DE4231160A1 - Magneto-optisches informations-aufzeichnungsmedium - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein magneto-optisches
Informations-Aufzeichnungsmedium mit einer Reflexions
filmstruktur, die einen hohen Reflexionsgrad und eine
niedrige thermale Leitfähigkeit besitzt.
Optische Informationsaufzeichnungsmedien sind von
Interesse, die stabil sind, eine hohe Speicherdichte
aufweisen, eine kontaktlose Abtastung der Daten erlauben
und einen Hochgeschwindigkeitszugriff zu den Daten
ermöglichen. Solche Medien sind in die drei Kategorien
Nur-Lese-Typ (read-only-typ), Postscript-Typ und Über
schreibungstyp (over-writable-typ) unterteilt. Das über
schreibbare optische Informationsaufzeichnungsmedium er
laubt Benutzern, kodierte Daten zu löschen, die in dem
Medium gespeichert sind, um erneut neue kodierte Daten
in das Medium einzuschreiben. Die Benutzer verwenden
daher die überschreibbaren Informationsaufzeichnungs
medien immer wieder, und ein weiterer Anwendungsbereich
wurde für die überschreibbaren optischen Informations
aufzeichnungsmedien gefunden.
Verschiedene physikalische Phänomene, wie optische
Modulation und magnetische Feldmodulation werden bei den
überschreibbaren optischen Informationsaufzeichnungs
medien angewendet, und die überschreibbaren optischen
Informationsaufzeichnungsmedien sind weiterhin unter
teilt in Unterkategorien, in Abhängigkeit von dem
physikalischen Phänomen, das für das Überschreiben und
das Auslesen verwendet wird. Gegenwärtig ist die
optische Modulation wichtig, und die nachfolgende
Beschreibung bezieht sich daher kurz hierauf.
Beim optischen Modulationsverfahren wird magnetische
Substanz mit einem Laserstrahl oberhalb der Curie-
Temperatur in einem magnetischen Feld erhitzt. Dann
werden die magnetischen Elementarbereiche (magnetische
Domänen) der magnetischen Substanz in einer
vorbestimmten Richtung orientiert. Die Orientierung der
magnetischen Domänen entspricht dann einer von zwei
logischen Stufen. Die Orientierung jeder magnetischen
Domäne ist variierbar durch Änderung des magnetischen
Feldes und die entgegengesetzte Orientierung entspricht
der anderen logischen Stufe. Das magneto-optische
Aufzeichnungsmedium enthält einen dünnen magnetischen
Film, und alle magnetischen Domänen werden durch den
Laserstrahl in die vorbestimmte Richtung in eine
Löschfunktion gebracht. Wenn das magneto-optische Auf
zeichnungsmedium einen Überschreibmodus eingeht, werden
die magnetischen Domänen selektiv durch den Laserstrahl
in die entgegengesetzte Richtung orientiert, abhängig
von einer Kette von digitalen Bits. Der Laserstrahl
erhitzt dabei die magnetischen Domänen des magnetischen
Films über die Curie-Temperatur und der Wechsel des
magnetischen Feldes erlaubt dem magneto-optischen
Aufzeichnungsmedium die Speicherung von neuen kodierten
Daten. Es werden nun relativ schwache Laserstrahlen zum
Wiederauffinden bzw. Wiedergewinnen von kodierten Daten
verwendet. Die relativ einergieschwachen Laserstrahlen
bringen den magnetischen Film jedoch nicht über die
Curie-Temperatur hinaus. Bei der Informationswieder
findung fällt der schwache Laserstrahl auf den
magnetischen Film und wird durch ein Polarisations
filterelement reflektiert. Da abhängig von der Magnetis
ierung einer magnetischen Domäne die Ebene der
Polarisation rotiert, wird die Orientierung der
magnetischen Domäne oder der logischen Stufe des Bits
erkannt als Variation der Intensität der Reflexion. Das
magneto-optische Aufzeichnungsmedium ist daher vorge
sehen, den schwachen Laserstrahl zu reflektieren, und
ein reflektierender Film wird auf der Rückseite des
magnetischen Films lamelliert. Während Bits in das
magneto-optische Aufzeichnungsmedium aufgezeichnet
werden, ist der reflektierende Film vorgesehen, starke
Laserstrahlen zu reflektieren, um den magnetischen Film
über die Curie-Temperatur zu erhitzen.
Die bekannten reflektierenden Filme, die auf der
Rückseite des magnetischen Films lamelliert sind,
bestehen aus Metall mit hohen Reflexionsgrad.
Hochreflektierende Metalle sind Silber, Gold, Kupfer und
Aluminium. Hochreflektierendes Metall verbessert das
Träger/Rauschverhältnis und ist für die Datenwieder
auffindung erwünscht. Hochreflektierende Metalle be
sitzen jedoch eine hohe thermische Leitfähigkeit und
hohe thermische Leitfähigkeit ist für den re
flektierenden Film nicht erwünscht, weil der
reflektierende Film mit großer thermaler Leitfähigkeit
verhindert, daß der magnetische Film rasch über die
Curie-Temperatur angehoben wird. Mit anderen Worten, es
macht die thermale Leitfähigkeit des reflektierenden
Films den magnetischen Film gegenüber dem Laserstrahl
weniger wirkungsvoll und zerstört Speicher
charakteristiken. Wenn daher die Laserstrahlung ver
längert wird oder der Laserstrahl selbst intensiviert
wird, kann der magnetische Film auf eine Temperatur
oberhalb der Curie-Temperatur erwärmt werden. Eine
solche Verlängerung der Strahlung zerstört jedoch
Einschreibcharakteristiken. Ein verstärkter Laserstrahl
führt zu einer vergrößerten und komplexen
Laserstrahleinrichtung.
Eine Lösung des Problems ist in der japanischen
Offenlegungsschrift Nr. 3-25 736 angestrebt worden. Der
hier offenbarte reflektierende Film besteht aus einer
Silberlegierung mit Kupferanteilen zwischen 0,5 Atom-%
bis 30 Atom-% und wenigstens Talium- oder Titan-Anteilen
zwischen 0,5 Atom-% und 15 Atom-%. Die Silberlegierung
erniedrigt die thermale Leitfähigkeit des
reflektierenden Films und verbessert die Empfindlichkeit
des magnetischen Films gegenüber dem Laserstrahl.
Obgleich die Silberlegierung den Reflexionsgrad etwas
verschlechtert, wird mit dem Reflexionsfilm aus der
Silberlegierung erreicht, daß der magnetische Film ein
relativ hohes Träger/Rauschverhältnis aufweist. Niedrige
thermale Leitfähigkeit und hoher Reflexionsgrad stehen
sich aber in ihren Auswirkungen einander entgegen und
die vorstehend vorgeschlagene Lösung ist insoweit
unbefriedigend.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein magneto-
optisches Informationsaufzeichnungsmedium anzugeben,
welches eine niedrige thermische Leitfähigkeit aufweist,
ohne daß ein hoher Reflexionsgrad verlorengeht.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des
Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungen und
Weiterbildungen ergeben sich aus den Merkmalen der
Unteransprüche und/oder der nachfolgenden Beschreibung.
Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin,
daß nicht nur ein hohes Träger/Rauschverhältnis, sondern
auch eine hohe Empfindlichkeit für einen Laserstrahl zum
Überschreiben von Bits erhalten wird.
Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen
beschrieben. In der zugehörigen Zeichnung zeigt:
Fig. 1 einen Querschnitt durch ein magneto-optisches
Aufzeichnungsmedium nach der Erfindung;
Fig. 2 einen Querschnitt durch eine Aufdampfein
richtung für ein Verfahren zur Herstellung
eines erfindungsgemäßen elektro-optischen
Aufzeichnungsmediums;
Fig. 3 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades und der thermischen Leitfähigkeit in
Termen der Zusammensetzung einer
reflektierenden Filmstruktur in dem Silber-
Platin-System;
Fig. 4 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades und der thermischen Leitfähigkeit in
Termen der Zusammensetzung der Silber-Platin-
Verbindung;
Fig. 5 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades in Termen der thermalen Leitfähigkeit
in dem Silber-Platin-System;
Fig. 6 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades und der thermischen Leitfähigkeit in
Termen der Zusammensetzung einer
reflektierenden Filmstruktur in dem Silber-
Palladium-System;
Fig. 7 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades und der thermalen Leitfähigkeit in
Termen der Zusammensetzung der Silber-
Palladium-Verbindung;
Fig. 8 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades in Termen der thermalen Leitfähigkeit
in dem Silber-Palladium-System;
Fig. 9 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades und der thermalen Leitfähigkeit in
Termen der Zusammensetzung einer
reflektierenden Filmstruktur in dem
Aluminium-Kobalt-System;
Fig. 10 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades und der thermalen Leitfähigkeit in
Termen der Zusammensetzung der Aluminium-
Kobalt-Verbindung; und
Fig. 11 ein Diagramm zur Darstellung des Reflexions
grades in Termen der thermalen Leitfähigkeit
in dem Aluminium-Kobalt-System.
Gemäß Fig. 1 umfaßt ein magneto-optisches
Aufzeichnungsmedium nach der Erfindung im wesentlichen
ein transparentes Substrat 1, einen Aufzeichnungsfilm 2
und eine Reflexionsfilmstruktur 3. Das transparente
Substrat 1 besteht aus einer Glasplatte, die von der
Firma Corning Corporation hergestellt ist und mit der
Code-Nr. 7059F gekennzeichnet ist. Der Aufzeichnungsfilm
2 besteht aus einer amorphen Legierung, die wenigstens
ein seltenes Erdmetall (RE), wie Gadolinium (Gd),
Terbium (Tb), Dysprosium (Dy) oder Holmium (Ho) und
wenigstens ein Übergangsmetall wie Eisen (Fe) und Kobalt
(Co) enthält. Die amorphe Legierung kann zu einem RE-
FeCo-System gehören, und ein amorpher oxidischer
Magnetkörper, wie 0,5a1-xSrXMnO3·0,5B2O3 ist
verwendbar. Die amorphe Legierung sollte in jedem Falle
wenigstens halb- bzw. teildurchlässig sein.
Die Reflexionsfilmstruktur umfaßt mehrere Paare von
hochreflektierenden metallischen Filmen 3a und
metallischen Filmen 3b mit niedrigen thermalen Leit
fähigkeiten. Der hochreflektierende metallische Film 3a
besteht aus einer Substanz, ausgewählt aus der Gruppe
bestehend aus Silber, Kupfer, Gold, Aluminium,
Magnesium, Silber-Gold-Legierung und Gold-Kupfer-
Legierung. Der Film 3b mit der niedrigen thermalen Leit
fähigkeit besteht aus einer Substanz, ausgewählt aus der
Gruppe bestehend aus Platin, Palladium, Rhodium,
Iridium, Kobalt und Nickel.
Diese hochreflektierenden Metalle und Legierungen
erreichen ein hohes Reflexionsvermögen von mehr als 90%
und die Metalle mit niedriger thermaler Leitfähigkeit
besitzen eine geringere thermale Leitfähigkeit als die
hochreflektierenden Metalle und Metall-Legierungen.
Beim Übereinanderschichten des hochreflektierenden Films
3a und des Films 3b mit niedriger thermaler
Leitfähigkeit sind die Stärken der hochreflektierenden
Metallfilme und der Metallfilme mit niedrigen thermalen
Leitfähigkeiten sowie die Gesamtstärke der Reflexions
filmstruktur 3 so gewählt bzw. eingestellt, daß die
thermale Leitfähigkeit des magneto-optischen
Aufzeichnungsmediums auf einen bestimmten Zielwert
(Target-Wert) eingestellt ist.
Fig. 2 zeigt eine Einrichtung zum Aufdampfen von
Metallen und ist geeignet zur Herstellung des magneto-
optischen Aufzeichnungsmediums nach der Erfindung. Die
Aufdampfeinrichtung besitzt eine Vakuumkammer 4, die
durch die Wand 5 begrenzt ist. Die Vakuumkammer 4 ist an
eine Evakuierungseinrichtung (nicht dargestellt) sowie
an eine Gasstation (nicht dargestellt) angeschlossen.
Zwei Target-Halter 6a und 6b ragen in die Vakuumkammer 4
hinein und sind jeweils an Hochfrequenzenergiequellen 7a
und 7b zur Abgabe von 13,56 MHz Wechselstrom gekuppelt.
In Fig. 2 ist keine Magneteinheit gezeigt.
Auf den Target-Haltern 6a und 6b befinden sich zwei
Targets 8a und 8b. Das eine besteht aus einer Substanz,
ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Silber, Kupfer,
Gold, Aluminium, Magnesium, Silber-Goldlegierung und
Gold-Kupferlegierung. Das andere Target besteht aus
einer Substanz ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus
Platin, Palladium, Rhodium, Iridium, Kobalt und Nickel.
Beide Targets 8a und 8b weisen einen Durchmesser von 5
Inches auf. Gegenüber den Target-Haltern 6a und 6b und
entsprechend gegenüber den Targets 8a und 8b ist ein
Antrieb 9 angeordnet, der aus einem stationären Träger
9a und einem Drehantrieb 9b besteht. Eine
Haltevorrichtung 10 wird von dem Drehantrieb 9b in
Umdrehung versetzt. Der stationäre Träger ist an der
Wand 5 festgehalten und erlaubt die Bewegung des
Drehantriebes 9b und entsprechend der Haltevorrichtung
10 zwischen einer ersten Position gegenüber dem Target
8a und einer zweiten Position gegenüber dem Target 8b.
Die erste Position ist in Fig. 2 in durchgehenden Linien
gezeichnet, während die Zweite Position gestrichelt
dargestellt ist. Ein rohrförmiger Körper 11a ist
zwischen der ersten Position und dem Target 8a
angeordnet und verhindert, daß die dazwischen gehaltenen
Strukturen 12a und 12b des magneto-optischen
Aufzeichnungsmediums von einem Partikelstrom getroffen
werden, der von dem Target 8b ausgesendet wird. Die
Strukturen 12a und 12b sind von transparenten Substraten
1 gebildet, die von Aufzeichnungsfilmen 2 überschichtet
sind. In gleicher Weise ist ein weiterer rohrförmiger
Körper 11b zwischen der zweiten Position und dem Target
8b angeordnet, das verhindert, daß die dazwischen
gehaltenen Strukturen 12a und 23b von einem
Partikelstrom getroffen werden, der von dem Target 8a
ausgeht. Auf diese Weise wird verhindert, daß
Partikelströme, die von den Targets 8a und 8b ausgehen,
nicht gleichzeitig auf die dazwischengehaltenen
Strukturen 12a und 12b auftreffen können, so daß jeder
Metall- bzw. Legierungsfilm jeweils nur von einem
Partikelstrom eines Targets hergestellt wird.
Es werden nachstehend aufeinanderfolgende Verfahrens
schritte zur Lamellierung der Reflexionsfilmstruktur 3
beschrieben, wobei die Targets 8a und 8b aus Silber bzw.
Platin bestehen.
Zunächst wird der Abstand zwischen den
dazwischenliegenden Strukturen 12a und 12b und den
Targets 8a und 8b auf 16 cm eingestellt und die
Vakuumkammer 4 wird auf 4×10-7 Torr evakuiert.
Anschließend wird die Gasstation (nicht gezeigt)
angeschlossen, um Argon in die Vakuumkammer 4
einzubringen, die auf 1×10-3 Torr gehalten wird. Der
Drehantrieb 9b versetzt die Haltevorrichtung 10 in
Umdrehung und die Hochfrequenzenergiequellen 7a und 7b
stellen eine Leistung von 100 bis 200 W zur Verfügung.
Die Targets 8a und 8b sind daraufhin in der Lage, einen
Storm von Silber- bzw. Goldteilchen abzustrahlen und
eine Magnetstrom-Aufstäubung wird wie folgt ausgeführt.
Der Drehantrieb für die Haltevorrichtung 10 mit den
Strukturen 12a und 12b ist zunächst gegenüber dem Target
8a angeordnet und der rohrförmige Körper 11a setzt die
Stukturen 12a und 12b nur einem Silberteilchenfluß aus.
Die rohrförmigen Körper 11a und 11b verhindern, daß die
Strukturen 12a und 12b gleichzeitig einem
Platinteilchenfluß ausgesetzt werden. Silber wird in
einer Stärke von 50 Å auf dem Aufzeichnungsfilm 2
aufgedampft. Für verschiedene Strukturen 3 liegen die
Stärken der aufgedampften Silberfilme 3a etwa zwischen 5
und 250 Å.
Der Drehantrieb wird dann mittels der Haltevorrichtung
10 in die zwei Position gegenüber dem Target 8b
verschoben, wobei der Platinteilchenfluß auf die
jeweiligen Silberfilme 3a der Strukturen 12a und 12b
trifft. Dabei wird Platin in einer Filmstärke von 5 Å
auf die Silberfilme aufgedampft. Die Stärken der
Platinfilme 3b liegen etwa zwischen 5 und 250 Å. Es ist
jedoch erwünscht, die Filmstärken der Silber- und
Platinschichten 3a und 3b so zu steuern, daß sie nicht
geringer als 10 Å sind. Während der Platinteilchenfluß
auf die Strukturen 12a und 12b trifft, verhindern die
rohrförmigen Körper 11a und 11b, daß der Silberteilchen
fluß auf die Strukturen 12a und 12b gelangt. Es ist
sichergestellt, daß der Silber- und der
Platinteilchenfluß nicht gleichzeitig auf die Strukturen
12a und 12b gelangt.
Die Strukturen 12a und 12b werden abwechselnd dem
Silber- und dem Platinteilchenfluß ausgesetzt, bis die
Reflexionsfilmstruktur 3 eine Stärke von 1000 Å aufweist,
die jeweils auf einem Aufzeichnungsfilm 2 aufgebracht
ist.
Bei Verwendung eines Silber-Targets und eines Platin-
Targets werden verschieden lamellierte Reflexionsfilm
strukturen gemäß der Erfindung in aufeinanderfolgenden
Verfahrensschritten, wie vorstehend beschrieben, herge
stellt, und das Reflexionsvermögen sowie die thermische
Leitfähigkeit werden gemessen. Weiterhin werden Silber-
Platinlegierungsfilme herstellt und das Reflexions
vermögen sowie die thermische Leitfähigkeit werden
ebenfalls gemessen.
Fig. 3 zeigt das Reflexionsvermögen bzw. den
Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit in
Termen der lamellierten Reflexionsstruktur aus Silber-
und Platinfilmen. In Fig. 3 ist auf den Ordinaten der
Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähigkeit
aufgetragen und auf der Abszisse ist der Aufbau der
Reflexionsfilmstruktur angegeben. Die Kurven R1 und C1
zeigen den Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähig
keit. Der Aufbau der Reflexionsfilmstruktur wurde unter
Anwendung der EPMA-Technik analysiert, und der
Reflexionsgrad wurde mit einem Ellipsometer gemessen,
wobei Licht mit einer Wellenlänge von 6328 Å verwendet
wurde. Die thermische Leitfähigkeit K ist gegeben durch
K = L×T×1/rho, wobei L die Lorentz-Zahl, T die
Temperatur und rho der Reflexionsgrad, gemessen durch
eine Vier-Probemethode, ist. Wenn aufeinanderfolgend der
jeweils durch eine Magnetron-Aufdampfung erhaltene
Silberfilm 50 Å und der Platinfilm 5 Å dick ist, ist die
entsprechend lamellierte Reflexionsfilmstruktur mit
einer Dicke von 1000 Å durch die strichpunktierte Linie
DD1 gekennzeichnet und wird nachfolgend mit "Reflexions
filmstruktur 50/5" bezeichnet. In der gleichen Weise
kennzeichnen die strichpunktierten Linien DD2, DD3, DD4,
DD5 und DD6 den Aufbau der lamellierten
Reflexionsfilmstruktur von jeweils 1000 Å Dicke, wobei
der Reihe nach die Verhältnisse Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 20 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 50 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 90 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 150 Å Dicke und Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 300 Å Dicke gewählt sind.
Dicke/Platinfilm von 20 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 50 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 90 Å Dicke, Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 150 Å Dicke und Silberfilm von 50 Å
Dicke/Platinfilm von 300 Å Dicke gewählt sind.
Der Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit
jeder lamellierten Reflexionsfilmstruktur ist gekenn
zeichnet durch die jeweiligen Schnittpunkte der
strichpunktierten Linie mit den Kurven R1 und C1. Zum
Beispiel besitzt die lamellierte Reflexionsfilmstruktur
50/5 einen Reflexionsgrad von etwa 90% und eine thermale
Leitfähigkeit von etwa 0,7 W/cm°K.
Zum Vergleich ist der Reflexionsgrad und die thermische
Leitfähigkeit einer Silber-Platin-Legierung von 1000 Å
Stärke aus Fig. 4 ersichtlich. Die Ordinaten des
Diagramms in Fig. 4 zeigen ebenfalls den Reflexionsgrad
bzw. die thermische Leitfähigkeit und die Abszisse
kennzeichnen die Zusammensetzung des Silber-Platin-
Legierungsfilms. Die Kurven R2 und C2 charakterisieren
den Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähigkeit.
Der Reflexionsgrad wurde ebenfalls mit einem Licht der
Wellenlänge 6328 gemessen. Wenn der Silberanteil
13 Atom-% beträgt, besitzt die betreffende Silber-
Platin-Legierung einen Reflexionsgrad von 78% und eine
thermische Leitfähigkeit von 0,9 W/cm° K. Die Silber-
Platin-Legierung mit 13% Silber und 87% Platin wird
nachstehend mit "Legierung 13/87" bezeichnet. Wenn der
Silbergehalt zwischen etwa 27 Atom-% und etwa 41 Atom-%
liegt, ist bei der lamellierten Reflexionsfilmstruktur
der Reflexionsgrad höher und die thermische Leitfähig
keit niedriger als bei der Silber-Platin-Legierung. Dem
entsprechend ist eine Zusammensetzung zwischen Ag13Pt87
und Ag21Pt79 für eine lamellierte Reflexionsfilmstruktur
in einem Silber-Platin-System nach der Erfindung
vorteilhaft.
Fig. 5 zeigt eine Beziehung zwischen dem Reflexionsgrad
und der thermalen Leitfähigkeit für lamellierte
Reflexionsfilme wie für Reflexionsfilme aus Legierungen
des Silber-Platin-Systems. Die Kurven X1 und X2
betreffen lamellierte Reflexionsfilme bzw.
Legierungsreflexionsfilme. Vergleicht man die Kurve 1
mit der Kurve 2 weisen die lamellierten Reflexionsfilme
einen höheren Reflexionsgrad als die
Legierungsreflexionsfilme auf, solange wie die thermalen
Leitfähigkeiten einander gleich sind. Wenn die
lamellierten Reflexionsfilme den gleichen Reflexionsgrad
wie die Legierungsreflexionsfilme aufweisen, besitzen
die lamellierten Reflexionsfilme eine geringere
thermische Leitfähigkeit. Aus Fig. 5 folgt daher, daß
die lamellierten Reflexionsfilme gegenüber den
Legierungsfilmen vorteilhaft sind.
Indem ein Silberfilm und ein Palladiumfilm benutzt wird,
um zu einem lamellierten Reflexionsfilm nach der
Erfindung zu gelangen, wird in entsprechender Weise, wie
vorstehend beschrieben, verfahren. Der Reflexionsgrad
und die thermische Leitfähigkeit des lamellierten
Reflexionsfilmes werden gemessen. Die Kurven R3 und C3 in
Fig. 6 betreffen den Reflexionsgrad bzw. die thermische
Leitfähigkeit. Die strichpunktierte Linie DD7 bezeichnet
die lamellierte Reflexionsfilmstruktur, aufgebaut aus
50 Å dicken Silberfilmen und 50 Å dicken Palladiumfilmen.
Zu Vergleichszwecken wurden außerdem Silber-Palladium-
Legierungsfilme hergestellt. Die Kurven R4 und C4 in
Fig. 7 zeigen den Reflexionsgrad und die thermische
Leitfähigkeit der Silber-Palladium-Legierung.
Fig. 8 zeigt die Beziehung zwischen dem Reflexionsgrad
und der thermalen Leitfähigkeit für lamellierte
Reflexionsfilme wie für Legierungsreflexionsfilme des
Silber-Palladium-Systems. Die Kurven X3 und X4 betreffen
lamellierte Reflexionsfilme bzw. Legierungsfilme.
Vergleicht man die Kurve X3 mit der Kurve X4 ist der
Reflexionsgrad der lamellierten Filme größer als der der
Legierungsfilme, solange die thermische Leitfähigkeit
vergleichsweise gleich ist. Wenn die lamellierten Filme
den gleichen Reflexionsgrad wie die Legierungsfilme
aufweisen, besitzen die lamellierten Filme eine kleinere
thermische Leitfähigkeit. Aus Fig. 8 wird somit
verständlich, daß die lamellierten Filme gegenüber den
Legierungsfilmen vorteilhaft sind.
Es wird ein Aluminiumfilm und ein Kobaltfilm verwendet
und eine lamellierte Struktur, wie vorstehend
beschrieben, hergestellt, um zu einem erfindungsgemäßen
Reflexionsfilm zu gelangen. Der Reflexionsgrad und die
thermale Leitfähigkeit werden gemessen.
Die Kurven R5 und C5 in Fig. 9 betreffen den
Reflexionsgrad bzw. die thermische Leitfähigkeit. Die
strichpunktierte Linie DD8 zeigt eine lamellierte
Reflexionsfilmstruktur, aufgebaut aus 50 Å dicken
Aluminiumfilmen und 50 Å dicken Kobaltfilmen. Zum
Vergleich wurden Aluminium-Kobalt-Legierungsfilme herge
stellt und die Kurven R6 und C6 zeigen den
Reflexionsgrad und die thermische Leitfähigkeit.
Vergleicht man Fig. 9 mit Fig. 10 so ist verständlich,
daß die lamellierte Reflexionsfilmstruktur einen höheren
Reflexionsgrad als der Legierungsfilm über den ganzen
Bereich aufweist, wobei die thermischen Leitfähigkeiten
gleich sind. Die lamellierten Filme sind daher gegenüber
den Legierungsfilmen im Aluminium-Kobalt-System vorteil
haft.
Dies ist in Fig. 11 erkennbar, wo die Kurven X5 und X6
die lamellierten Reflexionsfilme und die Legierungsfilme
im Aluminium-Kobalt-System zeigen.
Obgleich besondere Ausführungsbeispiele der Erfindung
dargestellt und beschrieben sind, stellen diese
keinerlei Beschränkung der Erfindung dar. Der hier
betreffende Fachmann ist nach der der Erfindung
zugrundeliegenden Lehre ohne weiteres in der Lage
Änderungen und Ergänzungen der Erfindungsbeschreibung
hinzuzufügen, ohne dabei den Rahmen der Erfindung zu
verlassen.
Claims (11)
1. Reflexionsfilmstruktur für ein magneto-
optisches Aufzeichnungsmedium, dadurch gekennzeichnet,
daß die Struktur (3) aus einer Vielzahl von paarweise
übereinander geschichteten metallischen Filmen (3a, 3b)
besteht, von denen jeweils der eine Film (3a) einen
hohen Reflexionsgrad und der andere Film (3b) eine
niedrige thermale Leitfähigkeit aufweist.
2. Struktur nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der Film (3a) mit hohem
Reflexionsgrad aus einer Substanz gebildet ist,
ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Silber, Kupfer,
Gold, Aluminium, Magnesium, Silber-Gold-Legierung und
Gold-Kupfer-Legierung, und daß der Film (3b) mit der
niedrigen thermalen Leitfähigkeit aus einer Substanz
gebildet ist, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus
Platin, Palladium, Rhodium, Iridium, Kobalt und Nickel,
wobei die Filme (3a, 3b) ohne jeden niedrig
reflektierenden Legierungsfilm aus diesen Substanzen
zwischen sich abwechselnd aufeinanderfolgen und einer
der hochreflektierenden Filme (3a) die Kopffläche der
reflektierenden Filmstruktur (3) zur wirksamen
Lichtreflexion bildet.
3. Struktur nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) und
der Film (3b) mit niedriger thermaler Leitfähigkeit
jeweils eine Dicke von etwa 5 Å bis etwa 250 Å und beide
aufeinanderfolgenden Filme (3a, 3b) eine Gesamtdicke von
nicht weniger als 10 Å aufweisen.
4. Struktur nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Gesamtdicke der
Reflexionsfilmstruktur (3) aus einer Vielzahl von
paarweise übereinandergeschichteten metallischen Filmen
(3a, 3b) etwa 1000 Å beträgt.
5. Struktur nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) und
der Film (3b) mit der niedrigen thermalen Leitfähigkeit
aufeinanderfolgend aufgedampft sind, wobei Führungsmittel
(11a, 11b) vorhanden sind, die verhindern, daß
abgedampfte Teilchenflüsse der Substanzen vermischt
werden.
6. Struktur nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) aus
Silber und der Film (3b) mit niedriger thermaler
Leitfähigkeit aus Platin besteht.
7. Struktur nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) aus
Silber und der Film (3b) mit niedriger thermaler
Leitfähigkeit aus Palladium besteht.
8. Struktur nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der hochreflektierende Film (3a) aus
Aluminium und der Film (3b) mit der niedrigen thermalen
Leitfähigkeit aus Kobalt besteht.
9. Medium nach Anspruch 1 in dem der
hochreflektierende metallische Film (3a) aus einer
Substanz gebildet ist, ausgewählt aus der Gruppe
enthaltend Silber, Kupfer, Gold, Aluminium, Magnesium,
Silber-Gold- und Gold-Kupfer-Legierung, und daß der Film
mit niedriger thermaler Leitfähigkeit aus einer Substanz
ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Platin,
Palladium, Rhodium, Iridium, Kobalt und Nickel besteht.
10. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial
bestehend aus
- a) einem transparenten Substrat (1),
- b) einem aufzeichnenden Film (2) auf einer Substrat fläche zur Speicherung von Bits durch unterschied liche Orientierung von magnetischen Domänen des Films (2), wobei der aufzeichnende Film (2) den Durchtritt von Licht erlaubt, und
- c) eine reflektierende Filmstruktur (3) auf dem auf zeichnenden Film (2)
dadurch gekennzeichnet, daß
die aufzeichnende Filmstruktur (3) aus einer Vielzahl
von paarweise übereinandergeschichteten metallischen
Filmen (3a, 3b) besteht, von denen der eine Film (3a)
einen hohen Reflexionsgrad und der andere Film (3b) eine
niedrige thermale Leitfähigkeit besitzt, wobei die
Struktur ohne jeden niedrigreflektierenden
Legierungsfilm aus diesen Substanzen zwischen den sich
abwechselnden beiden Filmen (3a, 3b) aufgebaut ist und
einer der hochreflektierenden Filme (3a) die Kopffläche
der reflektierenden Filmstruktur (3) zur wirksamen
Lichtreflexion bildet.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3268477A JP2822723B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 光記録媒体用反射膜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4231160A1 true DE4231160A1 (de) | 1993-03-25 |
Family
ID=17459043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4231160A Withdrawn DE4231160A1 (de) | 1991-09-19 | 1992-09-17 | Magneto-optisches informations-aufzeichnungsmedium |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2822723B2 (de) |
DE (1) | DE4231160A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0594516A2 (de) * | 1992-10-19 | 1994-04-27 | Eastman Kodak Company | Aus hochstabiler, auf Silber basierter Legierung hergestellte reflektierende Schichten für eine beschreibbare Kompaktdisk |
US6301200B1 (en) * | 1999-09-22 | 2001-10-09 | Imation Corp. | Magneto-optical data storage disc with highly conductive, smooth reflector layer |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IES80477B2 (en) * | 1997-03-27 | 1998-08-12 | Mitsubishi Chem Corp | Optical information recording medium |
DE69835065T2 (de) | 1997-11-17 | 2007-02-01 | Mitsubishi Kagaku Media Co., Ltd. | Optisches Aufzeichnungsmedium |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP3268477A patent/JP2822723B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-09-17 DE DE4231160A patent/DE4231160A1/de not_active Withdrawn
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EP0594516A2 (de) * | 1992-10-19 | 1994-04-27 | Eastman Kodak Company | Aus hochstabiler, auf Silber basierter Legierung hergestellte reflektierende Schichten für eine beschreibbare Kompaktdisk |
EP0594516A3 (de) * | 1992-10-19 | 1995-03-22 | Eastman Kodak Co | Aus hochstabiler, auf Silber basierter Legierung hergestellte reflektierende Schichten für eine beschreibbare Kompaktdisk. |
US6301200B1 (en) * | 1999-09-22 | 2001-10-09 | Imation Corp. | Magneto-optical data storage disc with highly conductive, smooth reflector layer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2822723B2 (ja) | 1998-11-11 |
JPH0581719A (ja) | 1993-04-02 |
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