlei Beschränkung der Erfindung dar. Der hier betreffende Fachmann ist nach der der Erfindung zugrundeliegenden Lehre ohne weiteres in der Lage Änderungen und Ergänzungen der Erfindungsbeschreibung hinzuzufügen, ohne dabei den Rahmen der Erfindung zu verlassen.

Claims (11)

1. Reflexionsfilmstruktur für ein magneto- optisches Aufzeichnungsmedium, dadurch gekennzeichnet, daß die Struktur (3) aus einer Vielzahl von paarweise übereinander geschichteten metallischen Filmen (3a, 3b) besteht, von denen jeweils der eine Film (3a) einen hohen Reflexionsgrad und der andere Film (3b) eine niedrige thermale Leitfähigkeit aufweist.
2. Struktur nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Film (3a) mit hohem Reflexionsgrad aus einer Substanz gebildet ist, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Silber, Kupfer, Gold, Aluminium, Magnesium, Silber-Gold-Legierung und Gold-Kupfer-Legierung, und daß der Film (3b) mit der niedrigen thermalen Leitfähigkeit aus einer Substanz gebildet ist, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Platin, Palladium, Rhodium, Iridium, Kobalt und Nickel, wobei die Filme (3a, 3b) ohne jeden niedrig reflektierenden Legierungsfilm aus diesen Substanzen zwischen sich abwechselnd aufeinanderfolgen und einer der hochreflektierenden Filme (3a) die Kopffläche der reflektierenden Filmstruktur (3) zur wirksamen Lichtreflexion bildet.
3. Struktur nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) und der Film (3b) mit niedriger thermaler Leitfähigkeit jeweils eine Dicke von etwa 5 Å bis etwa 250 Å und beide aufeinanderfolgenden Filme (3a, 3b) eine Gesamtdicke von nicht weniger als 10 Å aufweisen.
4. Struktur nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesamtdicke der Reflexionsfilmstruktur (3) aus einer Vielzahl von paarweise übereinandergeschichteten metallischen Filmen (3a, 3b) etwa 1000 Å beträgt.
5. Struktur nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) und der Film (3b) mit der niedrigen thermalen Leitfähigkeit aufeinanderfolgend aufgedampft sind, wobei Führungsmittel (11a, 11b) vorhanden sind, die verhindern, daß abgedampfte Teilchenflüsse der Substanzen vermischt werden.
6. Struktur nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) aus Silber und der Film (3b) mit niedriger thermaler Leitfähigkeit aus Platin besteht.
7. Struktur nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) aus Silber und der Film (3b) mit niedriger thermaler Leitfähigkeit aus Palladium besteht.
8. Struktur nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) aus Aluminium und der Film (3b) mit der niedrigen thermalen Leitfähigkeit aus Kobalt besteht.
9. Medium nach Anspruch 1 in dem der hochreflektierende metallische Film (3a) aus einer Substanz gebildet ist, ausgewählt aus der Gruppe enthaltend Silber, Kupfer, Gold, Aluminium, Magnesium, Silber-Gold- und Gold-Kupfer-Legierung, und daß der Film mit niedriger thermaler Leitfähigkeit aus einer Substanz ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Platin, Palladium, Rhodium, Iridium, Kobalt und Nickel besteht.
10. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial bestehend aus
  • a) einem transparenten Substrat (1),
  • b) einem aufzeichnenden Film (2) auf einer Substrat­ fläche zur Speicherung von Bits durch unterschied­ liche Orientierung von magnetischen Domänen des Films (2), wobei der aufzeichnende Film (2) den Durchtritt von Licht erlaubt, und
  • c) eine reflektierende Filmstruktur (3) auf dem auf­ zeichnenden Film (2)
dadurch gekennzeichnet, daß die aufzeichnende Filmstruktur (3) aus einer Vielzahl von paarweise übereinandergeschichteten metallischen Filmen (3a, 3b) besteht, von denen der eine Film (3a) einen hohen Reflexionsgrad und der andere Film (3b) eine niedrige thermale Leitfähigkeit besitzt, wobei die Struktur ohne jeden niedrigreflektierenden Legierungsfilm aus diesen Substanzen zwischen den sich abwechselnden beiden Filmen (3a, 3b) aufgebaut ist und einer der hochreflektierenden Filme (3a) die Kopffläche der reflektierenden Filmstruktur (3) zur wirksamen Lichtreflexion bildet.
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