DE4223590A1 - Spiegel und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Spiegel und Verfahren zu seiner Herstellung

Info

Publication number
DE4223590A1
DE4223590A1 DE19924223590 DE4223590A DE4223590A1 DE 4223590 A1 DE4223590 A1 DE 4223590A1 DE 19924223590 DE19924223590 DE 19924223590 DE 4223590 A DE4223590 A DE 4223590A DE 4223590 A1 DE4223590 A1 DE 4223590A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
substrate
mirror
heating layer
transparent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19924223590
Other languages
English (en)
Inventor
Ralf Dipl Ing Faber
Peter Winter
Barbara Dr Beichler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG filed Critical Leybold AG
Priority to DE19924223590 priority Critical patent/DE4223590A1/de
Publication of DE4223590A1 publication Critical patent/DE4223590A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/181Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
    • G02B7/1815Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation with cooling or heating systems
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60RVEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B60R1/00Optical viewing arrangements; Real-time viewing arrangements for drivers or passengers using optical image capturing systems, e.g. cameras or video systems specially adapted for use in or on vehicles
    • B60R1/02Rear-view mirror arrangements
    • B60R1/06Rear-view mirror arrangements mounted on vehicle exterior
    • B60R1/0602Rear-view mirror arrangements mounted on vehicle exterior comprising means for cleaning or deicing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08Oxides
    • C23C14/086Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/84Heating arrangements specially adapted for transparent or reflecting areas, e.g. for demisting or de-icing windows, mirrors or vehicle windshields
    • H05B3/845Heating arrangements specially adapted for transparent or reflecting areas, e.g. for demisting or de-icing windows, mirrors or vehicle windshields specially adapted for reflecting surfaces, e.g. bathroom - or rearview mirrors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Rear-View Mirror Devices That Are Mounted On The Exterior Of The Vehicle (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen Spiegel, bestehend aus einem durchsichtigen Substrat, einer auf dessen Rückseite auf­ gebrachten Verspiegelung, insbesondere Aluminium, und einer elektrischen Heizung. Weiterhin betrifft die Erfin­ dung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Spie­ gels.
Spiegel der vorstehenden Art werden beispielsweise für Kraftfahrzeuge als Außenrückspiegel verwendet. Bei ihnen besteht das Substrat aus Glas, auf dessen Rückseite eine Verspiegelung und dahinter eine elektrische Heizung in Form von Heizleitern vorgesehen ist.
Nachteilig bei den bekannten Spiegeln ist es, daß zum Auftauen einer Eisschicht auf dem Spiegel von der Heizung zunächst das Substrat, also eine 4-6 mm dicke Glas­ platte erwärmt werden muß. Das dauert relativ lange, so daß viele Autofahrer mit noch vereistem Außenspiegel starten oder aber den Außenspiegel mit einem Eisschaber zumindest teilweise vom Eis befreien, was umständlich ist und oftmals zu einem Verstellen des Spiegels oder gar zu einer Beschädigung führt.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, einen beheizten Spiegel der eingangs genannten Art so auszubilden, daß seine Heizung möglichst rasch auf seiner Vorderseite vor­ handenes Eis auftauen oder Kondensat verdampfen kann.
Weiterhin soll ein Verfahren zur Herstellung eines sol­ chen Spiegels gefunden werden.
Das erstgenannte Problem wird erfindungsgemäß dadurch ge­ löst, daß die Heizung aus einer durchsichtigen, elek­ trisch leitend, ganzflächig aufgebrachten Heizschicht auf der Substratvorderseite besteht und daß zum Schutz der Heizschicht auf dieser eine durchsichtige Schutzschicht aufgebracht ist.
Dadurch daß gemäß der Erfindung die Heizschicht auf der Spiegelvorderseite vorgesehen ist, gelangt die von ihr erzeugte Wärme unmittelbar in eine aufzutauende Eis­ schicht oder eine zu verdampfende Kondensatschicht. Durch die durchsichtige Schutzschicht kann man erreichen, daß die Oberfläche des Spiegels ausreichend mechanisch und chemisch widerstandsfähig ist, so daß der Spiegel bei Verwendung eines Eiskratzers oder beim Abwischen mit einem von Festkörpern verschmutzten Lappen nicht zer­ kratzt und seine Heizschicht nicht von Schadstoffen in der Luft angegriffen wird.
Besonders kostengünstig ist der Spiegel herstellbar, wenn das Substrat aus Kunststoff besteht. In einem solchen Fall wirkt sich die Heizschicht auf der Spiegelvorder­ seite besonders vorteilhaft aus, weil Kunststoff ein guter Wärmeisolator ist, so daß eine Heizung auf der Spiegelrückseite nur einen schlechten Wirkungsgrad hätte und sehr träge arbeiten würde.
Als Außenrückspiegel für ein Kraftfahrzeug besonders ge­ eignet ist der Spiegel, wenn das Substrat ein Polycarbo­ nat ist.
Die Heizschicht erfüllt ihre Funktion als elektrischer Leiter optimal und haftet sehr gut auf dem Substrat, wenn sie aus Indium-Zinn-Oxid (ITO-Schicht) besteht.
Die für Kraftfahrzeugaußenspiegel optimale Leitfähigkeit der Heizschicht von 40-45 Ohm läßt sich dadurch errei­ chen, daß die Heizschicht eine Schichtdicke von 170-180 nm hat.
Die Schutzschicht ist besonders hart, wenn sie aus SiOxNy besteht. Die Schichtdicke ist ausreichend, wenn sie etwa 3/1000 mm beträgt.
Das zweitgenannte Problem, nämlich die Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung des erfindungsgemäßen Spie­ gels, wird dadurch gelöst, daß zunächst eine Heizschicht aus Indium-Zinn-Oxid (ITO-Schicht) mittels DC-Magnetron- Sputtern auf das Substrat aufgebracht und dann auf diese Heizschicht eine Schutzschicht aus SiOxNy nach dem PECVD- Verfahren (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) er­ zeugt wird, wobei bis zu einer Schichtdicke von ca. 200 nm mit reduzierter RF-Leistung (ca. 200 W) und danach mit voller Leistung (ca. 400 W) beschichtet wird und man wäh­ rend der Beschichtung den Substrathalter vor der Kathode oszillieren läßt.
Ein solches Verfahren kann kostengünstig ausgeführt wer­ den. Die Verminderung der RF-Leistung zu Beginn des Auf­ bringens der Schutzschicht führt zu einer wesentlichen Verbesserung der Haftung der Schutzschicht auf der Heiz­ schicht. Insgesamt entsteht durch das erfindungsgemäße Verfahren ein beheizbarer Außenspiegel aus Kunststoff, der kostengünstig herstellbar ist, ein wesentlich gerin­ geres Gewicht hat als ein Glasspiegel, dennoch aber funk­ tionell deshalb besser ist, weil er ein rascheres Abtauen einer Eisschicht oder Verdampfen von Kondensat ermög­ licht.
Die als Spiegel dienende Aluminiumschicht haftet auf Kunststoff nicht ausreichend. Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung wird zwischen der Spiegelschicht und dem Substrat eine Titanschicht von 5-10 nm aufgebracht. Eine solche Titanschicht hat die Funktion eines Haftver­ mittlers für die Spiegelschicht. Die Spiegelschicht selbst hat eine Schichtdicke von 60 bis 70 nm.

Claims (8)

1. Spiegel, bestehend aus einem durchsichtigen Substrat, einer auf dessen Rückseite aufgebrachten Verspiegelung, insbesondere Aluminium, und einer elektrischen Heizung, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizung aus einer durch­ sichtigen, elektrisch leitenden, ganzflächig aufgebrachten Heizschicht auf der Substratvorderseite besteht und daß zum Schutz der Heizschicht auf dieser eine durchsichtige Schutzschicht aufgebracht ist.
2. Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat ein Kunststoff ist.
3. Spiegel nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat ein Polycarbonat ist.
4. Spiegel nach zumindest einem der vorangehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizschicht aus In­ dium-Zinn-Oxid (ITO-Schicht) besteht.
5. Spiegel nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizschicht eine Schichtdicke von 170-180 nm hat.
6. Spiegel nach zumindest einem der vorangehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht aus SiOxNy besteht.
7. Verfahren zur Herstellung eines Spiegels nach zumin­ dest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zunächst eine Heizschicht aus Indium-Zinn- Oxid (ITO-Schicht) mittels DC-Magnetron-Sputtern auf das Substrat aufgebracht und dann auf diese Heizschicht eine Schutzschicht aus SiOxNy nach dem PECVD-Verfahren (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) erzeugt wird, wobei bis zu einer Schichtdicke von ca. 200 nm mit reduzierter RF-Leistung (ca. 200 W) und danach mit voller Leistung (ca. 400 W) beschichtet wird und man während der Beschichtung den Substrathalter vor der Kathode oszillieren läßt.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Spiegelschicht und dem Substrat eine Titan­ schicht von 5-10 nm aufgebracht wird.
DE19924223590 1992-07-17 1992-07-17 Spiegel und Verfahren zu seiner Herstellung Withdrawn DE4223590A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19924223590 DE4223590A1 (de) 1992-07-17 1992-07-17 Spiegel und Verfahren zu seiner Herstellung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19924223590 DE4223590A1 (de) 1992-07-17 1992-07-17 Spiegel und Verfahren zu seiner Herstellung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4223590A1 true DE4223590A1 (de) 1994-01-20

Family

ID=6463474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19924223590 Withdrawn DE4223590A1 (de) 1992-07-17 1992-07-17 Spiegel und Verfahren zu seiner Herstellung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4223590A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19513958A1 (de) * 1995-04-12 1996-10-17 Siemens Matsushita Components Verfahren zum Herstellen einer Metallisierung auf piezoelektrischen Substraten
DE10031280A1 (de) * 2000-06-27 2002-01-24 Roth & Rauh Oberflaechentechni Multifunktionale Mehrlagenschicht auf transparenten Kunststoffen und Verfahren zur ihrer Herstellung
DE102005030900A1 (de) * 2005-07-01 2007-01-11 Mekra Lang Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Fahrzeugspiegels
EP2393337A1 (de) 2010-06-07 2011-12-07 SMR Patents S.à.r.l. Heizeinrichtung

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE7106825U (de) * 1971-07-01 Deutsche Gold Und Silber Scheideanstalt Splittersicherer Spiegel, insbesondere fur Kraftfahrzeuge
DE2028978A1 (de) * 1970-06-12 1971-12-16 Deutsche Uhrglasfabrik GmbH, 3224 Grünenplan Heizbarer Rückspiegel für Kraftfahrzeuge
SU864594A1 (ru) * 1979-12-07 1981-09-15 Предприятие П/Я М-5727 Электронагреватель дл микрокриогенных систем
US4352006A (en) * 1979-06-07 1982-09-28 Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. Heated mirror, designed in particular to constitute an external rearview mirror element for a vehicle
DE3418612A1 (de) * 1983-05-19 1984-11-22 Toyoda Gosei Co., Ltd., Haruhimura, Aichi Exothermischer transparenter koerper
DE3346991A1 (de) * 1983-12-24 1985-07-11 Audi AG, 8070 Ingolstadt Beheizbarer spiegel, insbesondere aussenrueckblickspiegel fuer fahrzeuge
DE3412055A1 (de) * 1984-03-31 1985-10-03 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Elektrisch beheizbares reflexionselement
US4634242A (en) * 1983-07-11 1987-01-06 Nippon Soken, Inc. Defrostable outside rear view mirror for an automobile
EP0303508A2 (de) * 1987-08-14 1989-02-15 Applied Materials, Inc. Eingangsverteiler und Verfahren zur Steigerung der Gasdissoziation und zur PECVD von dielektrischen Filmen
US4895734A (en) * 1987-03-31 1990-01-23 Hitachi Chemical Company, Ltd. Process for forming insulating film used in thin film electroluminescent device
DE3825164A1 (de) * 1988-07-23 1990-01-25 Hohe Kg Beheizbarer spiegel fuer einen fahrzeug-aussenspiegel
US4936964A (en) * 1988-01-09 1990-06-26 Sumitomo Bakelite Company Limited Process for producing film coated with transparent conductive metal oxide thin film
SU1600003A1 (ru) * 1988-05-12 1990-10-15 Ленинградский Институт Советской Торговли Им.Ф.Энгельса Способ изготовлени поверхностного резистивного нагревател

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE7106825U (de) * 1971-07-01 Deutsche Gold Und Silber Scheideanstalt Splittersicherer Spiegel, insbesondere fur Kraftfahrzeuge
DE2028978A1 (de) * 1970-06-12 1971-12-16 Deutsche Uhrglasfabrik GmbH, 3224 Grünenplan Heizbarer Rückspiegel für Kraftfahrzeuge
US4352006A (en) * 1979-06-07 1982-09-28 Societa Italiana Vetro-Siv-S.P.A. Heated mirror, designed in particular to constitute an external rearview mirror element for a vehicle
SU864594A1 (ru) * 1979-12-07 1981-09-15 Предприятие П/Я М-5727 Электронагреватель дл микрокриогенных систем
DE3418612A1 (de) * 1983-05-19 1984-11-22 Toyoda Gosei Co., Ltd., Haruhimura, Aichi Exothermischer transparenter koerper
US4634242A (en) * 1983-07-11 1987-01-06 Nippon Soken, Inc. Defrostable outside rear view mirror for an automobile
DE3346991A1 (de) * 1983-12-24 1985-07-11 Audi AG, 8070 Ingolstadt Beheizbarer spiegel, insbesondere aussenrueckblickspiegel fuer fahrzeuge
DE3412055A1 (de) * 1984-03-31 1985-10-03 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Elektrisch beheizbares reflexionselement
US4895734A (en) * 1987-03-31 1990-01-23 Hitachi Chemical Company, Ltd. Process for forming insulating film used in thin film electroluminescent device
EP0303508A2 (de) * 1987-08-14 1989-02-15 Applied Materials, Inc. Eingangsverteiler und Verfahren zur Steigerung der Gasdissoziation und zur PECVD von dielektrischen Filmen
US4936964A (en) * 1988-01-09 1990-06-26 Sumitomo Bakelite Company Limited Process for producing film coated with transparent conductive metal oxide thin film
SU1600003A1 (ru) * 1988-05-12 1990-10-15 Ленинградский Институт Советской Торговли Им.Ф.Энгельса Способ изготовлени поверхностного резистивного нагревател
DE3825164A1 (de) * 1988-07-23 1990-01-25 Hohe Kg Beheizbarer spiegel fuer einen fahrzeug-aussenspiegel

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19513958A1 (de) * 1995-04-12 1996-10-17 Siemens Matsushita Components Verfahren zum Herstellen einer Metallisierung auf piezoelektrischen Substraten
DE10031280A1 (de) * 2000-06-27 2002-01-24 Roth & Rauh Oberflaechentechni Multifunktionale Mehrlagenschicht auf transparenten Kunststoffen und Verfahren zur ihrer Herstellung
DE102005030900A1 (de) * 2005-07-01 2007-01-11 Mekra Lang Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Fahrzeugspiegels
EP2393337A1 (de) 2010-06-07 2011-12-07 SMR Patents S.à.r.l. Heizeinrichtung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20110266275A1 (en) Transparent object with a locally limited, structured, electrically heatable, transparent area, method for manufacture thereof and use thereof
US8557390B2 (en) Glass product
ES2336762T3 (es) Capas transparentes conductoras y procedimiento para su fabricacion.
FR3032084A1 (fr) Dispositif chauffant, en particulier semi-transparent
EP1862849A1 (de) Elektrochrome Zelle, ihre Verwendung in Fensterscheiben und Rückspielgel, und ihre Herstellungsmethode
EA029120B1 (ru) Оконное стекло с электрическим нагревающим слоем
JP6381780B2 (ja) 電気加熱層を備えた透明窓板、透明窓板の製造方法及び透明窓板の使用
EP0599071A1 (de) Transparentes Substrat mit einem transparenten Schichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines solchen Schichtsystems
WO2003105532A1 (en) Heatable glazing panel
US20100091510A1 (en) Headlight for a motor vehicle
JPS59214183A (ja) 発熱性透明体
US20100171406A1 (en) Electroconductive laminate
DE4126533A1 (de) Verfahren zum kontaktieren von elektrisch heizbaren glasscheiben mit transparenten heizwiderstandsschichten
DE4223590A1 (de) Spiegel und Verfahren zu seiner Herstellung
Li et al. Copper/silver composite mesh transparent electrodes with low reflection for high-performance and low-voltage transparent heaters
JPH03122032A (ja) 自動車用ガラス
JP2944913B2 (ja) 水分センサの製造方法、水分センサ及び該水分センサからなる雨センサ
CN216508215U (zh) 一种车辆摄像元件安装用饰板结构
RU2274675C1 (ru) Способ получения оптически прозрачного электропроводного покрытия и изделие с покрытием, полученное указанным способом (варианты)
EP1082880A1 (de) Beheizter spiegel,insbesondere bestimmt für fahrzeuge,und verfahren zur herstellung derselben
RU2248681C2 (ru) Зеркало с обогревом
JP2562588B2 (ja) タンタル金属薄膜回路
JPS6354788B2 (de)
JPH0362492A (ja) 透明面状発熱体
JPS6143555A (ja) 透明樹脂成形品

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee